JP2994877B2 - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
原子間力顕微鏡Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光干渉法によりカンチ
レバーの変位量を検出する原子間力顕微鏡（以下、ＡＦ
Ｍと称す）に関する。
レバーの変位量を検出する原子間力顕微鏡（以下、ＡＦ
Ｍと称す）に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＡＦＭにおいて、カンチレバーの変位量
を検出する方法の一つとして光干渉法が知られている。
図６にカンチレバーの変位量を光干渉法により検出する
方式を採用したＡＦＭの概略の構成例を示す。
を検出する方法の一つとして光干渉法が知られている。
図６にカンチレバーの変位量を光干渉法により検出する
方式を採用したＡＦＭの概略の構成例を示す。
【０００３】Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸の駆動部を有するＰＺＴ
スキャナ１の上には試料２がセットされており、試料２
に対向してカンチレバー３が配置されている。一方、Ｈ
ｅ−Ｎｅガスレーザあるいは半導体レーザ等からなるレ
ーザ光源４から発光されたレーザ光は光ファイバ等によ
り光カプラ５に導かれ、光カプラ５において、光ファイ
バ１０を介してカンチレバー３へ導かれる光と光電変換
器７に導かれる光に分岐される。
スキャナ１の上には試料２がセットされており、試料２
に対向してカンチレバー３が配置されている。一方、Ｈ
ｅ−Ｎｅガスレーザあるいは半導体レーザ等からなるレ
ーザ光源４から発光されたレーザ光は光ファイバ等によ
り光カプラ５に導かれ、光カプラ５において、光ファイ
バ１０を介してカンチレバー３へ導かれる光と光電変換
器７に導かれる光に分岐される。
【０００４】光ファイバ１０を介してカンチレバー３に
導かれたレーザ光の殆どはカンチレバー３の表面で反射
して再び光ファイバ１０に入射するが、カンチレバー３
側に導かれたレーザ光の数％程度は光ファイバ１０の端
面で反射し、光ファイバ１０の中を逆方向に進行する。
これによってカンチレバー３で反射したレーザ光と光フ
ァイバ１０の端面で反射したレーザ光が干渉する。この
干渉光は光ファイバ１０を逆方向に進行し、光カプラ５
により光電変換器６に導かれる。
導かれたレーザ光の殆どはカンチレバー３の表面で反射
して再び光ファイバ１０に入射するが、カンチレバー３
側に導かれたレーザ光の数％程度は光ファイバ１０の端
面で反射し、光ファイバ１０の中を逆方向に進行する。
これによってカンチレバー３で反射したレーザ光と光フ
ァイバ１０の端面で反射したレーザ光が干渉する。この
干渉光は光ファイバ１０を逆方向に進行し、光カプラ５
により光電変換器６に導かれる。
【０００５】この光電変換器６の出力信号（以下、干渉
光強度信号と称す）は、図７に示すように、カンチレバ
ー３と光ファイバ１０との間の距離を示すカンチレバー
の変位量に対して、レーザ光源４から発光されるレーザ
光の半波長を周期とするコサイン関数的に変化する。な
お、図７においてＢＧはバックグランド成分を示す。
光強度信号と称す）は、図７に示すように、カンチレバ
ー３と光ファイバ１０との間の距離を示すカンチレバー
の変位量に対して、レーザ光源４から発光されるレーザ
光の半波長を周期とするコサイン関数的に変化する。な
お、図７においてＢＧはバックグランド成分を示す。
【０００６】光電変換器６からの干渉光強度信号及び光
電変換器７の出力信号はコンパレータ８に入力される
が、干渉光強度信号には基準信号Ref が重畳される。こ
れによりコンパレータ８からはカンチレバー３の変位量
に対応した信号が出力される。そしてコンパレータ８の
出力信号はＨＶアンプ９で増幅され、ＰＺＴスキャナ１
のＺ駆動部に入力される。これによってＰＺＴスキャナ
１のＺ駆動部にフィードバックがかかり、試料２の試料
面のＺ方向位置は、試料２とカンチレバー３との間の原
子間力が一定になるように制御される。
電変換器７の出力信号はコンパレータ８に入力される
が、干渉光強度信号には基準信号Ref が重畳される。こ
れによりコンパレータ８からはカンチレバー３の変位量
に対応した信号が出力される。そしてコンパレータ８の
出力信号はＨＶアンプ９で増幅され、ＰＺＴスキャナ１
のＺ駆動部に入力される。これによってＰＺＴスキャナ
１のＺ駆動部にフィードバックがかかり、試料２の試料
面のＺ方向位置は、試料２とカンチレバー３との間の原
子間力が一定になるように制御される。
【０００７】即ち、カンチレバー３と光ファイバ１０の
端面との距離は、カンチレバー３と試料２との間の原子
間力により変化し、それに伴って光電変換器６の出力で
ある干渉光強度信号が変化するが、試料２は、この干渉
光強度信号の変化量を一定に保つように、カンチレバー
３に対する試料面の高さが制御されるのである。従っ
て、このＺ駆動信号を輝度信号としてＸＹ平面を走査す
ることによって原子間力が一定となるときのＡＦＭ像が
得られる。
端面との距離は、カンチレバー３と試料２との間の原子
間力により変化し、それに伴って光電変換器６の出力で
ある干渉光強度信号が変化するが、試料２は、この干渉
光強度信号の変化量を一定に保つように、カンチレバー
３に対する試料面の高さが制御されるのである。従っ
て、このＺ駆動信号を輝度信号としてＸＹ平面を走査す
ることによって原子間力が一定となるときのＡＦＭ像が
得られる。
【０００８】例えば、いまカンチレバー３が変位してい
ないとき、即ち試料２からの原子間力を受けていないと
きにコンパレータ８の出力が０Ｖとなるように光電変換
器６，７の光電変換率が調整されており、基準信号Ref
として０Ｖを与えた場合には、試料２の試料面の位置は
常にカンチレバー３が変位していない状態になるように
制御され、また基準電圧Ref として検出したい原子間力
に対応した電圧を与えると、試料２の試料面の位置は当
該基準電圧Ref に対応する原子間力が常に一定になるよ
うに制御される。
ないとき、即ち試料２からの原子間力を受けていないと
きにコンパレータ８の出力が０Ｖとなるように光電変換
器６，７の光電変換率が調整されており、基準信号Ref
として０Ｖを与えた場合には、試料２の試料面の位置は
常にカンチレバー３が変位していない状態になるように
制御され、また基準電圧Ref として検出したい原子間力
に対応した電圧を与えると、試料２の試料面の位置は当
該基準電圧Ref に対応する原子間力が常に一定になるよ
うに制御される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような光干渉法を用いてカンチレバーの変位量を検出
するものにおいては干渉光強度信号の絶対値の変化を検
出して原子間力に換算するので、熱ドリフト等によって
光ファイバー１０の端面とカンチレバー３との距離が変
化した場合にも干渉光強度信号が変化し、これが原子間
力の変化として検出されてしまい、原子間力を一定にす
るモードで観察した場合、熱ドリフトによって光ファイ
バー１０の端面とカンチレバー３との距離が変化してい
るのにも拘らず実際に原子間力が変化したと検出されて
正しいＡＦＭ像が得られないばかりか、熱ドリフトの方
向によってはカンチレバーが試料面に接触し、試料表面
を傷つけてしまう場合があるという問題がある。
たような光干渉法を用いてカンチレバーの変位量を検出
するものにおいては干渉光強度信号の絶対値の変化を検
出して原子間力に換算するので、熱ドリフト等によって
光ファイバー１０の端面とカンチレバー３との距離が変
化した場合にも干渉光強度信号が変化し、これが原子間
力の変化として検出されてしまい、原子間力を一定にす
るモードで観察した場合、熱ドリフトによって光ファイ
バー１０の端面とカンチレバー３との距離が変化してい
るのにも拘らず実際に原子間力が変化したと検出されて
正しいＡＦＭ像が得られないばかりか、熱ドリフトの方
向によってはカンチレバーが試料面に接触し、試料表面
を傷つけてしまう場合があるという問題がある。
【００１０】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、光干渉法によりカンチレバーの変位量を検出する
原子間力顕微鏡において、熱ドリフト等のノイズによる
干渉光強度信号の変化を検出することがない原子間力顕
微鏡を提供することを目的とするものである。
って、光干渉法によりカンチレバーの変位量を検出する
原子間力顕微鏡において、熱ドリフト等のノイズによる
干渉光強度信号の変化を検出することがない原子間力顕
微鏡を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の原子間力顕微鏡は、光干渉法によりカン
チレバーの変位量を検出する原子間力顕微鏡において、
試料とカンチレバーを所定の周期、振幅で相対的に振動
させる振動手段と、干渉光を光電変換した信号と、前記
試料とカンチレバーの相対的振動を行わせる信号に基づ
いて、カンチレバーの変位量に相当する干渉光の強度変
化分の信号を出力する手段と、前記手段からの信号に基
づいて試料とカンチレバーとの距離を制御する手段とを
備えることを特徴とする。
めに、本発明の原子間力顕微鏡は、光干渉法によりカン
チレバーの変位量を検出する原子間力顕微鏡において、
試料とカンチレバーを所定の周期、振幅で相対的に振動
させる振動手段と、干渉光を光電変換した信号と、前記
試料とカンチレバーの相対的振動を行わせる信号に基づ
いて、カンチレバーの変位量に相当する干渉光の強度変
化分の信号を出力する手段と、前記手段からの信号に基
づいて試料とカンチレバーとの距離を制御する手段とを
備えることを特徴とする。
【００１２】
【作用】試料とカンチレバーは振動手段によって所定の
周期、振幅で振動される。そして、干渉光を光電変換し
て得られる信号と、前記試料とカンチレバーの相対的振
動を行わせるための信号に基づいて、カンチレバーの変
位量に相当する干渉光強度の信号変化が得られる。そし
て、この信号に基づいて、試料とカンチレバーとの距離
が制御される。
周期、振幅で振動される。そして、干渉光を光電変換し
て得られる信号と、前記試料とカンチレバーの相対的振
動を行わせるための信号に基づいて、カンチレバーの変
位量に相当する干渉光強度の信号変化が得られる。そし
て、この信号に基づいて、試料とカンチレバーとの距離
が制御される。
【００１３】これによって、熱ドリフト等のノイズに基
づく干渉光強度信号成分を除去することができ、カンチ
レバーの変位量分だけの干渉光強度信号成分のみ検出す
ることができる。
づく干渉光強度信号成分を除去することができ、カンチ
レバーの変位量分だけの干渉光強度信号成分のみ検出す
ることができる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
【００１５】図１は本発明に係る原子間力顕微鏡の一実
施例の構成を示す図であり、図中、１１は容器、１２は
Ｚモデュレーション用ＰＺＴ、１３は支持台、１４、１
５はネジ、１６は発振器、１７はロック・イン・アンプ
（以下、ＬＩＡと称す）、１８はコンパレータ、１９は
変位量調整用増幅器、２０はＨＶアンプを示す。なお、
図１において図６に示す構成要素と同等な構成要素につ
いては同一の符号を付す。
施例の構成を示す図であり、図中、１１は容器、１２は
Ｚモデュレーション用ＰＺＴ、１３は支持台、１４、１
５はネジ、１６は発振器、１７はロック・イン・アンプ
（以下、ＬＩＡと称す）、１８はコンパレータ、１９は
変位量調整用増幅器、２０はＨＶアンプを示す。なお、
図１において図６に示す構成要素と同等な構成要素につ
いては同一の符号を付す。
【００１６】ＰＺＴスキャナ１は容器１１に収納されて
おり、このＰＺＴスキャナ１の上部にはＺモデュレーシ
ョン用ＰＺＴ１２が設けられ、更にその上には試料２が
セットされる。カンチレバー３及び光ファイバ１０は支
持台１３によって支持されており、ネジ１４、１５によ
ってカンチレバー３と試料２との距離が調整可能となさ
れている。ＰＺＴスキャナ１には、カンチレバー３に対
して試料２を走査するためのＸ，Ｙの走査信号及びＨＶ
アンプ２０の出力であるＺ駆動信号が印加され、Ｚモデ
ュレーション用ＰＺＴ１２には発振器１６の出力信号が
印加される。
おり、このＰＺＴスキャナ１の上部にはＺモデュレーシ
ョン用ＰＺＴ１２が設けられ、更にその上には試料２が
セットされる。カンチレバー３及び光ファイバ１０は支
持台１３によって支持されており、ネジ１４、１５によ
ってカンチレバー３と試料２との距離が調整可能となさ
れている。ＰＺＴスキャナ１には、カンチレバー３に対
して試料２を走査するためのＸ，Ｙの走査信号及びＨＶ
アンプ２０の出力であるＺ駆動信号が印加され、Ｚモデ
ュレーション用ＰＺＴ１２には発振器１６の出力信号が
印加される。
【００１７】レーザ光源４からのレーザ光は、光カプラ
５及び光ファイバ１０を介してカンチレバー３へ導かれ
る。光ファイバ１０を介してカンチレバー３に導かれた
レーザ光の殆どはカンチレバー３の表面で反射して再び
光ファイバ１０に入射するが、カンチレバー３側に導か
れたレーザ光の数％程度は光ファイバ１０の端面で反射
し、光ファイバ１０の中を逆方向に進行する。これによ
ってカンチレバー３で反射したレーザ光と光ファイバ１
０の端面で反射したレーザ光が干渉する。この干渉光は
光ファイバ１０を逆方向に進行し、光カプラ５により光
電変換器６に導かれ電気信号に変換され、干渉光強度信
号が出力される。
５及び光ファイバ１０を介してカンチレバー３へ導かれ
る。光ファイバ１０を介してカンチレバー３に導かれた
レーザ光の殆どはカンチレバー３の表面で反射して再び
光ファイバ１０に入射するが、カンチレバー３側に導か
れたレーザ光の数％程度は光ファイバ１０の端面で反射
し、光ファイバ１０の中を逆方向に進行する。これによ
ってカンチレバー３で反射したレーザ光と光ファイバ１
０の端面で反射したレーザ光が干渉する。この干渉光は
光ファイバ１０を逆方向に進行し、光カプラ５により光
電変換器６に導かれ電気信号に変換され、干渉光強度信
号が出力される。
【００１８】干渉光強度信号はＬＩＡ１７に入力される
が、ＬＩＡ１７には発振器１６からの信号も入力され
る。発振器１６は、図２に示すように、正弦波状の信号
を出力する。発振器１６の出力信号は変位量調整用増幅
器１９で増幅され、Ｚモデュレーション用ＰＺＴ１２に
入力される。これによって試料２はＺ方向に振動される
ことになる。ここで、Ｚモデュレーション用ＰＺＴ１２
に入力される正弦波状信号の振幅は、この正弦波状信号
によるカンチレバー３の変位量が検出しようとする原子
間力に対応した変位量より大きくなるように変位量調整
用増幅器１９で調整される。また、当該正弦波状信号の
周波数は、この周波数によってスキャンスピードの上限
が決定されてしまうので、カンチレバー３の固有振動数
より小さい範囲でなるべく大きく設定する。
が、ＬＩＡ１７には発振器１６からの信号も入力され
る。発振器１６は、図２に示すように、正弦波状の信号
を出力する。発振器１６の出力信号は変位量調整用増幅
器１９で増幅され、Ｚモデュレーション用ＰＺＴ１２に
入力される。これによって試料２はＺ方向に振動される
ことになる。ここで、Ｚモデュレーション用ＰＺＴ１２
に入力される正弦波状信号の振幅は、この正弦波状信号
によるカンチレバー３の変位量が検出しようとする原子
間力に対応した変位量より大きくなるように変位量調整
用増幅器１９で調整される。また、当該正弦波状信号の
周波数は、この周波数によってスキャンスピードの上限
が決定されてしまうので、カンチレバー３の固有振動数
より小さい範囲でなるべく大きく設定する。
【００１９】さて、図１の構成において、まずネジ１
４，１５を操作してカンチレバー３を試料２に数オング
ストロームの距離までまで接近させる。このとき、試料
２は発振器１６からの正弦波状信号によりＺ方向に振動
しているため、発振器１６の出力信号が最大値ＶMax と
なる場合には、図３Ａに示すように、試料２はカンチレ
バー３から原子間力が働かない程度の距離まで大きく離
れ、最小値ＶMin となる場合には、図３Ｂに示すように
試料２はカンチレバー３に接触する状態となる。
４，１５を操作してカンチレバー３を試料２に数オング
ストロームの距離までまで接近させる。このとき、試料
２は発振器１６からの正弦波状信号によりＺ方向に振動
しているため、発振器１６の出力信号が最大値ＶMax と
なる場合には、図３Ａに示すように、試料２はカンチレ
バー３から原子間力が働かない程度の距離まで大きく離
れ、最小値ＶMin となる場合には、図３Ｂに示すように
試料２はカンチレバー３に接触する状態となる。
【００２０】従って、光ファイバ１０を戻ってくる干渉
光の強度は、図３Ａに示す状態においてはカンチレバー
３が変位していないときの強度（ＩBG）となり、図３Ｂ
に示す状態においてはカンチレバー３が変位していると
きの強度（ＩBG＋ＩSIG ）となるので、この干渉光を光
電変換器６で光電変換して得られる出力信号は、図４Ｂ
に示すようになる。なお、図４Ａは発振器１６の出力信
号を示す。
光の強度は、図３Ａに示す状態においてはカンチレバー
３が変位していないときの強度（ＩBG）となり、図３Ｂ
に示す状態においてはカンチレバー３が変位していると
きの強度（ＩBG＋ＩSIG ）となるので、この干渉光を光
電変換器６で光電変換して得られる出力信号は、図４Ｂ
に示すようになる。なお、図４Ａは発振器１６の出力信
号を示す。
【００２１】そこで、光電変換器６の出力信号を発振器
１６の出力信号と同期させてＬＩＡ１７に入力させて比
較し、処理することによって、カンチレバー３の変位量
分の干渉光強度（ＩSIG ）に相当した信号のみが得られ
る。そして、このＬＩＡ１７の出力信号は、コンパレー
タ１８で基準信号Ref と比較され、ＨＶアンプ２０で増
幅されてＰＺＴスキャナ１のＺ駆動部にフィードバック
される。これによって試料２の試料面の位置は基準電圧
Ref に対応する原子間力が常に一定になるように制御さ
れる。
１６の出力信号と同期させてＬＩＡ１７に入力させて比
較し、処理することによって、カンチレバー３の変位量
分の干渉光強度（ＩSIG ）に相当した信号のみが得られ
る。そして、このＬＩＡ１７の出力信号は、コンパレー
タ１８で基準信号Ref と比較され、ＨＶアンプ２０で増
幅されてＰＺＴスキャナ１のＺ駆動部にフィードバック
される。これによって試料２の試料面の位置は基準電圧
Ref に対応する原子間力が常に一定になるように制御さ
れる。
【００２２】この構成によれば、光電変換器６の出力信
号、即ち干渉光の強度は、ファイバー１０の端面とカン
チレバー３との距離の変化に対して数10ｎｍの範囲で略
リニアに変化するので、この範囲内の熱ドリフト等によ
るファイバー１０の端面とカンチレバー３の間の距離の
変化に対しては、Ｚ駆動に吸収され、従来のように疑似
的な原子間力には換算されないので、コンパレータ１８
の出力は正しく試料２の表面の凹凸を表すものとなる。
なお、熱ドリフトは通常連続的に変化するものであり、
表面の凹凸というよりは表面の傾斜として現れるが、原
子間力を一定にして試料の表面の像を得るモードにおい
ては特に問題とはならないものである。
号、即ち干渉光の強度は、ファイバー１０の端面とカン
チレバー３との距離の変化に対して数10ｎｍの範囲で略
リニアに変化するので、この範囲内の熱ドリフト等によ
るファイバー１０の端面とカンチレバー３の間の距離の
変化に対しては、Ｚ駆動に吸収され、従来のように疑似
的な原子間力には換算されないので、コンパレータ１８
の出力は正しく試料２の表面の凹凸を表すものとなる。
なお、熱ドリフトは通常連続的に変化するものであり、
表面の凹凸というよりは表面の傾斜として現れるが、原
子間力を一定にして試料の表面の像を得るモードにおい
ては特に問題とはならないものである。
【００２３】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例ではカンチレ
バーに対して試料を走査するものとしたが、試料に対し
てカンチレバーを走査することも勿論可能である。図５
はその構成例を示す図であり、試料２は試料台２４上に
載置されている。また、光ファイバ１０及びカンチレバ
ー３は支持部材２３に支持されており、この支持部材２
３は円筒状のＰＺＴスキャナ２１の先端に固定されてい
る。そして、円筒状のＰＺＴスキャナ２１の所定の位置
には円筒状のＺモデュレーション用ＰＺＴ２２が設けら
れている。従って、この円筒状のＰＺＴスキャナ２１に
Ｘ，Ｙ走査信号を入力することによって試料２に対して
カンチレバー３及び光ファイバ１０を走査することがで
き、更に円筒状のＺモデュレーション用ＰＺＴ２２に図
１の変位量調整用増幅器１９の出力信号を入力すること
により試料２に対してカンチレバー３及び光ファイバ１
０を共に上述したと同様に振動させることができる。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例ではカンチレ
バーに対して試料を走査するものとしたが、試料に対し
てカンチレバーを走査することも勿論可能である。図５
はその構成例を示す図であり、試料２は試料台２４上に
載置されている。また、光ファイバ１０及びカンチレバ
ー３は支持部材２３に支持されており、この支持部材２
３は円筒状のＰＺＴスキャナ２１の先端に固定されてい
る。そして、円筒状のＰＺＴスキャナ２１の所定の位置
には円筒状のＺモデュレーション用ＰＺＴ２２が設けら
れている。従って、この円筒状のＰＺＴスキャナ２１に
Ｘ，Ｙ走査信号を入力することによって試料２に対して
カンチレバー３及び光ファイバ１０を走査することがで
き、更に円筒状のＺモデュレーション用ＰＺＴ２２に図
１の変位量調整用増幅器１９の出力信号を入力すること
により試料２に対してカンチレバー３及び光ファイバ１
０を共に上述したと同様に振動させることができる。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、干渉光を光電変換した信号と、前記試料とカ
ンチレバーの相対的振動を行わせる信号に基づいて、カ
ンチレバーの変位量に相当する干渉光の強度変化分の信
号を出力し、その出力信号に基づいて試料とカンチレバ
ーとの距離を制御するようにしたので、カンチレバーの
変位量を従来より高感度に検出することができる。ま
た、本発明においては、熱ドリフトが発生しても、カン
チレバーと試料間の距離が一定に保たれるように制御さ
れるので、カンチレバーによって試料面が傷つけられる
ことはない。
によれば、干渉光を光電変換した信号と、前記試料とカ
ンチレバーの相対的振動を行わせる信号に基づいて、カ
ンチレバーの変位量に相当する干渉光の強度変化分の信
号を出力し、その出力信号に基づいて試料とカンチレバ
ーとの距離を制御するようにしたので、カンチレバーの
変位量を従来より高感度に検出することができる。ま
た、本発明においては、熱ドリフトが発生しても、カン
チレバーと試料間の距離が一定に保たれるように制御さ
れるので、カンチレバーによって試料面が傷つけられる
ことはない。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 発振器１６の出力信号の波形を示す図であ
る。
る。
【図３】 発振器１６からの信号による試料の振動を説
明するための図である。
明するための図である。
【図４】 図１における光電変換器６の出力信号の波形
を示す図である。
を示す図である。
【図５】 本発明の変形例を示す図である。
【図６】 光干渉法を用いた従来の原子間力顕微鏡の構
成例を示す図である。
成例を示す図である。
【図７】 干渉光の強度を示す図である。
１…ＰＺＴスキャナ１、２…試料、３…カンチレバー、
４…レーザ光源、５…光カプラ、６，７…光電変換器、
８…コンパレータ、９…ＨＶアンプ、１０…光ファイ
バ、１１…容器、１２…Ｚモデュレーション用ＰＺＴ、
１３…支持台、１４、１５…ネジ、１６…発振器、１７
…ロック・イン・アンプ、１８…コンパレータ、１９…
変位量調整用増幅器、２０…ＨＶアンプ。
４…レーザ光源、５…光カプラ、６，７…光電変換器、
８…コンパレータ、９…ＨＶアンプ、１０…光ファイ
バ、１１…容器、１２…Ｚモデュレーション用ＰＺＴ、
１３…支持台、１４、１５…ネジ、１６…発振器、１７
…ロック・イン・アンプ、１８…コンパレータ、１９…
変位量調整用増幅器、２０…ＨＶアンプ。
Claims (1)
- 【請求項１】光干渉法によりカンチレバーの変位量を検
出する原子間力顕微鏡において、 試料とカンチレバーを所定の周期、振幅で相対的に振動
させる振動手段と、 干渉光を光電変換した信号と、前記試料とカンチレバー
の相対的振動を行わせる信号に基づいて、カンチレバー
の変位量に相当する干渉光の強度変化分の信号を出力す
る手段と、 前記手段からの信号に基づいて試料とカンチレバーとの
距離を制御する手段とを備えることを特徴とする原子間
力顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267018A JP2994877B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 原子間力顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267018A JP2994877B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 原子間力顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117846A JPH06117846A (ja) | 1994-04-28 |
| JP2994877B2 true JP2994877B2 (ja) | 1999-12-27 |
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ID=17438916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4267018A Expired - Fee Related JP2994877B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 原子間力顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2994877B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008083694A1 (de) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Nambition Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur untersuchung biologischer systeme sowie festkörpersysteme |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP4267018A patent/JP2994877B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06117846A (ja) | 1994-04-28 |
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