JP2991459B2 - 荷電ビーム描画用データの作成方法及び作成装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、LSI設計データからの荷電ビーム描画装置
用の描画データ作成処理（データ変換）を並列に高速で
実行する荷電ビーム描画用データの作成方法及び作成装
置に関する。

（従来の技術） 従来、LSIの設計データ（パターンデータ）から電子
ビーム描画装置に許容される描画データ（EBデータ）を
作成するためのデータ変換処理は、多くの場合ミニコン
等の汎用計算機を使ってソフトウェアで行われてきた。
また、大規模データに対処するためメモリのように同一
パターンが繰返し現れるLSIについては、繰返し単位の
みについてデータ処理を施し、残りについては処理を省
略するという手段が使われている。

しかしながら、最近のLSIの集積度の増加により、EB
データへのデータ変換に要する時間が膨大になってきて
いる。例えば、先端的メモリデバイスでは計算機処理に
数日〜１週間程度かかるとの報告も出て来ている。繰返
し情報を使って処理の高速化がはかれるメモリパターン
においてもこのような状況で、この手法による処理の高
速化が望めないロジック回路やゲームアレイ等の規則性
が少ないパターンでは更に問題が深刻化するという状況
にある。

従って、このような非規則性LSIパターンに対しても
有効な、データ変換処理の新たな高速化手段を開発する
必要があった。しかもこの要求は、将来ますます大規模
化するLSIに対しても、電子ビーム描画装置を実用に供
していく上で必須の課題となっている。

（発明が解決しようとする課題） このように従来、電子ビーム描画装置を実用に供して
いく上で、LSIパターンデータからEBデータを高速で作
成する必要が生じている。また、この問題は電子ビーム
描画装置に限らず、イオンビーム描画装置についても同
様にいえることである。

本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その
目的とするところは、LSIパターンデータから荷電ビー
ム描画装置に許容される描画データを高速で作成するこ
とができ、描画スループットの向上等に寄与し得る荷電
ビーム描画データの作成方法及び作成装置を提供するこ
とにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の骨子は、ブロック単位のパターンデータを並
列処理で高速に描画データに変換することにある。その
ための手段として、ホスト計算機から並列プロセッサに
転送されるブロック単位のパターンデータを、パイプラ
イン或いは並列処理等の方式の処理ユニットに順次転送
し、各処理ユニットを並列に動作させて該パターンデー
タを描画データに変換し、処理結果を適当な個数の処理
ユニット毎にグループ化し、複数の記憶手段または記憶
手段を有する複数の計算機に分割格納して収集する機能
を具備させる。

即ち本発明は、LSIパターンデータの所定のデータ空
間を互いに相関のない小領域のブロックに分割し、該分
割されたブロック単位のパターンデータを荷電ビーム描
画装置に許容されるフォーマットの描画データに変換す
る荷電ビーム描画用データの作成方法において、異なる
処理を行うプロセッサを複数個直列に接続してなるパイ
プライン構成の処理ユニット、若しくは同じ処理を行う
プロセッサを複数個直列に接続してなる並列処理構成の
処理ユニット、又はパイプライン構成の処理ユニットと
並列処理構成の処理ユニットの双方を複数個用い、これ
らの処理ユニットにホスト計算機から転送されるブロッ
ク単位のパターンデータを順次転送し、各処理ユニット
を並列に動作させて該パターンデータを描画データに変
換し、この変換による処理結果を複数の処理ユニット毎
にグループ化して分割収集することを特徴としている。

また本発明は、LSIパターンデータの所定のデータ空
間を互いに相関のない小領域のブロックに分割し、該分
割されたブロック単位のパターンデータを荷電ビーム描
画装置に許容されるフォーマットの描画データに変換す
る荷電ビーム描画用データの作成装置において、異なる
処理を行う複数のプロセッサを直列に接続してなり、ブ
ロック単位のパターンデータを描画データに変換するパ
イプライン構成の図形演算クラスタをＮ個並列に設け
た、又は同じ処理を行うプロセッサを複数個直列に接続
してなる並列構成の図形演算クラスタをＮ個並列に設け
た図形演算処理部と、ブロック単位のパターンデータを
一時保持するプロセッサをＮ個直列に接続すると共に各
プロセッサを前記図形演算処理部の各図形演算クラスタ
にそれぞれ接続してなり、ホスト計算機から転送された
ブロック単位のパターンデータを次々と先のプロセッサ
又は前記図形演算処理部の１つの図形演算クラスタに転
送するデータ分配部と、ブロック単位の描画データを一
時保持するＮ個のプロセッサを所定のグループ毎に複数
個直列に接続すると共に各プロセッサを前記図形演算処
理部の各図形演算クラスタにそれぞれ接続してなり、前
記図形演算処理部の各図形演算クラスタで変換されたブ
ロック単位の描画データを収集する結果収集部と、これ
らの結果収集部に一時保持された前記変換による処理結
果を、前記グループ毎に分割収集する手段とを具備して
なることを特徴としている。

（作用） 本発明によれば、異なる処理を行うプロセッサを複数
個直列に接続してなるパイプライン構成の処理ユニッ
ト、又は同じ処理を行うプロセッサを複数個直列に接続
してなる並列処理構成の処理ユニットを複数個用いるこ
とにより、ブロック単位のパターンデータの複数個を同
時に描画データに変換することができ、これによりデー
タ変換に要する時間を大幅に短縮することができる。従
って、非規則性LSIパターンに対しても、高速でデータ
変換を行うことができ、描画スループットに寄与するこ
とが可能となる。

これに加えて本発明では、パイプライン構成或いは並
列処理構成の処理ユニットを複数個並列動作させて、ブ
ロック単位のパターンデータの複数個を同時に描画デー
タに変換するのと平行して、処理結果の収集を分割して
並列に実行する。この結果、処理後のブロックデータ量
が増加しても収集部でのボトルネックを回避、又は大幅
に低減することができ、処理ユニットの並列化の効果が
最大限に生きてくる。

（実施例） まず、実施例を説明する前に、本発明の基本となった
先願について説明する。本発明者らは、前述した問題点
を解決するために、第12図に示すようなパイプライン方
式のデータ作成装置（特願昭63−314298号）、及び第13
図に示すような並列方式のデータ作成装置（特願平１−
314192号）を既に提案している。

第12図及び第13図において、１はデータ分配部（分配
クラスタ）、2,4は並列処理ユニット（図形演算クラス
タ）、３は結果収集部（マージクラスタ）を示してい
る。これらの装置においては、LSIパターンデータの所
定のデータ空間を互いに相関のない小領域のブロックに
分割し、該分割されたブロック単位のパターンデータに
種々の図形演算を施し、荷電ビーム描画装置に許容され
る描画データに変換する。荷電ビーム描画用データの作
成方法において、第12図では異なる処理を行うプロセッ
サを複数個直列に接続してなるパイプライン構成の処理
ユニットを複数個用い、また第13図では同一の処理を行
う並列処理構成の処理ユニットを複数個用い、ホスト計
算機から転送されるブロック単位のパターンデータを順
次分配部からいずれかの処理ユニットに分配し、各処理
ユニットを並列に動作させて該パターンデータを描画デ
ータに変換する方法をとっている。

より具体的には、少なくとも２つの入出力端か入出力
端に相当する通信用ポートを持つプロセッサを１個以上
並べて処理ユニットを構成し、この処理ユニットを複数
個並列に動作させてブロック単位のデータ変換を実行す
る。また、該処理ユニットへのブロック単位のパターン
データの分配は同上の特徴を有するプロセッサを複数個
カスケードに接続し、ポスト計算機から少なくとも１つ
のプロセッサに転送されたブロック単位のパターンデー
タを次々と先のプロセッサに転送し、該処理ユニットか
らの要求があれば残りの入出力端を通してブロック単位
のパターンデータを転送することによって行う。

このような方式によって、ブロック単位のパターンデ
ータの複数個を同時に描画データに変換することがで
き、これによりデータ変換に要する時間を大幅に短縮す
ることができる。従って、非規則性LSIパターンに対し
ても、高速でデータ変換を行うことができ、描画スルー
プットに寄与することが可能となる。しかしながら、第
12図及び第13図に示す方式においては、多くの場合、処
理後のブロックデータ量は処理前と比較して大幅に増加
する。このため、これらの方式では結果を収集する部分
での処理速度がボトルネックとなり、処理ユニットを並
列化した効果を十分生かしきれない虞れがある。

そこで本発明では、ブロック単位のパターンデータの
複数個を同時に描画データに変換するのと平行して、処
理ユニットをグループ分けし、処理結果の収集を分割し
て並列に実行することにより、上記問題をも解決してい
る。

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第２図は本発明の一実施例に係わるデータ作成装置
（並列変換プロセッサと）ホスト計算機の接続を示すブ
ロック図である。ホスト計算機６のディスク７に格納さ
れたLSI設計データは、ホスト計算機６でブロックデー
タに分割された後、並列変換プロセッサ９で処理され
る。そして、処理後のブロックデータは再びホスト計算
機６に戻される。

第１図は本発明の一実施例に係わるデータ作成装置の
具体的構成を示すブロック図である。最上段のデータ分
配部（分配クラスタ）10ではブロックデータを下段の処
理ユニットに分配する機能を持つ。第2,3段はブロック
データに図形演算を施す図形演算処理部20で、各処理ユ
ニット２段のパイプラインになっている。処理結果のブ
ロックデータは最下段の結果収集部（マージクラスタ）
30で集める。ここまでの構成は先に説明した第12図の装
置と同様であるが、これに加えて本実施例では、結果収
集部30をｐ個のグループに分け、各グループで処理ユニ
ット３列毎にまとめてサブ計算機41にとりこむようにし
ている。

より具体的には本実施例では、全体機能を３つに分
け、各機能を専用のクラスタ（プロセッサ群）で処理す
る。即ち、データの分配を分配クラスタ10で、図形演算
を複数の図形演算クラスタ21（21₁〜21_N）で、処理結果
の収集をマージクラスタ30で処理する。各クラスタでは
数百Ｋバイトオーダのローカルメモリを持つ複数のプロ
セッサエレメント（PE）が1Mバイト/sec程度のデータリ
ンクで結合されている。また、クラスタ間の処理はパイ
プライン的に実行される。

分配クラスタ10は、ホスト計算機から転送されたブロ
ック単位のパターンデータを、複数の図形演算クラスタ
21からなる図形演算処理部20に分配する。データの分配
は、図形演算クラスタ21から要求を受けたPEがブロック
単位で転送する、という形で行われる。要求が無い場合
は、他の図形演算クラスタ21の要求に応えるため次のPE
に先送りする。次のPEが一杯の場合、図形演算クラスタ
21の新たな要求を持つか、一杯のPEが空くのを待つ。こ
のようにして、各図形演算クラスタ21の負荷がほぼ均質
になるようにブロック単位のパターンデータを供給する
役割を果す。

図形演算クラスタ21は、分配クラスタ10から供給され
たブロックデータに図形演算処理を施し、結果をマージ
クラスタ30に出力する。図示のように図形演算クラスタ
21は複数個あっても、並列に動作する。また、クラスタ
内部の処理もパイプラインである。各PEがパイプライン
ステージを構成し、前後のPEとの通信及びPE内部での図
形演算処理を並行して行う。パイプステージ間ではブロ
ック単位でデータが移動する。図形演算クラスタ21では
最も処理時間の長いステージでスループットが制限され
る。このため、各ステージで処理時間が均等になるよう
に処理を分割する必要がある。

マージクラスタ30は図形演算クラスタ21から処理結果
を受取り、ブロックデータを１単位として出力する。マ
ージクラスタ30の各PEは図形演算クラスタ21からのブロ
ックデータの受取りと次のPEへの転送を並行して行う。
ここで、マージクラスタ30は複数個（例えば３個）のプ
ロセッサ毎にグループ分けされ、各グループ毎にサブ計
算機41（41₁〜41_P）が接続されている。そして、処理結
果のブロックデータはグループ毎にサブ計算機41のメモ
リ42（42₁〜42_P）に格納され、前記ホスト計算機６に送
出されるものとなっている。

本実施例では、第３図に示すようなブロックデータを
用いる。サイズ可変のブロックデータを扱うため、第３
図（ａ）に示すようにデータサイズ，ブロック番号及び
図形データで構成する。処理前は第３図（ｂ）に示すよ
うにブロック番号順に並んでいる。但し、ここで全ブロ
ック数はＢ個としてある。

第４図は第１グループのサブ計算機41₁の主メモリ42₁
に作成するディレクトリとディスク格納イメージを示し
ている。このグループには2,13,9,…Ｂ−9,Bの順で処理
済みのブロックデータが現れると仮定してある。主記憶
にはブロックデータの番号と、ディスク格納番地からな
るディレクトリテーブルが第４図（ａ）のように登録さ
れる。また、これに対応してディスクにはブロックデー
タが第４図（ｂ）のように格納される。

第５図（ａ）は、全ブロック終了後、第ｋサブ計算機
の主メモリに生成されたディレクトリテーブルである。
ブロック番号はランダムである。これを、ブロック番号
でソートすると、第５図（ｂ）が得られる。この後、各
サブ計算機41は第５図（ｂ）のようにソートしたディレ
クトリテーブルからブロック番号列をホスト計算機６に
対して転送する。

一方、ホスト計算機６はブロック番号にサブ計算機番
号を付加して第６図（ａ）のようなテーブルを作る。こ
れも、更にブロック番号でソートして、第６図（ｂ）の
ディレクトリテーブルを作る。サブ計算機41に溜め込ま
れた処理結果を収集する際、ホスト計算機６はこのソー
トされたディレクトリに沿って順次各サブ計算機41にブ
ロックデータ転送指示を出す。

各サブ計算機41も第５図（ｂ）のようにソートされた
ディレクトリに沿って、ホスト計算機６からブロックデ
ータの転送指示が来る毎にディレクトリテーブルから順
次ディスク番地を取り出して、ディスクの読み出しを行
い、ホスト計算機６に転送する。これにより、ホスト計
算機６のディスクには番号順のブロックデータが形成さ
れる。この方法ではブロックデータがサブ計算機41のデ
ィスクに分散して格納されている。このため、複数ディ
スクの読み出しをオーバラップさせて、等価的に読み出
し速度を高めることができる。

第７図は本発明の第２の実施例の概略構成を示すブロ
ック図である。なお、第１図と同一部分には同一符号を
付して、その詳しい説明は省略する。この実施例が先に
説明した第１の実施例と異なる点は、サブ計算機の代わ
りにバルクメモリを設けたことにある。

この実施例では、収集されたブロックデータはグルー
プ毎にバルクメモリ50（50₁〜50_P）に格納される。そし
て、一通り処理が終った後に分割収集されたデータがホ
スト計算機６に転送される。第８図（ａ）はバルクメモ
リ50からホスト計算機６に転送されたブロックデータを
示す。データ量が少ない場合は主記憶に格納された状
態、多い場合はディスクに格納された状態を示してい
る。この状態では、ブロック番号は全くランダムであ
る。この後、ブロック番号でソートして、第８図（ｂ）
のようにブロック番号順に並んだブロックデータを群を
得る。ディスクに格納されたブロックデータのソートを
高速で行う方法は、例えばDonald E.Knuth著“The Art
of Computer Programming:Sorting and Searching"（Ad
dison−Wesley社刊）に詳しく掲載されている。

第１及び第２の実施例共に、描画装置にブロックデー
タを転送する際は、ホスト計算機６のディスク７から格
納順に読み出せば良く、ディスクアクセスのオーバヘッ
ドが大幅に低減できる。

第９図は本発明の第３の実施例の概略構成を示すブロ
ック図である。なお、第１図と同一部分には同一符号を
付して、その詳しい説明は省略する。この実施例が先の
第１の実施例と異なる点は、図形演算処理部をパイプラ
イン方式とするのではなく、並列方式としたことであ
り、それ以外は第１の実施例と同様である。即ち、図形
演算処理部60は、同じ処理を行うプロセッサ（PE）を直
列に接続した図形演算クラスタ61（61₁〜61_P）を並列に
配置して構成されている。なお、図形演算クラスタ61の
段数は複数段に限るものではなく、１段であってもよ
い。

本実施例の図形演算クラスタ61は、分配クラスタ10か
ら供給されたブロックデータに図形演算処理を施し、結
果をマージクラスタ30に出力する。図示のように、図形
演算クラスタ61は複数個あって各クラスタのPEは、前の
PEから転送されたブロックデータを転送経路によって識
別し、処理済みのデータの場合そのまま次のPEに転送
し、未処理データの場合図形演算処理を施して次のPEに
転送する機能を持つ。本実施例では、データ転送経路は
先頭（図の最上部）と最後（図の最下部）を除いて２つ
あり、それぞれ処理前と処理済みのブロックデータが転
送される。

第10図は図形演算クラスタ61の各PEにおける処理プロ
セスを示す。図形論理演算プロセス71（図形論理演算
部），処理済みブロックデータ転送プロセス（処理済み
データ転送部）72及び処理前ブロックデータ転送プロセ
ス（処理前データ転送部）73がある。既に述べたよう
に、データ転送経路は２つある。右側の転送経路を流れ
てきた処理前のブロックデータは処理前ブロックデータ
転送プロセス73によって、図形論理演算プロセス71が開
いていれば該プロセス71に転送され、図形論理演算プロ
セス71が開いていなければ次のPEの処理前ブロックデー
タ転送プロセスに転送される。左側の転送経路を流れて
きた処理済みブロックデータは処理済みブロックデータ
転送プロセス72によって、次のPEの処理済みブロックデ
ータ転送プロセスに送られる。また、処理済みブロック
データ転送プロセス72では、図形論理演算プロセス71か
ら受け取った処理済みブロックデータも、同様に次のPE
の処理済みブロックデータ転送プロセスに送られる。

一方、図形論理演算プロセス71は処理前ブロックデー
タ転送プロセス73から送られたブロックデータに図形論
理演算を施し、処理済みブロックデータ転送プロセス72
に送る。このようにして、３つのプロセスが並行して動
作する。並行動作する転送経路は、例えば（Inmos社の
トランスピュータチップ）を使って比較的簡単に実現で
きた。並行動作するプロセスは並列処理言語（例えば、
Occam2）を使って記述することができた。各PEは転送経
路を転送されたブロックデータを前記第３図（ａ）の第
１ワードに示されたデータサイズ分だけ取り込む。処理
前ブロックデータならば図形論理演算を施し、処理結果
について新しいデータサイズを書き込んで次のPEに流
す。

また、第10図の変形例として第11図に示す構成にして
もよい。この例では、処理状態判定プロセス74,入出力
プロセス75,76及び図形論理演算プロセス71がある。こ
の場合、データ転送経路を１つにするため、第３図
（ａ）のデータ構造に例えば識別番号の後の１ワードに
処理前か処理済みかを示す処理状態コードを付加する。
入力プロセス75に転送されたブロックデータは処理状態
判定プロセス74に転送される。処理状態判定プロセス74
では、処理済みのデータであればそのまま出力転送プロ
セスに転送76する。処理前のデータであれば、図形論理
演算プロセス71が開いているか否かを判定し、開いてい
れば図形演算プロセス71に転送する。図形論理演算プロ
セス71が開いていない場合、出力転送プロセス76に転送
する。図形論理演算プロセス71は処理状態判定プロセス
74から送られたブロックデータに図形論理演算を施し、
このデータを処理状態判定プロセス74に戻す。出力プロ
セス76では、上記転送されたブロックデータを次のPEに
転送する。このような構成であっても、第10図と同様の
処理がなされる。

分配クラスタ及びマージクラスタの構成は第１図と全
く同様であり、第９図のような図形演算クラスタを用い
ても第１の実施例と同様の効果が得られる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでは
ない。実施例では図形演算処理部をパイプライン方式又
は並列方式のいずれかとしたが、これらを混在させた方
式としてもよい。また、処理結果を分割収集する記憶手
段又は記憶手段を有する計算機を多重化し、処理結果の
書き込みと読み出しを並列にできるようにしてもよい。
さらに、分割収集する際のグループ化の手段として、グ
ループ当りの処理ユニット数を負荷状況に合わせて調節
すれば、より有効なデータ変換処理が行える。このため
には、ホスト計算機に近い方がデータを受け取る確率が
高いので、グループ当りの処理ユニット数を、ホスト計
算機に近い方で少なく、遠い方で多くなるように調節す
ればよい。

また、ブロックデータとしては、対象電子ビーム描画
装置において、１回のステップ＆リピート中に描画する
単位（１メインフィールド又はサブフィールド）と考え
ることもできる。さらに、ステージ連続移動方式の電子
ビーム描画装置において、１回のステージ連続移動中に
描画する単位（１フレーム）としてもよい。また、LSI
パターンデータが階層的に表現されている場合、上記デ
ータ空間を階層的に表現された１階層（最下位層に限ら
ない）の構成単位とすればよい。さらに、電子ビーム描
画装置が２段偏向方式の場合、前記ブロック単位のデー
タをいずれか一方の偏向領域に相当する単位とすればよ
い。分割して収集した結果をサブ計算機のディスクやバ
ルクメモリに格納せずに直接高速バスに出力してホスト
計算機に転送することも可能である。また、電子ビーム
描画装置に限らず、イオンビーム描画装置にも適用でき
るのは勿論のことである。その他、本発明の要旨を逸脱
しない範囲で、種々変形して実施することができる。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、パイプライン構
成或いは並列処理構成の処理ユニットを複数個並列動作
させてデータ変換を行うことにより、データ変換に要す
る時間を大幅に短縮することができる。従って、非規則
性LSIパターンに対しても、高速でデータ変換を行うこ
とができ、描画スループットの向上等をはかることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例に係わるデータ作成装置
の概略構成を示すブロック図、第２図は並列変換プロセ
ッサとホスト計算機の接続を示すブロック図、第３図は
ブロックデータの構造を示す模式図、第４図は第１の実
施例でのサブディスクの格納方法を示す模式図、第５図
は第１の実施例での第ｋ計算機の格納テーブルを示す模
式図、第６図は第１の実施例でホスト計算機に作られる
格納テーブルを示す模式図、第７図は本発明の第２の実
施例の概略構成を示すブロック図、第８図は第２の実施
例でのホスト計算機に形成されたブロックデータ群を示
す模式図、第９図は本発明の第３の実施例の概略構成を
示すブロック図、第10図及び第11図は図形演算クラスタ
内部のPEで実行するプロセスを示す模式図、第12図及び
第13図は本発明の基本となるデータ作成装置の概略構成
を示すブロック図である。 1,20,60……図形演算処理部、 2,21,61……図形演算クラスタ、 3,30……結果収集部（マージクラスタ）、 ６……ホスト計算機、 ７……ディスク、 ９……並列変換プロセッサ、 10……データ分配部（分配クラスタ）、 41……サブ計算機、 42……メモリ、 50……バルクメモリ。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−193524（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−204125（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−43424（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−154728（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−159014（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/027

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】LSIパターンデータの所定のデータ空間を
   互いに相関のない小領域のブロックに分割し、該分割さ
   れたブロック単位のパターンデータを荷電ビーム描画装
   置に許容されるフォーマットの描画データに変換する荷
   電ビーム描画用データの作成方法において、 異なる処理を行うプロセッサを複数個直列に接続してな
   るパイプライン構成の処理ユニット、同じ処理を行うプ
   ロセッサを複数個直列に接続してなる並列処理構成の処
   理ユニット、又は上記各処理ユニットの双方を複数個用
   い、 これらの処理ユニットにホスト計算機から転送されるブ
   ロック単位のパターンデータを順次転送し、各処理ユニ
   ットを並列に動作させて該パターンデータを描画データ
   に変換し、 この変換による処理結果を収集するに際して、前記複数
   の処理ユニットを予め所定数毎にグループ化しておき、
   前記変換による処理結果をグループ毎に分割収集するこ
   とを特徴とする荷電ビーム描画用データの作成方法。
2. 【請求項２】前記分割収集する手段として、前記処理ユ
   ニットによる処理結果を複数の記憶手段又は記憶手段を
   有する複数の計算機に分割格納することを特徴とする請
   求項１記載の荷電ビーム描画用データの作成方法。
3. 【請求項３】前記記憶手段又は記憶手段を有する計算機
   を多重化し、処理結果の書き込みと読み出しを並列にで
   きるようにしたことを特徴とする請求項２記載の荷電ビ
   ーム描画用データの作成方法。
4. 【請求項４】前記分割収集する際のグループ化の手段と
   して、グループ当りの処理ユニット数を負荷状況に合わ
   せて調節することを特徴とする請求項１記載の荷電ビー
   ム描画用データの作成方法。
5. 【請求項５】前記グループ当りの処理ユニット数を、ホ
   スト計算機に近い方で少なく、遠い方で多くなるように
   調節することを特徴とする請求項４記載の荷電ビーム描
   画用データの作成方法。
6. 【請求項６】LSIパターンデータの所定のデータ空間を
   互いに相関のない小領域のブロックに分割し、該分割さ
   れたブロック単位のパターンデータを荷電ビーム描画装
   置に許容されるフォーマットの描画データに変換する荷
   電ビーム描画用データの作成装置において、 異なる処理を行う複数のプロセッサを直列に接続してな
   り、ブロック単位のパターンデータを描画データに変換
   するパイプライン構成の図形演算クラスタをＮ個並列に
   設けた図形演算処理部と、 ブロック単位のパターンデータを一時保持するプロセッ
   サをＮ個直列に接続すると共に各プロセッサを前記図形
   演算処理部の各図形演算クラスタにそれぞれ接続してな
   り、ホスト計算機から転送されたブロック単位のパター
   ンデータを次々と先のプロセッサ又は前記図形演算処理
   部の１つの図形演算クラスタに転送するデータ分配部
   と、 ブロック単位の描画データを一時保持するＮ個のプロセ
   ッサを所定のグループ毎に複数個直列に接続すると共に
   各プロセッサを前記図形演算処理部の各図形演算クラス
   タにそれぞれ接続してなり、前記図形演算処理部の各図
   形演算クラスタで変換されたブロック単位の描画データ
   を収集する結果収集部と、 これらの結果収集部に一時保持された前記変換による処
   理結果を、前記グループ毎に分割収集する手段とを具備
   してなることを特徴とする荷電ビーム描画用データの作
   成装置。
7. 【請求項７】LSIパターンデータの所定のデータ空間を
   互いに相関のない小領域のブロックに分割し、該分割さ
   れたブロック単位のパターンデータを荷電ビーム描画装
   置に許容されるフォーマットの描画データに変換する荷
   電ビーム描画用データの作成装置において、 同じ処理を行うプロセッサを複数個直列に接続してなる
   並列構成の図形演算クラスタをＮ個並列に設けた図形演
   算処理部と、 ブロック単位のパターンデータを一時保持するプロセッ
   サをＮ個直列に接続すると共に各プロセッサを前記図形
   演算処理部の各図形演算クラスタにそれぞれ接続してな
   り、ホスト計算機から転送されたブロック単位のパター
   ンデータを次々と先のプロセッサ又は前記図形演算処理
   部の１つの図形演算クラスタに転送するデータ分配部
   と、 ブロック単位の描画データを一時保持するＮ個のプロセ
   ッサを所定のグループ毎に複数個直列に接続すると共に
   各プロセッサを前記図形演算処理部の各図形演算クラス
   タにそれぞれ接続してなり、前記図形演算処理部の各図
   形演算クラスタで変換されたブロック単位の描画データ
   を収集する結果収集部と、 これらの結果収集部に一時保持された前記変換による処
   理結果を、前記グループ毎にグループ化して分割収集す
   る手段とを具備してなることを特徴とする荷電ビーム描
   画用データの作成装置。