JP2987616B2 - バブリング式洗浄槽 - Google Patents
バブリング式洗浄槽Info
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- JP2987616B2 JP2987616B2 JP9032915A JP3291597A JP2987616B2 JP 2987616 B2 JP2987616 B2 JP 2987616B2 JP 9032915 A JP9032915 A JP 9032915A JP 3291597 A JP3291597 A JP 3291597A JP 2987616 B2 JP2987616 B2 JP 2987616B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄槽内に気泡を
噴出するバブリング式洗浄槽に関する。
噴出するバブリング式洗浄槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製品，石英ガラスなどの洗
浄は、ポンプで槽内の薬剤を循環させ、液の流れによる
洗浄と、槽内の薬剤に洗浄物を浸し、作業員がブラシで
こすることで洗浄していたが、被洗浄物の形状によって
は、製品部材の複雑な溝の部分或いは角の部分等が完全
に洗浄されない事態が生じた。これに対処し、超音波発
生装置を洗浄槽に設け、超音波を洗浄槽内に発射し超音
波振動をかけた液中で被洗浄槽内物表面の汚染を落とす
手段が実施されている。しかし、半導体製品、石英ガラ
スなどの洗浄に当っては満足出来ない点もあった。ま
た、洗浄結果を高めるために薬液槽と純水槽の２槽を用
意し、被洗浄物を薬液槽に入れ被洗浄物表面を薬液処理
し落ち易くなった汚れを落とし、更にその後、被洗浄物
を純水槽に移動して洗浄することにより、薬液，汚物を
更に除去する手段か採用された。この従来装置にあって
は、洗浄槽を薬液槽と純水槽の２槽とし、別個に設置さ
れており、薬液槽で洗浄を終了した被洗浄物は、薬液槽
から取り出し離れた洗浄槽に移し変えるような作業をし
ている為、薬液が飛散し、安全性及び洗浄効果が悪く生
産性が向上しなかった。
浄は、ポンプで槽内の薬剤を循環させ、液の流れによる
洗浄と、槽内の薬剤に洗浄物を浸し、作業員がブラシで
こすることで洗浄していたが、被洗浄物の形状によって
は、製品部材の複雑な溝の部分或いは角の部分等が完全
に洗浄されない事態が生じた。これに対処し、超音波発
生装置を洗浄槽に設け、超音波を洗浄槽内に発射し超音
波振動をかけた液中で被洗浄槽内物表面の汚染を落とす
手段が実施されている。しかし、半導体製品、石英ガラ
スなどの洗浄に当っては満足出来ない点もあった。ま
た、洗浄結果を高めるために薬液槽と純水槽の２槽を用
意し、被洗浄物を薬液槽に入れ被洗浄物表面を薬液処理
し落ち易くなった汚れを落とし、更にその後、被洗浄物
を純水槽に移動して洗浄することにより、薬液，汚物を
更に除去する手段か採用された。この従来装置にあって
は、洗浄槽を薬液槽と純水槽の２槽とし、別個に設置さ
れており、薬液槽で洗浄を終了した被洗浄物は、薬液槽
から取り出し離れた洗浄槽に移し変えるような作業をし
ている為、薬液が飛散し、安全性及び洗浄効果が悪く生
産性が向上しなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の点に鑑みて、本
発明は、洗浄性能の高いバブリング洗浄が行なえ、か
つ、洗浄作業中に薬液の飛散がなく安全性の高い作業が
行えるバブリング式洗浄槽を得ることを目的とする。
発明は、洗浄性能の高いバブリング洗浄が行なえ、か
つ、洗浄作業中に薬液の飛散がなく安全性の高い作業が
行えるバブリング式洗浄槽を得ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、１つの洗浄槽
内に隔壁を設けることにより、洗浄槽を薬液槽と純水槽
に分割し、上記各槽の槽底部に発泡装置を設け、発泡装
置には、送風機からの圧空を送られる筐体の圧空流出部
位に、連続多孔質合成樹脂板よりなり親水性処理を施こ
した気泡板を設けたものである。
内に隔壁を設けることにより、洗浄槽を薬液槽と純水槽
に分割し、上記各槽の槽底部に発泡装置を設け、発泡装
置には、送風機からの圧空を送られる筐体の圧空流出部
位に、連続多孔質合成樹脂板よりなり親水性処理を施こ
した気泡板を設けたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面と共に
次に説明する。
次に説明する。
【０００６】洗浄槽１は直方体で架台２上に載置され、
中央部分に設けた隔壁３により薬液槽１Ａと純水槽１Ｂ
との２区画を構成している。薬液槽１Ａと純水槽１Ｂと
の槽底部４にはそれぞれ発泡装置５を設ける。発泡装置
５は上部が開いた筐体６を固定手段７で架台２に取り付
け、上部の開いた部分に気泡板８を固定手段９により取
り付ける。即ち、図４に示す如く筐体６の上縁を囲う槽
底部４に受板９Ａを固定し、その上にテフロンソフトシ
ートよりなるパッキン９Ｂを介して気泡板８を置き、そ
の上に当板９Ｃを当てがいテフロンボルト９Ｄにより上
記各部を一体に締め付け固定する。そして、図２に示す
如く、気泡板８の上面を被って板状体１０を格子状に組
んだ受台１１を設けている。受台１１は脚部１２により
槽底部４に乗っている。
中央部分に設けた隔壁３により薬液槽１Ａと純水槽１Ｂ
との２区画を構成している。薬液槽１Ａと純水槽１Ｂと
の槽底部４にはそれぞれ発泡装置５を設ける。発泡装置
５は上部が開いた筐体６を固定手段７で架台２に取り付
け、上部の開いた部分に気泡板８を固定手段９により取
り付ける。即ち、図４に示す如く筐体６の上縁を囲う槽
底部４に受板９Ａを固定し、その上にテフロンソフトシ
ートよりなるパッキン９Ｂを介して気泡板８を置き、そ
の上に当板９Ｃを当てがいテフロンボルト９Ｄにより上
記各部を一体に締め付け固定する。そして、図２に示す
如く、気泡板８の上面を被って板状体１０を格子状に組
んだ受台１１を設けている。受台１１は脚部１２により
槽底部４に乗っている。
【０００７】気泡板８は、多孔質の連続した気孔を持つ
樹脂よりなり、例えばポリプロピレン樹脂を微粉砕し炉
内で均一な温度で焼結すると多孔質の連続した気孔を持
つ板を得ることが出来る。しかし、樹脂特有の撥水性が
あるため、気孔板７の表面に親水性基を含む物質を保持
（吸着もしくは結合）させることにより、親水性処理を
することによって、気泡が細かく強く発生するようにし
ている。
樹脂よりなり、例えばポリプロピレン樹脂を微粉砕し炉
内で均一な温度で焼結すると多孔質の連続した気孔を持
つ板を得ることが出来る。しかし、樹脂特有の撥水性が
あるため、気孔板７の表面に親水性基を含む物質を保持
（吸着もしくは結合）させることにより、親水性処理を
することによって、気泡が細かく強く発生するようにし
ている。
【０００８】筐体６の底部には給気管１２が開口してい
る。図示の例では給気管１２が二股に分岐しているが、
給気管の開口は１以上適宜数で良い。給気管１２は、電
磁弁１３を介して空気配管１４、電磁弁１５を経て送風
機１６に連なっている。
る。図示の例では給気管１２が二股に分岐しているが、
給気管の開口は１以上適宜数で良い。給気管１２は、電
磁弁１３を介して空気配管１４、電磁弁１５を経て送風
機１６に連なっている。
【０００９】洗浄槽１の薬液槽１Ａ純水槽１Ｂのそれぞ
れの槽底部４にはドレン管１７を、純水槽１Ｂの槽壁１
８には洗浄水供給管１９及びオーバーフロー管２０を取
り付ける。
れの槽底部４にはドレン管１７を、純水槽１Ｂの槽壁１
８には洗浄水供給管１９及びオーバーフロー管２０を取
り付ける。
【００１０】洗浄槽１Ａ，純水槽１Ｂの槽壁上部及び隔
壁３の上部には、ガイドレール２１を設け開閉蓋２２を
摺動自在に嵌合支持している。各槽のガイドレール２１
は多段式に複数の（図示の例では上下に２枚、両側で４
枚）の開閉蓋２２を支持している。
壁３の上部には、ガイドレール２１を設け開閉蓋２２を
摺動自在に嵌合支持している。各槽のガイドレール２１
は多段式に複数の（図示の例では上下に２枚、両側で４
枚）の開閉蓋２２を支持している。
【００１１】ガイドレール２１は洗浄槽１より長く、洗
浄槽１の両側に突出させてあり、作業中洗浄槽１の上面
を全開するときにはガイドレール２１両側の突出部分に
開閉蓋２２を重ねて位置させ、洗浄槽を閉じるときはガ
イドレール２１に添わせて上部下部の開閉蓋２２を洗浄
槽１の上に移動し洗浄槽１を閉じる。
浄槽１の両側に突出させてあり、作業中洗浄槽１の上面
を全開するときにはガイドレール２１両側の突出部分に
開閉蓋２２を重ねて位置させ、洗浄槽を閉じるときはガ
イドレール２１に添わせて上部下部の開閉蓋２２を洗浄
槽１の上に移動し洗浄槽１を閉じる。
【００１２】洗浄槽１は、対腐触性を考慮するとプラス
チック製とするのが好ましい。特に半導体向け洗浄は金
属が含有していないもの、酸，アルカリ液に耐えられる
プラスチックが要求され、弗酸洗浄槽に使用するとき
は、ポリプロピレン材が適している。
チック製とするのが好ましい。特に半導体向け洗浄は金
属が含有していないもの、酸，アルカリ液に耐えられる
プラスチックが要求され、弗酸洗浄槽に使用するとき
は、ポリプロピレン材が適している。
【００１３】次に本発明洗浄槽１による洗浄操作につき
説明する。被洗浄物が石英ガラスの場合、薬液槽１Ａを
弗酸槽とする。被洗浄物の種類によって適宜使用薬液は
変更する。被洗浄物は受台１１上にあって、気泡板８か
ら噴出し、受台１１を構成する板状体１０で整流された
状態の気泡にたたかれ、表面の汚染を取り除かれる。即
ち、電磁弁１５，１３を開き送風機１６を作動させる
と、空気配管１４，給気管１２を経て発泡装置５の筐体
６内に空気が充満し、気泡板８の全面に存在する微細な
気孔を通って、筐体６内の空気が薬液槽１Ａ及び純水槽
１Ｂ内に微細な気泡となって強く噴出する。
説明する。被洗浄物が石英ガラスの場合、薬液槽１Ａを
弗酸槽とする。被洗浄物の種類によって適宜使用薬液は
変更する。被洗浄物は受台１１上にあって、気泡板８か
ら噴出し、受台１１を構成する板状体１０で整流された
状態の気泡にたたかれ、表面の汚染を取り除かれる。即
ち、電磁弁１５，１３を開き送風機１６を作動させる
と、空気配管１４，給気管１２を経て発泡装置５の筐体
６内に空気が充満し、気泡板８の全面に存在する微細な
気孔を通って、筐体６内の空気が薬液槽１Ａ及び純水槽
１Ｂ内に微細な気泡となって強く噴出する。
【００１４】上記気泡板８から気泡が噴出する際に、気
孔から噴出した空気は、気泡板８が親水性処理がなされ
ているために、気孔表面に付着しその体積を増す前に微
細な気泡の状態で気泡板８から離れる。洗浄槽内に噴出
した気泡は被洗浄物に衝突し気泡による衝撃或いは気泡
の破裂による衝撃などにより汚れを取り去る洗浄が行わ
れている。更に、洗浄水供給管１９の電磁弁１９Ａを開
くことにより純水槽１Ｂに純水を供給する。オーバーフ
ローした純水はオーバーフロー管２０からオーバーフロ
ーしている。薬液槽１Ａでの洗浄が完了したら被洗浄物
を薬液槽１Ａと接する純水槽１Ｂに入れ変える。薬液槽
１Ａと純水槽１Ｂとは隣接して設けられているので、上
記薬液槽１Ａから純水槽１Ｂへの移し代えの作業のとき
も、洗浄槽１外の周囲に薬液を飛散させるようなことは
ない。そして純水槽１Ｂに入れた洗浄物は薬液槽１Ａと
同様にバブリングによって弗酸液及び汚物が除去され
る。
孔から噴出した空気は、気泡板８が親水性処理がなされ
ているために、気孔表面に付着しその体積を増す前に微
細な気泡の状態で気泡板８から離れる。洗浄槽内に噴出
した気泡は被洗浄物に衝突し気泡による衝撃或いは気泡
の破裂による衝撃などにより汚れを取り去る洗浄が行わ
れている。更に、洗浄水供給管１９の電磁弁１９Ａを開
くことにより純水槽１Ｂに純水を供給する。オーバーフ
ローした純水はオーバーフロー管２０からオーバーフロ
ーしている。薬液槽１Ａでの洗浄が完了したら被洗浄物
を薬液槽１Ａと接する純水槽１Ｂに入れ変える。薬液槽
１Ａと純水槽１Ｂとは隣接して設けられているので、上
記薬液槽１Ａから純水槽１Ｂへの移し代えの作業のとき
も、洗浄槽１外の周囲に薬液を飛散させるようなことは
ない。そして純水槽１Ｂに入れた洗浄物は薬液槽１Ａと
同様にバブリングによって弗酸液及び汚物が除去され
る。
【００１５】上記洗浄の途中では開閉蓋２２をガイドレ
ール２１に添って移動し洗浄槽１Ａの上面を被って液の
飛散などの生じないようにしている。純水槽１Ｂでの洗
浄が終了したら被洗浄物を図示しない流し槽に移動しス
プレーガンで超純水洗浄し洗浄を終了する。
ール２１に添って移動し洗浄槽１Ａの上面を被って液の
飛散などの生じないようにしている。純水槽１Ｂでの洗
浄が終了したら被洗浄物を図示しない流し槽に移動しス
プレーガンで超純水洗浄し洗浄を終了する。
【００１６】
【発明の効果】本発明バブリング式洗浄槽は、１つの洗
浄槽内に隔壁を設けることにより、洗浄槽を薬液槽と純
水槽に分割し、上記各槽の槽底部に発泡装置を設け、発
泡装置には、送風機からの圧空を送られる筐体の圧空流
出部位に、連続多孔質合成樹脂板よりなり親水性処理を
施こした気泡板を設けてなるものであるため、洗浄槽底
部に設けた気泡板を親水性処理をすることで微細な気泡
を強く発生させ被洗浄物に対して気泡の衝撃を加えるこ
とが出来、洗浄効果を高めることが出来る。
浄槽内に隔壁を設けることにより、洗浄槽を薬液槽と純
水槽に分割し、上記各槽の槽底部に発泡装置を設け、発
泡装置には、送風機からの圧空を送られる筐体の圧空流
出部位に、連続多孔質合成樹脂板よりなり親水性処理を
施こした気泡板を設けてなるものであるため、洗浄槽底
部に設けた気泡板を親水性処理をすることで微細な気泡
を強く発生させ被洗浄物に対して気泡の衝撃を加えるこ
とが出来、洗浄効果を高めることが出来る。
【００１７】洗浄槽を二槽式とすることにより薬液槽か
ら純水槽へ被洗浄物を移すときに薬液を槽外に散らすこ
とがなく、作業性を簡素化出来、かつ、洗浄槽の製作費
用を安価にすることが出来る。
ら純水槽へ被洗浄物を移すときに薬液を槽外に散らすこ
とがなく、作業性を簡素化出来、かつ、洗浄槽の製作費
用を安価にすることが出来る。
【００１８】なお、板状体を格子状に組んだ受け台を気
泡板上位に設けると、受け台上で被洗浄物を洗浄した
際、噴出した気泡は受台を構成する板状体で整流された
状態で一層強力に被洗浄物に当たり洗浄効果を高めるこ
とが出来る。
泡板上位に設けると、受け台上で被洗浄物を洗浄した
際、噴出した気泡は受台を構成する板状体で整流された
状態で一層強力に被洗浄物に当たり洗浄効果を高めるこ
とが出来る。
【図１】図１は本発明洗浄槽の受台と気泡板を取り除い
た状態の平面図。
た状態の平面図。
【図２】図２は本発明洗浄槽の一部縦断正面図。
【図３】図３は本発明洗浄槽の側面図。
【図４】図４は発泡装置筐体の気泡板取り付け部分の拡
大断面図。
大断面図。
１ 洗浄槽 １Ａ 薬液槽 １Ｂ 純水槽 ２ 架台 ３ 隔壁 ５ 発泡装置 ６ 筐体 ８ 気泡板 １０ 板状体 １１ 受台 １４ 空気配管 １６ 送風機 ２１ ガイドレール
Claims (1)
- 【請求項１】 １つの洗浄槽内に隔壁を設けることによ
り、洗浄槽を薬液槽と純水槽に分割し、上記各槽の槽底
部に発泡装置を設け、発泡装置には、送風機からの圧空
を送られる筐体の圧空流出部位に、連続多孔質合成樹脂
板よりなり親水性処理を施こした気泡板を設けてなるバ
ブリング式洗浄槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9032915A JP2987616B2 (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | バブリング式洗浄槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9032915A JP2987616B2 (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | バブリング式洗浄槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10216662A JPH10216662A (ja) | 1998-08-18 |
| JP2987616B2 true JP2987616B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=12372204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9032915A Expired - Fee Related JP2987616B2 (ja) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | バブリング式洗浄槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2987616B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5015717B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2012-08-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置 |
| CN113257661A (zh) * | 2021-04-14 | 2021-08-13 | 中环领先半导体材料有限公司 | 一种提升8寸磨洗fo槽漂洗效果的方法 |
-
1997
- 1997-01-31 JP JP9032915A patent/JP2987616B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10216662A (ja) | 1998-08-18 |
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