JP2987177B2 - Transparent conductive moisture-proof film and EL light emitting device - Google Patents

Transparent conductive moisture-proof film and EL light emitting device

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JP2987177B2
JP2987177B2 JP2214778A JP21477890A JP2987177B2 JP 2987177 B2 JP2987177 B2 JP 2987177B2 JP 2214778 A JP2214778 A JP 2214778A JP 21477890 A JP21477890 A JP 21477890A JP 2987177 B2 JP2987177 B2 JP 2987177B2
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昭造 河添
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、食品や薬品などの包装材料、EL(エレク
トロルミネツセンス)発光素子の保護材料などの幅広い
用途に利用される透明導電性耐透湿フイルムに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a transparent conductive material used in a wide range of applications such as packaging materials for foods and medicines, and protective materials for EL (Electroluminescence) light emitting devices. It relates to a moisture permeable film.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

食品や薬品などの包装において内容物の変質防止のた
め、または電子工業分野ではEL発光素子の保護やメンブ
レンスイツチ(タツチパネル)の誤動作防止のため、透
明でかつ耐透湿性にすぐれたフイルム材料の使用が望ま
れている。
Use of a transparent and moisture-permeable film material to prevent deterioration of the contents of food and medicine packaging, or to protect EL light-emitting elements and prevent malfunction of membrane switches (touch panels) in the electronics industry. Is desired.

従来公知のこの種のフイルム材料は、ポリエチレンテ
レフタレートや塩化ビニルなどの各種プラスチツクをフ
イルム基材として使用したものであるが、多くの場合耐
透湿性が不足する。このため、特公昭53−12953号公報
や特開昭60−27532号公報などにみられるように、基材
フイルム上に、珪素化合物やマグネシウム酸化物などの
薄膜を形成して上記耐透湿性の改善を図る工夫がなされ
ている。
Conventionally known film materials of this type use various plastics such as polyethylene terephthalate and vinyl chloride as a film base material, but in many cases, lack moisture resistance. For this reason, as shown in JP-B-53-12953 and JP-A-60-27532, a thin film of a silicon compound or magnesium oxide is formed on a base film to form the above-described moisture-permeable film. There are some ideas for improvement.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかるに、上記公知のフイルム材料では、耐透湿性が
未だ充分なものといえず、高度の耐透湿性が要求される
EL発光素子の保護材料などには応用しにくいという難点
があつた。
However, the above-mentioned known film materials cannot be said to have sufficient moisture resistance yet, and require a high degree of moisture resistance.
There was a drawback that it was difficult to apply it to protective materials for EL light-emitting devices.

また、上記公知のフイルム材料は、いずれも使用時に
帯電しやすく、この帯電によつて異物やゴミが吸着,混
入して、シール不良や外観不良をきたしたり、EL発光素
子の保護材料としては誤動作を生じる問題があつた。
In addition, any of the above-mentioned known film materials is easily charged when used, and foreign matter or dust is attracted or mixed in by the charging, resulting in poor sealing or poor appearance, or malfunction as a protective material for EL light emitting elements. There was a problem that caused.

この発明は、上記従来の問題に鑑み、第1に、耐透湿
性にすぐれると共に、帯電に起因したシール不良や外観
不良あるいは誤動作などをきたすことのない耐透湿性フ
イルム材料を提供することを目的としている。また、第
2に、上記フイルム材料にてEL発光素子を被覆シールし
てなるEL発光装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and firstly, provides a moisture-permeable film material which is excellent in moisture-permeable property and does not cause poor sealing, poor appearance or malfunction due to charging. The purpose is. Second, it is another object of the present invention to provide an EL light emitting device in which an EL light emitting element is covered and sealed with the above film material.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

この発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検
討した結果、透明なフイルム基材上に透明な導電層から
なる第一層とさらにこの上に特定の金属酸化物からなる
透明な第二層を設けた透明導電性耐透湿フイルムによれ
ば、耐透湿性の大幅な改善を図れると共に、フイルム自
体が導電性を有するため、帯電に起因した異物やゴミの
吸着,混入を回避でき、これによりシール不良や外観不
良あるいは誤動作などを防止できるものであることを知
り、この発明を完成するに至つた。
The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, a first layer composed of a transparent conductive layer on a transparent film substrate and a transparent layer composed of a specific metal oxide thereon. According to the transparent conductive moisture-permeable film provided with two layers, the moisture-permeable property can be greatly improved, and since the film itself has conductivity, it is possible to avoid the adsorption and mixing of foreign matter and dust caused by charging. As a result, the present inventors have found that it is possible to prevent poor sealing, poor appearance, malfunction, and the like, and have completed the present invention.

すなわち、この発明の第1は、透明なフイルム基材上
に透明な導電層からなる第一層が設けられ、さらにこの
上にTa,Al,Zrの中から選ばれる少なくとも一種の金属の
酸化物からなる透明な第二層が設けられてなる透明導電
性耐透湿フイルムに係るものである。
That is, a first aspect of the present invention is that a first layer made of a transparent conductive layer is provided on a transparent film substrate, and an oxide of at least one metal selected from Ta, Al, and Zr is further provided thereon. The present invention relates to a transparent conductive moisture-permeable film provided with a transparent second layer made of:

また、この発明の第2は、上記第1の発明に係る透明
導電性耐透湿フイルムによつてBL発光素子を被覆シール
してなるEL発光装置に係るものである。
A second aspect of the present invention relates to an EL light-emitting device in which a BL light-emitting element is covered and sealed by the transparent conductive moisture-permeable film according to the first invention.

〔発明の構成・作用〕[Structure and operation of the invention]

この発明において使用する透明なフイルム基材として
は、可撓性と透明性とを備えた厚さが通常5〜300μm
程度のプラスチツクフイルム、たとえばポリエチレンテ
レフタレート、ポリイミド、ポリエーテルスルホン、ポ
リエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン、ポリアミド、ポリアクリル、セルロースプロピオネ
ート、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリビニルブチ
ラール、セロフアンなどの各種プラスチツクからなるフ
イルムが挙げられる。
The transparent film substrate used in the present invention has a thickness of 5 to 300 μm with flexibility and transparency.
Plastic films, for example, films of various plastics such as polyethylene terephthalate, polyimide, polyether sulfone, polyether ketone, polycarbonate, polypropylene, polyamide, polyacryl, cellulose propionate, polyvinyl chloride, polystyrene, polyvinyl butyral, and cellophane Is mentioned.

このフイルム基材は、その表面に予めスパツタリン
グ、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化
成、酸化などのエツチング処理や下塗り処理を施して、
この上に設けられる導電層の上記基材に対する密着性を
向上させるようにしてもよい。また、導電層を設ける前
に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより除
塵、清浄化しておいてもよい。
This film substrate is subjected to an etching treatment or undercoat treatment such as sputtering, corona discharge, flame, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, chemical conversion, oxidation, etc. on its surface in advance,
You may make it improve the adhesiveness with respect to the said base material of the conductive layer provided on this. Before providing the conductive layer, dust removal and cleaning may be performed by solvent cleaning or ultrasonic cleaning as necessary.

このフイルム基材上に第一層として設ける透明な導電
層としては、通常酸化インジウム、酸化スズ、酸化イン
ジウムと酸化スズとの混合物(以下、ITOという)、酸
化スズと酸化アンチモンとの混合物などの金属酸化物が
用いられるが、特にITOが導電性および透明性の面で最
も好ましい。これら導電層の形成は、真空蒸着法、スパ
ツタリング法、イオンプレーテイング法などの公知の薄
膜形成技術を採用して行えばよい。
As the transparent conductive layer provided as the first layer on the film base material, there are usually indium oxide, tin oxide, a mixture of indium oxide and tin oxide (hereinafter referred to as ITO), a mixture of tin oxide and antimony oxide, and the like. Although metal oxides are used, ITO is most preferred in terms of conductivity and transparency. These conductive layers may be formed by using a known thin film forming technique such as a vacuum deposition method, a sputtering method, and an ion plating method.

透明な導電層の厚さとしては、50Å以上とするのが好
ましく、これより薄くなると島状の膜となり、表面抵抗
が103Ω/□以下となる良好な導電性を有する連続皮膜
となりにくく、耐透湿性の向上効果も望めない。一方、
あまり厚くなりすぎると透明性の低下およびクラツクの
発生による耐透湿性の低下などをきたすため、特に好適
な厚さとしては、100〜4,000Å程度となるようにするの
がよい。
The thickness of the transparent conductive layer is preferably 50 mm or more, and if it is thinner, it becomes an island-like film, and it is difficult to form a continuous film having good conductivity with a surface resistance of 10 3 Ω / □ or less, The effect of improving moisture permeability cannot be expected. on the other hand,
If the thickness is too large, the transparency and the moisture resistance due to cracks are reduced. Therefore, a particularly preferable thickness is preferably about 100 to 4,000 mm.

このような導電層からなる第一層上に設けられる透明
な第二層は、Ta,Al,Zrの中から選ばれる少なくとも一種
の金属の酸化物からなるものであつて、具体的にはT
a2、O3、Al2O3、ZrO2またはこれらの混合物などが用い
られる。このような金属酸化物層は、前記の導電層に積
層されることによつて、耐透湿性および透明性の向上に
好結果を与え、またこの上に設けられる後述の接着剤層
との密着性にも好結果を与えるものである。
The transparent second layer provided on the first layer made of such a conductive layer is made of an oxide of at least one metal selected from Ta, Al, and Zr.
a 2 , O 3 , Al 2 O 3 , ZrO 2 or a mixture thereof is used. Such a metal oxide layer gives a good result in improving moisture permeation resistance and transparency by being laminated on the above-mentioned conductive layer, and has a close contact with an adhesive layer described later provided thereon. It also gives good results for sex.

この金属酸化物層は、前記の導電層の場合と同様の方
法で形成することができる。たとえば、蒸着材料として
金属Ta,AlまたはZrを用いてこれらを酸素雰囲気中で蒸
着するか、あるいは蒸着材料として上記各金属の酸化物
を用いてこれを真空中で蒸着するといつた方法などで形
成できる。
This metal oxide layer can be formed in the same manner as in the case of the conductive layer. For example, using a metal Ta, Al or Zr as a deposition material, depositing them in an oxygen atmosphere, or using an oxide of each of the above metals as a deposition material and forming them in a vacuum. it can.

このような金属酸化物層の厚さは、通常20〜4,000
Å、好ましくは50〜2,000Åの範囲とするのがよい。こ
の層が薄すぎると島状構造の膜となつて後述の接着剤層
との密着性が向上せず耐透湿性が向上しない。また、厚
くなりすぎると着色やクラツクが生じやすく、その場合
透明性や耐透湿性の低下をきたすことになる。
The thickness of such a metal oxide layer is usually between 20 and 4,000
Å, preferably in the range of 50 to 2,000Å. If this layer is too thin, it becomes a film having an island structure, and the adhesion to the adhesive layer described later is not improved, and the moisture permeability is not improved. On the other hand, if the thickness is too large, coloring and cracks are liable to occur, in which case the transparency and the moisture resistance are reduced.

この発明の透明導電性耐透湿フイルムにおいては、そ
の使用に際し、通常上記の金属酸化物からなる第二層の
上にさらに接着剤層を形成する。この接着剤層として
は、透明な感圧性接着剤または透明な感熱性接着剤が用
いられるが、これらの接着剤は、金属酸化物からなる第
二層上の周縁部などの1部分だけに設けてもよいし、全
面に設けるようにしてもよい。
In the transparent conductive moisture-permeable film according to the present invention, an adhesive layer is usually further formed on the second layer made of the above-mentioned metal oxide when used. As this adhesive layer, a transparent pressure-sensitive adhesive or a transparent heat-sensitive adhesive is used, and these adhesives are provided only on one portion such as a peripheral portion on the second layer made of metal oxide. Or may be provided on the entire surface.

上記の感圧性接着剤としては、透明性を有するもので
あれば特に限定なく使用できるが、中でもアクリル系接
着剤、シリコン系接着剤、ゴム系接着剤などが好ましく
用いられる。これら感圧性接着剤の弾性係数は1×105
〜1×107dyne/cm2の範囲、厚さは2μm以上、通常5
〜500μmの範囲にあるのが望ましい。弾性係数が小さ
すぎると接着後に側面にはみ出すおそれがあり、また大
きすぎると接着作業性やシール性を損ないやすい。さら
に、厚さが薄すぎるとシール性が悪くなり、逆に厚すぎ
ると透明性が低下したり、接着作業性さらにコストの面
で好結果を得にくい。
The pressure-sensitive adhesive can be used without any particular limitation as long as it has transparency, and among them, acrylic adhesive, silicone adhesive, rubber adhesive and the like are preferably used. The elastic modulus of these pressure-sensitive adhesives is 1 × 10 5
~ 1 × 10 7 dyne / cm 2 , thickness 2μm or more, usually 5
Desirably, it is in the range of 500500 μm. If the elastic modulus is too small, it may protrude to the side surface after bonding, and if it is too large, the bonding workability and the sealing property are easily impaired. Further, if the thickness is too small, the sealing property is deteriorated. On the other hand, if the thickness is too large, the transparency is lowered, and good results are hardly obtained in terms of bonding workability and cost.

また、上記の感熱性接着剤としては、たとえば、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、エチレン系アイオノマー樹脂などが挙げられる
が、透明性や耐透湿性を損なわないものであれば、特に
限定なく使用できる。これらの接着剤は、予め作製した
フイルムをドライラミネートする方法で設けるようにし
てもよいし、フイルム状に溶融押出するエクストルージ
ヨンラミネート法で設けるようにしてもよい。その厚さ
としては、前記の感圧性接着剤の場合と同様に、2μm
以上、通常5〜500μmの範囲にあるのが望ましい。
Examples of the heat-sensitive adhesive include, for example, polyethylene, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-based ionomer resin, and the like, provided that they do not impair transparency or moisture resistance. Can be used without limitation. These adhesives may be provided by a method of dry laminating a film prepared in advance, or may be provided by an extrusion lamination method in which a film is melt-extruded. Its thickness is 2 μm as in the case of the pressure-sensitive adhesive.
As described above, it is generally desirable that the thickness be in the range of 5 to 500 μm.

第1図は、上記構成の透明導電性耐透湿フイルムの一
例を示したものであり、1は透明なフイルム基材、2は
透明な導電層(第一層)、3は透明な金属酸化物層(第
二層)、4は透明な接着剤層である。
FIG. 1 shows an example of the transparent conductive moisture-permeable film having the above structure, wherein 1 is a transparent film substrate, 2 is a transparent conductive layer (first layer), and 3 is a transparent metal oxide. The material layer (second layer) and 4 are transparent adhesive layers.

本発明においては、上記の第1図に示すような接着剤
層を有する透明導電性耐透湿フイルムを用いて、あるい
は接着剤を別途塗布するなどして、上記フイルムにてEL
発光素子を被覆シールすることにより、透明性および耐
透湿性にすぐれ、かつ帯電に起因したシール不良などが
みられないEL発光装置を得ることができる。
In the present invention, a transparent conductive moisture-permeable film having an adhesive layer as shown in FIG. 1 is used, or an adhesive is separately applied, and the EL film is formed on the film.
By covering and sealing the light emitting element, it is possible to obtain an EL light emitting device which is excellent in transparency and moisture permeation resistance and in which no defective sealing due to charging is observed.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように、この発明によれば、耐透湿性および透
明性にすぐれ、しかも帯電に起因したシール不良や外観
不良あるいは誤動作などをきたすおそれのない透明導電
性耐透湿フイルムを提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a transparent conductive moisture-permeable film having excellent moisture permeability and transparency, and having no risk of causing poor sealing, poor appearance or malfunction due to charging. it can.

また、このフイルムは、良好な導電性を有するため、
従来の耐透湿フイルムではその適用が困難であつた電磁
波シールド材料などとしても応用することができる。さ
らに、このフイルムは、高温多湿雰囲気下での耐久性に
もすぐれており、この点でも実用上望ましい特性を有し
ている。
Also, since this film has good conductivity,
It can also be applied as an electromagnetic wave shielding material or the like, which has been difficult to apply with conventional moisture-permeable films. Further, this film has excellent durability in a high-temperature and high-humidity atmosphere, and also has practically desirable characteristics in this regard.

このように耐透湿性および透明性などが改善されたフ
イルムを用いて形成されるEL発光装置においては、被覆
フイルムが上記の特性を備えるため、良好な発光性能を
有すると共に、帯電に起因した発光性能の低下や誤動作
がないという特徴を有する。
In an EL light emitting device formed using a film having improved moisture permeability and transparency as described above, the coated film has the above-described characteristics, so that the coated film has good light emitting performance, and has a light emission caused by charging. It has the feature that there is no performance degradation or malfunction.

〔実施例〕〔Example〕

つぎに、この発明の実施例を記載してより具体的に説
明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described in more detail.

実施例1 厚さが50μmの透明なポリエチレンテレフタレートフ
イルム(以下、PETフイルムという)の表面を、アルゴ
ンガス80%と酸素ガス20%とからなる4×10-3Torrの雰
囲気中で、放電処理量3W・秒/cm2にて高周波スパツタエ
ツチング処理した。
Example 1 The surface of a transparent polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as PET film) having a thickness of 50 μm was discharged in a 4 × 10 −3 Torr atmosphere composed of 80% argon gas and 20% oxygen gas. High frequency sputter etching treatment was performed at 3 W · sec / cm 2 .

その後、この処理面上に、上記真空度を破ることなく
同一の雰囲気ガス中で、インジウム−スズ(重量比9:
1)合金を用いた反応性スパツタリング法により、厚さ
が約1,000ÅのITOからなる透明な導電層を形成した。こ
のフイルムの表面抵抗は100Ω/□であつた。
Then, on the treated surface, indium-tin (weight ratio 9: 9) in the same atmosphere gas without breaking the vacuum degree.
1) A transparent conductive layer made of ITO with a thickness of about 1,000 mm was formed by a reactive sputtering method using an alloy. The surface resistance of this film was 100Ω / □.

つぎに、上記の透明な導電層を第一層として、さらに
この層上に、Ta2O5を、エレクトロンビーム加熱法によ
り、真空度2〜4×10-4Torrで真空蒸着して、厚さが約
150ÅのTa2O5からなる透明な金属酸化物層を第二層とし
て形成した。このフイルムの表面抵抗は110Ω/□であ
つた。
Next, the above-mentioned transparent conductive layer was used as a first layer, and Ta 2 O 5 was further vacuum-deposited on this layer by an electron beam heating method at a degree of vacuum of 2 to 4 × 10 −4 Torr to form a layer. About
A transparent metal oxide layer of 150 ° Ta 2 O 5 was formed as a second layer. The surface resistance of this film was 110Ω / □.

ついで、この金属酸化物からなる第二層上に、感圧性
接着剤層として、弾性係数が1×106dyne/cm2に調整さ
れたアクリル系の透明な感圧性接着剤(アクリル酸n−
ブチルとアクリル酸と酢酸ビニルとの重量比100:2:5の
アクリル系共重合体100重量部にイソシアネート系架橋
剤を1重量部配合してなるもの)を約25μmの厚さに形
成し、第1図に示す構造の透明導電性耐透湿フイルムを
作製した。
Then, on the second layer made of the metal oxide, as a pressure-sensitive adhesive layer, an acrylic transparent pressure-sensitive adhesive (n-acrylic acid) having an elastic modulus adjusted to 1 × 10 6 dyne / cm 2.
100 parts by weight of an acrylic copolymer having a weight ratio of butyl, acrylic acid and vinyl acetate of 100: 2: 5 and 1 part by weight of an isocyanate-based crosslinking agent) is formed to a thickness of about 25 μm, A transparent conductive moisture-permeable film having the structure shown in FIG. 1 was produced.

実施例2 感圧性接着剤層に代えて、厚さが50μmのポリエチレ
ン系感熱性接着剤層を形成するようにした以外は、実施
例1と同様にして、透明導電性耐透湿フイルムを作製し
た。
Example 2 A transparent conductive moisture-permeable film was produced in the same manner as in Example 1 except that a polyethylene-based heat-sensitive adhesive layer having a thickness of 50 μm was formed instead of the pressure-sensitive adhesive layer. did.

実施例3,4 フイルム基材として、厚さが25μmの透明なポリエー
テルスルホンフイルム(実施例3)、厚さが80μmの透
明なポリカーボネートフイルム(実施例4)を、それぞ
れ使用した以外は、実施例2と同様にして、2種の透明
導電性耐透湿フイルムを作製した。
Examples 3 and 4 Except that a 25 μm-thick transparent polyethersulfone film (Example 3) and a 80 μm-thick transparent polycarbonate film (Example 4) were used as film substrates, respectively. In the same manner as in Example 2, two kinds of transparent conductive moisture-proof films were produced.

実施例5,6 透明な金属酸化物からなる第二層を、厚さが約150Å
のAl2O3(実施例5)、厚さが約150ÅのZrO2(実施例
6)でそれぞれ構成するようにした以外は、実施例2と
同様にして、2種の透明導電性耐透湿フイルムを作製し
た。
Examples 5 and 6 A second layer made of a transparent metal oxide was applied to a thickness of about 150 mm.
Al 2 O 3 (Example 5), except that so as to constitute respective thickness of approximately 150Å of ZrO 2 (Example 6), the same procedure as in Example 2, two transparent conductive impermeability A wet film was prepared.

比較例1 透明な導電層からなる第一層および透明な金属酸化物
層からなる第二層を共に形成しなかつた以外は、実施例
2と同様にして、透明耐透湿フイルムを作製した。
Comparative Example 1 A transparent moisture-permeable film was produced in the same manner as in Example 2, except that both the first layer made of the transparent conductive layer and the second layer made of the transparent metal oxide layer were not formed.

比較例2 透明な金属酸化物層からなる第二層を形成しなかつた
以外は、実施例2と同様にして、透明導電性耐透湿フイ
ルムを作製した。
Comparative Example 2 A transparent conductive moisture-permeable film was produced in the same manner as in Example 2, except that the second layer made of a transparent metal oxide layer was not formed.

比較例3,4 透明な導電層からなる第一層および透明な金属酸化物
層からなる第二層を共に形成しなかつた以外は、実施例
3,4と同様にして、2種の透明耐透湿フイルムを作製し
た。
Comparative Examples 3 and 4 Example 1 except that both the first layer made of a transparent conductive layer and the second layer made of a transparent metal oxide layer were not formed.
In the same manner as in 3 and 4, two kinds of transparent moisture-proof films were produced.

上記の実施例および比較例の各耐透湿フイルムにつ
き、以下の特性試験を行つた。結果は、後記の第1表に
示されるとおりであつた。
The following characteristic tests were performed on the moisture-permeable films of the above Examples and Comparative Examples. The results were as shown in Table 1 below.

<可視光線透過率> 島津製作所製の分光分析装置UV−240を使用して、波
長550nmにおける光透過率を測定した。
<Visible light transmittance> The light transmittance at a wavelength of 550 nm was measured using a spectrophotometer UV-240 manufactured by Shimadzu Corporation.

<耐透湿性> 約170mm×170mmの大きさに裁断した耐透湿フイルムを
2枚用いて、第2図に示すように、シリカゲルを袋状に
シールする。シール部は、2枚のフイルムの周端から約
5mm域の部分を重ね合わせ、接着剤層を利用して感圧ま
たは感熱接着する方式で行つた。このシール後、60℃,9
5%RHの雰囲気中に数十時間放置して、質量の変化を測
定し、単位時間,単位面積あたりの質量変化を求め、こ
れを透湿度(mmg/m2・時間)とした。
<Moisture Permeability> As shown in FIG. 2, silica gel is sealed in a bag shape using two moisture permeable films cut into a size of about 170 mm × 170 mm. The seal is located approximately from the edges of the two films.
The parts in the 5 mm area were overlapped, and pressure- or heat-sensitive bonding was performed using an adhesive layer. After this sealing, 60 ℃, 9
The sample was left in an atmosphere of 5% RH for several tens of hours, and the change in mass was measured. The change in mass per unit time and unit area was determined, and this was defined as the moisture permeability (mmg / m 2 · hour).

なお、第2図中、1は透明なフイルム基材、2は透明
な導電層からなる第一層、3は透明な金属酸化物層から
なる第二層、4は透明な接着剤層、5は封入シリカゲル
である。
In FIG. 2, 1 is a transparent film substrate, 2 is a first layer of a transparent conductive layer, 3 is a second layer of a transparent metal oxide layer, 4 is a transparent adhesive layer, Is encapsulated silica gel.

<耐久性> 60℃,95%RHの雰囲気下に500時間放置したときの耐透
湿フイルムの性状や外観を肉眼で観察し、初期と比べて
変化がほとんど認められない場合を○、酸化物層に白化
およびクラツクが発生するなどの悪化現象が明らかに認
められる場合を×、と評価した。
<Durability> The properties and appearance of the moisture-permeable film when left for 500 hours in an atmosphere of 60 ° C. and 95% RH are visually observed. The case where deterioration phenomena such as whitening and cracking were clearly observed in the layer was evaluated as x.

<電磁波シールド性> アドバンテスト社製の電磁波シールド効果測定装置TR
−17301を用いて、周波数100MHzの電界シールド効果(d
B)を測定した。
<Electromagnetic shielding performance>Advantest's electromagnetic shielding effectiveness measuring device TR
Using the −17301, the electric field shielding effect at a frequency of 100 MHz (d
B) was measured.

上記第1表の結果から明らかなように、この発明の実
施例1〜6の各透明導電性耐透湿フイルムは、比較例1
〜4の耐透湿フイルムに比し、改善された耐透湿性を有
すると共に、良好な電磁波シールド性を備えており、ま
た透明性の面でも満足でき、さらに良好な耐久性をも備
えているものであることがわかる。
As is clear from the results in Table 1, each of the transparent conductive moisture-permeable films of Examples 1 to 6 of the present invention was the same as that of Comparative Example 1.
Compared to the moisture-permeable films of No. 1 to No. 4, they have improved moisture permeability and good electromagnetic wave shielding properties, are satisfactory in terms of transparency, and have good durability. It turns out to be something.

つぎに、上記の実施例1,2に係る透明導電性耐透湿フ
イルムを用いて、以下の要領で第3図に示すEL発光装置
Aと、第4図に示すEL発光装置Bとを作製した。
Next, an EL light emitting device A shown in FIG. 3 and an EL light emitting device B shown in FIG. 4 were manufactured in the following manner using the transparent conductive moisture-permeable film according to Examples 1 and 2 described above. did.

<EL発光装置Aの作製> 第3図に示すように、厚さが75μmのPETフイルムか
らなる透明基板6の片面に厚さが約400ÅのITOからなる
透明な導電層7を形成した導電性基板8の上記導電層7
上に、シアノエチルプルランの30重量%アセトン溶液に
蛍光体粉末(ブルーグリーンに発光するもの)を分散さ
せた塗料を塗布し、120℃で30分間乾燥させたのち、さ
らに120℃,1×10-2Torrの雰囲気中で6時間真空乾燥し
て、厚さが40μmの発光層9を形成した。
<Manufacture of EL Light-Emitting Device A> As shown in FIG. 3, a transparent substrate 6 made of 75 μm-thick PET film and a transparent conductive layer 7 made of ITO having a thickness of about 400 ° formed on one surface. The conductive layer 7 of the substrate 8
A coating material in which a phosphor powder (which emits blue-green light) is dispersed in a 30% by weight solution of cyanoethyl pullulan in acetone is applied thereonto, dried at 120 ° C. for 30 minutes, and then further dried at 120 ° C., 1 × 10 −. Vacuum drying was performed in an atmosphere of 2 Torr for 6 hours to form a light emitting layer 9 having a thickness of 40 μm.

一方、厚さが200μmの片面に絶縁処理層10を有する
アルミニウム箔11のアルミニウム面に、シアノエチルプ
ルランの30重量%アセトン溶液にチタン酸バリウム粉末
を分散させた塗料(チタン酸バリウム粉末とシアノエチ
ルプルランの重量比は1:1)を塗布したのち、120℃で60
分間加熱して、厚さが40μmの絶縁層12を形成した。
On the other hand, a coating of barium titanate powder dispersed in a 30% by weight acetone solution of cyanoethyl pullulan (a coating of barium titanate powder and cyanoethyl pullulan) was coated on the aluminum surface of an aluminum foil 11 having an insulating layer 10 on one side having a thickness of 200 μm. After applying 1: 1), the weight ratio is 60 at 120 ° C.
By heating for minutes, an insulating layer 12 having a thickness of 40 μm was formed.

つぎに、上記の導電性基板8とアルミニウム箔11と
を、絶縁層12と発光層9とが向き合うように重ね合わ
せ、175℃に加熱したロールラミネータを通して接合し
た。この接合体の導電性基板8上に厚さが約100μm程
度のポリアミド製捕水フイルム13を配置してEL発光素子
としたのち、さらにその上から実施例2の透明導電性耐
透湿フイルムを被せ、その全周縁部(周端から5mm域)
をアルミニウム箔11上に140℃,30kg/cm2の条件で5分間
加圧し、融着して、第3図に示す構造のEL発光装置Aを
作製した。
Next, the conductive substrate 8 and the aluminum foil 11 were overlapped so that the insulating layer 12 and the light emitting layer 9 faced each other, and were joined through a roll laminator heated to 175 ° C. A polyamide water-trapping film 13 having a thickness of about 100 μm is disposed on the conductive substrate 8 of the joined body to form an EL light-emitting element, and the transparent conductive moisture-permeable film of Example 2 is further placed thereon. Cover, the entire periphery (5mm from the periphery)
Was pressed on an aluminum foil 11 under the conditions of 140 ° C. and 30 kg / cm 2 for 5 minutes and fused to fabricate an EL light emitting device A having a structure shown in FIG.

このEL発光装置Aは、帯電による異物やゴミの付着が
認められず、外観が良好で、かつシール性にすぐれ、ま
た使用時帯電による誤動作は生じなかつた。なお、透明
導電性耐透湿フイルムとして実施例1のものを用いたと
きでも、上記同様の結果が得られた。
This EL light-emitting device A did not show adhesion of foreign matter or dust due to charging, had a good appearance, had excellent sealing properties, and did not cause malfunction due to charging during use. The same results as above were obtained when the transparent conductive moisture-permeable film of Example 1 was used.

<EL発光装置B> 実施例2の透明導電性耐透湿フイルムにおいて、感熱
性接着剤層4を、第4図に示すように、金属酸化物から
なる第二層3上の周縁部(周端から5mm域)にのみ形成
し、このフイルムの第二層3上の中央部にEL発光装置A
の場合と同様の発光層9を形成した。
<EL Light-Emitting Device B> In the transparent conductive moisture-permeable film of Example 2, the heat-sensitive adhesive layer 4 is formed as shown in FIG. (5 mm area from the edge), and the EL light emitting device A is formed at the center on the second layer 3 of this film.
The light emitting layer 9 similar to the case of the above was formed.

つぎに、このフイルムと、EL発光装置Aの場合と同様
の絶縁層12を形成した背面に絶縁処理層10を有するアル
ミニウム箔11とを、発光層9と絶縁層12とが向き合うよ
うに重ね合わせ、140℃,30kg/cm2の条件で5分間加圧し
て接着し、第4図に示す構造のEL発光装置Bを作製し
た。
Next, this film and an aluminum foil 11 having an insulating treatment layer 10 on the back surface on which an insulating layer 12 similar to that of the EL light emitting device A is formed, are superposed so that the light emitting layer 9 and the insulating layer 12 face each other. , 140 ° C., under a condition of 30kg / cm 2 5 minutes pressurized adhered, to produce an EL light emitting device B having the structure shown in Figure 4.

このEL発光装置Bも帯電による異物やゴミの付着が認
められず、外観が良好で、かつシール性にすぐれ、また
使用時帯電による誤動作は生じなかつた。
This EL light emitting device B also did not show any adhesion of foreign matter or dust due to charging, had a good appearance, was excellent in sealing properties, and did not cause malfunction due to charging during use.

【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の透明導電性耐透湿フイルムの一例を
示す断面図、第2図は上記フイルムの耐透湿性の試験方
法を示す説明図、第3図および第4図は上記フイルムを
用いて作製したこの発明のEL発光装置の二つの例を示す
断面図である。 1……透明なフイルム基材、2……透明な導電層(第一
層)、3……透明な金属酸化物層(第二層)、4……透
明な接着剤層
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the transparent conductive moisture-permeable film of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing a method of testing the moisture-permeable property of the film, FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing two examples of the EL light emitting device of the present invention manufactured using the above-mentioned film. 1 ... transparent film base material 2 ... transparent conductive layer (first layer) 3 ... transparent metal oxide layer (second layer) 4 ... transparent adhesive layer

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】透明なフイルム基材上に透明な導電層から
なる第一層が設けられ、さらにこの上にTa,Al,Zrの中か
ら選ばれる少なくとも一種の金属の酸化物からなる透明
な第二層が設けられてなる透明導電性耐透湿フイルム。
1. A first layer comprising a transparent conductive layer is provided on a transparent film substrate, and a first layer comprising at least one metal oxide selected from Ta, Al, and Zr is further provided thereon. A transparent conductive moisture-permeable film provided with a second layer.
【請求項2】透明な導電層からなる第一層が酸化インジ
ウムと酸化スズとの混合物からなり、その厚さが100〜
4,000Åであり、かつ透明な第二層の厚さが50〜2,000Å
である請求項(1)に記載の透明導電性耐透湿フイル
ム。
2. A first layer comprising a transparent conductive layer comprising a mixture of indium oxide and tin oxide and having a thickness of 100 to
4,000Å and the thickness of the transparent second layer is 50-2,000Å
The transparent conductive moisture-permeable film according to claim 1, wherein:
【請求項3】請求項(1)または(2)に記載の透明導
電性耐透湿フイルムによつてEL発光素子を被覆シールし
てなるEL発光装置。
3. An EL light-emitting device comprising an EL light-emitting element covered and sealed with the transparent conductive moisture-permeable film according to claim 1 or 2.
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