JP2985492B2 - 磁気スケール - Google Patents
磁気スケールInfo
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- JP2985492B2 JP2985492B2 JP4082253A JP8225392A JP2985492B2 JP 2985492 B2 JP2985492 B2 JP 2985492B2 JP 4082253 A JP4082253 A JP 4082253A JP 8225392 A JP8225392 A JP 8225392A JP 2985492 B2 JP2985492 B2 JP 2985492B2
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- scale
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気スケールに関し、
特に、リニアガイドを使用した磁気スケールに関する。
特に、リニアガイドを使用した磁気スケールに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に示す如く、市販のリニアガイド１
０はガイドレール１０Ａとスライドブロック１０Ｂとか
らなり、高い精度にて製造され且つ安価で容易に入手す
ることができるから、磁気スケールに使用することがで
きる。
０はガイドレール１０Ａとスライドブロック１０Ｂとか
らなり、高い精度にて製造され且つ安価で容易に入手す
ることができるから、磁気スケールに使用することがで
きる。
【０００３】即ち、ガイドレール１０Ａの一方の面例え
ば上面に磁気目盛りを装着し、斯かる磁気目盛りに対面
するようにスライドブロック１０Ｂに検出素子を装着す
ることによって磁気スケールが構成される。斯かる磁気
スケールでは、スライドブロック１０Ｂをガイドレール
１０Ａに沿って運動させることによってガイドレール１
０Ａに対するスライドブロック１０Ｂの相対的変位量が
検出される。
ば上面に磁気目盛りを装着し、斯かる磁気目盛りに対面
するようにスライドブロック１０Ｂに検出素子を装着す
ることによって磁気スケールが構成される。斯かる磁気
スケールでは、スライドブロック１０Ｂをガイドレール
１０Ａに沿って運動させることによってガイドレール１
０Ａに対するスライドブロック１０Ｂの相対的変位量が
検出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】リニアガイド１０のガ
イドレール１０Ａには、通常図４に示すごとく、孔１４
Ａが形成されている。斯かる孔１４Ａは、図５に示す如
く、リニアガイド１０を工作機械の基台１２等に取り付
けるために形成されたものである。リニアガイド１０を
使用した磁気スケールでは、斯かる孔１４Ａが存在する
部分にて磁気目盛りによって生成される磁界に歪みが生
ずる。
イドレール１０Ａには、通常図４に示すごとく、孔１４
Ａが形成されている。斯かる孔１４Ａは、図５に示す如
く、リニアガイド１０を工作機械の基台１２等に取り付
けるために形成されたものである。リニアガイド１０を
使用した磁気スケールでは、斯かる孔１４Ａが存在する
部分にて磁気目盛りによって生成される磁界に歪みが生
ずる。
【０００５】図５には、スケール板１６に形成された磁
気目盛りによって生成される磁界Ｄ 1 が模式的に表され
ている。ガイドレール１０Ａに形成された取り付け孔１
４Ａに対応する部分にて磁界の歪みＤ2 が生ずる。
気目盛りによって生成される磁界Ｄ 1 が模式的に表され
ている。ガイドレール１０Ａに形成された取り付け孔１
４Ａに対応する部分にて磁界の歪みＤ2 が生ずる。
【０００６】図６は、図５に示す如き取り付け孔１４Ａ
を有するガイドレール１０Ａとその上面に装着されたス
ケール板１６からなるスケール部に沿ってホール素子を
走行させて、スケール板１６に形成された磁気目盛りに
よって生ずる磁界の強さを測定した結果を示し、横軸は
スケール部の磁気目盛り上の位置を表し縦軸は磁界の強
さを表す。図示のように、取り付け孔１４Ａが形成され
た位置にて磁界の乱れが生ずることが判る。
を有するガイドレール１０Ａとその上面に装着されたス
ケール板１６からなるスケール部に沿ってホール素子を
走行させて、スケール板１６に形成された磁気目盛りに
よって生ずる磁界の強さを測定した結果を示し、横軸は
スケール部の磁気目盛り上の位置を表し縦軸は磁界の強
さを表す。図示のように、取り付け孔１４Ａが形成され
た位置にて磁界の乱れが生ずることが判る。
【０００７】このような磁界の偏倚の原因は、ガイドレ
ール１０Ａは磁性材より構成されており、取り付け孔１
４Ａの部分では磁性材の局部的な不均一が存在すること
にあるものと考えられる。ガイドレール１０Ａが非磁性
材より構成されていても、取り付け孔１４Ａに磁性材の
ねじが装着されている場合には、その部分で磁性材の不
均一が存在し磁界の偏倚が生ずる。
ール１０Ａは磁性材より構成されており、取り付け孔１
４Ａの部分では磁性材の局部的な不均一が存在すること
にあるものと考えられる。ガイドレール１０Ａが非磁性
材より構成されていても、取り付け孔１４Ａに磁性材の
ねじが装着されている場合には、その部分で磁性材の不
均一が存在し磁界の偏倚が生ずる。
【０００８】斯かる磁界の歪み即ち磁界の偏倚は磁気ス
ケールの測定誤差の原因となる。尚、斯かる磁界の歪み
は斯かる取り付け孔１４Ａに限らず例えば、図７に示す
如くガイドレール１０Ａに凹部１４Ｂが形成されている
場合にも生ずる。
ケールの測定誤差の原因となる。尚、斯かる磁界の歪み
は斯かる取り付け孔１４Ａに限らず例えば、図７に示す
如くガイドレール１０Ａに凹部１４Ｂが形成されている
場合にも生ずる。
【０００９】本発明は斯かる点に鑑み、磁気スケールに
てガイドレール１０Ａの形状に起因して磁界が歪むこと
を防止し、磁気スケールの測定誤差を除去することを目
的とする。
てガイドレール１０Ａの形状に起因して磁界が歪むこと
を防止し、磁気スケールの測定誤差を除去することを目
的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、例えば
図１に示す如く、磁気目盛りが装着されたスケール部と
磁気目盛りを読み取る検出素子２６が装着されスケール
部に沿って走行する検出部とを有し、スケール部に対す
る検出部の相対的変位量を検出するように構成された磁
気スケールにおいて、スケール部は磁気目盛りが形成さ
れたスケール板１６とスケール板１６を支持する支持部
１０Ａとの間に装着された磁性材の板１８を有し、該磁
性材の板１８によって支持部１０Ａの形状に起因する磁
界偏倚が除去されるように構成されている。
図１に示す如く、磁気目盛りが装着されたスケール部と
磁気目盛りを読み取る検出素子２６が装着されスケール
部に沿って走行する検出部とを有し、スケール部に対す
る検出部の相対的変位量を検出するように構成された磁
気スケールにおいて、スケール部は磁気目盛りが形成さ
れたスケール板１６とスケール板１６を支持する支持部
１０Ａとの間に装着された磁性材の板１８を有し、該磁
性材の板１８によって支持部１０Ａの形状に起因する磁
界偏倚が除去されるように構成されている。
【００１１】本発明によれば、例えば図１に示す如く、
磁気スケールにおいて、スケール部はリニアガイド１０
のガイドレール１０Ａを含み検出部はリニアガイド１０
のスライドブロック１０Ｂを含むように構成されてい
る。
磁気スケールにおいて、スケール部はリニアガイド１０
のガイドレール１０Ａを含み検出部はリニアガイド１０
のスライドブロック１０Ｂを含むように構成されてい
る。
【００１２】本発明によれば、例えば図１に示す如く、
磁気スケールにおいて、支持部１０Ａの形状に起因する
磁界偏倚はリニアガイドのガイドレールに形成されてい
る取り付け用の孔１４Ａに起因する磁界偏倚である。
磁気スケールにおいて、支持部１０Ａの形状に起因する
磁界偏倚はリニアガイドのガイドレールに形成されてい
る取り付け用の孔１４Ａに起因する磁界偏倚である。
【００１３】本発明によれば、磁気スケールにおいて、
スケール部はスケール板１６と磁性材の板１８との間に
配置された非磁性材の板を有するように構成されてい
る。
スケール部はスケール板１６と磁性材の板１８との間に
配置された非磁性材の板を有するように構成されてい
る。
【００１４】
【作用】本発明によれば、スケール部は磁気目盛りが形
成されたスケール板１６とスケール板１６を支持する支
持部との間に装着された磁性材の板１８を有し、この板
１８によって支持部１０Ａの形状に起因する磁界偏倚が
除去されるように構成されている。
成されたスケール板１６とスケール板１６を支持する支
持部との間に装着された磁性材の板１８を有し、この板
１８によって支持部１０Ａの形状に起因する磁界偏倚が
除去されるように構成されている。
【００１５】
【実施例】以下に図１〜図３を参照して本発明の実施例
について説明する。尚図１〜図３において図４〜図７の
対応する部分には同一の参照符号を付してその詳細な説
明は省略する。
について説明する。尚図１〜図３において図４〜図７の
対応する部分には同一の参照符号を付してその詳細な説
明は省略する。
【００１６】図１は、本発明の磁気スケールの例を示し
ており、斯かる磁気スケールはガイドレール１０Ａと斯
かるガイドレール１０Ａに沿って走行するスライドブロ
ック１０Ｂからなるリニアガイドを使用している。
ており、斯かる磁気スケールはガイドレール１０Ａと斯
かるガイドレール１０Ａに沿って走行するスライドブロ
ック１０Ｂからなるリニアガイドを使用している。
【００１７】ガイドレール１０Ａには取り付け孔１４Ａ
が形成されており、斯かる孔１４Ａは例えば工作機械の
基台にリニアガイドを装着するために形成されたもので
ある。この孔１４Ａに適当な締結手段例えばねじを装着
することによって、リニアガイドは基台に取り付けられ
る。
が形成されており、斯かる孔１４Ａは例えば工作機械の
基台にリニアガイドを装着するために形成されたもので
ある。この孔１４Ａに適当な締結手段例えばねじを装着
することによって、リニアガイドは基台に取り付けられ
る。
【００１８】ガイドレール１０Ａの上面には磁性材の板
１８が装着され更にその上面にはスケール板１６が装着
されている。スケール板１６には磁気目盛りが形成され
ている。磁性材の板１８は例えば図示のように、ガイド
レール１０Ａに溝部１４Ｇを形成し斯かる溝部１４Ｇに
装着することによってガイドレール１０Ａに取り付けて
よい。
１８が装着され更にその上面にはスケール板１６が装着
されている。スケール板１６には磁気目盛りが形成され
ている。磁性材の板１８は例えば図示のように、ガイド
レール１０Ａに溝部１４Ｇを形成し斯かる溝部１４Ｇに
装着することによってガイドレール１０Ａに取り付けて
よい。
【００１９】こうして、ガイドレール１０Ａと磁性材の
板１８とスケール板１６とによって磁気スケールのスケ
ール部が構成される。
板１８とスケール板１６とによって磁気スケールのスケ
ール部が構成される。
【００２０】スライドブロック１０Ｂには３つの取り付
け部材、即ち、第１の取り付け部材２１、第２の取り付
け部材２２及び第３の取り付け部材２３が装着され、第
１の取り付け部材２１の前端部には突起部２１Ａが形成
され、斯かる突起部２１Ａに第３の取り付け部材２３が
装着されるように構成されている。第３の取り付け部材
２３の下面には高さ調節用のスペーサ２４を介して磁気
検出素子２６が装着されており、斯かる磁気検出素子２
６はスケール部の磁気目盛りに対面するように配置され
ている。こうして、スライドブロック１０Ｂと３つの取
り付け部材２１、２２、２３及びスペーサ２４を介して
装着された磁気検出素子２６とによって磁気スケールの
検出部が構成される。
け部材、即ち、第１の取り付け部材２１、第２の取り付
け部材２２及び第３の取り付け部材２３が装着され、第
１の取り付け部材２１の前端部には突起部２１Ａが形成
され、斯かる突起部２１Ａに第３の取り付け部材２３が
装着されるように構成されている。第３の取り付け部材
２３の下面には高さ調節用のスペーサ２４を介して磁気
検出素子２６が装着されており、斯かる磁気検出素子２
６はスケール部の磁気目盛りに対面するように配置され
ている。こうして、スライドブロック１０Ｂと３つの取
り付け部材２１、２２、２３及びスペーサ２４を介して
装着された磁気検出素子２６とによって磁気スケールの
検出部が構成される。
【００２１】磁性材の板１８は磁気目盛りによって生成
される磁界の偏倚を防止し均一な磁界を生成するために
適当な磁性材例えば鉄によって形成される。上述のよう
にガイドレール１０Ａが磁性材より構成されている場合
には取り付け孔１４Ａの部分に磁性材の部分的不均一が
存在し磁界の偏倚が生ずるが、ガイドレール１０Ａが非
磁性材より構成されている場合であっても取り付け孔１
４Ａに磁性材のねじが装着されていれば磁性材の部分的
不均一が存在し磁界の偏倚が生ずる。従って、磁性材よ
り構成された磁性材の板１８によって、磁界の偏倚が防
止され磁界の均一化が達成される。
される磁界の偏倚を防止し均一な磁界を生成するために
適当な磁性材例えば鉄によって形成される。上述のよう
にガイドレール１０Ａが磁性材より構成されている場合
には取り付け孔１４Ａの部分に磁性材の部分的不均一が
存在し磁界の偏倚が生ずるが、ガイドレール１０Ａが非
磁性材より構成されている場合であっても取り付け孔１
４Ａに磁性材のねじが装着されていれば磁性材の部分的
不均一が存在し磁界の偏倚が生ずる。従って、磁性材よ
り構成された磁性材の板１８によって、磁界の偏倚が防
止され磁界の均一化が達成される。
【００２２】図１に示す例で、スケール板１６とその下
側の磁性材の板１８の間に非磁性材のスペーサ板（図示
なし）を配置してよい。それによって、ガイドレール１
０Ａ即ち磁性材の部分的不均一の影響が更に減少され、
磁界の偏倚がより有効に消去されることができる。
側の磁性材の板１８の間に非磁性材のスペーサ板（図示
なし）を配置してよい。それによって、ガイドレール１
０Ａ即ち磁性材の部分的不均一の影響が更に減少され、
磁界の偏倚がより有効に消去されることができる。
【００２３】図２を参照して、本発明の他の実施例を説
明する。図２Ａの例ではガイドレール１０Ａの上側にス
ケール板１６が配置され磁性材の板１８が両者の間に配
置されている。図２Ｂの例はガイドレール１０Ａの下側
にスケール板１６が配置され磁性材の板１８が両者の間
に配置されている。図２Ａと図２Ｂに示す例では、ガイ
ドレール１０Ａの平らな面に磁性材の板１８とスケール
板１６とが装着されている。図２Ｃの例は図１に示した
例と同様にガイドレール１０Ａの上面に溝１４Ｇが形成
され斯かる溝１４Ｇ内に磁性材の板１８が配置されその
上にスケール板１６が配置されている。図２Ｄの例では
ガイドレール１０Ａの下面に溝１４Ｇが形成され斯かる
溝１４Ｇ内に磁性材の板１８が配置されその下側にスケ
ール板１６が配置されている。
明する。図２Ａの例ではガイドレール１０Ａの上側にス
ケール板１６が配置され磁性材の板１８が両者の間に配
置されている。図２Ｂの例はガイドレール１０Ａの下側
にスケール板１６が配置され磁性材の板１８が両者の間
に配置されている。図２Ａと図２Ｂに示す例では、ガイ
ドレール１０Ａの平らな面に磁性材の板１８とスケール
板１６とが装着されている。図２Ｃの例は図１に示した
例と同様にガイドレール１０Ａの上面に溝１４Ｇが形成
され斯かる溝１４Ｇ内に磁性材の板１８が配置されその
上にスケール板１６が配置されている。図２Ｄの例では
ガイドレール１０Ａの下面に溝１４Ｇが形成され斯かる
溝１４Ｇ内に磁性材の板１８が配置されその下側にスケ
ール板１６が配置されている。
【００２４】図２の例でも、図１の例で説明したよう
に、スケール板１６と磁性材の板１８の間に非磁性材の
スペーサ板を配置してよく、それによって磁性材の板１
８によるシールド効果が増加する。
に、スケール板１６と磁性材の板１８の間に非磁性材の
スペーサ板を配置してよく、それによって磁性材の板１
８によるシールド効果が増加する。
【００２５】図３は本発明の効果を示す図６と同様の図
であり、スケール部に沿ってホール素子を走行させて磁
界の強さを測定した結果を示す。横軸はガイドレール１
０Ａの磁気目盛り上の位置を表し縦軸は磁界の強さを表
す。図６と比較して明らかなように、本例によると、取
り付け孔１４Ａが形成された位置でも磁界の乱れが無く
一定である。
であり、スケール部に沿ってホール素子を走行させて磁
界の強さを測定した結果を示す。横軸はガイドレール１
０Ａの磁気目盛り上の位置を表し縦軸は磁界の強さを表
す。図６と比較して明らかなように、本例によると、取
り付け孔１４Ａが形成された位置でも磁界の乱れが無く
一定である。
【００２６】以上はリニアガイドのガイドレール１０Ａ
において、図４に示すようにガイドレール１０Ａに取り
付け孔１４Ａが形成された場合について説明したが、図
７に示すようにガイドレール１０Ａに凹部１４Ｂが形成
されている場合にも本例は適用可能である。
において、図４に示すようにガイドレール１０Ａに取り
付け孔１４Ａが形成された場合について説明したが、図
７に示すようにガイドレール１０Ａに凹部１４Ｂが形成
されている場合にも本例は適用可能である。
【００２７】以上本発明の実施例について詳細に説明し
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
【００２８】
【発明の効果】本発明によると、リニアガイドを使用し
て構成された磁気スケールにおいて、ガイドレール１０
Ａに形成された取り付け孔１４Ａに起因する磁気偏倚を
除去することができるから、磁気スケールの測定誤差を
排除することができる利点がある。
て構成された磁気スケールにおいて、ガイドレール１０
Ａに形成された取り付け孔１４Ａに起因する磁気偏倚を
除去することができるから、磁気スケールの測定誤差を
排除することができる利点がある。
【００２９】本発明によると、スケール部に磁性材の不
均一部分が存在しても磁性材の板１８を配置して磁気目
盛りの磁界に偏倚が生ずることが防止され、従って、磁
気スケールの測定誤差を排除することができる利点があ
る。
均一部分が存在しても磁性材の板１８を配置して磁気目
盛りの磁界に偏倚が生ずることが防止され、従って、磁
気スケールの測定誤差を排除することができる利点があ
る。
【図１】本発明の磁気スケールの分解斜視図である。
【図２】本発明の磁気スケールの例を示す説明図であ
る。
る。
【図３】本発明の磁気スケールにおける磁界の強さを示
す図である。
す図である。
【図４】リニアガイドの例を示す図である。
【図５】従来の磁気スケールにおける磁界を説明する図
である。
である。
【図６】従来の磁気スケールにおける磁界の強さを示す
図である。
図である。
【図７】リニアガイドの他の例を示す図である。
１０ リニアガイド １０Ａ ガイドレール １０Ｂ スライドブロック １２ 基台 １４Ａ 孔 １４Ｂ 凹部 １４Ｇ 溝 １６ スケール板 １８ 磁性材の板 ２１、２２、２３ 取り付け部材 ２４ スペーサ ２６ 検出素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−132901（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34
Claims (4)
- 【請求項１】 磁気目盛りが装着されたスケール部と上
記磁気目盛りを読み取る検出素子が装着され上記スケー
ル部に沿って走行する検出部とを有し、上記スケール部
に対する上記検出部の相対的変位量を検出するように構
成された磁気スケールにおいて、 上記スケール部は上記磁気目盛りが形成されたスケール
板と該スケール板を支持する支持部との間に装着された
磁性材の板を有し、上記スケール板及び磁性材の板は上
記検出部に対して同一側に配置され、上記磁性材の板に
よって上記支持部の形状に起因する磁界偏奇が除去され
るように構成されていることを特徴とする磁気スケー
ル。 - 【請求項２】 請求項１の磁気スケールにおいて、上記
スケール部はリニアガイドのガイドレールを含み上記検
出部はリニアガイドのスライドブロックを含むように構
成されていることを特徴とする磁気スケール。 - 【請求項３】 請求項２の磁気スケールにおいて、上記
支持部の形状に起因する磁界偏倚はリニアガイドのガイ
ドレールに形成されている取り付け用の孔に起因する磁
界偏倚であることを特徴とする磁気スケール。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかの磁気スケール
において、上記スケール部は上記スケール板と上記磁性
材の板との間に配置された非磁性材の板を有することを
特徴とする磁気スケール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4082253A JP2985492B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 磁気スケール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4082253A JP2985492B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 磁気スケール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05280915A JPH05280915A (ja) | 1993-10-29 |
| JP2985492B2 true JP2985492B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=13769282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4082253A Expired - Fee Related JP2985492B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 磁気スケール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2985492B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5797712B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-10-21 | Thk株式会社 | 磁気スケール付き運動案内装置 |
-
1992
- 1992-04-03 JP JP4082253A patent/JP2985492B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05280915A (ja) | 1993-10-29 |
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Legal Events
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