JP2985350B2 - 相転移方法を用いた鉛系複合酸化物の製造方法 - Google Patents
相転移方法を用いた鉛系複合酸化物の製造方法Info
- Publication number
- JP2985350B2 JP2985350B2 JP3078909A JP7890991A JP2985350B2 JP 2985350 B2 JP2985350 B2 JP 2985350B2 JP 3078909 A JP3078909 A JP 3078909A JP 7890991 A JP7890991 A JP 7890991A JP 2985350 B2 JP2985350 B2 JP 2985350B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- temperature
- perovskite
- composite oxide
- based composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パイロクロア相からペ
ロブスカイト相への相転移方法を用いた「ペロブスカイ
ト相の割合が向上した鉛系複合酸化物」の製造方法及び
それにより製造されたペロブスカイト相割合が高い新規
な鉛系複合酸化物に関する。
ロブスカイト相への相転移方法を用いた「ペロブスカイ
ト相の割合が向上した鉛系複合酸化物」の製造方法及び
それにより製造されたペロブスカイト相割合が高い新規
な鉛系複合酸化物に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般式（２）：Pb(Zn1/3Nb2/3)Ｏ3 で示
されるニオブ酸鉛系複合酸化物は、PZN と呼ばれ、小型
のアクチュエータ（サブミクロンの変位が可能）用及び
小型のコンデンサー用セラミックス材料（ここで言うセ
ラミックス材料とは焼結体を言う）として注目を集めて
いる。
されるニオブ酸鉛系複合酸化物は、PZN と呼ばれ、小型
のアクチュエータ（サブミクロンの変位が可能）用及び
小型のコンデンサー用セラミックス材料（ここで言うセ
ラミックス材料とは焼結体を言う）として注目を集めて
いる。
【０００３】PZN は、結晶構造がペロブスカイト型のも
のとパイロクロア型のものと２種存在する。実際のPZN
では、単結晶の場合を除き、両方の型が混在しており、
その場合には、一方の型の部分をペロブスカイト相、他
方の型の部分をパイロクロア相と呼ぶ。ペロブスカイト
型は高い誘電率ｋを示し、一般に誘電率ｋの温度変化を
測定すると、山型のグラフが得られるが、最も高いｋを
示す温度はキュリー温度Ｔｃと呼ばれる。高い誘電率ｋ
を有する材料は、Ｔｃより低い温度で圧電効果を示し、
Ｔｃより高い温度で電歪効果を示す。PZN は、Ｔｃが 1
50℃であるので室温で圧電効果を示す。
のとパイロクロア型のものと２種存在する。実際のPZN
では、単結晶の場合を除き、両方の型が混在しており、
その場合には、一方の型の部分をペロブスカイト相、他
方の型の部分をパイロクロア相と呼ぶ。ペロブスカイト
型は高い誘電率ｋを示し、一般に誘電率ｋの温度変化を
測定すると、山型のグラフが得られるが、最も高いｋを
示す温度はキュリー温度Ｔｃと呼ばれる。高い誘電率ｋ
を有する材料は、Ｔｃより低い温度で圧電効果を示し、
Ｔｃより高い温度で電歪効果を示す。PZN は、Ｔｃが 1
50℃であるので室温で圧電効果を示す。
【０００４】PZN は、これまで単結晶ではペロブスカイ
ト相の割合がほぼ 100％（つまりパイロクロア相がほぼ
０％である）のものが得られている。しかしながら、焼
結体の原料となる粉末（一般に金属酸化物から一工程の
固相反応で製造される）及び焼結体では、これまでペロ
ブスカイト相の割合がほぼ０％のものしか得られていな
い。
ト相の割合がほぼ 100％（つまりパイロクロア相がほぼ
０％である）のものが得られている。しかしながら、焼
結体の原料となる粉末（一般に金属酸化物から一工程の
固相反応で製造される）及び焼結体では、これまでペロ
ブスカイト相の割合がほぼ０％のものしか得られていな
い。
【０００５】何故、粉末及び焼結体の形状でのペロブス
カイト相の割合を問題にするかと言うと、それは、小型
のアクチュエータやコンデンサー等 のデバイスを作製
する方法に因る。一般に、小型のアクチュエータやコン
デンサー等のデバイスを製作するには、次のような製法
が用いられる。つまり、まず、PZN の粉末（粒径１μｍ
程度）を有機溶剤、樹脂バインダー等と混合してスラリ
ーを調整し、このスラリーから例えば厚さ２００μｍ程
度のテープ（グリーンテープと呼ばれる）を作成する。
グリーンテープの状態では有機溶剤は既に蒸発してい
る。次に、「グリーンテープを所定の形状・大きさに切
断し、その上にスクリーン印刷により電極を形成する工
程」を繰り返すことにより、積層物を作成する。その
後、この積層物を例えば400〜500 ℃に加熱してバイン
ダーを焼却した後、例えば1000〜1200℃焼結を行ない、
最後に外部電極を焼き付ける。
カイト相の割合を問題にするかと言うと、それは、小型
のアクチュエータやコンデンサー等 のデバイスを作製
する方法に因る。一般に、小型のアクチュエータやコン
デンサー等のデバイスを製作するには、次のような製法
が用いられる。つまり、まず、PZN の粉末（粒径１μｍ
程度）を有機溶剤、樹脂バインダー等と混合してスラリ
ーを調整し、このスラリーから例えば厚さ２００μｍ程
度のテープ（グリーンテープと呼ばれる）を作成する。
グリーンテープの状態では有機溶剤は既に蒸発してい
る。次に、「グリーンテープを所定の形状・大きさに切
断し、その上にスクリーン印刷により電極を形成する工
程」を繰り返すことにより、積層物を作成する。その
後、この積層物を例えば400〜500 ℃に加熱してバイン
ダーを焼却した後、例えば1000〜1200℃焼結を行ない、
最後に外部電極を焼き付ける。
【０００６】そのため、原料としてPZN の粉末が必要と
なる。しかし、ペロブスカイト型の単結晶を粉砕して粉
末を作るには、単結晶は元々極めて高価なことから、こ
のような用途に使用することは製造コスト上できない。
尚、PZN を構成する各種金属の酸化物の混合粉末を25,0
00kg／cm2 程度の高圧下で固相反応させると、直接に、
約90％のペロブスカイト相を含有するPZN 焼結体が得ら
れたとの報告がある（窯業協会誌1970年第78巻第２号第
46〜58項参照）。このPZN 焼結体を粉砕して粉末にすれ
ば、ペロブスカイト相の割合の高いPZN粉末が得られ
る。
なる。しかし、ペロブスカイト型の単結晶を粉砕して粉
末を作るには、単結晶は元々極めて高価なことから、こ
のような用途に使用することは製造コスト上できない。
尚、PZN を構成する各種金属の酸化物の混合粉末を25,0
00kg／cm2 程度の高圧下で固相反応させると、直接に、
約90％のペロブスカイト相を含有するPZN 焼結体が得ら
れたとの報告がある（窯業協会誌1970年第78巻第２号第
46〜58項参照）。このPZN 焼結体を粉砕して粉末にすれ
ば、ペロブスカイト相の割合の高いPZN粉末が得られ
る。
【０００７】しかしながら、この製法は、ダイヤモンド
アンビル等の超高圧発生装置を必要とし、さらに被処理
物を白金等の容器に入れ密封する必要があるため、製造
コストが非常に高くなる欠点がある。そこで、PZN を、
ペロブスカイト型結晶構造をとるPbＴｉＯ3 （PTと呼ば
れる）との固溶体にする方法が開発された。例えば、
「固体および粉末冶金」第16号第 6号P253を参照された
い。この固溶体は、単結晶では、0.9PZN−0.1PT 付近の
組成で誘電率と電気機械結合定数の極大が観測され優れ
た圧電性を示す。これをセラミックスにすると、誘電率
が低くなり、また、焼結が不可能となってしまう。これ
は、セラミックスにした場合、PZN が50moｌ％以上の組
成では、パイロクロア相とペロブスカイト相が混在して
いることに起因している。PZN −PT系セラミックスにお
いて、ペロブスカイト相の割合が少ないと、その分だけ
焼結体の誘電率が低く、そのため、デバイスの性能は低
下する。
アンビル等の超高圧発生装置を必要とし、さらに被処理
物を白金等の容器に入れ密封する必要があるため、製造
コストが非常に高くなる欠点がある。そこで、PZN を、
ペロブスカイト型結晶構造をとるPbＴｉＯ3 （PTと呼ば
れる）との固溶体にする方法が開発された。例えば、
「固体および粉末冶金」第16号第 6号P253を参照された
い。この固溶体は、単結晶では、0.9PZN−0.1PT 付近の
組成で誘電率と電気機械結合定数の極大が観測され優れ
た圧電性を示す。これをセラミックスにすると、誘電率
が低くなり、また、焼結が不可能となってしまう。これ
は、セラミックスにした場合、PZN が50moｌ％以上の組
成では、パイロクロア相とペロブスカイト相が混在して
いることに起因している。PZN −PT系セラミックスにお
いて、ペロブスカイト相の割合が少ないと、その分だけ
焼結体の誘電率が低く、そのため、デバイスの性能は低
下する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】昨今のハイテク化の進
展に伴い、デバイスの性能に対する要求は益々高くな
り、そのため、PZN −PT固溶体粉末（ペロブスカイト型
単結晶を粉末化したものでなく通常の固相反応で得られ
たもの）は、ペロブスカイト相の割合が未だ低いという
点が問題となってきた。
展に伴い、デバイスの性能に対する要求は益々高くな
り、そのため、PZN −PT固溶体粉末（ペロブスカイト型
単結晶を粉末化したものでなく通常の固相反応で得られ
たもの）は、ペロブスカイト相の割合が未だ低いという
点が問題となってきた。
【０００９】従って、本発明の第１の目的は、PZN −PT
固溶体を総称して、ここでは鉛系複合酸化物と呼ぶが、
その鉛系複合酸化物のペロブスカイト相の割合を高める
ことにある。本発明の第２の目的は、ペロブスカイト相
の割合が向上した鉛系複合酸化物を安価に製造すること
にある。
固溶体を総称して、ここでは鉛系複合酸化物と呼ぶが、
その鉛系複合酸化物のペロブスカイト相の割合を高める
ことにある。本発明の第２の目的は、ペロブスカイト相
の割合が向上した鉛系複合酸化物を安価に製造すること
にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意研究
の結果、ペロブスカイト相の割合が低い従来のPZN −PT
固溶体粉末を原料として下記に示す特別な条件下に高温
高圧処理すると、パイロクロア相がペロブスカイト相に
相転移し、そのため、ペロブスカイト相の割合が向上す
ることを見出し、本発明を成すに到った。
の結果、ペロブスカイト相の割合が低い従来のPZN −PT
固溶体粉末を原料として下記に示す特別な条件下に高温
高圧処理すると、パイロクロア相がペロブスカイト相に
相転移し、そのため、ペロブスカイト相の割合が向上す
ることを見出し、本発明を成すに到った。
【００１１】よって、本発明は、先ず初めに、一般式
（１）： ｘPb(Zn1/3Nb2/3)Ｏ3 −ｙPbＴｉＯ3 （但し、ｘは原子比率で0.5 〜1 であり ｙは原子比率で 0〜0.5 であり ｘ＋ｙは１である。） で示されパイロクロア相を有する原料を、 温度：500 〜1300℃好ましくは800 〜1200℃ 特に好ましくは1000〜1200℃ 圧力:1000 〜4000kg／cm2 好ましくは1000〜3000kg／cm
2 特に好ましくは1300〜2000kg／cm2 の条件下で高温高圧処理することにより、前記パイロク
ロア相をペロブスカイト相に相転移させることを特徴と
するペロブスカイト相の割合が向上した鉛系複合酸化物
の製造方法（請求項１) を提供する。
（１）： ｘPb(Zn1/3Nb2/3)Ｏ3 −ｙPbＴｉＯ3 （但し、ｘは原子比率で0.5 〜1 であり ｙは原子比率で 0〜0.5 であり ｘ＋ｙは１である。） で示されパイロクロア相を有する原料を、 温度：500 〜1300℃好ましくは800 〜1200℃ 特に好ましくは1000〜1200℃ 圧力:1000 〜4000kg／cm2 好ましくは1000〜3000kg／cm
2 特に好ましくは1300〜2000kg／cm2 の条件下で高温高圧処理することにより、前記パイロク
ロア相をペロブスカイト相に相転移させることを特徴と
するペロブスカイト相の割合が向上した鉛系複合酸化物
の製造方法（請求項１) を提供する。
【００１２】次に、本発明は、一般式 （１）： ｘPb(Zn1/3Nb2/3)Ｏ3 −ｙPbＴｉＯ3 （ｘは原子比率で0.5 〜1 であり ｙは原子比率で 0〜0.5 であり ｘ＋ｙは１である。） で示され、ペロブスカイト相の割合が90％以上である鉛
系複合酸化物焼結体又はその粉末（請求項５）を提供す
る。
系複合酸化物焼結体又はその粉末（請求項５）を提供す
る。
【００１３】本発明は、また、前記複合酸化物からなる
アクチュエータ用電歪又は圧電部材材料（請求項６）を
提供する。
アクチュエータ用電歪又は圧電部材材料（請求項６）を
提供する。
【００１４】
【作用】本発明の高温高圧処理の条件で、温度が500 ℃
より低いと相転移が起き難くなるので不適当であり、逆
に1300℃より高いと融解が起こるので不適当である。ま
た、圧力が1000kg／cm2 より低いと、パイロクロア型か
らペロブスカイト型への相転移が起き難くなるので不適
当であり、逆に4000kg／cm2 より高いと、製造装置の値
段が高くなるので不適当である。
より低いと相転移が起き難くなるので不適当であり、逆
に1300℃より高いと融解が起こるので不適当である。ま
た、圧力が1000kg／cm2 より低いと、パイロクロア型か
らペロブスカイト型への相転移が起き難くなるので不適
当であり、逆に4000kg／cm2 より高いと、製造装置の値
段が高くなるので不適当である。
【００１５】高温高圧処理は、1 〜5 時間位が好まし
く、1 時間より短いと相転移が十分ではなくなり、逆に
5 時間より長いと、鉛の揮発が著しくなり、目的物が得
られなくなる傾向があるので好ましくない。高温高圧処
理の具体的方法としては、ホットプレスや、特に熱間静
水圧プレス( 請求項３）が好ましい。
く、1 時間より短いと相転移が十分ではなくなり、逆に
5 時間より長いと、鉛の揮発が著しくなり、目的物が得
られなくなる傾向があるので好ましくない。高温高圧処
理の具体的方法としては、ホットプレスや、特に熱間静
水圧プレス( 請求項３）が好ましい。
【００１６】また、前述の高温高圧処理は、アルゴンと
酸素の混合ガス等の酸素を含む雰囲気中でも、窒素、ア
ルゴン、ヘリウム等の不活性ガス中でもよいが、処理装
置の価格や操作の煩雑さ等を考えると、不活性ガス雰囲
気中で処理を行うことが好ましい（請求項４）。
酸素の混合ガス等の酸素を含む雰囲気中でも、窒素、ア
ルゴン、ヘリウム等の不活性ガス中でもよいが、処理装
置の価格や操作の煩雑さ等を考えると、不活性ガス雰囲
気中で処理を行うことが好ましい（請求項４）。
【００１７】しかしながら、これまで、PZN −PTの焼結
体でPZN が50mol ％以上のものでペロブスカイト相の割
合が高いものは入手できなかった事実を考えるとｘ＝0.
5 〜1 （原子比率）のもの（請求項１）特にｘ＝0.8 〜
1 （原子比率）のものが有用である。尚、本発明の製法
の原料は、その原料を構成する金属の酸化物の粉末混合
物から従来の常圧下での固相反応により粉末として容易
に得られる。従って、原料は安価なもので済むことか
ら、本発明による生成物も安価に製造される。
体でPZN が50mol ％以上のものでペロブスカイト相の割
合が高いものは入手できなかった事実を考えるとｘ＝0.
5 〜1 （原子比率）のもの（請求項１）特にｘ＝0.8 〜
1 （原子比率）のものが有用である。尚、本発明の製法
の原料は、その原料を構成する金属の酸化物の粉末混合
物から従来の常圧下での固相反応により粉末として容易
に得られる。従って、原料は安価なもので済むことか
ら、本発明による生成物も安価に製造される。
【００１８】以下、参考例、実施例により本発明をより
具体的に説明するが、本発明はこれに限られるものでは
ない。 〔参考例・・・・原料の製造〕まず、出発原料として化
学的純度99％以上のＰｂＯ、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 及びＮｂ
2Ｏ5 を用意し、これを金属原子だけに換算して、下記
第１表記載のｘ（ｙ＝１−ｘ）の値を有する一般式
（１）の化合物に相当するＰｂ、Ｚｎ、Ｔｉ及びＮｂを
与えるような量を秤量し、これらを「ジルコニア製ボー
ルを用いたジルコニア製ボールミル」に投入し、更に溶
媒としてエタノールを加え、48時間湿式混合した。
具体的に説明するが、本発明はこれに限られるものでは
ない。 〔参考例・・・・原料の製造〕まず、出発原料として化
学的純度99％以上のＰｂＯ、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 及びＮｂ
2Ｏ5 を用意し、これを金属原子だけに換算して、下記
第１表記載のｘ（ｙ＝１−ｘ）の値を有する一般式
（１）の化合物に相当するＰｂ、Ｚｎ、Ｔｉ及びＮｂを
与えるような量を秤量し、これらを「ジルコニア製ボー
ルを用いたジルコニア製ボールミル」に投入し、更に溶
媒としてエタノールを加え、48時間湿式混合した。
【００１９】次に、エタノールを自然に蒸発させて乾燥
させた後、得られた混合物をアルミナ坩堝（るつぼ）へ
移し、同質のフタをし、850 ℃で２時間仮焼した。これ
により下記第１表に示すｘ（ｙ＝１−ｘ）を有する化合
物を得た。これを再度平均粒径１μｍ程度に粉砕し原料
とした。この原料について、粉末Ｘ線回折法によりペロ
ブスカイト相の割合を測定した。実験したすべての組成
においてペロブスカイトとパイロクロア以外の結晶相は
存在が確認されなかったため、「ペロブスカイト相の割
合Ｓ」をペロブスカイト相の主ピークの高さｈ110 とパ
イロクロア相の主ピークの高さｈ222 との比として数１
の式で定義して求めた。
させた後、得られた混合物をアルミナ坩堝（るつぼ）へ
移し、同質のフタをし、850 ℃で２時間仮焼した。これ
により下記第１表に示すｘ（ｙ＝１−ｘ）を有する化合
物を得た。これを再度平均粒径１μｍ程度に粉砕し原料
とした。この原料について、粉末Ｘ線回折法によりペロ
ブスカイト相の割合を測定した。実験したすべての組成
においてペロブスカイトとパイロクロア以外の結晶相は
存在が確認されなかったため、「ペロブスカイト相の割
合Ｓ」をペロブスカイト相の主ピークの高さｈ110 とパ
イロクロア相の主ピークの高さｈ222 との比として数１
の式で定義して求めた。
【００２０】
【数１】
【００２１】尚、本明細書で言う「ペロブスカイト相の
割合」は、この定義による。
割合」は、この定義による。
【００２２】
【実施例】上記参考例で製造した原料粉末 100重量％に
対し、5 重量％の水を加え、直径20mm、高さ約20mmの円
柱状に成形圧力500 kg／cm2 で成形した。成形物をマグ
ネシア坩堝中に入れ同質のフタをし、これを熱間静水圧
プレス装置(HIP) にセットし、アルゴンガスを導入して
不活性ガス雰囲気を作った後、第１表記載のHIP 圧力で
成形物を加圧し、この圧力を保ったまま、速度400 ℃／
ｈｒで昇温して第１表記載のHIP 温度で２時間保持し
た。
対し、5 重量％の水を加え、直径20mm、高さ約20mmの円
柱状に成形圧力500 kg／cm2 で成形した。成形物をマグ
ネシア坩堝中に入れ同質のフタをし、これを熱間静水圧
プレス装置(HIP) にセットし、アルゴンガスを導入して
不活性ガス雰囲気を作った後、第１表記載のHIP 圧力で
成形物を加圧し、この圧力を保ったまま、速度400 ℃／
ｈｒで昇温して第１表記載のHIP 温度で２時間保持し
た。
【００２３】これにより、パイロクロア相からペロブス
カイト相への相転移が起こる。この後、可能な限り最高
圧力を維持し、600 ℃／ｈｒの速度で室温まで降温し、
生成物（鉛系複合酸化物）を装置から取り出した。生成
物は、メノウ乳鉢で粉砕し、粉末Ｘ線回折法によりペロ
ブスカイト相の割合を測定したこの結果を表１に示す。
尚、実験 No.５は、比較例であり、高温高圧処理で圧力
を全く加えなかった。
カイト相への相転移が起こる。この後、可能な限り最高
圧力を維持し、600 ℃／ｈｒの速度で室温まで降温し、
生成物（鉛系複合酸化物）を装置から取り出した。生成
物は、メノウ乳鉢で粉砕し、粉末Ｘ線回折法によりペロ
ブスカイト相の割合を測定したこの結果を表１に示す。
尚、実験 No.５は、比較例であり、高温高圧処理で圧力
を全く加えなかった。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、一般式
（１）の化合物（原料）について、初めて、パイロクロ
ア相をペロブスカイト相に転移させ単結晶以外で、初め
て、ペロブスカイト相の割合の高い（向上した）鉛系複
合酸化物を得る事ができた。特に、ペロブスカイト相の
割合が90％以上と言う高い一般式（１）でｘ＝0.5 〜1
の組成を有する鉛系複合酸化物セラミックスは、世界で
初めて入手できた新規物質であり、本発明の当該技術分
野への貢献は多大である。
（１）の化合物（原料）について、初めて、パイロクロ
ア相をペロブスカイト相に転移させ単結晶以外で、初め
て、ペロブスカイト相の割合の高い（向上した）鉛系複
合酸化物を得る事ができた。特に、ペロブスカイト相の
割合が90％以上と言う高い一般式（１）でｘ＝0.5 〜1
の組成を有する鉛系複合酸化物セラミックスは、世界で
初めて入手できた新規物質であり、本発明の当該技術分
野への貢献は多大である。
【００２６】しかも、本発明によれば、原料は常圧下で
の単なる固相反応で得られるものが使用でき、本発明の
特徴である高温高圧処理でも、ダイヤモンドアンビル等
の超高圧発生装置を必要とせず、更に被処理物を白金等
の容器に入れ密封する必要もないため、安価に製造でき
る利点がある。本発明によって製造された複合酸化物
は、ペロブスカイト相の割合が高く、そのため誘電率ｋ
が高いので、性能の優れたデバイス製作が可能となる。
の単なる固相反応で得られるものが使用でき、本発明の
特徴である高温高圧処理でも、ダイヤモンドアンビル等
の超高圧発生装置を必要とせず、更に被処理物を白金等
の容器に入れ密封する必要もないため、安価に製造でき
る利点がある。本発明によって製造された複合酸化物
は、ペロブスカイト相の割合が高く、そのため誘電率ｋ
が高いので、性能の優れたデバイス製作が可能となる。
【００２７】尚、本発明の、「ペロブスカイト相の割合
が向上した鉛系複合酸化物」の製造は、高温高圧の条件
さえ合えば、デバイス製造工程の中での焼結と同時に実
行することも可能である。この場合には、デバイスは更
に安価に製造できる。
が向上した鉛系複合酸化物」の製造は、高温高圧の条件
さえ合えば、デバイス製造工程の中での焼結と同時に実
行することも可能である。この場合には、デバイスは更
に安価に製造できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤生 尚光 神奈川県相模原市区麻溝台１丁目10番１ 号 株式会社ニコン 相模原製作所内 (56)参考文献 特開 昭63−265822（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−148750（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C01G 1/00 - 33/00 C04B 35/00 - 35/46 H01L 41/18 H01B 3/12
Claims (4)
- 【請求項１】 一般式（１）： ｘPb(Zn1/3Nb2/3)Ｏ3−ｙPbTiＯ3 （但し、ｘは原子比率で0.5〜１でありｙは原子比率で
０〜0.5でありｘ＋ｙは１である。） で示され少なくともパイロクロア相を有する原料を、 温度： 500〜1300℃ 圧力：1000〜4000kg／cm2 の条件下で高温高圧処理することより、前記パイロクロ
ア相をペロブスカイト相に相転移させることを特徴とす
る、鉛系複合酸化物の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の製造方法において、ペロ
ブスカイト相の割合が90％以上の鉛系複合酸化物を製造
する方法。 - 【請求項３】 前述の高温高圧処理が、熱間静水圧プレ
スであることを特徴とする請求項１記載の製造方法。 - 【請求項４】 前述の高温高圧処理を不活性ガスの中で
行なうことを特徴とする請求項１記載の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3078909A JP2985350B2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 相転移方法を用いた鉛系複合酸化物の製造方法 |
| US07/754,015 US5192723A (en) | 1990-09-04 | 1991-09-03 | Method of phase transition, method for producing lead niobate-based complex oxide utilizing said phase transition method, and lead niobate-based complex oxide produced by said method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3078909A JP2985350B2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 相転移方法を用いた鉛系複合酸化物の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04317454A JPH04317454A (ja) | 1992-11-09 |
| JP2985350B2 true JP2985350B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=13674971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3078909A Expired - Fee Related JP2985350B2 (ja) | 1990-09-04 | 1991-04-11 | 相転移方法を用いた鉛系複合酸化物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2985350B2 (ja) |
-
1991
- 1991-04-11 JP JP3078909A patent/JP2985350B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04317454A (ja) | 1992-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Wang et al. | Synthesizing nanocrystalline Pb (Zn1/3Nb2/3) O3 powders from mixed oxides | |
| US20060006360A1 (en) | Grain oriented ceramics and production method thereof | |
| US6440243B1 (en) | Methods of forming ceramic compositions | |
| US10003009B2 (en) | Composite piezoelectric ceramic and piezoelectric device | |
| CN111087238B (zh) | 钛酸铋钠基无铅压电陶瓷及其制备方法 | |
| US20080152530A1 (en) | Method of preparing ferroelectric powders and ceramics | |
| KR100394348B1 (ko) | 압전 세라믹 제조 방법 | |
| CN100371298C (zh) | 晶粒取向陶瓷及其制造方法 | |
| Kondo et al. | Sintering behavior and surface microstructure of PbO‐Rich PbNi1/3Nb2/3O3–PbTiO3–PbZrO3 ceramics | |
| JPH0817245A (ja) | 強誘電体薄膜およびその製造方法 | |
| Malič et al. | Review of methods for powder-based processing | |
| US6627104B1 (en) | Mechanochemical fabrication of electroceramics | |
| Kong et al. | Reaction sintering of partially reacted system for PZT ceramics via a high-energy ball milling | |
| KR101981649B1 (ko) | BaTiO3계 무연 압전 세라믹스의 결정배향용 템플레이트 및 그 제조방법 | |
| US5192723A (en) | Method of phase transition, method for producing lead niobate-based complex oxide utilizing said phase transition method, and lead niobate-based complex oxide produced by said method | |
| CN115849905A (zh) | 一种高温压电陶瓷材料、制备方法及应用 | |
| JP2985350B2 (ja) | 相転移方法を用いた鉛系複合酸化物の製造方法 | |
| US6592805B1 (en) | Method for producing sintered electroceramic materials from hydroxide and oxalate precursors | |
| US20120018664A1 (en) | Method of producing a lead zirconium titanate-based sintered body, lead zirconium titanate-based sintered body, and lead zirconium titanate-based sputtering target | |
| Kong et al. | Pb (ZrxTi1− x) O3 ceramics via reactive sintering of partially reacted mixture produced by a high-energy ball milling process | |
| Gan et al. | Lead zirconate titanate–barium titanate by mechanical activation of mixed oxides | |
| JPH11335825A (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
| JP3932351B2 (ja) | 多成分系圧電材料の製造方法 | |
| JP2003020274A (ja) | 圧電体ペーストならびにこれを用いた圧電体膜および圧電体部品 | |
| Junmin et al. | Synthesizing 0.9 PZN–0.1 BT by mechanically activating mixed oxides |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |