JP2983089B2 - 拡大確認装置 - Google Patents
拡大確認装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，拡大確認装置に関し，
特に，プリント板等の検査結果を拡大鏡（又は，ステレ
オスコープ）で確認する作業に用いる指示機能付き拡大
確認装置に関する。
特に，プリント板等の検査結果を拡大鏡（又は，ステレ
オスコープ）で確認する作業に用いる指示機能付き拡大
確認装置に関する。
【０００２】プリント（配線）板に半導体装置等の電子
部品を半田付けにより実装した後，その半田付けの結果
がＸ線又は光学式等の半田付け検査装置を用いて検査さ
れる。更に，この検査の結果で，不良とされた箇所が真
の不良か否かを，拡大確認装置を用いて拡大した状態で
目視により確認される。
部品を半田付けにより実装した後，その半田付けの結果
がＸ線又は光学式等の半田付け検査装置を用いて検査さ
れる。更に，この検査の結果で，不良とされた箇所が真
の不良か否かを，拡大確認装置を用いて拡大した状態で
目視により確認される。
【０００３】
【従来の技術】図６は，従来の拡大確認装置による確認
作業の概略を示す。図６において，検査装置１２での検
査結果は，確認対象物３であるプリント板上での不良箇
所の位置データとして，検査結果ファイル９に格納され
る。位置データは，Ｘ座標及びＹ座標からなる位置座標
（Ｘ，Ｙ）で表される。一方，確認作業のため，プリン
ト板が拡大確認装置のＸ−Ｙステージ４上の所定の位置
に載置されている。この状態で，パーソナルコンピュー
タの如きコントローラ８’に検査結果ファイル９の位置
データを入力する。コントローラ８’は，Ｘ−Ｙステー
ジコントローラ７を介してＸ−Ｙステージ４を移動させ
ることにより，ステレオスコープ（又は，拡大鏡）１の
直下に，当該位置データの示す不良箇所を移動させる。
これにより，拡大画像が得られるので，検査員が目視に
より，当該位置データの示す不良箇所が真の不良か否か
を確認する。真の不良である場合，検査員は，当該不良
箇所を修正する。
作業の概略を示す。図６において，検査装置１２での検
査結果は，確認対象物３であるプリント板上での不良箇
所の位置データとして，検査結果ファイル９に格納され
る。位置データは，Ｘ座標及びＹ座標からなる位置座標
（Ｘ，Ｙ）で表される。一方，確認作業のため，プリン
ト板が拡大確認装置のＸ−Ｙステージ４上の所定の位置
に載置されている。この状態で，パーソナルコンピュー
タの如きコントローラ８’に検査結果ファイル９の位置
データを入力する。コントローラ８’は，Ｘ−Ｙステー
ジコントローラ７を介してＸ−Ｙステージ４を移動させ
ることにより，ステレオスコープ（又は，拡大鏡）１の
直下に，当該位置データの示す不良箇所を移動させる。
これにより，拡大画像が得られるので，検査員が目視に
より，当該位置データの示す不良箇所が真の不良か否か
を確認する。真の不良である場合，検査員は，当該不良
箇所を修正する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術におい
て，ステレオスコープ１によって得られる拡大画像は，
図７に示す如く，常に，不良箇所が画像の中心にくるよ
うに制御されていた。即ち，不良箇所が，拡大鏡の視野
の中心に存在するように，Ｘ−Ｙステージ４が移動して
いた。
て，ステレオスコープ１によって得られる拡大画像は，
図７に示す如く，常に，不良箇所が画像の中心にくるよ
うに制御されていた。即ち，不良箇所が，拡大鏡の視野
の中心に存在するように，Ｘ−Ｙステージ４が移動して
いた。
【０００５】ところが，同一視野内に複数の部品（チッ
プ部品等）又は複数のリード（ＩＣ等のリード）が存在
し，かつ，それらが複数の不良箇所である場合には，一
度に確認できるにも拘らず，個々の不良箇所が視野の中
心にくるようにその都度Ｘ−Ｙステージ４が移動してし
まう。このため，必ずＸ−Ｙステージ４の移動を伴うの
で作業効率が悪いという問題があった。また，次の目視
の対象である不良箇所が同一の視野内を移動するので，
どうしても検査員がこれに注目してしまい目の疲労度が
大きくなってしまうという問題があった。
プ部品等）又は複数のリード（ＩＣ等のリード）が存在
し，かつ，それらが複数の不良箇所である場合には，一
度に確認できるにも拘らず，個々の不良箇所が視野の中
心にくるようにその都度Ｘ−Ｙステージ４が移動してし
まう。このため，必ずＸ−Ｙステージ４の移動を伴うの
で作業効率が悪いという問題があった。また，次の目視
の対象である不良箇所が同一の視野内を移動するので，
どうしても検査員がこれに注目してしまい目の疲労度が
大きくなってしまうという問題があった。
【０００６】本発明は，確認作業の効率化と検査員の目
の疲労度の低下が可能な指示機能付き拡大確認装置を提
供することを目的とする。
の疲労度の低下が可能な指示機能付き拡大確認装置を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】図１は，本発明の原理構
成図であり，本発明による拡大確認装置を示す。図１に
おいて，Ｘ−Ｙステージ４は，確認対象物３であるプリ
ント板等を載置する。この確認対象物３については，予
め検査装置による検査が行われ，その検査結果により不
良箇所についてのデータが検査結果ファイル９に格納さ
れている。このデータに基づいて，Ｘ−Ｙステージ制御
手段であるＸ−Ｙステージコントローラ７が，不良箇所
が所定の位置，即ち，表示装置であるステレオスコープ
１の直下に移動するように，Ｘ−Ｙステージ４を制御す
る。ステレオスコープ１は，目視による確認のため，不
良箇所を拡大した拡大画像を得る。
成図であり，本発明による拡大確認装置を示す。図１に
おいて，Ｘ−Ｙステージ４は，確認対象物３であるプリ
ント板等を載置する。この確認対象物３については，予
め検査装置による検査が行われ，その検査結果により不
良箇所についてのデータが検査結果ファイル９に格納さ
れている。このデータに基づいて，Ｘ−Ｙステージ制御
手段であるＸ−Ｙステージコントローラ７が，不良箇所
が所定の位置，即ち，表示装置であるステレオスコープ
１の直下に移動するように，Ｘ−Ｙステージ４を制御す
る。ステレオスコープ１は，目視による確認のため，不
良箇所を拡大した拡大画像を得る。
【０００８】この拡大画像において，投光装置６が，そ
の時点で確認の対象となっている不良箇所を光（可視
光）により指示（マーキング）する。座標制御手段であ
る座標コントローラ５は，不良箇所についてのデータに
基づいて，不良箇所を投光装置６からの光が指示するよ
うに，投光装置６を制御する。特に，座標コントローラ
５は，１つの拡大画像における複数の不良箇所を順次光
により指示するように，投光装置６を制御する。そし
て，この間は，Ｘ−Ｙステージコントローラ７が，Ｘ−
Ｙステージ４（即ち，確認対象物３）を移動しないよう
に制御する。
の時点で確認の対象となっている不良箇所を光（可視
光）により指示（マーキング）する。座標制御手段であ
る座標コントローラ５は，不良箇所についてのデータに
基づいて，不良箇所を投光装置６からの光が指示するよ
うに，投光装置６を制御する。特に，座標コントローラ
５は，１つの拡大画像における複数の不良箇所を順次光
により指示するように，投光装置６を制御する。そし
て，この間は，Ｘ−Ｙステージコントローラ７が，Ｘ−
Ｙステージ４（即ち，確認対象物３）を移動しないよう
に制御する。
【０００９】
【作用】図２は，本発明の作用説明図であり，図７と対
比されるものである。ステレオスコープ１により得られ
る拡大画像は，図２の如くになる。即ち，まず，１つの
不良箇所，例えば電子部品Ｐ１が，Ｘ−Ｙステージコン
トローラ７により，所定の位置，例えば拡大画像の中心
の位置に移動され，この状態で，座標コントローラ５に
より投光装置６からの光（図に示す点状の光）で現在の
確認対象であることが指示される（図の上部）。この
時，１つの拡大画像（ステレオスコープ１の同一視野）
内に，他の不良箇所である電子部品Ｐ２も存在する。
比されるものである。ステレオスコープ１により得られ
る拡大画像は，図２の如くになる。即ち，まず，１つの
不良箇所，例えば電子部品Ｐ１が，Ｘ−Ｙステージコン
トローラ７により，所定の位置，例えば拡大画像の中心
の位置に移動され，この状態で，座標コントローラ５に
より投光装置６からの光（図に示す点状の光）で現在の
確認対象であることが指示される（図の上部）。この
時，１つの拡大画像（ステレオスコープ１の同一視野）
内に，他の不良箇所である電子部品Ｐ２も存在する。
【００１０】検査員が確認を終了し，次の確認対象Ｐ２
の確認を行う指示を入力すると，座標コントローラ５の
制御により投光装置６からの光が移動し，次の時点での
確認対象である電子部品Ｐ２を指示する（図の下部）。
そして，この間，Ｘ−Ｙステージコントローラ７が，Ｘ
−Ｙステージ４を移動させることはない。
の確認を行う指示を入力すると，座標コントローラ５の
制御により投光装置６からの光が移動し，次の時点での
確認対象である電子部品Ｐ２を指示する（図の下部）。
そして，この間，Ｘ−Ｙステージコントローラ７が，Ｘ
−Ｙステージ４を移動させることはない。
【００１１】これにより，１つの拡大画像において複数
の不良箇所が存在する場合には，Ｘ−Ｙステージ４の移
動を伴わないので，作業効率が向上する。また，不良箇
所が同一視野内を移動することもないので，検査員の目
の疲労度を低下でき，目の疲労による検査の正確さの低
下を防止して検査結果の正確さを確保できる。更に，光
により作業員にその時点での確認対象を指示できるの
で，この点でも作業員の負担を軽くできる。
の不良箇所が存在する場合には，Ｘ−Ｙステージ４の移
動を伴わないので，作業効率が向上する。また，不良箇
所が同一視野内を移動することもないので，検査員の目
の疲労度を低下でき，目の疲労による検査の正確さの低
下を防止して検査結果の正確さを確保できる。更に，光
により作業員にその時点での確認対象を指示できるの
で，この点でも作業員の負担を軽くできる。
【００１２】
【実施例】図１において，パーソナルコンピュータの如
き総合制御装置８は，検査結果ファイル９中の不良箇所
についてのデータを，より最適なＸ−Ｙステージ制御デ
ータ及び投光装置制御データに変換した上で，各々，Ｘ
−Ｙステージコントローラ７及び座標コントローラ５へ
送る。不良箇所についてのデータは，予め，確認対象物
３をその検査装置（図示せず）により検査することによ
って得る。Ｘ−Ｙステージコントローラ７及び座標コン
トローラ５へのデータの送出は，検査員がコンソールの
テストステップスイッチ１１を押下げることにより，所
定の順に１つの不良箇所毎に行われる。このテストステ
ップスイッチ１１の押下げは，図２の次対象指示を示
す。
き総合制御装置８は，検査結果ファイル９中の不良箇所
についてのデータを，より最適なＸ−Ｙステージ制御デ
ータ及び投光装置制御データに変換した上で，各々，Ｘ
−Ｙステージコントローラ７及び座標コントローラ５へ
送る。不良箇所についてのデータは，予め，確認対象物
３をその検査装置（図示せず）により検査することによ
って得る。Ｘ−Ｙステージコントローラ７及び座標コン
トローラ５へのデータの送出は，検査員がコンソールの
テストステップスイッチ１１を押下げることにより，所
定の順に１つの不良箇所毎に行われる。このテストステ
ップスイッチ１１の押下げは，図２の次対象指示を示
す。
【００１３】また，総合制御装置８には，確認（診断）
の結果が入力される。この入力は，不良箇所が真の不良
として正しいか否かを，例えば，コンソールの所定のボ
タンの押下げによって行う。否ボタンの押下げの場合，
確認対象とされた（不良）箇所は真に不良であったこと
になる。一方，正ボタンの押下げ（又は否ボタンの押下
げがない）の場合，確認対象とされた（不良）箇所は不
良ではなかったことになる。
の結果が入力される。この入力は，不良箇所が真の不良
として正しいか否かを，例えば，コンソールの所定のボ
タンの押下げによって行う。否ボタンの押下げの場合，
確認対象とされた（不良）箇所は真に不良であったこと
になる。一方，正ボタンの押下げ（又は否ボタンの押下
げがない）の場合，確認対象とされた（不良）箇所は不
良ではなかったことになる。
【００１４】この確認結果は，次工程，例えば修正工程
で利用される。即ち，検査結果ファイル９中のデータ
は，確認結果に基づいて，真の不良箇所のみを示すよう
に修正される。また，修正されたデータに基づいて，確
認対象物３の修正がなされる。
で利用される。即ち，検査結果ファイル９中のデータ
は，確認結果に基づいて，真の不良箇所のみを示すよう
に修正される。また，修正されたデータに基づいて，確
認対象物３の修正がなされる。
【００１５】検査結果ファイル９中のデータは，図３に
示す如き形とされる。即ち，確認対象物３であるプリン
ト板上の不良箇所である電子部品毎に，部品No. ，型
格，位置座標を格納してなる。電子部品は，例えば，検
査装置での検査順序に従って並べられる。部品No. は，
そのプリント板内での当該電子部品の番号（プリント板
内ＩＤ）であり，ユニークなものである。型格は，メー
カの付した製品名である。これらはプリント板の修正の
ためのものである。位置座標は，第１の位置座標である
Ｘ−Ｙステージ座標と第２の位置座標である光指示座標
とからなる。Ｘ−Ｙステージ座標は，当該不良箇所又は
電子部品の確認の際（拡大画像とする際）のＸ−Ｙステ
ージ４の位置を表す。光指示座標は，拡大画像における
光による指示の位置を表す。そして，前者はＸ−Ｙステ
ージコントローラ７へ，後者は座標コントローラ５へ，
各々送られる。
示す如き形とされる。即ち，確認対象物３であるプリン
ト板上の不良箇所である電子部品毎に，部品No. ，型
格，位置座標を格納してなる。電子部品は，例えば，検
査装置での検査順序に従って並べられる。部品No. は，
そのプリント板内での当該電子部品の番号（プリント板
内ＩＤ）であり，ユニークなものである。型格は，メー
カの付した製品名である。これらはプリント板の修正の
ためのものである。位置座標は，第１の位置座標である
Ｘ−Ｙステージ座標と第２の位置座標である光指示座標
とからなる。Ｘ−Ｙステージ座標は，当該不良箇所又は
電子部品の確認の際（拡大画像とする際）のＸ−Ｙステ
ージ４の位置を表す。光指示座標は，拡大画像における
光による指示の位置を表す。そして，前者はＸ−Ｙステ
ージコントローラ７へ，後者は座標コントローラ５へ，
各々送られる。
【００１６】図３において，確認対象（電子部品）Ｐ
１，Ｐ２及びＰ３のＸ−Ｙステージ座標は，（Ｘ，Ｙ）
＝（ｘ１，ｙ１）で共通であり，一方，光指示座標は各
々異なる。従って，これら確認対象Ｐ１，Ｐ２及びＰ３
の拡大画像（視野）における位置関係は，図２の如き関
係となる。
１，Ｐ２及びＰ３のＸ−Ｙステージ座標は，（Ｘ，Ｙ）
＝（ｘ１，ｙ１）で共通であり，一方，光指示座標は各
々異なる。従って，これら確認対象Ｐ１，Ｐ２及びＰ３
の拡大画像（視野）における位置関係は，図２の如き関
係となる。
【００１７】即ち，まず，Ｘ−Ｙステージコントローラ
７は，Ｘ−Ｙステージ座標（ｘ１，ｙ１）を与えられる
と，これにより当該座標（ｘ１，ｙ１）即ち確認対象Ｐ
１が拡大画像の中心にくるように，Ｘ−Ｙステージ４を
制御する。そして，確認対象Ｐ２およびＰ３のＸ−Ｙス
テージ座標も同一であるから，これらの確認の間も，Ｘ
−Ｙステージ４は移動しないように，制御される。
７は，Ｘ−Ｙステージ座標（ｘ１，ｙ１）を与えられる
と，これにより当該座標（ｘ１，ｙ１）即ち確認対象Ｐ
１が拡大画像の中心にくるように，Ｘ−Ｙステージ４を
制御する。そして，確認対象Ｐ２およびＰ３のＸ−Ｙス
テージ座標も同一であるから，これらの確認の間も，Ｘ
−Ｙステージ４は移動しないように，制御される。
【００１８】一方，座標コントローラ５は，光指示座標
（ｘ１，ｙ１）を与えられると，これにより当該座標
（ｘ１，ｙ１）即ち確認対象Ｐ１へ光により指示される
よう投光装置６を制御する。この後，検査員がテストス
テップスイッチ１１を押下げるとカウンタ１０の出力が
＋１だけカウントアップされる。これにより，検査結果
ファイル９において製品No. が検査順に＋１だけカウン
トアップされ，確認対象Ｐ２のデータが総合制御装置８
を介して送出される。座標コントローラ５は，新たな光
指示座標（ｘ２，ｙ２）を与えられるので，確認対象Ｐ
２を光指示する。この時，前述の如く，Ｘ−Ｙステージ
座標は変更がないので，Ｘ−Ｙステージ４は移動しな
い。
（ｘ１，ｙ１）を与えられると，これにより当該座標
（ｘ１，ｙ１）即ち確認対象Ｐ１へ光により指示される
よう投光装置６を制御する。この後，検査員がテストス
テップスイッチ１１を押下げるとカウンタ１０の出力が
＋１だけカウントアップされる。これにより，検査結果
ファイル９において製品No. が検査順に＋１だけカウン
トアップされ，確認対象Ｐ２のデータが総合制御装置８
を介して送出される。座標コントローラ５は，新たな光
指示座標（ｘ２，ｙ２）を与えられるので，確認対象Ｐ
２を光指示する。この時，前述の如く，Ｘ−Ｙステージ
座標は変更がないので，Ｘ−Ｙステージ４は移動しな
い。
【００１９】以上の如きデータ，特に，位置座標は，確
認作業の初めの段階で，総合制御装置８によって作成さ
れる。検査装置から得られる不良箇所を示すデータは，
例えば，個々の不良箇所のＸ座標及びＹ座標であり，図
３における光指示座標と同様のものである。そこで，総
合制御装置８は，これらのデータをそのまま光指示座標
とする。次に，総合制御装置８は，１つの確認対象例え
ばＰ１を視野（拡大画像）の中心とした場合に，その視
野に他の確認対象（不良箇所）が存在するか否かを調べ
る。例えば，図２の如く，他の確認対象Ｐ２及びＰ３が
存在する場合，これら確認対象Ｐ１乃至Ｐ３のＸ−Ｙス
テージ座標を，視野の中心に置いた確認対象Ｐ１の座標
（ｘ１，ｙ１）に統一する。
認作業の初めの段階で，総合制御装置８によって作成さ
れる。検査装置から得られる不良箇所を示すデータは，
例えば，個々の不良箇所のＸ座標及びＹ座標であり，図
３における光指示座標と同様のものである。そこで，総
合制御装置８は，これらのデータをそのまま光指示座標
とする。次に，総合制御装置８は，１つの確認対象例え
ばＰ１を視野（拡大画像）の中心とした場合に，その視
野に他の確認対象（不良箇所）が存在するか否かを調べ
る。例えば，図２の如く，他の確認対象Ｐ２及びＰ３が
存在する場合，これら確認対象Ｐ１乃至Ｐ３のＸ−Ｙス
テージ座標を，視野の中心に置いた確認対象Ｐ１の座標
（ｘ１，ｙ１）に統一する。
【００２０】なお，このようにＸ−Ｙステージ座標を定
めることは，ステレオスコープ１の視野を定めることに
なる。Ｘ−Ｙステージ座標は，なるべく，ステレオスコ
ープ１による視野（拡大画像）の数が少なくなるように
（Ｘ−Ｙステージ４の移動回数が少なくなるように）定
められる。同一視野内の確認対象の製品No. は連続とさ
れる。
めることは，ステレオスコープ１の視野を定めることに
なる。Ｘ−Ｙステージ座標は，なるべく，ステレオスコ
ープ１による視野（拡大画像）の数が少なくなるように
（Ｘ−Ｙステージ４の移動回数が少なくなるように）定
められる。同一視野内の確認対象の製品No. は連続とさ
れる。
【００２１】図４は，光指示について示している。投光
装置６は，主に，光源６１，Ｘ−Ｙ制御ミラー６２及び
６３，ミラー駆動部６４及び６５からなる。座標コント
ローラ５は，光指示座標を総合制御装置８から受ける
と，これを用いてミラー駆動部６４及び６５を制御し
て，Ｘ−Ｙ制御ミラー６２及び６３の方向を制御する。
これにより，レーザーダイオードの如き光源６１からの
光は，Ｘ−Ｙ制御ミラー６２及び６３を介して，ハーフ
ミラー２によりＸ−Ｙステージ４上の確認対象物３の不
良箇所に当たる（指示する）。従って，ステレオスコー
プ１の視野には，ハーフミラー２を通して，確認対象物
３と指示光との合成画像が得られる。
装置６は，主に，光源６１，Ｘ−Ｙ制御ミラー６２及び
６３，ミラー駆動部６４及び６５からなる。座標コント
ローラ５は，光指示座標を総合制御装置８から受ける
と，これを用いてミラー駆動部６４及び６５を制御し
て，Ｘ−Ｙ制御ミラー６２及び６３の方向を制御する。
これにより，レーザーダイオードの如き光源６１からの
光は，Ｘ−Ｙ制御ミラー６２及び６３を介して，ハーフ
ミラー２によりＸ−Ｙステージ４上の確認対象物３の不
良箇所に当たる（指示する）。従って，ステレオスコー
プ１の視野には，ハーフミラー２を通して，確認対象物
３と指示光との合成画像が得られる。
【００２２】座標コントローラ５は，投光装置６全体を
制御するが，例えば，光源６１からの光の色を不良内容
等に応じて変更するようにしてもよい。この場合，検査
結果ファイル９のデータとして，不良箇所毎にその不良
内容を格納しておくことにより，確認対象箇所の指示と
その内容の指示とを同時に行うことができる。
制御するが，例えば，光源６１からの光の色を不良内容
等に応じて変更するようにしてもよい。この場合，検査
結果ファイル９のデータとして，不良箇所毎にその不良
内容を格納しておくことにより，確認対象箇所の指示と
その内容の指示とを同時に行うことができる。
【００２３】図５は，拡大確認処理フローを示す。ステ
ップ１において，総合制御装置８が，検査結果ファイル
９のデータを図３に示した形にする処理の他，以後の処
理のために必要な処理を行う。ステップ２において，総
合制御装置８が，検査結果ファイル９から１つの不良箇
所のデータを読出し，変換後にＸ−Ｙステージコントロ
ーラ７及び座標コントローラ５へ送る。ステップ３にお
いて，Ｘ−Ｙステージコントローラ５の制御により，Ｘ
−Ｙステージ４が当該データに応じた位置へ移動する。
ステップ４において，座標コントローラ５の制御によ
り，投光装置６が当該データに応じた位置を光指示す
る。
ップ１において，総合制御装置８が，検査結果ファイル
９のデータを図３に示した形にする処理の他，以後の処
理のために必要な処理を行う。ステップ２において，総
合制御装置８が，検査結果ファイル９から１つの不良箇
所のデータを読出し，変換後にＸ−Ｙステージコントロ
ーラ７及び座標コントローラ５へ送る。ステップ３にお
いて，Ｘ−Ｙステージコントローラ５の制御により，Ｘ
−Ｙステージ４が当該データに応じた位置へ移動する。
ステップ４において，座標コントローラ５の制御によ
り，投光装置６が当該データに応じた位置を光指示す
る。
【００２４】以上により，確認対象を指示する光を含む
拡大画像がステレオスコープ１に得られるので，検査員
が，これについての確認を行う。そして，確認結果を正
／否ボタンにより入力し，次にテストステップスイッチ
を押下げる。
拡大画像がステレオスコープ１に得られるので，検査員
が，これについての確認を行う。そして，確認結果を正
／否ボタンにより入力し，次にテストステップスイッチ
を押下げる。
【００２５】これに応じて，ステップ５において，総合
制御装置８が，正／否いずれのボタンが押下げられたか
を調べる。正ボタンが押下げられた場合，不良ではなか
ったのであるから，ステップ６において，総合制御装置
８が，検査結果ファイル９から該当データを削除する。
否ボタンが押下げられた場合，不良であったのであるか
ら，ステップ７において，総合制御装置８がこれをファ
イルに記録する。
制御装置８が，正／否いずれのボタンが押下げられたか
を調べる。正ボタンが押下げられた場合，不良ではなか
ったのであるから，ステップ６において，総合制御装置
８が，検査結果ファイル９から該当データを削除する。
否ボタンが押下げられた場合，不良であったのであるか
ら，ステップ７において，総合制御装置８がこれをファ
イルに記録する。
【００２６】次に，ステップ８において，総合制御装置
８が，同一視野内に他の不良箇所が存在するか否かを調
べる。存在する場合，ステップ４以下を繰り返し，存在
しない場合，ステップ２以下を繰り返す。ここで，同一
視野内における不良箇所の存在の有無の判定は，実際
は，確認処理中には行わない。この判定の結果は，予
め，ステップ１において総合制御装置８が視野データと
して作成して，テーブル形式で適当なファイルに保持し
ている。視野データとは，例えば，各視野毎に存在する
確認対象（不良箇所）の数を表す。そして，ステップ８
において，総合制御装置８が当該視野の視野データを参
照し，視野データが“１”であればステップ２へ戻り，
視野データが“２”以上であれば，“−１”だけカウン
トダウンしてステップ４へ戻る。そして，全ての視野に
ついての確認処理を行って，処理を終了する。
８が，同一視野内に他の不良箇所が存在するか否かを調
べる。存在する場合，ステップ４以下を繰り返し，存在
しない場合，ステップ２以下を繰り返す。ここで，同一
視野内における不良箇所の存在の有無の判定は，実際
は，確認処理中には行わない。この判定の結果は，予
め，ステップ１において総合制御装置８が視野データと
して作成して，テーブル形式で適当なファイルに保持し
ている。視野データとは，例えば，各視野毎に存在する
確認対象（不良箇所）の数を表す。そして，ステップ８
において，総合制御装置８が当該視野の視野データを参
照し，視野データが“１”であればステップ２へ戻り，
視野データが“２”以上であれば，“−１”だけカウン
トダウンしてステップ４へ戻る。そして，全ての視野に
ついての確認処理を行って，処理を終了する。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように，本発明によれば，
拡大確認装置において，確認対象を光指示すると共に，
同一視野内に複数の確認対象が存在する場合にＸ−Ｙス
テージの移動なしで光指示のみを移動することにより，
Ｘ−Ｙステージの移動を省略した分だけ作業効率を向上
することができ，また，同一視野内を確認対象が移動す
ることがないので検査員の目の疲労度を低下させること
ができる。
拡大確認装置において，確認対象を光指示すると共に，
同一視野内に複数の確認対象が存在する場合にＸ−Ｙス
テージの移動なしで光指示のみを移動することにより，
Ｘ−Ｙステージの移動を省略した分だけ作業効率を向上
することができ，また，同一視野内を確認対象が移動す
ることがないので検査員の目の疲労度を低下させること
ができる。
【図１】本発明の原理構成図である。
【図２】本発明の作用説明図である。
【図３】検査データの説明図である。
【図４】光指示の説明図である。
【図５】拡大確認処理フローである。
【図６】従来技術説明図である。
【図７】従来技術の問題点説明図である。
１ ステレオスコープ ２ ハーフミラー ３ 確認対象物 ４ Ｘ−Ｙステージ ５ 座標コントローラ ６ 投光装置 ７ Ｘ−Ｙステージコントローラ ８ 総合制御装置 ８’コントローラ ９ 検査結果ファイル １０ カウンタ １１ テストステップスイッチ １２ 検査装置 ６１ 光源 ６２，６３ Ｘ−Ｙ制御ミラー ６４，６５ ミラー駆動部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−186737（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66
Claims (4)
- 【請求項１】 確認対象物の画像により不良箇所を確認
する拡大確認装置において， 不良箇所を光により指示する投光装置を備え， １つの拡大画像における複数の不良箇所を順次光により
指示することを特徴とする拡大確認装置。 - 【請求項２】 確認対象物の画像により不良箇所を確認
する拡大確認装置において， 不良箇所を光により指示する投光装置と， １つの拡大画像における複数の不良箇所を順次光により
指示するように，前記投光装置を制御する座標制御手段
とを備えることを特徴とする拡大確認装置。 - 【請求項３】 確認対象物を載置するためのＸ−Ｙステ
ージと， 前記確認対象物の不良箇所のデータと， 前記データに基づいて，前記不良箇所が所定の位置に移
動するように，前記Ｘ−Ｙステージを制御するＸ−Ｙス
テージ制御手段と， 前記不良箇所の拡大画像を表示する表示装置と， 前記拡大画像における前記不良箇所を光により指示する
ための投光装置と， 前記投光装置を制御する座標制御手段とを備え， 前記不良箇所が１つの拡大画像内に複数存在する場合
に，前記座標制御手段が，前記複数の不良箇所を順次光
により指示するように前記投光装置を制御することを特
徴とする拡大確認装置。 - 【請求項４】 前記データは，前記不良箇所毎に，前記
Ｘ−Ｙステージの位置を表す第１の位置座標と，前記光
による指示の位置を表す第２の位置座標とからなり， 前記Ｘ−Ｙステージ制御手段は前記第１の位置座標によ
り前記Ｘ−Ｙステージを制御し， 前記座標制御手段は前記第２の位置座標により前記投光
装置を制御することを特徴とする請求項３に記載の拡大
確認装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3247212A JP2983089B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 拡大確認装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3247212A JP2983089B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 拡大確認装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590364A JPH0590364A (ja) | 1993-04-09 |
| JP2983089B2 true JP2983089B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=17160117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3247212A Expired - Lifetime JP2983089B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 拡大確認装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2983089B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110763703A (zh) * | 2018-07-27 | 2020-02-07 | 皓琪科技股份有限公司 | 一种辅助印刷电路板快速定位定点放大观察的投影式系统 |
-
1991
- 1991-09-26 JP JP3247212A patent/JP2983089B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0590364A (ja) | 1993-04-09 |
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