JP2974453B2 - Roll stamper for molding substrates for optical information recording media - Google Patents

Roll stamper for molding substrates for optical information recording media

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JP2974453B2
JP2974453B2 JP3147467A JP14746791A JP2974453B2 JP 2974453 B2 JP2974453 B2 JP 2974453B2 JP 3147467 A JP3147467 A JP 3147467A JP 14746791 A JP14746791 A JP 14746791A JP 2974453 B2 JP2974453 B2 JP 2974453B2
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mirror
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光学的に情報の記録・
再生を行う光情報記録媒体用基板を作製するローラー・
グルーブ成型法に用いる、シート状スタンパを備えたロ
ール型スタンパに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention
Rollers for producing substrates for optical information recording media for reproduction
The present invention relates to a roll-type stamper having a sheet-like stamper used for a groove molding method.

【0002】[0002]

【従来の技術】公開特許公報56−87203、56−
84921および52−82204にそれぞれ記載され
ているように、光情報記録媒体用基板の情報記録面に
は、トラッキング用溝、情報用ピット等のグルーブが形
成されている。
2. Description of the Related Art Published Patent Publications 56-87203, 56-
As described in 84921 and 52-82204, grooves such as tracking grooves and information pits are formed on the information recording surface of the optical information recording medium substrate.

【0003】光情報記録媒体用基板にこのようなグルー
ブを形成する方法としては、光情報記録媒体用基板の
材料が熱可塑性樹脂からなる場合には、インジェクショ
ン成型法やコンプレッション成型法、ローラー・グルー
ブ成型法、または、2P樹脂を用いる方法として、光
硬化性樹脂組成物を硬化させて、光情報記録媒体のグル
ーブ形成用のスタンパのレプリカを透明樹脂基板に転写
するいわゆる2P形成法、2Pローラー・グルーブ成型
法、さらに、樹脂モノマーまたは、溶剤を含んだプレ
ポリマーを用いる注型成型法等が知られている。
[0003] As a method of forming such a groove on the substrate for an optical information recording medium, when the material of the substrate for the optical information recording medium is made of a thermoplastic resin, an injection molding method, a compression molding method, a roller groove or the like is used. As a molding method or a method using a 2P resin, a so-called 2P forming method of curing a photo-curable resin composition and transferring a replica of a stamper for forming a groove of an optical information recording medium to a transparent resin substrate is used. A groove molding method, a casting molding method using a resin monomer or a prepolymer containing a solvent, and the like are known.

【0004】前記の2Pローラー・グルーブ成型法で
は、光情報記録媒体のトラック用グルーブをロール・ツ
ー・ロール方法の連続一貫工程で形成することができ、
この場合、光情報記録媒体用2P成型用ロール型スタン
パを用いている(以下、2P用ロール型スタンパと記
す)。この2P用ロール型スタンパは、本出願人による
特願平1−38872および特願平1−38346にそ
れぞれ記載されているように、フォトリソグラフィ技術
で作製したペーパー状ガラススタンパを、接着剤を介し
てロール上に、熱収縮チューブまたは形状記憶合金を用
い固定して得られるものである。
According to the 2P roller groove molding method, a groove for a track of an optical information recording medium can be formed by a continuous continuous process of a roll-to-roll method.
In this case, a roll stamper for 2P molding for an optical information recording medium is used (hereinafter referred to as a roll stamper for 2P). As described in Japanese Patent Application No. 1-38872 and Japanese Patent Application No. 1-338346 filed by the present applicant, the roll-type stamper for 2P is obtained by bonding a paper-like glass stamper produced by a photolithography technique with an adhesive. It is obtained by fixing on a roll using a heat-shrinkable tube or a shape memory alloy.

【0005】前記のローラー・グルーブ成型法では、
光情報記録媒体のトラック用グルーブをロール・ツー・
ロール方式の連続一貫工程で形成するために光情報記録
媒体成型用ロール型スタンパを用いている(以下、ロー
ル型スタンパと記す)。このロール型スタンパは、本出
願人による特願昭63−264691に記載されている
ように、ペーパー状ガラスマスクを用いロールへ密着露
光を施し、直接刻印により得られるものである。
In the above-mentioned roller / groove molding method,
Roll-to-groove tracks for optical information recording media
A roll-type stamper for molding an optical information recording medium is used for forming in a continuous continuous process of a roll method (hereinafter, referred to as a roll-type stamper). As described in Japanese Patent Application No. 63-264991 filed by the present applicant, this roll-type stamper is obtained by subjecting a roll to close contact exposure using a paper-like glass mask and directly engraving.

【0006】しかし、上述した直接刻印により得られる
ロール型スタンパでは、一本のロール型スタンパに対し
て、複数個の光情報記録媒体の所定パターン(トラッキ
ング用溝、情報用ピット等からなる、スパイラル、同心
円状又は、ストライプ状パターン)が形成されているた
め、例えば、1〜数個の光情報記録媒体の所定パターン
に欠陥が発生した場合、そのロール型スタンパを交換す
る必要があり、複数個の光情報記録媒体の所定パターン
を直接刻印により形成したロール型スタンパでは、1個
当りの光情報記録媒体の所定パターンの利用効率が非常
に悪い。また、生産効率を向上させるためには、1本の
ロール型スタンパに、より多くの光情報記録媒体の所定
パターンを、直接刻印により形成しなければならない。
そのために、ロール型スタンパのローラー径は大きくな
り、重量も増え、ロール型スタンパ1本を交換すること
は、大きな労力を要するといった欠点があった。
However, in the roll stamper obtained by direct engraving described above, a predetermined pattern (tracking groove, information pit, etc., spiral) formed on a plurality of optical information recording media is applied to one roll stamper. , Concentric or striped pattern), for example, if a defect occurs in a predetermined pattern of one to several optical information recording media, it is necessary to replace the roll stamper. In a roll type stamper in which a predetermined pattern of the optical information recording medium described above is formed by direct engraving, the utilization efficiency of the predetermined pattern per optical information recording medium is very poor. Further, in order to improve the production efficiency, more predetermined patterns of the optical information recording medium must be directly formed on one roll-type stamper by stamping.
For this reason, the roller diameter of the roll-type stamper is increased, the weight is increased, and replacing one roll-type stamper requires a large amount of labor.

【0007】従来、この様な欠点を解決するため、同特
願昭63−285873に記載されているように、電鋳
法によりシート状スタンパを作製し、該シート状スタン
パを、形状記憶合金を用い、接着剤を介してロールに固
定して得られるロール型スタンパが提案されている。ま
た、類似した構成で、同特願平1−38872に記載さ
れているように、フォトリソグラフィ技術で作製したペ
ーパー状ガラススタンパを、熱収縮チューブを用い、接
着剤を介してロールに固定して得られるロール型スタン
パも提案されている。
Conventionally, in order to solve such a drawback, as described in Japanese Patent Application No. 63-285873, a sheet-shaped stamper is manufactured by electroforming, and the sheet-shaped stamper is made of a shape memory alloy. There has been proposed a roll-type stamper which is used and is fixed to a roll via an adhesive. Further, with a similar configuration, as described in Japanese Patent Application No. 1-38872, a paper-like glass stamper manufactured by photolithography is fixed to a roll via an adhesive using a heat-shrinkable tube. The resulting roll stamper has also been proposed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例は、複数個の光情報記録媒体成型用シート状スタン
パを、接着剤を介してロールに固定して得られたものな
ので(2P用のものを含む)、次のような問題点があっ
た。 (1)1〜複数個の光情報記録媒体成型用シート状スタ
ンパまたはペーパー状ガラススタンパ(以下、シート状
スタンパと記す。)に欠陥が発生した場合、欠陥の生じ
たシート状スタンパを交換しなければならないが、新し
いシート状スタンパをロールに固定するために4時間程
度を要し、その間ローラー・グルーブ成型装置は停止す
ることになるので、ムダな時間が発生し非常に生産効率
が悪い。 (2)新しく、貼り直したロール型スタンパを用意して
おきローテーションを行うのも1つの方法であるが、生
産効率を向上させるためには、1本のロール型スタンパ
に、より多くのシート状スタンパを固定しなければなら
ない。そのために、ロール型スタンパのローラー径は大
きくなり、重量も増え、ロール型スタンパを交換するこ
とは、大きな労力を要する。 (3)シート状スタンパの固定にしても、ローラー径が
大きくなるにしたがって、接着工程での作業が大変にな
り、接着固定装置が必要な場合には、接着固定装置も大
型化することが懸念される。よって、設備費、人件費等
が大きくなる。 (4)シート状スタンパからの接着剤のはみだしが発生
しやすく、それを取り除くのに労力がかかる。また、接
着剤がはみ出した状態でローラー・グルーブ成型する
と、約20時間程度で経時変化を起こし、接着剤自体が
欠陥の原因となる。 (5)光情報記録媒体の成型時、基材材料となる溶融樹
脂シートへのシート状スタンパのセンタリング調整は、
大型で非常に重いロールスタンドまたは押出機のいずれ
かを移動させて行わなければならず、前記センタリング
調整が困難である。
However, the above-mentioned prior art is obtained by fixing a plurality of sheet stampers for molding optical information recording media to a roll via an adhesive (for 2P). ), There were the following problems. (1) When a defect occurs in one or more sheet-shaped stampers for molding optical information recording media or paper-shaped glass stampers (hereinafter, referred to as sheet-shaped stampers), the defective sheet-shaped stampers must be replaced. However, it takes about 4 hours to fix the new sheet-shaped stamper to the roll, during which time the roller / groove molding machine stops, resulting in wasteful time and extremely low production efficiency. (2) One method is to prepare a new and re-applied roll-type stamper and perform rotation. However, in order to improve production efficiency, one roll-type stamper requires more sheets. The stamper must be fixed. Therefore, the roller diameter of the roll-type stamper becomes large and the weight increases, and replacing the roll-type stamper requires a large amount of labor. (3) Even if the sheet-shaped stamper is fixed, the work in the bonding process becomes more difficult as the roller diameter increases, and if the bonding and fixing device is required, the size of the bonding and fixing device may be increased. Is done. Therefore, equipment costs, personnel costs, and the like increase. (4) The adhesive is likely to protrude from the sheet-shaped stamper, and it takes much effort to remove the adhesive. Further, if the roller / groove molding is performed in a state in which the adhesive has protruded, a change over time occurs in about 20 hours, and the adhesive itself causes a defect. (5) When molding the optical information recording medium, the centering adjustment of the sheet-like stamper on the molten resin sheet serving as the base material is performed by:
This must be done by moving either a large and very heavy roll stand or an extruder, making the centering adjustment difficult.

【0009】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、シート状スタンパの装着お
よび交換が容易になるとともに、成型コストが向上する
上、シート状スタンパの鏡面ロールに対する位置決め、
すなわちセンタリング調整を容易に行える光情報記録媒
体用基板成型用ロール型スタンパを提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and facilitates the mounting and replacement of a sheet-shaped stamper, improves the molding cost, and improves the mirror-like roll of the sheet-shaped stamper. Positioning,
That is, an object of the present invention is to provide a roll-type stamper for molding a substrate for an optical information recording medium, which can easily perform centering adjustment.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、光情報記録媒体用基板に微細な凹凸パター
ンを転写する為のシート状スタンパ; 該シート状スタンパの両端部裏面に固着されている固定
具材; 該シート状スタンパの各固定具材がそれぞれ嵌合可能な
複数の溝が周面に軸方向に延設された鏡面ロール; 前記シート状スタンパの各固定具材を鏡面ロールの各溝
にそれぞれ嵌挿した状態で、前記シート状スタンパに鏡
面ロールの周方向の張力を加え、且つシート状スタンパ
を鏡面ロールの軸方向に位置決めするための、少なくと
も一方の固定具材側に設けられた張力印加手段;及び該
張力印加手段によりシート状スタンパが鏡面ロールの軸
方向に位置決めされた状態で、少なくとも一方の固定具
材を鏡面ロールに固定するための固定手段、をする光情
報記録媒体用基板成型用ロール型スタンパであって、該
張力印加手段は、少なくとも一方の固定具材が嵌挿され
る一方の溝の両端を覆うように鏡面ロールの両端面にそ
れぞれ固定された固定部材と、前記一方の溝の両端部内
にそれぞれ設けられ、少なくとも一方の固定具材の両端
部と前記一方の溝の一側壁との間にそれぞれの先端が挿
入可能な一対のくさびと、各固定部材にそれぞれ螺合さ
れ、それぞれの先端が各々のくさびにそれぞれ当接して
押圧可能な押圧ねじとから構成され、該固定手段は、少
なくとも一方の固定具材に形成された、軸方向に延びる
長孔と、鏡面ロールに形成された、少なくとも一方の溝
の底壁に開口するねじ穴と、前記長孔を貫通して該ねじ
穴に螺合する固定ねじとから構成されていることを特徴
とする。
According to the present invention, there is provided a sheet-shaped stamper for transferring a fine uneven pattern onto an optical information recording medium substrate; A mirror-finished roll in which a plurality of grooves to which the respective fixing members of the sheet-shaped stamper can be fitted are extended in the axial direction on a peripheral surface; and each fixing member of the sheet-shaped stamper is mirror-finished. At least one fixing member side for applying tension in the circumferential direction of the mirror-like roll to the sheet-like stamper and positioning the sheet-like stamper in the axial direction of the mirror-like roll in a state of being fitted in each groove of the roll. Tension fixing means provided on the mirror; and fixing at least one fixing member to the mirror roll in a state where the sheet-shaped stamper is positioned in the axial direction of the mirror roll by the tension applying means. Fixing means, a roll-type stamper for molding a substrate for an optical information recording medium, wherein the tension applying means includes both end faces of a mirror roll so as to cover both ends of one groove into which at least one fixing member is inserted. A pair of fixing members respectively fixed to both ends of the one groove, each end of which can be inserted between both ends of at least one fixing member and one side wall of the one groove. And a pressing screw which is screwed to each fixing member and whose tip is in contact with each wedge and can press, respectively, and the fixing means is formed on at least one fixing member material. An elongated hole extending in the axial direction, a screw hole formed in the mirror surface roll, opening in the bottom wall of at least one groove, and a fixing screw passing through the elongated hole and screwing into the screw hole. That And it features.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【作用】上記のとおり構成された本発明では、シート状
スタンパの両端部に設けた各固定具材を、鏡面ロールの
各溝にそれぞれ嵌挿して、シート状スタンパを鏡面ロー
ルの周面に密着させる。そして、張力付加手段により、
シート状スタンパに鏡面ロールの周方向の張力を加え、
この状態で、シート状スタンパを鏡面ロールの軸方向に
移動させて前記軸方向の所定位置に位置決めした後、固
定手段によって少なくとも一方の固定具材を鏡面ロール
に固定する。
According to the present invention constructed as described above, the fixing members provided at both ends of the sheet-shaped stamper are inserted into the respective grooves of the mirror-finished roll, and the sheet-shaped stamper is brought into close contact with the peripheral surface of the mirror-finished roll. Let it. And by the tension applying means,
Apply circumferential tension of the mirror roll to the sheet-like stamper,
In this state, the sheet-like stamper is moved in the axial direction of the mirror roll and positioned at a predetermined position in the axial direction, and then at least one fixing member is fixed to the mirror roll by a fixing means.

【0013】光情報記録媒体用基板の成型時、シート状
スタンパを、基板材料となる溶融樹脂シートに位置合わ
せ、すなわちセンタリングするには、固定手段によるシ
ート状スタンパの固定を解除し、張力付加手段によりシ
ート状スタンパに張力を加えた状態で、シート状スタン
パを前記軸方向に微動させてその中心線を前記溶融樹脂
シートの中心線と一致させる。そののち、固定手段によ
りシート状スタンパを鏡面ロールに固定する。
In order to align, ie, center, the sheet-shaped stamper with the molten resin sheet serving as the substrate material when molding the optical information recording medium substrate, the fixing of the sheet-shaped stamper by the fixing means is released, and the tension applying means is provided. While applying tension to the sheet-shaped stamper, the sheet-shaped stamper is slightly moved in the axial direction so that the center line thereof coincides with the center line of the molten resin sheet. After that, the sheet-shaped stamper is fixed to the mirror roll by the fixing means.

【0014】[0014]

【実施例】次に、本発明の一実施例について、図面を参
照して説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0015】図1に示すように、長尺フレキシブル性の
シート状スタンパ3は、図示しない光情報記録媒体用基
板にパターンを転写するためのものであり、上面に所定
パターン3aが形成されたシート3bの両端部下面に棒
状の固定具材1、2がそれぞれ固着されてなるものであ
る。各固定具材1、2の長さはシート3bの幅よりも長
くなっており、一方の固定具材1には、3つの長孔1
a、1b、1cが等しい間隔において軸方向に形成され
ているとともに、その両端部一角部はそれぞれ切除され
ている。
As shown in FIG. 1, a long flexible sheet stamper 3 is for transferring a pattern onto an optical information recording medium substrate (not shown), and has a predetermined pattern 3a formed on its upper surface. Rod-shaped fixing members 1 and 2 are fixed to the lower surfaces of both ends of 3b, respectively. The length of each fixing member 1 and 2 is longer than the width of the sheet 3b, and one fixing member 1 has three long holes 1
a, 1b, and 1c are formed at equal intervals in the axial direction, and the corners at both ends are cut off.

【0016】図2および図3の(A)、(B)に示すよ
うに、鏡面ロール5はその内部に熱媒体が循環するよう
に構成され、鏡面ロール5の周面には、シート状スタン
パ3(図1参照)の各固定具材1、2がそれぞれ嵌合可
能な2本の溝5a、5bが軸方向(矢印X方向)に延設
されている。各溝5a、5bの両端は鏡面ロール5の端
面に達しており、その断面形状はそれぞれ矩形となって
いる。各溝5a、5bは放電加工、バイト加工、ドレス
加工等の方法により形成される。また、鏡面ロール5に
は、一方の溝5aの底壁に開口するねじ穴群4a、4
b、4cが前記長孔1a、1b、1c(図1参照)の間
隔と等しい間隔をおいてそれぞれ形成され、各ねじ穴群
4a、4b、4cは3つのねじ穴6a、6b、6c(図
3の(A)参照)からそれぞれ形成されている。各ねじ
穴6a、6b、6cのピッチPは前記長孔1a、1b、
1cの長さの1/2弱、すなわち長孔1a、1b、1c
の長さは、各ねじ穴6a、6b、6cのピッチPの2倍
強の長さとなっている。なお、2本の溝5a、5bが形
成された鏡面ロール5の周面一部位の反対部位にも2本
の溝が形成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3 (A) and (B), the mirror roll 5 is configured so that a heat medium circulates inside the mirror roll 5. 2 (see FIG. 1), two grooves 5a and 5b into which the fixing members 1 and 2 can be fitted respectively extend in the axial direction (the direction of the arrow X). Both ends of each groove 5a, 5b reach the end face of the mirror roll 5, and their cross-sectional shapes are each rectangular. Each of the grooves 5a and 5b is formed by a method such as electric discharge machining, bite machining, and dress machining. The mirror roll 5 has screw hole groups 4a, 4a that open in the bottom wall of one groove 5a.
b, 4c are formed at intervals equal to the intervals of the long holes 1a, 1b, 1c (see FIG. 1), and each screw hole group 4a, 4b, 4c has three screw holes 6a, 6b, 6c (see FIG. 1). 3 (A)). The pitch P of each screw hole 6a, 6b, 6c is the same as that of the slot 1a, 1b,
A little less than half the length of 1c, that is, long holes 1a, 1b, 1c
Is slightly more than twice the pitch P of the screw holes 6a, 6b, 6c. Note that two grooves are also formed in a portion opposite to a part of the peripheral surface of the mirror roll 5 in which the two grooves 5a and 5b are formed.

【0017】図4、図5および図6に示すように、シー
ト状スタンパ3の各固定具材1、2を、例えば鏡面ロー
ル5の一端側から各溝5a、5bにそれぞれ嵌挿し、各
固定具材1、2の軸方向の中心を各溝5a、5bの中心
にそれぞれ合わせると、一方の固定具材1の各長孔1
a、1b、1cは各ねじ穴群4a、4b、4cにそれぞ
れ合致する。この状態で、シート状スタンパ3の中心線
は鏡面ロール5の中心線と一致している。本実施例で
は、シート状スタンパ3のシート3bの幅L1 よりも固
定具材1、2の長さL2 の方が長くなっており、鏡面ロ
ール5の長さL3 は固定具材1、2の長さL2 よりも長
くなっている。
As shown in FIGS. 4, 5 and 6, the fixing members 1 and 2 of the sheet-like stamper 3 are inserted into, for example, the grooves 5a and 5b from one end of the mirror roll 5, respectively. When the axial centers of the components 1 and 2 are aligned with the centers of the grooves 5a and 5b, respectively,
a, 1b, and 1c correspond to the screw hole groups 4a, 4b, and 4c, respectively. In this state, the center line of the sheet stamper 3 matches the center line of the mirror roll 5. In the present embodiment, than the width L 1 of seat 3b of the sheet-like stamper 3 and towards the length L 2 is longer fixtures materials 1 and 2, the length L 3 of the mirror roll 5 is fixed ingredient 1 , it is longer than the second length L 2.

【0018】一方の溝5aの両端部内には、一方の固定
具材1の両端部と溝5aの一側壁との間にそれぞれの先
端(鋭角部)が挿入可能なくさび7a、7bがそれぞれ
設けられている。また、鏡面ロール5の両側面には、一
方の固定具材1が嵌挿される一方の溝5aの両端を覆う
ように固定部材8a、8bがそれぞれ着脱可能にねじ止
めされ、各固定部材8a、8bの中央部にはねじ孔がそ
れぞれ形成されている。各固定部材8a、8bのそれぞ
れのねじ孔には押圧ねじ9a、9bがそれぞれ螺合さ
れ、各押圧ねじ9a、9bのそれぞれの先端はくさび7
a、7bに当接して押圧可能である。各押圧ねじ9a、
9bによって各くさび7a、7bが互いに近接する方向
に押されると、各くさび7a、7bのそれぞれの先端
が、溝5aの2つの側壁のうち、シート状スタンパ3で
覆われていない鏡面のロール5の周面側の一側壁と固定
具材1の両端部との間に入り込んで、両固定具材1、2
の間隔が広くなる。これにより、シート状スタンパ3の
シート3bに鏡面ロール5の周方向の張力が加わり、シ
ート3bは鏡面ロール5の周面に一様に密着される。ま
た、各押圧ねじ9a、9bの固定部材8a、8bへの螺
合深さをそれぞれ調節することにより、シート状スタン
パ3を鏡面ロール5の軸方向(矢印X方向)に位置決め
できる。
In both ends of one groove 5a, wedges 7a and 7b are provided between both ends of one fixing member 1 and one side wall of the groove 5a so that respective tips (a sharp corner) can be inserted. Have been. Further, fixing members 8a and 8b are detachably screwed to both side surfaces of the mirror roll 5 so as to cover both ends of one groove 5a into which one fixing member 1 is inserted. A threaded hole is formed in the center of 8b. Pressing screws 9a and 9b are screwed into respective screw holes of the fixing members 8a and 8b, respectively, and the tips of the pressing screws 9a and 9b are wedges 7 respectively.
a, 7b and can be pressed. Each pressing screw 9a,
When the wedges 7a and 7b are pushed in the direction approaching each other by the 9b, the respective ends of the wedges 7a and 7b are mirror-finished rolls 5 of the two side walls of the groove 5a that are not covered by the sheet-like stamper 3. Between the two side walls of the fixing member 1 and one side wall of the fixing member 1,
Becomes wider. As a result, the circumferential tension of the mirror roll 5 is applied to the sheet 3b of the sheet stamper 3, and the sheet 3b is uniformly adhered to the circumferential surface of the mirror roll 5. Further, by adjusting the screwing depth of each of the pressing screws 9a and 9b to the fixing members 8a and 8b, the sheet-shaped stamper 3 can be positioned in the axial direction of the mirror roll 5 (the direction of the arrow X).

【0019】上記説明から明らかなように、2つのくさ
び7a、7b、固定部材8a、8b、押圧ねじ9a、9
b等により、シート状スタンパ3に鏡面ロール5の周方
向の張力を加え、かつシート状スタンパ3を鏡面ロール
5の軸方向に位置決めするための張力付加手段が構成さ
れている。
As is clear from the above description, the two wedges 7a and 7b, the fixing members 8a and 8b, and the pressing screws 9a and 9
By b and the like, a tension applying means for applying a circumferential tension of the mirror roll 5 to the sheet stamper 3 and positioning the sheet stamper 3 in the axial direction of the mirror roll 5 is configured.

【0020】各くさび7a、7bの作用によってシート
状スタンパ3に鏡面ロール5の周方向の張力がかかって
いる状態で、各固定ねじ10a、10b、10cを固定
具材1の長孔1a、1b、1cにそれぞれ挿入して各ね
じ穴群4a、4b、4cの中央のねじ穴6a、6b、6
cにそれぞれ螺合することにより、固定具材1を鏡面ロ
ール5に確実に固定でき、前記張力に起因する固定具材
1の浮き上がりを防止できる。各固定ねじ10a,10
b,10cはシート状スタンパ3の表面より突出せず、
後述する転写に支障がないように構成されている。
With the sheet-shaped stamper 3 being tensioned in the circumferential direction of the mirror roll 5 by the action of the wedges 7a and 7b, the fixing screws 10a, 10b and 10c are inserted into the slots 1a and 1b of the fixing member 1. , 1c respectively, and screw holes 6a, 6b, 6 at the center of each screw hole group 4a, 4b, 4c.
By screwing each of the fixing members 1 to c, the fixing member 1 can be securely fixed to the mirror roll 5, and the lifting of the fixing member 1 due to the tension can be prevented. Each fixing screw 10a, 10
b, 10c do not protrude from the surface of the sheet stamper 3,
It is configured so as not to hinder transfer described later.

【0021】上記説明から明らかなように、3つの長孔
1a、1b、1c、ねじ穴群4a、4b、4cや固定ね
じ10a、10b、10c等により、固定具材1を鏡面
ロール5に固定するための固定手段が構成されている。
なお、シート状スタンパ3が密着された鏡面ロール7の
周面一部位の反対部位にも、シート状スタンパ3と同様
な別のシート状スタンパ(不図示)が密着され、本実施
例では、合計2枚のシート状スタンパを備えたロール型
スタンパを示したが、これに限られず、シート状スタン
パは単数あるいはその他の複数でもよい。
As is clear from the above description, the fixing member 1 is fixed to the mirror roll 5 by three long holes 1a, 1b, 1c, screw hole groups 4a, 4b, 4c, fixing screws 10a, 10b, 10c and the like. Fixing means are provided.
In addition, another sheet-shaped stamper (not shown) similar to the sheet-shaped stamper 3 is also adhered to a part opposite to a part of the peripheral surface of the mirror roll 7 to which the sheet-shaped stamper 3 is adhered. Although the roll-type stamper provided with two sheet-like stampers is shown, the invention is not limited to this, and the number of sheet-like stampers may be one or other.

【0022】次に、図7、図8および図9を参照し、上
述したシート状スタンパの作製方法について説明する。
Next, with reference to FIGS. 7, 8 and 9, a method for manufacturing the above-described sheet stamper will be described.

【0023】まず、青板ガラス等のガラス基板11にフ
ォトレジスト12を形成する(図7の(A)参照)。こ
のフォトレジスト12としては、Az 1370(社
名:ヘキスト・ジャパン)を用い、ガラス基板11に滴
下し、スピナーで3000×10-7mmの膜厚に塗布した
ものである。その後、温度90℃、時間30min の条件
でプレベークを行った。次に、レーザー露光装置、具体
的には、ミラー・プロジェクション・マスク・アライナ
ー(商品名MPA−1500:キャノン製)の露光装置
を用い、フォトレジスト12を露光して情報記録媒体基
板に転写するための複数個の微細パターン(ストライプ
状)を形成し、現像液Az312MIF(社名:ヘキス
ト・ジャパン)で現像することにより、トラッキング用
溝、情報用ピット等の、凹凸状の微細パターンを形成
し、光カード用のシート状のガラス原盤13を製作する
(図7の(B)参照)。
First, a photoresist 12 is formed on a glass substrate 11 such as a soda lime glass (see FIG. 7A). As the photoresist 12, Az 1370 (Hoechst Japan) was dropped onto the glass substrate 11 and applied to a thickness of 3000 × 10 −7 mm using a spinner. Thereafter, prebaking was performed at a temperature of 90 ° C. for a time of 30 minutes. Next, using a laser exposure apparatus, specifically, an exposure apparatus of a mirror projection mask aligner (trade name: MPA-1500: manufactured by Canon), the photoresist 12 is exposed and transferred to an information recording medium substrate. A plurality of fine patterns (stripes) are formed and developed with a developing solution Az312MIF (Company name: Hoechst Japan) to form uneven fine patterns such as tracking grooves and information pits. A sheet-shaped glass master 13 for a card is manufactured (see FIG. 7B).

【0024】さらに、電鋳法により金属膜を形成するた
めの前処理として、スパッター装置、蒸着装置等の成膜
装置を用い、導電化処理を行う。ここでは、膜厚100
0×10-7〜2000×10-7mmのニッケル膜をスパッ
ター装置により成膜することで、ガラス原盤13上に導
電化膜14を形成した(図7の(C)参照)。次に、導
電化膜14が施されたガラス原盤13に電鋳法によりニ
ッケルの金属膜15を形成する。このとき、まず、電鋳
槽(不図示)内のニッケルチップをプラス側電極、導電
化膜14の施されたガラス原盤13をマイナス側電極に
それぞれセットする。電極板としては、図8に示すよう
な、外周電極板16を用い、ガラス原盤13と電源とを
通電させる。外周電極板16を用いるのは、内周電極板
と比較した場合に、金属膜15の膜厚分布が良いためで
ある。そして、スルファミン酸ニッケル電鋳液中で、導
電化膜14の施されたガラス原盤13を20〜30rpm
の回転数で回転させながら、通電電流の時間積分値15
0〜300AH(アンペア・アワー)の条件で100〜
200μm のニッケル金属を析出させ、金属膜15を形
成した(図7の(D)参照)。ここで使用した電鋳液
は、以下のごとき組成のものである。
Further, as a pretreatment for forming a metal film by an electroforming method, a conductive treatment is performed using a film forming apparatus such as a sputtering apparatus and a vapor deposition apparatus. Here, a film thickness of 100
A conductive film 14 was formed on the glass master 13 by forming a nickel film of 0 × 10 −7 to 2000 × 10 −7 mm by a sputtering device (see FIG. 7C). Next, a nickel metal film 15 is formed on the glass master 13 on which the conductive film 14 has been formed by electroforming. At this time, first, the nickel chip in the electroforming tank (not shown) is set to the plus side electrode, and the glass master 13 provided with the conductive film 14 is set to the minus side electrode. As the electrode plate, an outer peripheral electrode plate 16 as shown in FIG. 8 is used, and the glass master 13 and a power supply are energized. The outer electrode plate 16 is used because the film thickness distribution of the metal film 15 is better than that of the inner electrode plate. Then, in a nickel sulfamate electroforming solution, the glass master 13 on which the conductive film 14 has been formed is rotated at 20 to 30 rpm.
While rotating at a rotation speed of
100- under the condition of 0-300AH (ampere hour)
Nickel metal of 200 μm was deposited to form a metal film 15 (see FIG. 7D). The electroforming solution used here has the following composition.

【0025】スルファミン酸ニッケル・4水塩[Ni
(NH2 SO32・4H2 O]:500g/l 、硼酸
[H3 BO3 ]:35〜38g/l 、ピット防止剤:2.
5ml/l。
Nickel sulfamate tetrahydrate [Ni
(NH 2 SO 3) 2 · 4H 2 O]: 500g / l, boric acid [H 3 BO 3]: 35~38g / l, a pit preventing agent: 2.
5 ml / l.

【0026】最後に、導電化膜14および金属膜15を
一体とした状態で、前記ガラス基板11より剥離させ、
表面に付着しているフォトレジスト12(図7の(B)
参照)を除去し、端部を切断することにより、ライン・
アンド・スペース:9.5μm /2.5μm 、段差:2
500×10-7〜3000×10-7mmのストライプ状の
所定パターン3aの形成されたシート3bが得られた
(図7の(E)参照)。次に、図1に示したような、3
つの長孔1a、1b、1cが形成された固定具材1およ
び固定具材2を準備する。各固定具材1、2は、鋼材に
Niメッキを施したものである。
Finally, the conductive film 14 and the metal film 15 are peeled off from the glass substrate 11 in an integrated state,
Photoresist 12 adhering to the surface (FIG. 7B
Line) by removing and cutting off the end.
And space: 9.5 μm / 2.5 μm, step: 2
A sheet 3b on which a predetermined pattern 3a having a stripe shape of 500 × 10 −7 to 3000 × 10 −7 mm was obtained (see FIG. 7E). Next, as shown in FIG.
A fixture 1 and a fixture 2 in which two long holes 1a, 1b, 1c are formed are prepared. Each of the fixing members 1 and 2 is made of a steel material plated with Ni.

【0027】上述したシート3bを用い、鋼材にNiメ
ッキの施された固定具材1、2の溶着を行い固定する。
溶着方法としては、EB溶着(エレクトロン・ビーム溶
着)、銀ろう溶着あるいはYAGレーザー溶着等の方法
により固定を行う。
Using the above-described sheet 3b, the fixing members 1 and 2 obtained by plating steel with Ni are fixed by welding.
As a welding method, fixing is performed by a method such as EB welding (electron beam welding), silver brazing welding, or YAG laser welding.

【0028】図9に示すように、溶着用治具19の下板
17の2つの溝17a、17bに固定具材1、2をそれ
ぞれ挿入する。次に、シート3bの溶着面(トラッキン
グ用溝、情報用ピット等の、凹凸の微細パターンの施さ
れていない裏面に相当する。)と各固定具材1、2の溶
着面を合わせ、その上からビーム通過用の2つのスリッ
ト18a、18bが形成された溶着用治具19の上蓋1
8を取付け、複数本のねじ20a、20bでネジ止めし
てセッティングを完了する。こののち、EB溶着装置E
BW6LB(三菱電機株式会社製)を用い、セッティン
グの完了したシート3bにEB溶着を行ない、各固定具
材1、2と固定して長尺フレキシブル性のシート状スタ
ンパを得た。EB溶着条件は下記に示す通りである。
As shown in FIG. 9, the fixing members 1 and 2 are inserted into the two grooves 17a and 17b of the lower plate 17 of the welding jig 19, respectively. Next, the welding surface of the sheet 3b (corresponding to the back surface on which a fine pattern of concavities and convexities such as tracking grooves and information pits is not applied) and the welding surfaces of the fixing members 1 and 2 are aligned. Jig 19 in which two slits 18a and 18b for passing a beam are formed.
8 is mounted and screwed with a plurality of screws 20a, 20b to complete the setting. After that, the EB welding device E
Using a BW6LB (manufactured by Mitsubishi Electric Corporation), EB welding was performed on the sheet 3b that had been completely set, and the sheet 3b was fixed to each of the fixing members 1 and 2 to obtain a long flexible sheet stamper. The EB welding conditions are as shown below.

【0029】 真空度:5×10-2Torr 加速電圧:60Kv ビーム電流:3.2mA ビーム速度:4.0m/min この条件において、シートbに大きな歪みの発生する場
合には、エレクトロン・ビームをパルスにして溶着すれ
ばよく、パルス・ビーム条件は、周波数:60Hz、デュ
ーティー20〜50%、偏向装置のボリューム:100
mV、オフセット:50mVで行った。
Degree of vacuum: 5 × 10 -2 Torr Accelerating voltage: 60 Kv Beam current: 3.2 mA Beam speed: 4.0 m / min Under these conditions, when a large distortion occurs in the sheet b, the electron beam is turned on. The welding may be performed in the form of a pulse. The pulse beam conditions are as follows: frequency: 60 Hz, duty: 20 to 50%, deflection device volume: 100
mV, offset: 50 mV.

【0030】次に、YAGレーザー溶着を行う場合につ
いて述べる。上述したEB溶着と同様に、シート3bの
溶着面と各固定具材1、2の溶着面を合わせ、その上か
ら溶着用治具19の上蓋18を取付け、ネジ止めしてセ
ッティングを完了する。その後、溶着用治具19をXY
ステージ(不図示)に取付ける。このXYステージは、
YAGレーザー溶着装置と連動するようにしておく。Y
AGレーザー溶着装置ML−2220A(宮地レーザシ
ステム株式会社製)を用い、シート3bにYAGレーザ
ー溶着を行い、各固定具材1、2と固定する。YAGレ
ーザー溶着条件は下記に示す通りである。
Next, the case of performing YAG laser welding will be described. Similarly to the above-mentioned EB welding, the welding surface of the sheet 3b and the welding surfaces of the fixing members 1 and 2 are aligned, and the upper lid 18 of the welding jig 19 is attached from above, and the screws are screwed to complete the setting. Then, the welding jig 19 is moved to XY.
Attach it to the stage (not shown). This XY stage is
It should be linked with the YAG laser welding device. Y
The sheet 3b is YAG laser-welded using an AG laser welding apparatus ML-2220A (manufactured by Miyaji Laser System Co., Ltd.), and fixed to the fixing members 1 and 2. The YAG laser welding conditions are as shown below.

【0031】 充電電圧:350V パルス幅:1.0ms ディフォーカス:5mm REP−RATE(PPS):20 パワー:35W〜65W 次に、銀ろう溶着を行う場合について述べる。シート3
bの溶着面と各固定具材1、2の溶着面の間に銀ろう箔
を介し、溶着面どうしを合わせ、その上から20〜50
Kg/cm2の加圧を行い、セッティングを完了する。セッテ
ィングの完了後、真空加熱炉を用い、真空度:2×10
-5Torr、ピーク加熱温度:820℃、加熱時間:7h等
の条件で銀ろう溶着を行い、シート3bと各固定具材
1、2とを固定する。
Charge voltage: 350 V Pulse width: 1.0 ms Defocus: 5 mm REP-RATE (PPS): 20 Power: 35 W to 65 W Next, the case of performing silver solder welding will be described. Sheet 3
b, the welding surfaces are joined together via a silver brazing foil between the welding surfaces of the fixing members 1 and 2 and 20 to 50 from above.
Pressurize Kg / cm 2 to complete the setting. After the setting is completed, the degree of vacuum is set to 2 × 10 using a vacuum heating furnace.
The silver soldering is performed under the conditions of -5 Torr, peak heating temperature: 820 ° C., heating time: 7 h, and the sheet 3b and the fixing members 1 and 2 are fixed.

【0032】シート3bと各固定具材1、2の固定方法
については、上述したものに限定されず、低融点金属、
低融点ガラス、耐熱性の接着剤、ネジ止めあるいはクラ
ンプ等の方法を用いることでも固定できる。
The fixing method of the sheet 3b and each of the fixing members 1 and 2 is not limited to the above-mentioned method, but may be a low melting metal,
It can also be fixed by using a method such as low melting point glass, heat resistant adhesive, screwing or clamping.

【0033】図10は、本実施例の光情報記録媒体用基
板成型用ロール型スタンパを備えた成型装置の要部斜視
図であり、図11は図10において、溶融樹脂シートと
ロール型スタンパの偏心状態を説明するための図であ
る。
FIG. 10 is a perspective view of a main part of a molding apparatus provided with a roll-type stamper for molding a substrate for an optical information recording medium according to the present embodiment. FIG. It is a figure for explaining an eccentric state.

【0034】図10に示すように、押出機のTダイ21
から押出された基材材料となる溶融樹脂シート22は溶
融もしくは軟化状態で鏡面ロール24およびロール型ス
タンパ23間に入り、加圧および冷却されて、ロール型
スタンパ23および鏡面ロール25間より矢印Y方向に
引き出される。この際、シート状スタンパ3の表面に設
けた凹凸状の所定パターン3a(図1参照)が溶融樹脂
シート22に精密に転写される。そして、万が一、ロー
ル型スタンパ23の位置ずれ等に起因してシート状スタ
ンパ3の中心線BBが溶融樹脂シート22の中心線AA
と一致せず、偏心量eだけ偏心している場合には、以下
に記述するセンタリング調整を行う。ここでは、シート
状スタンパ3の溶融樹脂シート22に対する偏心方向が
図5および図11中矢印Z方向である場合でのセンタリ
ングの調整方法について説明する。
As shown in FIG. 10, the T-die 21 of the extruder
The molten resin sheet 22, which is a base material extruded from the mold, enters between the mirror roll 24 and the roll-type stamper 23 in a molten or softened state, is pressed and cooled, and is pressed between the roll-type stamper 23 and the mirror-like roll 25 by an arrow Y. Pulled out in the direction. At this time, the predetermined pattern 3a (see FIG. 1) having an uneven shape provided on the surface of the sheet stamper 3 is precisely transferred to the molten resin sheet 22. The center line BB of the sheet-shaped stamper 3 is changed to the center line AA of the molten resin sheet 22 due to the displacement of the roll-type stamper 23 or the like.
If the eccentricity does not coincide with the eccentric amount e, the centering adjustment described below is performed. Here, a method of adjusting the centering when the eccentric direction of the sheet stamper 3 with respect to the molten resin sheet 22 is the direction of the arrow Z in FIGS. 5 and 11 will be described.

【0035】図5に示すように、ねじ穴群4a、4b、
4cの中央のねじ穴6a、6b、6cにそれぞれ螺合さ
れている3本の固定ねじ10a、10b、10cをそれ
ぞれ緩め、各固定ねじ10a、10b、10cによる固
定具材1の固定を解除する。前記偏心方向と反対方向す
なわち反矢印Z方向側の一方の押圧ねじ9bを前記偏心
量e(図11参照)だけ緩める。こののち、他方の押圧
ねじ9aを前記偏心量eだけ緩めることで、シート状ス
タンパ3に張力がかかった状態で一方の固定具材1を偏
心方向と反対方向すなわち反矢印Z方向に偏心量eだけ
微動させ、また他方の固定具材2も反矢印Z方向に偏心
量eだけ微動させる。
As shown in FIG. 5, the screw hole groups 4a, 4b,
The three fixing screws 10a, 10b, 10c respectively screwed into the screw holes 6a, 6b, 6c at the center of 4c are loosened, respectively, and the fixing of the fixing member 1 by the fixing screws 10a, 10b, 10c is released. . One pressing screw 9b in the direction opposite to the eccentric direction, that is, in the direction opposite to the arrow Z is loosened by the eccentric amount e (see FIG. 11). Thereafter, by loosening the other pressing screw 9a by the eccentricity e, the one fixing member 1 is moved in a direction opposite to the eccentric direction, that is, in the direction opposite to the arrow Z, while the sheet-shaped stamper 3 is under tension. And the other fixing member 2 is also finely moved by the amount of eccentricity e in the direction opposite to the arrow Z.

【0036】最後に、3本の固定ねじ10a、10b、
10cをそれぞれ締めて固定具材1を鏡面ロール5に固
定する。なお、シート状スタンパ3の溶融樹脂シート2
2に対する偏心方向が反矢印Z方向である場合には、上
述した操作と逆の操作を行う。偏心量eが大きい場合に
は、ねじ穴群4a、4b、4cの両端のねじ穴6a、6
b、6cを利用する。
Finally, three fixing screws 10a, 10b,
10c is tightened to fix the fixture 1 to the mirror roll 5. The molten resin sheet 2 of the sheet stamper 3
If the eccentric direction with respect to 2 is the direction opposite to the arrow Z, an operation reverse to the above-described operation is performed. If the amount of eccentricity e is large, the screw holes 6a, 6 at both ends of the screw hole groups 4a, 4b, 4c
b and 6c are used.

【0037】ローラー・グルーブ成型においては、成型
温度条件が125℃〜145℃であるので、設定温度に
達したならば、再び押圧ねじ9a、9bをそれぞれ締
め、シート状スタンパ3にかかる張力を調整することが
望ましい。
In the roller / groove molding, since the molding temperature condition is 125 ° C. to 145 ° C., when the set temperature is reached, the pressing screws 9a and 9b are tightened again to adjust the tension applied to the sheet stamper 3. It is desirable to do.

【0038】本実施例において、一方の固定具材側にの
み張力付加手段や固定手段が設けられているものを示し
たが、これに限らず、他方の固定具材側にも設けてもよ
い。
In this embodiment, the one in which the tension applying means and the fixing means are provided only on one fixing member side is shown. However, the present invention is not limited to this, and it may be provided on the other fixing member side. .

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおり構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.

【0040】(1) シート状スタンパに欠陥が生じた
場合、そのシート状スタンパのみを容易に交換すること
ができ、生産効率が向上する。
(1) When a defect occurs in the sheet stamper, only the sheet stamper can be easily replaced, and the production efficiency is improved.

【0041】(2)接着剤を使用しないので、接着剤自
体により欠陥が発生しない。
(2) Since no adhesive is used, no defect is caused by the adhesive itself.

【0042】(3)ロール型スタンパを作成するため
に、接着固定装置等の大きな装置を導入する必要がな
く、安価にロール型スタンパを提供できるため、このロ
ール型スタンパで光情報記録媒体用基板を成型すること
により、光情報記録媒体用基板の製造コストが低減す
る。
(3) It is not necessary to introduce a large device such as an adhesive fixing device to produce a roll-type stamper, and a roll-type stamper can be provided at low cost. By molding, the manufacturing cost of the optical information recording medium substrate is reduced.

【0043】(4)シート状スタンパの鏡面ロールに対
する位置決め、すなわちシート状スタンパの基板材料へ
のセンタリング調整を容易に行える。
(4) The positioning of the sheet stamper with respect to the mirror roll, that is, the centering adjustment of the sheet stamper to the substrate material can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光情報記録媒体用基板成型用ロール型
スタンパの一実施例に係るシート状スタンパの概略斜視
図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a sheet-shaped stamper according to one embodiment of a roll-shaped stamper for molding a substrate for an optical information recording medium of the present invention.

【図2】本実施例に係る鏡面ロールの概略斜視図であ
る。
FIG. 2 is a schematic perspective view of a mirror roll according to the present embodiment.

【図3】図2の要部を示す図であり、(A)は一方の溝
の近傍の上面図、(B)は(A)の断面図である。
FIGS. 3A and 3B are views showing main parts of FIG. 2, wherein FIG. 3A is a top view near one groove, and FIG. 3B is a cross-sectional view of FIG.

【図4】光情報記録媒体用基板成型用ロール型スタンパ
の概略斜視図である。
FIG. 4 is a schematic perspective view of a roll-type stamper for molding a substrate for an optical information recording medium.

【図5】図4に示したシート状スタンパの一端部の固定
構造を示す上面図である。
FIG. 5 is a top view showing a structure for fixing one end of the sheet-like stamper shown in FIG. 4;

【図6】図4の断面図である。FIG. 6 is a sectional view of FIG. 4;

【図7】図1に示したシート状スタンパの作製方法の各
工程をそれぞれ説明するための工程図である。
FIG. 7 is a process chart for explaining each process of the method of manufacturing the sheet-like stamper shown in FIG. 1;

【図8】電鋳工程においてガラス原盤に外周電極板を取
付けた状態の斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a state in which an outer peripheral electrode plate is attached to a glass master in an electroforming process.

【図9】固定具材のシートへの溶着工程を説明するため
の、溶着装置の概略図である。
FIG. 9 is a schematic view of a welding apparatus for explaining a step of welding a fixing member to a sheet.

【図10】光情報記録媒体用基板の成型装置の要部斜視
図である。
FIG. 10 is a perspective view of a main part of an apparatus for molding a substrate for an optical information recording medium.

【図11】図10において、Tダイより押出された溶融
樹脂シートと、ロール型スタンパの偏心状態を説明する
ための図である。
FIG. 11 is a view for explaining an eccentric state of a molten resin sheet extruded from a T-die and a roll type stamper in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2 固定具材 1a、1b、1c 長孔 3 シート状スタンパ 3a 所定パターン 3b シート 4a、4b、4c ねじ穴群 5 鏡面ロール 5a、5b 溝 6a、6b、6c ねじ穴 7a、7b くさび 8a、8b 固定部材 9a、9b 押圧ねじ 10a、10b、10c 固定ねじ 11 ガラス基板 12 フォトレジスト 13 ガラス原盤 14 導電化膜 15 金属膜 16 外周電極板 17 下板 17a、17b 溝 18 上蓋 18a、18b スリット 19 溶着用治具 20a、20b ねじ 21 Tダイ 22 溶融樹脂シート 23 ロール型スタンパ 24、25 鏡面ロール e 偏心量 AA、BB 中心線 1, 2 Fixing material 1a, 1b, 1c Slot 3 Sheet stamper 3a Predetermined pattern 3b Sheet 4a, 4b, 4c Screw hole group 5 Mirror roll 5a, 5b Groove 6a, 6b, 6c Screw hole 7a, 7b Wedge 8a, 8b fixing member 9a, 9b pressing screw 10a, 10b, 10c fixing screw 11 glass substrate 12 photoresist 13 glass master 14 conductive film 15 metal film 16 outer peripheral electrode plate 17 lower plate 17a, 17b groove 18 upper cover 18a, 18b slit 19 welding Tool 20a, 20b Screw 21 T-die 22 Molten resin sheet 23 Roll type stamper 24, 25 Mirror roll e Eccentricity AA, BB Center line

フロントページの続き (72)発明者 林 久範 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 7/26 511 B29C 33/42 B29C 43/46 B29C 59/04 Continuation of the front page (72) Inventor Hisanori Hayashi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Within Canon Inc. (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 7/26 511 B29C 33 / 42 B29C 43/46 B29C 59/04

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光情報記録媒体用基板に微細な凹凸パタ
ーンを転写する為のシート状スタンパ; 該シート状スタンパの両端部裏面に固着されている固定
具材; 該シート状スタンパの各固定具材がそれぞれ嵌合可能な
複数の溝が周面に軸方向に延設された鏡面ロール; 前記シート状スタンパの各固定具材を鏡面ロールの各溝
にそれぞれ嵌挿した状態で、前記シート状スタンパに鏡
面ロールの周方向の張力を加え、且つシート状スタンパ
を鏡面ロールの軸方向に位置決めするための、少なくと
も一方の固定具材側に設けられた張力印加手段;及び該
張力印加手段によりシート状スタンパが鏡面ロールの軸
方向に位置決めされた状態で、少なくとも一方の固定具
材を鏡面ロールに固定するための固定手段、をする光情
報記録媒体用基板成型用ロール型スタンパであって、 上記張力印加手段は、少なくとも一方の固定具材が嵌挿
される一方の溝の両端を覆うように鏡面ロールの両端面
にそれぞれ固定された固定部材と、 前記一方の溝の両端部内にそれぞれ設けられ、少なくと
も一方の固定具材の両端部と前記一方の溝の一側壁との
間にそれぞれの先端が挿入可能な一対のくさびと、各固
定部材にそれぞれ螺合され、それぞれの先端が各々のく
さびにそれぞれ当接して押圧可能な押圧ねじとから構成
され、 上記固定手段は、少なくとも一方の固定具材に形成され
た、軸方向に延びる長孔と、鏡面ロールに形成された、
少なくとも一方の溝の底壁に開口するねじ穴と、前記長
孔を貫通して該ねじ穴に螺合する固定ねじとから構成さ
れていることを特徴とする光情報記録媒体用基板成型用
ロール型スタンパ。
1. A sheet-shaped stamper for transferring a fine concavo-convex pattern onto an optical information recording medium substrate; fixing members fixed to the back surfaces of both ends of the sheet-shaped stamper; fixing members of the sheet-shaped stamper A mirror surface roll in which a plurality of grooves into which materials can be respectively fitted are extended in the axial direction on the peripheral surface; the sheet-like stamper in a state where each fixing member of the sheet-like stamper is inserted into each groove of the mirror surface roll; Tension applying means provided on at least one of the fixing members for applying a circumferential tension of the mirror roll to the stamper and positioning the sheet-shaped stamper in the axial direction of the mirror roll; A roll for forming a substrate for an optical information recording medium, the fixing means for fixing at least one of the fixing members to the mirror roll while the stamper is positioned in the axial direction of the mirror roll. A mold stamper, wherein the tension applying means includes fixing members fixed to both end surfaces of the mirror-finished roll so as to cover both ends of one groove into which at least one fixing member is inserted; A pair of wedges, each of which can be inserted between both end portions of at least one fixing member and one side wall of the one groove, are screwed to the fixing members, respectively, provided at both ends. The fixing means is formed in at least one fixing member, an elongated hole extending in the axial direction, and a mirror-finished roll. Was
A roll for forming a substrate for an optical information recording medium, comprising: a screw hole opened in a bottom wall of at least one groove; and a fixing screw penetrating the long hole and screwing into the screw hole. Mold stamper.
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