JP2971892B2 - オートフォーカス方式 - Google Patents
オートフォーカス方式Info
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- JP2971892B2 JP2971892B2 JP1185717A JP18571789A JP2971892B2 JP 2971892 B2 JP2971892 B2 JP 2971892B2 JP 1185717 A JP1185717 A JP 1185717A JP 18571789 A JP18571789 A JP 18571789A JP 2971892 B2 JP2971892 B2 JP 2971892B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ビデオカメラにより被写体を撮影し、検
査する装置において、フォーカス状態を制御するのに用
いて好適なオートフォーカス方式に関する。
査する装置において、フォーカス状態を制御するのに用
いて好適なオートフォーカス方式に関する。
従来、ビデオカメラにより、例えば、ICウェハ、プリ
ント基板等の被写体を撮影し、異物の有無等を検査する
ような場合、そのフォーカス制御は、明るさ（輝度信
号）の最大値又はその微分値の最大値を求めることによ
り行なっていた。
ント基板等の被写体を撮影し、異物の有無等を検査する
ような場合、そのフォーカス制御は、明るさ（輝度信
号）の最大値又はその微分値の最大値を求めることによ
り行なっていた。
被写体にピントが合っていないとき、画像は不鮮明に
なり、各画素のうち明るい部分は暗くなり、暗い部分は
明るくなり、両者の差が小さくなる。
なり、各画素のうち明るい部分は暗くなり、暗い部分は
明るくなり、両者の差が小さくなる。
これに対してピントが合っているとき、画像は最も鮮
明になる。このとき、各画素のうち、明るい部分の明る
さは最も明るくなり、暗い部分の明るさは最も暗くな
り、両者の差が最も大きくなる。
明になる。このとき、各画素のうち、明るい部分の明る
さは最も明るくなり、暗い部分の明るさは最も暗くな
り、両者の差が最も大きくなる。
例えば、いま、第２図に示すように、左半分が黒、右
半分が白の画像を考える。この画像を構成する各画素の
明るさと度数をヒストグラムに表わすと、ピントがあっ
ている場合第３図（ａ）に示すようになり、ピントがず
れるに従って、同図（ｂ）、（ｃ）に示すようになる。
半分が白の画像を考える。この画像を構成する各画素の
明るさと度数をヒストグラムに表わすと、ピントがあっ
ている場合第３図（ａ）に示すようになり、ピントがず
れるに従って、同図（ｂ）、（ｃ）に示すようになる。
第３図（ａ）乃至（ｃ）を比較すると明らかなよう
に、ピントが合っているとき、画素の明るさは最大とな
る。
に、ピントが合っているとき、画素の明るさは最大とな
る。
従って、明るさの最大値を検出することにより、最適
なフォーカス位置を検出することができる。
なフォーカス位置を検出することができる。
また、黒色の部分と白色の部分の境界付近の明るさの
傾斜は、ピントが合っている場合に最も大きくなる。
傾斜は、ピントが合っている場合に最も大きくなる。
従って、明るさの微分値の最大値から最適フォーカス
位置を検出することができる。
位置を検出することができる。
このように、従来の方式においては、明るさの最大値
又はその微分値の最大値から最適フォーカス位置を検出
するようにしているので、第３図（ａ）に丸印を付した
部分のエネルギーしか利用しておらず、最適なフォーカ
ス位置を正確に検出することが困難であった。
又はその微分値の最大値から最適フォーカス位置を検出
するようにしているので、第３図（ａ）に丸印を付した
部分のエネルギーしか利用しておらず、最適なフォーカ
ス位置を正確に検出することが困難であった。
その結果、例えば被写体上に、他の部分より著しく明
るいガラス等の付着物が存在するような場合、その明る
さに影響され、画像がピンボケになる欠点があった。
るいガラス等の付着物が存在するような場合、その明る
さに影響され、画像がピンボケになる欠点があった。
この発明は、このような状況に鑑みてなされたもの
で、最適なフォーカス位置を正確に検出することができ
るようにするものである。
で、最適なフォーカス位置を正確に検出することができ
るようにするものである。
請求項１に記載のオートフォーカス方式は、所定の範
囲内でフォーカス位置を順次変えて被写体を撮影し、被
写体の明るさに関するデータの分散を各フォーカス位置
毎に演算し、分散の最大値を求め、最大値に対応するフ
ォーカス位置を最適フォーカス位置として選択するオー
トフォーカス方式において、第１の範囲のフォーカス位
置における分散の差から、最大値が存在するフォーカス
方向を求める方向判定を行い、そのフォーカス方向の第
２の範囲のフォーカス位置における分散の差を順次演算
することにより最大値を含む所定の範囲を求め、第２の
範囲における分散の差から求められた最大値を含む所定
の範囲内において、さらに、第２の範囲より短い第３の
範囲毎に、分散を演算し、演算された分散を順次比較す
ることにより最大値を求めることを特徴とする。
囲内でフォーカス位置を順次変えて被写体を撮影し、被
写体の明るさに関するデータの分散を各フォーカス位置
毎に演算し、分散の最大値を求め、最大値に対応するフ
ォーカス位置を最適フォーカス位置として選択するオー
トフォーカス方式において、第１の範囲のフォーカス位
置における分散の差から、最大値が存在するフォーカス
方向を求める方向判定を行い、そのフォーカス方向の第
２の範囲のフォーカス位置における分散の差を順次演算
することにより最大値を含む所定の範囲を求め、第２の
範囲における分散の差から求められた最大値を含む所定
の範囲内において、さらに、第２の範囲より短い第３の
範囲毎に、分散を演算し、演算された分散を順次比較す
ることにより最大値を求めることを特徴とする。
請求項１に記載のオートフォーカス方式においては、
第１の範囲のフォーカス位置における分散の差から、最
大値が存在するフォーカス方向を求める方向判定が行わ
れ、そのフォーカス方向の第２の範囲のフォーカス位置
における分散の差を順次演算することにより最大値を含
む所定の範囲が求められ、第２の範囲における分散の差
から求められた最大値を含む所定の範囲内において、さ
らに、第２の範囲より短い第３の範囲毎に、分散を演算
し、演算された分散を順次比較することにより最大値が
求められる。
第１の範囲のフォーカス位置における分散の差から、最
大値が存在するフォーカス方向を求める方向判定が行わ
れ、そのフォーカス方向の第２の範囲のフォーカス位置
における分散の差を順次演算することにより最大値を含
む所定の範囲が求められ、第２の範囲における分散の差
から求められた最大値を含む所定の範囲内において、さ
らに、第２の範囲より短い第３の範囲毎に、分散を演算
し、演算された分散を順次比較することにより最大値が
求められる。
第１図はこの発明のオートフォーカス方式が応用され
たオートフォーカス装置の一実施例の構成を示すブロッ
ク図である。
たオートフォーカス装置の一実施例の構成を示すブロッ
ク図である。
同図において、１はビデオカメラであり、図示せぬIC
ウェハ、プリント基板等の被写体を撮影する。２はA/D
変換器であり、ビデオカメラ１より出力されたビデオ信
号をA/D変換し、メモリ３に供給し、記憶させる。５はC
RT等の表示器であり、ビデオカメラ１の出力又はRAM4の
出力の一方又は両方を重畳した信号に対応する画像を表
示する。
ウェハ、プリント基板等の被写体を撮影する。２はA/D
変換器であり、ビデオカメラ１より出力されたビデオ信
号をA/D変換し、メモリ３に供給し、記憶させる。５はC
RT等の表示器であり、ビデオカメラ１の出力又はRAM4の
出力の一方又は両方を重畳した信号に対応する画像を表
示する。
６は例えばマイクロコンピュータ等よりなる制御回路
であり、撮影動作を制御する。７は制御回路６に所定の
指令を入力するキーボード、スイッチ等よりなる入力手
段である。８、９はメモリであり、所定のデータ等を記
憶する。10はモータ等の駆動手段であり、被写体が載置
されたテーブル11（又はビデオカメラ１）を駆動する。
であり、撮影動作を制御する。７は制御回路６に所定の
指令を入力するキーボード、スイッチ等よりなる入力手
段である。８、９はメモリであり、所定のデータ等を記
憶する。10はモータ等の駆動手段であり、被写体が載置
されたテーブル11（又はビデオカメラ１）を駆動する。
次に、その動作を説明する。
入力手段７を構成する所定のスイッチを操作して、オ
ートフォーカスの開始を指令すると、制御回路６は駆動
手段10を駆動し、テーブル11を所定のフォーカス位置か
ら、他の所定のフォーカス位置まで第１の一定の速度で
移動させる。
ートフォーカスの開始を指令すると、制御回路６は駆動
手段10を駆動し、テーブル11を所定のフォーカス位置か
ら、他の所定のフォーカス位置まで第１の一定の速度で
移動させる。
勿論この場合、テーブル11を停止させ、ビデオカメラ
１を移動させるようにすることもできる。
１を移動させるようにすることもできる。
メモリ９には、入力手段７の所定のスイッチを操作す
ることにより、この移動に必要な第１の速度等の所定の
データが予め記憶されている。制御回路６は、メモリ９
に記憶されているデータに対応してテーブル11を駆動す
る。
ることにより、この移動に必要な第１の速度等の所定の
データが予め記憶されている。制御回路６は、メモリ９
に記憶されているデータに対応してテーブル11を駆動す
る。
ビデオカメラ１はテーブル11上に載置された被写体を
撮影し、そのビデオ信号を出力する。このビデオ信号は
A/D変換器２によりA/D変換され、メモリ３に書き込まれ
る。
撮影し、そのビデオ信号を出力する。このビデオ信号は
A/D変換器２によりA/D変換され、メモリ３に書き込まれ
る。
また、ビデオカメラ１の出力は、表示器５に供給され
る。これにより、表示器５に、各フォーカス位置におけ
る被写体の画像が表示される。
る。これにより、表示器５に、各フォーカス位置におけ
る被写体の画像が表示される。
制御回路６は、メモリ９に予め設定、入力されている
時間（例えば100ms）毎に、メモリ３に記憶されている
被写体の明るさに関する信号（例えば輝度信号）のデー
タを演算し、その分散を求める。
時間（例えば100ms）毎に、メモリ３に記憶されている
被写体の明るさに関する信号（例えば輝度信号）のデー
タを演算し、その分散を求める。
すなわち、各フォーカス位置における各画素の輝度信
号のレベルx1、x2、・・・xNについて、分散Ｖが次式よ
り演算される。
号のレベルx1、x2、・・・xNについて、分散Ｖが次式よ
り演算される。
ここでは平均値であり、次式より求められる。
また、fiは各レベルxiの画素数、Ａは全画素数 である。
この所定時間毎に演算された分散Ｖは、対応するフォ
ーカス位置とともに、メモリ８に記憶される。
ーカス位置とともに、メモリ８に記憶される。
上述したように、分散の演算は所定時間（100ms）毎
に行なわれる。従って、例えば、第４図（ａ）に示すよ
うに、テーブル11の第１の移動速度を早く設定した場
合、同図（ｂ）に示すように遅く設定した場合に較べ、
同図（ｃ）に示すテーブル11の移動位置（フォーカス位
置）に対して分散を求めるサンプリング位置が粗くな
る。
に行なわれる。従って、例えば、第４図（ａ）に示すよ
うに、テーブル11の第１の移動速度を早く設定した場
合、同図（ｂ）に示すように遅く設定した場合に較べ、
同図（ｃ）に示すテーブル11の移動位置（フォーカス位
置）に対して分散を求めるサンプリング位置が粗くな
る。
この粗さは、第１の速度を適宜の値に設定することに
より調整される。
より調整される。
メモリ８に記憶された分散をヒストグラムに表わす
と、第５図に示すようになる。すなわち、理想的には、
所定の最大値を中心として左右に対称に分布した図形に
なる。
と、第５図に示すようになる。すなわち、理想的には、
所定の最大値を中心として左右に対称に分布した図形に
なる。
第３図（ａ）乃至（ｃ）に示したように、最適なフォ
ーカス位置のとき、明るさの分布範囲は最も広くなる。
従って、分散が最大となる位置が最適なフォーカス位置
となる。
ーカス位置のとき、明るさの分布範囲は最も広くなる。
従って、分散が最大となる位置が最適なフォーカス位置
となる。
入力手段７の所定のスイッチが操作されたとき、制御
回路６は、第５図に示したようなヒストグラムと、現在
のフォーカス位置を示す記号（例えば垂直線）とをRAM4
に発生させ、被写体の画像とともに表示器５に表示させ
る。これにより、使用者は、分散の分布状態と、それに
対応する画像を確認することができる。
回路６は、第５図に示したようなヒストグラムと、現在
のフォーカス位置を示す記号（例えば垂直線）とをRAM4
に発生させ、被写体の画像とともに表示器５に表示させ
る。これにより、使用者は、分散の分布状態と、それに
対応する画像を確認することができる。
このように、所定のフォーカス位置における分散が演
算されたとき、制御回路６は、次にその最大値をサーチ
する。
算されたとき、制御回路６は、次にその最大値をサーチ
する。
最初に最大値が存在するフォーカス方向のサーチが行
なわれる。このため、予め定められた方向（例えば後ピ
ン方向）の端部（第６図において右端）から、予めメモ
リ９に記憶させておいた範囲Ｄ（方向サイズ）の間にお
ける分散の差が演算される。
なわれる。このため、予め定められた方向（例えば後ピ
ン方向）の端部（第６図において右端）から、予めメモ
リ９に記憶させておいた範囲Ｄ（方向サイズ）の間にお
ける分散の差が演算される。
例えば、この範囲Ｄの後ピン方向の端部の分散をV1、
前ピン方向の端部の分散をVn、その間の分散をV2、V3・
・・Vn-1とすると、次式より値Ｓが演算される。
前ピン方向の端部の分散をVn、その間の分散をV2、V3・
・・Vn-1とすると、次式より値Ｓが演算される。
Ｓ＝（V1−V2）＋（V2−V3）＋・・・（Vn-1−Vn） ＝Δ１＋Δ２＋・・・＋Δn-1 ・・・（３） 値Ｓが正のとき、最大値はその位置から後ピン方向に
位置し、負のとき前ピン方向に位置するものと判定され
る。各値Δｉはメモリ８に記憶され、ピークの判定等に
も用いられる。
位置し、負のとき前ピン方向に位置するものと判定され
る。各値Δｉはメモリ８に記憶され、ピークの判定等に
も用いられる。
この範囲Ｄをある程度大きく設定することにより、局
所的なピークや、雑音に影響されずに、最大値の方向を
正しく検出することができる。
所的なピークや、雑音に影響されずに、最大値の方向を
正しく検出することができる。
しかしながら、例えば、第６図にD1で示す範囲に設定
すると、範囲が広すぎて最大値を通り越してしまう。そ
こで、範囲Ｄは適当な値に設定される。
すると、範囲が広すぎて最大値を通り越してしまう。そ
こで、範囲Ｄは適当な値に設定される。
最大値の存在する方向が判定されたとき、次に、範囲
Ｄからその方向に、所定の範囲Ｍ毎に、上記（３）式と
同様の演算が行なわれる。この範囲Ｍは、M1、M2、M3・
・・と順次小さくされ、メモリ９に予め設定記憶された
値M0（メインサイズ）に達すると、以後、一定（M0）と
される。
Ｄからその方向に、所定の範囲Ｍ毎に、上記（３）式と
同様の演算が行なわれる。この範囲Ｍは、M1、M2、M3・
・・と順次小さくされ、メモリ９に予め設定記憶された
値M0（メインサイズ）に達すると、以後、一定（M0）と
される。
値Ｓの極性が範囲Ｄにおける場合と逆になったとき、
その直前の範囲Ｍとの境界の分散Vm1が適正フォーカス
位置と一応判定される。しかしながら、範囲M0は、最大
値Vmの位置を迅速に求めるため、ある程度の広さを持た
せてあるので、必ずしも正確な位置に対応していない。
その直前の範囲Ｍとの境界の分散Vm1が適正フォーカス
位置と一応判定される。しかしながら、範囲M0は、最大
値Vmの位置を迅速に求めるため、ある程度の広さを持た
せてあるので、必ずしも正確な位置に対応していない。
そこで上述したように、最大値Vm1の位置が粗サーチ
された後、次にさらに正確な位置を求める微サーチが行
なわれる。
された後、次にさらに正確な位置を求める微サーチが行
なわれる。
メモリ９には、微サーチを行なうための第２の速度と
範囲Ｗが予め設定、記憶されている。
範囲Ｗが予め設定、記憶されている。
制御回路６は、第７図に示すように、粗サーチにより
検出された適正フォーカス位置を中心とする範囲Ｗの区
間だけ、テーブル11を第２の速度で移動させる。
検出された適正フォーカス位置を中心とする範囲Ｗの区
間だけ、テーブル11を第２の速度で移動させる。
この間においても、粗サーチの場合と同様に、表示器
５に各フォーカス位置における画像が表示されるととも
に、所定時間（100ms）毎に、分散の演算が行なわれ、
演算値が対応するフォーカス位置とともにメモリ８に記
憶される。
５に各フォーカス位置における画像が表示されるととも
に、所定時間（100ms）毎に、分散の演算が行なわれ、
演算値が対応するフォーカス位置とともにメモリ８に記
憶される。
微サーチの第２の速度は粗サーチの第１の速度より遅
い速度に設定される。これにより、より微細なフォーカ
ス位置を検出することが可能になる。
い速度に設定される。これにより、より微細なフォーカ
ス位置を検出することが可能になる。
微サーチにより演算された分散が、隣のフォーカス位
置の分散と順次比較され、その最大値が真の最大値Vmと
され、そのフォーカス位置が、最終的に、最適なフォー
カス位置とされる。
置の分散と順次比較され、その最大値が真の最大値Vmと
され、そのフォーカス位置が、最終的に、最適なフォー
カス位置とされる。
このように、最適フォーカス位置が求められたとき、
制御回路６は駆動手段10を駆動してテーブル11をその位
置に移動させる。これにより、表示器５に最も鮮明な被
写体の画像が表示される。
制御回路６は駆動手段10を駆動してテーブル11をその位
置に移動させる。これにより、表示器５に最も鮮明な被
写体の画像が表示される。
粗サーチの方向を判定するとき、雑音等により誤った
判定が行なわれると、適正フォーカス位置を検出するこ
とができない。上述したように、範囲Ｄをある程度広く
設定しておくことにより、これを防止することができ
る。しかしながら、あまり広くすると、適正フォーカス
位置を通り越してしまい、検出に時間がかかる。
判定が行なわれると、適正フォーカス位置を検出するこ
とができない。上述したように、範囲Ｄをある程度広く
設定しておくことにより、これを防止することができ
る。しかしながら、あまり広くすると、適正フォーカス
位置を通り越してしまい、検出に時間がかかる。
そこで、第８図に示すように、所定の基準値R1を予め
設定し、メモリ９に記憶させておき、この基準値R1以上
の大きさの分散のみを選択し、その中で範囲Ｄを設定さ
せるようにすることもできる。
設定し、メモリ９に記憶させておき、この基準値R1以上
の大きさの分散のみを選択し、その中で範囲Ｄを設定さ
せるようにすることもできる。
これにより、範囲Ｒをそれ程広くしなくとも、雑音等
の撮影を除去することができる。
の撮影を除去することができる。
また、求められた最大値に対しても予め基準値R2を設
定しておき、分散の最大値Vmがこの基準値R2以下である
とき、求められた値は正しい最大値ではないとして、再
度検出動作を実行させるようにすることもできる。
定しておき、分散の最大値Vmがこの基準値R2以下である
とき、求められた値は正しい最大値ではないとして、再
度検出動作を実行させるようにすることもできる。
これにより、第８図に示すように、正規の最大値以外
に、比較的大きいピーク値が存在するような場合、その
ピーク値が最大値として検出されるのを防止することが
できる。
に、比較的大きいピーク値が存在するような場合、その
ピーク値が最大値として検出されるのを防止することが
できる。
また、以上においては、画面全体の画素の明るさの分
散を求めるようにしたが、第９図に示すように、ｘ座標
Lx、Rxと、ｙ座標Uy、Dyにより設定されるウインドの範
囲内の画素のみを演算の対象とすることもできる。この
場合、座標を入力手段７を介してメモリ９に自由に変
更、記憶させるようにして、被写体の所定の部分にフォ
ーカスを合わせることができるようにすることができ
る。
散を求めるようにしたが、第９図に示すように、ｘ座標
Lx、Rxと、ｙ座標Uy、Dyにより設定されるウインドの範
囲内の画素のみを演算の対象とすることもできる。この
場合、座標を入力手段７を介してメモリ９に自由に変
更、記憶させるようにして、被写体の所定の部分にフォ
ーカスを合わせることができるようにすることができ
る。
さらに、検査対象物によっては、分散が必ずしも理想
的に左右対称にはならず、最大値の近傍に比較的大きい
ピーク値が発生するような場合がある。このような対象
物については、その分散の分布状態を予めメモリ９に記
憶させておき、そのデータと比較して、比較的大きいピ
ークに影響されずに、最大値を求めるようにすることも
できる。
的に左右対称にはならず、最大値の近傍に比較的大きい
ピーク値が発生するような場合がある。このような対象
物については、その分散の分布状態を予めメモリ９に記
憶させておき、そのデータと比較して、比較的大きいピ
ークに影響されずに、最大値を求めるようにすることも
できる。
請求項１に記載のオートフォーカス方式によれば、第
１の範囲のフォーカス位置における分散の差から、最大
値が存在するフォーカス方向を求める方向判定を行い、
そのフォーカス方向の第２の範囲のフォーカス位置にお
ける分散の差を順次演算することにより最大値を含む所
定の範囲を求め、第２の範囲における分散の差から求め
られた最大値を含む所定の範囲内において、さらに、第
２の範囲より短い第３の範囲毎に、分散を演算し、演算
された分散を順次比較することにより最大値を求めるよ
うにしたので、局所的な明るさ等に影響されずに、正確
に適正フォーカス位置を検出することが可能になる。
１の範囲のフォーカス位置における分散の差から、最大
値が存在するフォーカス方向を求める方向判定を行い、
そのフォーカス方向の第２の範囲のフォーカス位置にお
ける分散の差を順次演算することにより最大値を含む所
定の範囲を求め、第２の範囲における分散の差から求め
られた最大値を含む所定の範囲内において、さらに、第
２の範囲より短い第３の範囲毎に、分散を演算し、演算
された分散を順次比較することにより最大値を求めるよ
うにしたので、局所的な明るさ等に影響されずに、正確
に適正フォーカス位置を検出することが可能になる。
第１図はこの発明のオートフォーカス方式を応用したオ
ートフォーカス装置の一実施例のブロック図、 第２図は従来のオートフォーカス方式の原理を説明する
画面の正面図、 第３図（ａ）乃至（ｃ）は従来のオートフォーカス方式
の原理を説明する明るさのヒストグラム、 第４図は第１図の実施例の動作を説明するタイミングチ
ャート、 第５図乃至第８図は第１図の実施例の動作を説明する分
散の特性図、 第９図は第１図の実施例の動作を説明する画面の正面図
である。 １……ビデオカメラ ２……A/D変換器 ３……メモリ ４……RAM ５……表示器 ６……制御回路 ７……入力手段 8,9……メモリ 10……駆動手段 11……テーブル
ートフォーカス装置の一実施例のブロック図、 第２図は従来のオートフォーカス方式の原理を説明する
画面の正面図、 第３図（ａ）乃至（ｃ）は従来のオートフォーカス方式
の原理を説明する明るさのヒストグラム、 第４図は第１図の実施例の動作を説明するタイミングチ
ャート、 第５図乃至第８図は第１図の実施例の動作を説明する分
散の特性図、 第９図は第１図の実施例の動作を説明する画面の正面図
である。 １……ビデオカメラ ２……A/D変換器 ３……メモリ ４……RAM ５……表示器 ６……制御回路 ７……入力手段 8,9……メモリ 10……駆動手段 11……テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 7/28 - 7/40 G03B 3/00 - 3/12
Claims (7)
- 【請求項１】所定の範囲内でフォーカス位置を順次変え
て被写体を撮影し、被写体の明るさに関するデータの分
散を各フォーカス位置毎に演算し、分散の最大値を求
め、最大値に対応するフォーカス位置を最適フォーカス
位置として選択するオートフォーカス方式において、 第１の範囲のフォーカス位置における前記分散の差か
ら、前記最大値が存在するフォーカス方向を求める方向
判定を行い、 そのフォーカス方向の第２の範囲のフォーカス位置にお
ける前記分散の差を順次演算することにより前記最大値
を含む所定の範囲を求め、 前記第２の範囲における前記分散の差から求められた前
記最大値を含む所定の範囲内において、さらに、前記第
２の範囲より短い第３の範囲毎に、前記分散を演算し、
演算された分散を順次比較することにより前記最大値を
求める ことを特徴とするオートフォーカス方式。 - 【請求項２】前記第２の範囲は、前記第１の範囲より短
い ことを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方
式。 - 【請求項３】前記第２の範囲は、順次短くされる ことを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方
式。 - 【請求項４】前記方向判定は、所定の基準値以上の前記
分散に対してのみ行われる ことを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方
式。 - 【請求項５】前記最大値は、その値が、所定の基準値以
上である場合にのみ前記最大値として判定される ことを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方
式。 - 【請求項６】前記分散の演算は、所定時間毎に行われ、
かつ、前記フォーカス位置を順次変える速度は可変であ
る ことを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方
式。 - 【請求項７】前記被写体の明るさに関するデータは、設
定したウインドの範囲内のもののみが演算に用いられる ことを特徴とする請求項１に記載のオートフォーカス方
式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185717A JP2971892B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | オートフォーカス方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185717A JP2971892B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | オートフォーカス方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350513A JPH0350513A (ja) | 1991-03-05 |
| JP2971892B2 true JP2971892B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=16175621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1185717A Expired - Fee Related JP2971892B2 (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | オートフォーカス方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2971892B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006154393A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Toppan Printing Co Ltd | オートフォーカス方法 |
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| JP6043583B2 (ja) * | 2012-10-23 | 2016-12-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 焦点位置検出装置、検査装置、焦点位置検出方法および検査方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-07-18 JP JP1185717A patent/JP2971892B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0350513A (ja) | 1991-03-05 |
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