JP2970681B2 - 光スイッチの製造方法及び光スイッチ - Google Patents
光スイッチの製造方法及び光スイッチInfo
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- JP2970681B2 JP2970681B2 JP18723590A JP18723590A JP2970681B2 JP 2970681 B2 JP2970681 B2 JP 2970681B2 JP 18723590 A JP18723590 A JP 18723590A JP 18723590 A JP18723590 A JP 18723590A JP 2970681 B2 JP2970681 B2 JP 2970681B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 光スイッチの製造方法及び光スイッチに関し、対向す
る光ファイバの端部を容易に且つ確実に一直線状に整列
させて固定することのできるようにすることを目的と
し、 光ファイバをまっすぐな軸線を有するガイドの表面に
取りつけ、該ガイドを該光ファイバとともに該ガイドの
他面側の一部を残して切断し、該光ファイバを該ガイド
とともに固定の支持部及び可動の支持部に橋渡しして固
定し、該ガイドの前記切断によって残された他面側の一
部を切断し、よって該切断された光ファイバによって上
記端面を対向して配置されることのできる一対の光ファ
イバとする構成とする。
る光ファイバの端部を容易に且つ確実に一直線状に整列
させて固定することのできるようにすることを目的と
し、 光ファイバをまっすぐな軸線を有するガイドの表面に
取りつけ、該ガイドを該光ファイバとともに該ガイドの
他面側の一部を残して切断し、該光ファイバを該ガイド
とともに固定の支持部及び可動の支持部に橋渡しして固
定し、該ガイドの前記切断によって残された他面側の一
部を切断し、よって該切断された光ファイバによって上
記端面を対向して配置されることのできる一対の光ファ
イバとする構成とする。
本発明は光ファイバの光路を切り換える光スイッチの
製造方法及び光スイッチに関する。
製造方法及び光スイッチに関する。
近年、光LAN等の通信システムが発達しており、それ
にともない、低損失及び高スイッチング速度を有する光
スイッチが要求されている。
にともない、低損失及び高スイッチング速度を有する光
スイッチが要求されている。
従来公知の光スイッチとして、端面を対向して配置さ
れることのできる少なくとも一対の光ファイバを備え、
これらの光ファイバの一方が固定の支持部に取りつけら
れ、且つ他方の光ファイバが可動の支持部に取りつけら
れ、該可動の支持部を動かすことによって光ファイバ間
の光路を切り換えるようにしたものがある。
れることのできる少なくとも一対の光ファイバを備え、
これらの光ファイバの一方が固定の支持部に取りつけら
れ、且つ他方の光ファイバが可動の支持部に取りつけら
れ、該可動の支持部を動かすことによって光ファイバ間
の光路を切り換えるようにしたものがある。
上記した光スイッチを製造するためには、固定の支持
部に一方の光ファイバの端部を接着剤等によって固定
し、且つ可動の支持部に他方の光ファイバの端部を接着
剤等によって固定し、それとともに、一方の光ファイバ
の端部と他方の光ファイバの端部とが一直線状に整列す
るように向かい合わせなければならなかった。さらに、
複数の対の光ファイバにより複数の光路を切り換える光
スイッチでは、複数の光ファイバをそれぞれ固定の支持
部及び可動の支持部に固定し、複数の対の光ファイバの
端部をそれぞれ対として一直線状に整列するように向か
い合わせなければならなかった。光ファイバの直径は非
常に小さなものであり、対をなす光ファイバの端部を一
直線状に整列するように固定することは難しい作業であ
った。
部に一方の光ファイバの端部を接着剤等によって固定
し、且つ可動の支持部に他方の光ファイバの端部を接着
剤等によって固定し、それとともに、一方の光ファイバ
の端部と他方の光ファイバの端部とが一直線状に整列す
るように向かい合わせなければならなかった。さらに、
複数の対の光ファイバにより複数の光路を切り換える光
スイッチでは、複数の光ファイバをそれぞれ固定の支持
部及び可動の支持部に固定し、複数の対の光ファイバの
端部をそれぞれ対として一直線状に整列するように向か
い合わせなければならなかった。光ファイバの直径は非
常に小さなものであり、対をなす光ファイバの端部を一
直線状に整列するように固定することは難しい作業であ
った。
本発明の目的は、対向する光ファイバの端部を容易に
且つ確実に一直線状に整列させて固定することのできる
光スイッチの製造方法及び光スイッチを提供することで
ある。
且つ確実に一直線状に整列させて固定することのできる
光スイッチの製造方法及び光スイッチを提供することで
ある。
本発明による光スイッチの製造方法は、端面を対向し
て配置されることのできる少なくとも一対の光ファイバ
を備え、該少なくとも一対の光ファイバの一方が固定の
支持部に取りつけられ、且つ他方の光ファイバが可動の
支持部に取りつけられ、該可動の支持部を動かすことに
よって光ファイバ間の光路を切り換える光スイッチの製
造方法であって、光ファイバをまっすぐな軸線を有する
ガイドの表面に取りつけ、該ガイドを該光ファイバとと
もに該ガイドの他面側の一部を残して切断し、該光ファ
イバを該ガイドとともに固定の支持部及び可動の支持部
に橋渡しして固定し、該ガイドの前記切断によって残さ
れた他面側の一部を切断し、該切断された光ファイバに
よって上記端面を対向して配置されることのできる一対
の光ファイバとすることを特徴とするものである。
て配置されることのできる少なくとも一対の光ファイバ
を備え、該少なくとも一対の光ファイバの一方が固定の
支持部に取りつけられ、且つ他方の光ファイバが可動の
支持部に取りつけられ、該可動の支持部を動かすことに
よって光ファイバ間の光路を切り換える光スイッチの製
造方法であって、光ファイバをまっすぐな軸線を有する
ガイドの表面に取りつけ、該ガイドを該光ファイバとと
もに該ガイドの他面側の一部を残して切断し、該光ファ
イバを該ガイドとともに固定の支持部及び可動の支持部
に橋渡しして固定し、該ガイドの前記切断によって残さ
れた他面側の一部を切断し、該切断された光ファイバに
よって上記端面を対向して配置されることのできる一対
の光ファイバとすることを特徴とするものである。
また、本発明による光スイッチは、端面を対向して配
置されることのできる少なくとも一対の光ファイバを備
え、該少なくとも一対の光ファイバの一方が第１のガイ
ドのＶ字状の溝に固定され、且つ該第１のガイドによっ
て押さえられて固定の支持部に固定され、他方の光ファ
イバが第２のガイドのＶ字状の溝に固定され、且つ該第
２のガイドによって押さえられて可動の支持部に固定さ
れ、該可動の支持部を動かすことによって光ファイバ間
の光路を切り換えるようにしたことを特徴とするもので
ある。
置されることのできる少なくとも一対の光ファイバを備
え、該少なくとも一対の光ファイバの一方が第１のガイ
ドのＶ字状の溝に固定され、且つ該第１のガイドによっ
て押さえられて固定の支持部に固定され、他方の光ファ
イバが第２のガイドのＶ字状の溝に固定され、且つ該第
２のガイドによって押さえられて可動の支持部に固定さ
れ、該可動の支持部を動かすことによって光ファイバ間
の光路を切り換えるようにしたことを特徴とするもので
ある。
上記構成においては、光ファイバをまっすぐな軸線を
有するガイドの表面に取りつける工程において、光ファ
イバをまっすぐにガイドに固定する。ガイドを光ファイ
バとともにガイドの他面側の一部を残して切断する工程
において、この光ファイバは切断され、端面を対向して
配置されることのできる一対の光ファイバとなる。この
とき、ガイドの一部は切断されずにその軸線を維持した
まま残されており、切断によって得られた一対の光ファ
イバは未切断時のまっすぐな状態でガイドに固定されて
いる。従って、光ファイバをガイドとともに固定の支持
部及び可動の支持部に橋渡しして固定する工程におい
て、切断された一対の光ファイバの一方は固定の支持部
に固定され且つ他方の光ファイバは可動の支持部に固定
されるが、一対の光ファイバは一直線状に整列する状態
で維持され、ガイドによって自動的に整列されることに
なる。最後にガイドの残された部分を切断する工程にお
いて、ガイドが完全に切断され、固定の支持部と可動の
支持部とが分離されて可動の支持部が固定の支持部に対
して移動できるようになり、一対の光ファイバを相互に
対面する位置とそれからずらされた位置との間に移動さ
せてスイッチ作用を行うことができるようになる。この
ような製造方法においては、最初に光ファイバ及びガイ
ドの一部を切断するときには比較的に大きな力で切断を
行い、光ファイバ及びガイドを固定の支持部及び可動の
支持部に固定した後でガイドの残りの部分を切断すると
きには比較的に小さな力で切断を行うことができ、よっ
て光ファイバや固定の支持部及び可動の支持部に損傷や
ずれを与えないようにすることができる。従って、対向
する光ファイバの端部を容易に且つ確実に一直線状に整
列させて固定することができる。
有するガイドの表面に取りつける工程において、光ファ
イバをまっすぐにガイドに固定する。ガイドを光ファイ
バとともにガイドの他面側の一部を残して切断する工程
において、この光ファイバは切断され、端面を対向して
配置されることのできる一対の光ファイバとなる。この
とき、ガイドの一部は切断されずにその軸線を維持した
まま残されており、切断によって得られた一対の光ファ
イバは未切断時のまっすぐな状態でガイドに固定されて
いる。従って、光ファイバをガイドとともに固定の支持
部及び可動の支持部に橋渡しして固定する工程におい
て、切断された一対の光ファイバの一方は固定の支持部
に固定され且つ他方の光ファイバは可動の支持部に固定
されるが、一対の光ファイバは一直線状に整列する状態
で維持され、ガイドによって自動的に整列されることに
なる。最後にガイドの残された部分を切断する工程にお
いて、ガイドが完全に切断され、固定の支持部と可動の
支持部とが分離されて可動の支持部が固定の支持部に対
して移動できるようになり、一対の光ファイバを相互に
対面する位置とそれからずらされた位置との間に移動さ
せてスイッチ作用を行うことができるようになる。この
ような製造方法においては、最初に光ファイバ及びガイ
ドの一部を切断するときには比較的に大きな力で切断を
行い、光ファイバ及びガイドを固定の支持部及び可動の
支持部に固定した後でガイドの残りの部分を切断すると
きには比較的に小さな力で切断を行うことができ、よっ
て光ファイバや固定の支持部及び可動の支持部に損傷や
ずれを与えないようにすることができる。従って、対向
する光ファイバの端部を容易に且つ確実に一直線状に整
列させて固定することができる。
本発明による光スイッチは、上記製造方法によって製
造されることができるものであり、ガイドを切断するこ
とによって第１のガイド及び第２のガイドが形成され、
特に上記光ファイバをガイドとともに固定の支持部及び
可動の支持部に橋渡しして固定する工程において光ファ
イバを直に固定の支持部及び可動の支持部に接触するよ
うにガイドを引っ繰り返して固定すると、一方の光ファ
イバが第１のガイドによって押さえられて固定の支持部
に固定され、且つ他方の光ファイバが第２のガイドによ
って押さえられて可動の支持部に固定されるようにな
る。
造されることができるものであり、ガイドを切断するこ
とによって第１のガイド及び第２のガイドが形成され、
特に上記光ファイバをガイドとともに固定の支持部及び
可動の支持部に橋渡しして固定する工程において光ファ
イバを直に固定の支持部及び可動の支持部に接触するよ
うにガイドを引っ繰り返して固定すると、一方の光ファ
イバが第１のガイドによって押さえられて固定の支持部
に固定され、且つ他方の光ファイバが第２のガイドによ
って押さえられて可動の支持部に固定されるようにな
る。
第１図及び第２図は本発明の第１実施例の光スイッチ
を示し、光スイッチ10はベース12上に立設した固定の支
持部14と可動の支持部16とを備える。固定の支持部14と
可動の支持部16は微小な垂直方向の間隔で近接して配置
され、それらの上面14a,16aは平坦であって相互に同じ
高さになるように形成してある。可動の支持部16は分極
反転させたニオブ酸リチウム等の圧電バイモルフアクチ
ュエータからなり、印加電圧の制御により先端部が矢印
方向、すなわち一対の光ファイバの端面が平行な関係を
保つように移動可能である。可動の支持部16の作動方向
の両側にはストッパ18（第１図では手前側のものだけが
見えている）が設けられ、可動の支持部16を規定された
２位置に正確に停止せしめる。
を示し、光スイッチ10はベース12上に立設した固定の支
持部14と可動の支持部16とを備える。固定の支持部14と
可動の支持部16は微小な垂直方向の間隔で近接して配置
され、それらの上面14a,16aは平坦であって相互に同じ
高さになるように形成してある。可動の支持部16は分極
反転させたニオブ酸リチウム等の圧電バイモルフアクチ
ュエータからなり、印加電圧の制御により先端部が矢印
方向、すなわち一対の光ファイバの端面が平行な関係を
保つように移動可能である。可動の支持部16の作動方向
の両側にはストッパ18（第１図では手前側のものだけが
見えている）が設けられ、可動の支持部16を規定された
２位置に正確に停止せしめる。
少なくとも一対の光ファイバ20,22（実施例では３対
の光ファイバ20a−22a,20b−22b,20c−22c）が固定の支
持部14及び可動の支持部16の上面14a及び16aにそれぞれ
対向する端面を微小な間隔を開けて一直線状に載置され
る。さらに、固定の支持部14上に載置された光ファイバ
20a〜20cは第１の板状ガイド24によって押さえられて固
定の支持部14に固定される。また、可動の支持部16上に
載置された光ファイバ22a〜22cは第２の板状ガイド26に
よって押さえられて可動の支持部16に固定される。固定
のためには接着剤を用いることができる。なお、第１及
び第２のガイド24,26の表面にはＶ字状の溝28が形成さ
れ、各光ファイバ20a〜20c,22a〜22cは最初にそれぞれ
Ｖ字状の溝28に配置されて固定され、その後で第１及び
第２のガイド24,26を引っ繰り返しながら固定の支持部1
4及び可動の支持部16に載置されたものである。
の光ファイバ20a−22a,20b−22b,20c−22c）が固定の支
持部14及び可動の支持部16の上面14a及び16aにそれぞれ
対向する端面を微小な間隔を開けて一直線状に載置され
る。さらに、固定の支持部14上に載置された光ファイバ
20a〜20cは第１の板状ガイド24によって押さえられて固
定の支持部14に固定される。また、可動の支持部16上に
載置された光ファイバ22a〜22cは第２の板状ガイド26に
よって押さえられて可動の支持部16に固定される。固定
のためには接着剤を用いることができる。なお、第１及
び第２のガイド24,26の表面にはＶ字状の溝28が形成さ
れ、各光ファイバ20a〜20c,22a〜22cは最初にそれぞれ
Ｖ字状の溝28に配置されて固定され、その後で第１及び
第２のガイド24,26を引っ繰り返しながら固定の支持部1
4及び可動の支持部16に載置されたものである。
第3A図から第3D図は本発明の光スイッチ10の製造工程
を示す図である。第3A図に示されるように、光ファイバ
40をまっすぐな軸線を有するガイド42の表面に取りつけ
る。このとき、第５図に示されるように、表面にまっす
ぐなＶ字状の溝28が設けられたガイド42を用い、光ファ
イバ40をこのＶ字状の溝28に挿入して接着剤で固定す
る。実施例では、ガイド42には３個のＶ字状の溝28が平
行に設けられ、これは第１図及び第２図に示される３対
の光ファイバを形成するのに適したものである。
を示す図である。第3A図に示されるように、光ファイバ
40をまっすぐな軸線を有するガイド42の表面に取りつけ
る。このとき、第５図に示されるように、表面にまっす
ぐなＶ字状の溝28が設けられたガイド42を用い、光ファ
イバ40をこのＶ字状の溝28に挿入して接着剤で固定す
る。実施例では、ガイド42には３個のＶ字状の溝28が平
行に設けられ、これは第１図及び第２図に示される３対
の光ファイバを形成するのに適したものである。
例えば、Ｖ字状の溝28の最大開口部の幅は約100ηｍ
であり、隣接の溝28間のピッチは約170ηｍとすること
ができる。このようなＶ字状の溝28を有するガイド42は
シリコン結晶板にエッチングを行うことにより得られ
る。即ち、第６図に示されるように、ガイド42とすべき
シリコン結晶板にマスク44をしてエッチングを行うと、
シリコンの異方性に基づいて真っ直ぐな、しかも一定な
角度の断面形状を有するＶ字状の溝28ができることが確
認されている。従って、本発明ではガイド42としてシリ
コン結晶板を使用するのが好ましい。
であり、隣接の溝28間のピッチは約170ηｍとすること
ができる。このようなＶ字状の溝28を有するガイド42は
シリコン結晶板にエッチングを行うことにより得られ
る。即ち、第６図に示されるように、ガイド42とすべき
シリコン結晶板にマスク44をしてエッチングを行うと、
シリコンの異方性に基づいて真っ直ぐな、しかも一定な
角度の断面形状を有するＶ字状の溝28ができることが確
認されている。従って、本発明ではガイド42としてシリ
コン結晶板を使用するのが好ましい。
次に第3B図に示されるように、ダイシングソー46によ
りガイド42を光ファイバ40とともに切断する。ただし、
このときには光ファイバ40は完全に切断するが、ガイド
42は他面側の一部42aが残る程度に切断する（第４図も
参照）。次に第3C図に示されるように、最初の切断によ
って残された部分42aが固定の支持部14と可動の支持部1
6との間の間隙に位置するように、光ファイバ40をガイ
ド42とともに固定の支持部14及び可動の支持部16に橋渡
しして固定する。このときに、好ましくはガイド42を第
3B図の状態から引っ繰り返し、光ファイバ40が直に固定
の支持部14及び可動の支持部16に接触し、かつ最初の切
断によって残された部分42aがそのときの上面側になる
ようにする。そしてガイド42の表面を固定の支持部14及
び可動の支持部16の表面に対して平行になるようにし、
例えばガイド42の上面にレーザーを当てながらその反射
光を検出して平行度を調節し、その後でガイド42を固定
する。
りガイド42を光ファイバ40とともに切断する。ただし、
このときには光ファイバ40は完全に切断するが、ガイド
42は他面側の一部42aが残る程度に切断する（第４図も
参照）。次に第3C図に示されるように、最初の切断によ
って残された部分42aが固定の支持部14と可動の支持部1
6との間の間隙に位置するように、光ファイバ40をガイ
ド42とともに固定の支持部14及び可動の支持部16に橋渡
しして固定する。このときに、好ましくはガイド42を第
3B図の状態から引っ繰り返し、光ファイバ40が直に固定
の支持部14及び可動の支持部16に接触し、かつ最初の切
断によって残された部分42aがそのときの上面側になる
ようにする。そしてガイド42の表面を固定の支持部14及
び可動の支持部16の表面に対して平行になるようにし、
例えばガイド42の上面にレーザーを当てながらその反射
光を検出して平行度を調節し、その後でガイド42を固定
する。
次に第3D図に示されるように、最初の切断によって残
された部分42aをYAGレーザーLBによって切断し、残され
た部分42aが上面側にあるとレーザーによる切断が容易
で確実である。このようにして、光ファイバ40及びガイ
ド42が完全に２分され、第１図及び第２図に示される光
スイッチ10が得られる。このように最初に光ファイバ40
及びガイド42の一部を切断するときには比較的に大きな
力で切断を行い、光ファイバ40及びガイド42を固定の支
持部14及び可動の支持部16に固定した後でガイド42の残
りの部分42aを切断するときには比較的に小さな力で切
断を行うことができ、よって光ファイバ40や固定の支持
部14及び可動の支持部16に損傷やずれを与えないように
することができる。
された部分42aをYAGレーザーLBによって切断し、残され
た部分42aが上面側にあるとレーザーによる切断が容易
で確実である。このようにして、光ファイバ40及びガイ
ド42が完全に２分され、第１図及び第２図に示される光
スイッチ10が得られる。このように最初に光ファイバ40
及びガイド42の一部を切断するときには比較的に大きな
力で切断を行い、光ファイバ40及びガイド42を固定の支
持部14及び可動の支持部16に固定した後でガイド42の残
りの部分42aを切断するときには比較的に小さな力で切
断を行うことができ、よって光ファイバ40や固定の支持
部14及び可動の支持部16に損傷やずれを与えないように
することができる。
第１図及び第２図に示される光スイッチ10は例えば第
７図及び第８図に示されるようにして使用できる。第８
図は光スイッチ10を用いた例えば３個のワークステーシ
ョン50を接続するリング状光LANを示す図であり、リン
グ状の本線52と各ワークステーション50との間にそれぞ
れ光スイッチ10が配置される。各ワークステーション50
への接続部における本線52側の線路がそれぞれＸ、及び
Ｙで示され、各ワークステーション50側の線路がそれぞ
れp,qで示されている。第８図では、上方の光スイッチ1
0は線路Ｘとｐ、Ｙとｑを接続させて、本線52とそのワ
ークステーション50との間で信号が伝達されることを示
している。左方の光スイッチ10は線路Ｘとｐ、ｙとｑを
分離し、ＸとＹ、ｐとｑを接続させ、そのワークステー
ション50は本線52から切り離されている。従って、その
ワークステーション50で異常があっても、本線52及び他
のワークステーション50は影響を受けない。
７図及び第８図に示されるようにして使用できる。第８
図は光スイッチ10を用いた例えば３個のワークステーシ
ョン50を接続するリング状光LANを示す図であり、リン
グ状の本線52と各ワークステーション50との間にそれぞ
れ光スイッチ10が配置される。各ワークステーション50
への接続部における本線52側の線路がそれぞれＸ、及び
Ｙで示され、各ワークステーション50側の線路がそれぞ
れp,qで示されている。第８図では、上方の光スイッチ1
0は線路Ｘとｐ、Ｙとｑを接続させて、本線52とそのワ
ークステーション50との間で信号が伝達されることを示
している。左方の光スイッチ10は線路Ｘとｐ、ｙとｑを
分離し、ＸとＹ、ｐとｑを接続させ、そのワークステー
ション50は本線52から切り離されている。従って、その
ワークステーション50で異常があっても、本線52及び他
のワークステーション50は影響を受けない。
第７図においては、固定の支持部14に取りつけられた
光ファイバ20cが線路Ｘに接続され、光ファイバ20bが線
路ｑに接続される。光ファイバ20aは内部線路Ｚにより
可動の支持部16に取りつけられた光ファイバ22cに接続
される。また、光ファイバ22bは線路ｑに接続され、光
ファイバ22aは線路Ｙに接続される。
光ファイバ20cが線路Ｘに接続され、光ファイバ20bが線
路ｑに接続される。光ファイバ20aは内部線路Ｚにより
可動の支持部16に取りつけられた光ファイバ22cに接続
される。また、光ファイバ22bは線路ｑに接続され、光
ファイバ22aは線路Ｙに接続される。
第７図においては、可動の支持部16が移動して、最初
に対向して配置されていた光ファイバ間がずらされ、隣
接する光ファイバと接続される状態になり、この場合に
は線路Ｘとｐ、Ｙとｑが接続され、第８図の上方の光ス
イッチ10と同じ状態になる。可動の支持部16が右側に戻
されると、破線で示されるように対応する光ファイバが
対向して接続される状態になり、この場合には線路Ｘと
Ｙ、ｐとｑが接続され、第８図の左方の光スイッチ10と
同じ状態になる。このように複数の対の光ファイバを有
する光スイッチ10でも本発明では簡単に製造できる。
に対向して配置されていた光ファイバ間がずらされ、隣
接する光ファイバと接続される状態になり、この場合に
は線路Ｘとｐ、Ｙとｑが接続され、第８図の上方の光ス
イッチ10と同じ状態になる。可動の支持部16が右側に戻
されると、破線で示されるように対応する光ファイバが
対向して接続される状態になり、この場合には線路Ｘと
Ｙ、ｐとｑが接続され、第８図の左方の光スイッチ10と
同じ状態になる。このように複数の対の光ファイバを有
する光スイッチ10でも本発明では簡単に製造できる。
第９図及び第10図は本発明の第２実施例を示す図であ
り、この第２実施例においても光スイッチ10は第3A図か
ら第3D図に準じる工程で製造されるが、ガイド42及びそ
の切断工程に特徴を有する。即ち、第3A図から第3D図で
使用したガイド42はシリコン結晶板で作られたものであ
ったが、第９図及び第10図のガイド42はシリコン結晶板
42xとこのシリコン結晶板42aに積層した切断しやすい板
42yで形成される。シリコン結晶板42xには第５図に示し
たＶ字状の溝28が形成される。切断しやすい板42yとは
例えばレーザーにより切断するときにシリコン結晶板42
xよりも切断しやすいということであり、例えばセラミ
ックや、位置合わせの容易な透明な結晶であるタンタル
酸リチウムやニオブ酸リチウム等が使用できる。
り、この第２実施例においても光スイッチ10は第3A図か
ら第3D図に準じる工程で製造されるが、ガイド42及びそ
の切断工程に特徴を有する。即ち、第3A図から第3D図で
使用したガイド42はシリコン結晶板で作られたものであ
ったが、第９図及び第10図のガイド42はシリコン結晶板
42xとこのシリコン結晶板42aに積層した切断しやすい板
42yで形成される。シリコン結晶板42xには第５図に示し
たＶ字状の溝28が形成される。切断しやすい板42yとは
例えばレーザーにより切断するときにシリコン結晶板42
xよりも切断しやすいということであり、例えばセラミ
ックや、位置合わせの容易な透明な結晶であるタンタル
酸リチウムやニオブ酸リチウム等が使用できる。
そこで、そのようなガイド42を準備したら、第3A図の
場合と同様に、光ファイバ40をガイド42の表面に取りつ
け、次に第3B図の場合と同様に、ダイシングソー46によ
りガイド42を光ファイバ40とともに切断し、光ファイバ
40は完全に切断するが、ガイド42は他面側の一部42aが
残る程度に切断する。第９図に示されるように、この実
施例では、シリコン結晶板42xを貫いて切り口が切断し
やすい板42yに達するまで切断する。次に第3C図の場合
と同様に、ガイド42を引っ繰り返し、光ファイバ40をガ
イド42とともに固定の支持部14及び可動の支持部16に橋
渡しして固定する。その後で、第3D図の場合と同様に、
最初の切断によって残された部分42aをYAGレーザーLBに
よって切断する。シリコン結晶板42xは最初の切断で貫
いて切断されており、ここで切断するのは切断しやすい
板42y、イド42の部分のみである。従って、比較的に小
さなエネルギーのレーザーで切断を行うことができる。
場合と同様に、光ファイバ40をガイド42の表面に取りつ
け、次に第3B図の場合と同様に、ダイシングソー46によ
りガイド42を光ファイバ40とともに切断し、光ファイバ
40は完全に切断するが、ガイド42は他面側の一部42aが
残る程度に切断する。第９図に示されるように、この実
施例では、シリコン結晶板42xを貫いて切り口が切断し
やすい板42yに達するまで切断する。次に第3C図の場合
と同様に、ガイド42を引っ繰り返し、光ファイバ40をガ
イド42とともに固定の支持部14及び可動の支持部16に橋
渡しして固定する。その後で、第3D図の場合と同様に、
最初の切断によって残された部分42aをYAGレーザーLBに
よって切断する。シリコン結晶板42xは最初の切断で貫
いて切断されており、ここで切断するのは切断しやすい
板42y、イド42の部分のみである。従って、比較的に小
さなエネルギーのレーザーで切断を行うことができる。
以上説明したように、本発明によれば、光スイッチの
対向する光ファイバの端部を容易に且つ確実に一直線状
に整列させて固定することができる。
対向する光ファイバの端部を容易に且つ確実に一直線状
に整列させて固定することができる。
第１図は本発明の第１実施例の光スイッチを示す斜視
図、第２図は第１図の部分拡大図、第3A図から第3D図は
本発明の光スイッチの製造工程を示す図、第４図は第3B
図の拡大平面図、第５図は第４図のガイドの平面図、第
６図は同ガイドの製造の説明図、第７図は第１図の光ス
イッチの使用例を示す図、第８図は第７図の光スイッチ
を用いたリング状光LANを示す図、第９図は本発明の第
２実施例を示す図、第10図は第９図の平面図である。 10……光スイッチ、 14……固定の支持部、 16……可動の支持部、 20,22,40……光ファイバ、 24……第１のガイド、 26……第２の板状ガイド、 28……Ｖ字状の溝、 42……ガイド。
図、第２図は第１図の部分拡大図、第3A図から第3D図は
本発明の光スイッチの製造工程を示す図、第４図は第3B
図の拡大平面図、第５図は第４図のガイドの平面図、第
６図は同ガイドの製造の説明図、第７図は第１図の光ス
イッチの使用例を示す図、第８図は第７図の光スイッチ
を用いたリング状光LANを示す図、第９図は本発明の第
２実施例を示す図、第10図は第９図の平面図である。 10……光スイッチ、 14……固定の支持部、 16……可動の支持部、 20,22,40……光ファイバ、 24……第１のガイド、 26……第２の板状ガイド、 28……Ｖ字状の溝、 42……ガイド。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若月 昇 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−116942（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 26/08
Claims (8)
- 【請求項１】端部を対向して配置されることのできる少
なくとも一対の光ファイバ（20,22）を備え、該少なく
とも一対の光ファイバの一方が固定の支持部（14）に取
りつけられ、且つ他方の光ファイバが可動の支持部（1
6）に取りつけられ、該可動の支持部を動かすことによ
って光ファイバ間の光路を切り換える光スイッチの製造
方法であって、光ファイバ（40）をまっすぐな軸線を有
するガイド（42）の表面に取りつけ、該ガイドを該光フ
ァイバとともに該ガイドの他面側の一部を残して切断
し、該光ファイバを該ガイドとともに固定の支持部及び
可動の支持部に橋渡しして固定し、該ガイドの前記切断
によって残された他面側の一部を切断し、該切断された
光ファイバによって上記端面を対向して配置されること
のできる一対の光ファイバとすることを特徴とする光ス
イッチの製造方法。 - 【請求項２】前記ガイドの表面にＶ字状の溝を形成し、
該Ｖ字状の溝に光ファイバを固定し、その後で該ガイド
を該光ファイバとともに他面側の一部を残して切断する
請求項１に記載の光スイッチの製造方法。 - 【請求項３】前記ガイドをシリコン結晶板とし、エッチ
ングによりＶ字状の溝を形成する請求項２に記載の光ス
イッチの製造方法。 - 【請求項４】前記ガイドをシリコン結晶板及び該シリコ
ン結晶板に積層した切断しやすい板で形成し、該光ファ
イバを該シリコン結晶板の表面に固定し、該ガイドを該
光ファイバとともに該ガイドの他面側の一部を残して切
断する工程において該光ファイバを該シリコン結晶板を
貫いて切り口が該切断しやすい板に達するまで切断し、
該ガイドの前記切断によって残された他面側の一部を切
断する工程において該切断しやすい板の残りの部分を切
断する請求項２に記載の光スイッチの製造方法。 - 【請求項５】該ガイドを該光ファイバとともに他面側の
一部を残して切断する工程をダイシングソーによって行
い、該ガイドの前記切断によって残された他面側の一部
を切断する工程をレーザーによって行う請求項１に記載
の光スイッチの製造方法。 - 【請求項６】該ガイドの表面を該固定の支持部及び可動
の支持部の表面に対して平行になるように調節し、その
後で該ガイドを該固定の支持部及び可動の支持部に固定
する請求項１に記載の光スイッチの製造方法。 - 【請求項７】端面を対向して配置されることのできる少
なくとも一対の光ファイバを備え、該少なくとも一対の
光ファイバの一方が第１のガイドのＶ字状の溝に固定さ
れ、且つ該第１のガイドによって押さえられて固定の支
持部に固定され、他方の光ファイバが第２のガイドのＶ
字状の溝に固定され、且つ該第２のガイドによって押さ
えられて可動の支持部に固定され、該可動の支持部を動
かすことによって光ファイバ間の光路を切り換える光ス
イッチ。 - 【請求項８】該可動の支持部が圧電バイモルフアクチュ
エータの端部に設けられる請求項７に記載の光スイッ
チ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18723590A JP2970681B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 光スイッチの製造方法及び光スイッチ |
| US07/730,721 US5187758A (en) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Method of fabricating optical switch |
| EP91306516A EP0467672B1 (en) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Fabricating optical switches |
| DE69109386T DE69109386T2 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Herstellung von optischen Schaltern. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18723590A JP2970681B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 光スイッチの製造方法及び光スイッチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475014A JPH0475014A (ja) | 1992-03-10 |
| JP2970681B2 true JP2970681B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16202423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18723590A Expired - Fee Related JP2970681B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | 光スイッチの製造方法及び光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2970681B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6511454B1 (en) | 1998-05-29 | 2003-01-28 | Nidek Co., Ltd. | Irrigation/aspiration apparatus and irrigation/aspiration cassette therefore |
| JP4740772B2 (ja) * | 2006-03-06 | 2011-08-03 | 株式会社岡村製作所 | 耐火間仕切装置 |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP18723590A patent/JP2970681B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0475014A (ja) | 1992-03-10 |
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|---|---|---|---|
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