JP3576252B2 - 光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール - Google Patents
光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール Download PDFInfo
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は、光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
たとえば光導波路の両側に光ファイバアレイを接続した光導波路モジュールの製造方法についてを述べる。
▲1▼ 図4(a)のように、精密加工したV溝12を有するV溝基板14を作る。
▲2▼ V溝基板14に光ファイバ16を実装して(同図(b))、入力側の光ファイバアレイ18Aと出力側の光ファイバアレイ18Bを作る。
▲3▼ 光ファイバアレイ18A,B及び光導波路20(たとえば4端子カプラ)の端面を研磨する。
▲4▼ アレイ1個と導波路1個の接続当たり、光導波路20の光路と光ファイバ16との調心を行う(同図(c))。調心は、軸方向のx,y,z、及び軸周りのθx,θy,θz(矢印19参照)の6方向について行う。
▲5▼ 光ファイバアレイ18A,Bと光導波路20との間を、互いに接着して、光導波路モジュール22とする(同図(d))。
【0003】
なお、光導波路20が、たとえば光合分波器等で、フィルタ等の光学素子を実装する場合は、図5のように、光導波路20にスリット24を切り、光フィルタ26を実装する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
モジュール製造に際して、
▲1▼ 光ファイバアレイ18を作った後、端面を研磨しなければならない。
▲2▼ 1接続当たりの調心の自由度が高く(自由度が6)、調心に時間がかかる。さらにアレイ18が左右独立にあるため、2接続分の調心を行わなければならない。
【0005】
製造後のモジュールは、
▲3▼ 端面同士の接着だけのため、温度変動により光学特性が変動し易い。
▲4▼ 長期信頼性は、接着剤の信頼性と接着面積に依存するが、従来は端面だけで接着面積が小さいため、問題がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
モジュールの製造に際して、図1に例示するように、
基材ブロック30に光ファイバ16を実装し、
光ファイバ16ごと基材ブロック30を切り欠いて切欠き部40を形成し、
その切欠き部40に光導波路20を実装し、
当該光導波路20と光ファイバ16とを互いに接続する、
という方法をとる(請求項1または2の発明に対応)。
【0007】
また、図1(b)に例示するように、基材ブロック30上のz方向に、一方の端から他方の端まで連続する直線状のV溝32を作り(切欠き部40により左右に分離する場合も、初めは左右V溝を一体の1本ものとして加工し、後で左右に分離されるようにし)、
当該V溝32内に光ファイバ16を実装し、
その後は、上記[0006]の場合と同じ方法をとる(請求項1または2の発明に対応)。
【0008】
また、製造した後のモジュール44について、図1に例示するように、
切欠き部40が設けられた基材ブロック30を用い、
当該基材ブロック30の切欠き部40に光導波路20が実装され、また前記切欠き部40以外の部分に光ファイバ16が実装され、
前記光導波路20の光路と光ファイバ16とが接続されている、
という構成をとるようにする(請求項3の発明に対応)。
【0009】
なお、光ファイバ16と導波路20の光路は当然に調心されていなければならない。
また、光導波路20と光ファイバ16との接続は、接着による。
【0010】
基材ブロック30の形状は、特に限定しない。しかし、図1(a)のような、長方形板状は、好ましい形状である。
基材ブロック30の材質も特に限定しないが、加工性、導波路との接着性、線膨張係数の整合を考慮すると、石英ガラス、シリコン等が適当である。
基材ブロック30への光ファイバ16の実装には、任意の方式をとることができる。
しかし、その位置を正確にするため、上記[0007]で述べたように、基材ブロック30上のz方向に、一方の端から他方の端まで連続する直線状のV溝32を作り(図1(b))、その中に接着により固定する方式(図1(c))が適当である。
なお同図の場合、左右両側から実装する光ファイバ16の本数が等しいが、NxM導波路型スプリッタ等を実装する場合は、本数の異なることもある。
【0011】
また、図1の場合は、切欠き部40が基材ブロック30の中央にあるが、切欠き部40は、たとえば図2(a)のように、基材ブロック30の片側だけにあることもある(光源素子や受光素子等の能動回路接続の場合等)。
また図2(b)のように、切欠き部40が凹みのこともある。
【0012】
【作 用】
▲1▼ 製造に際して、光ファイバ16ごと基材ブロック30を切り欠いて切欠き部40を形成するようにすると、
光ファイバアレイ38の端面研磨も同時に行われる。
▲2▼ 切欠き部40に光導波路20を実装するようにすると、
調心の自由度が6から3,2ないしは1に減少するため、調心が容易になる。
【0013】
▲3▼ 基材ブロック30の切欠き部40に光導波路20が実装してあると、
接着面積が広くて、鉛直方向の外力に強い。
また、温度変動に対して光学的特性が変動しにくい。
【0014】
【実施例】
上記図4の場合同様に、光導波路の両側に光ファイバアレイが接続する例を、図1について述べる。なお、説明の都合上、x,y,zの方向を矢印28のように定める。
▲1▼ 図1(a)の30は基材ブロックである。長方形板状のもので、ガラス、シリコン等からなる。
▲2▼ 基材ブロック30の上面に、Z方向のV溝32を、精密加工機のブレード34等により形成する(図1(b))。
▲3▼ V溝32に光ファイバ16を実装する(接着する、図1(c))。光ファイバ16は、V溝32の中央でつながっていても、離れていても良い。
▲4▼ 精密加工機のブレード35により、光ファイバ16ごと、基材ブロック30をx方向に切断して、2本の溝36を形成する(図1(d))。
溝36の形成により、それらから外側の部分が光ファイバアレイ38となる。また、光ファイバアレイ38が形成されるとき、その端面研磨が同時に行われる。
【0015】
▲5▼ 精密加工機により、溝36間の基材ブロック30を光ファイバ16ごと研削して切欠き部40を形成し、高い精度で平坦な光導波路の実装面42を作製する(図1(e))。このとき、実装面42上に載置する光導波路の光軸が光ファイバ16の光軸と一致するように、実装面42の深さaを決める。
なお、実装面42形成後も溝36の下部が切代として残るように、溝36は深く切り込んでおく。こうしておくと、実装面42を高い精度で平坦に製作する作業がし易くなる。
▲6▼ 光導波路20が切欠き部40内に隙間無く填まるように、その端面を精密加工機により切削研磨し、それから光導波路20を切欠き部40の実装面42上に実装する(図1(f))。
▲7▼ 光導波路20の光路と光ファイバ16の調心を行い、光導波路20,光ファイバアレイ38間を接着して、光導波路モジュール44を構成する。
【0016】
なお、上記のように光導波路にフィルタ26等を実装する場合は、
光導波路20の長さ(z方向の)を調整して、図3のように、光フィルタ26を光導波路20と光ファイバアレイ38間に挟む形で、同時に実装する。
【0017】
【発明の効果】
請求項3の発明においては、
(1)接着面積が広くなるため、鉛直方向の外力に対して強く、長期信頼性が向上する。
(2)一つの基材ブロック30の上に光ファイバ16と光導波路20が実装されているため、温度変動に対して光学特性が変動しにくい。
【0018】
請求項1または2の発明においては、
(1)光ファイバアレイ38の作製と同時に、その端面を研磨できる。
(2)光ファイバ16と光導波路20の調心を、実装面42上で自由度3,2ないしは1で行うことができる。
(3)光導波路20のサイズを調整して、光フィルタ26等を同時に実装することができる。
【0019】
請求項1または2の発明においては、
基材ブロック30上のz方向に、一方の端から他方の端まで連続する直線状のV溝32を作り、当該V溝32内に光ファイバ16を実装するので、
後でV溝32を切欠き部40により左右に分離した場合も、左右V溝を調心する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の製造方法の実施例を工程順に示した説明図。
【図2】本発明において、基材ブロック30に形成される切欠き部40の異なる態様の説明図。
【図3】本発明において、光フィルタ26等を実装する場合の説明図。
【図4】従来技術の一例を工程順に示した説明図。
【図5】光フィルタ26を実装した従来の光導波路モジュールの説明図。
【符号の説明】
12 V溝
14 V溝基板
16 光ファイバ
18A,B 光ファイバアレイ
20 光導波路
22 光導波路モジュール
24 スリット
26 光フィルタ
30 基材ブロック
32 V溝
34,35 ブレード
36 溝
38 光ファイバアレイ
40 切欠き部
42 実装面
44 光導波路モジュール
Claims (3)
- 基材ブロックに一方の端から他方の端まで連続する直線状のV溝を作り、当該V溝内に光ファイバを実装し、
当該光ファイバごとに前記基材ブロックを切断して2本の溝を形成し、次いで当該2本の溝間の基材ブロックを前記光ファイバごと切り欠いて切欠き部を形成して、当該切欠き部の深さを、前記2本の溝の下部が切代として残るような深さとし、
当該切欠き部に光導波路を実装することにより、
当該光導波路と前記光ファイバとを接続することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。 - 前記V溝が2本であることを特徴とする請求項1に記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 請求項1または2に記載の光導波路モジュールの製造方法によって製造された光フィルタ付き光導波路モジュールであって、
前記2本の溝の少なくとも一方に光フィルタが挿入され、当該光フィルタを介して前記光導波路と前記光ファイバとが接続されていることを特徴とする光フィルタ付き光導波路モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7068295A JP3576252B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP7068295A JP3576252B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08240740A JPH08240740A (ja) | 1996-09-17 |
JP3576252B2 true JP3576252B2 (ja) | 2004-10-13 |
Family
ID=13438674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7068295A Expired - Lifetime JP3576252B2 (ja) | 1995-03-03 | 1995-03-03 | 光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3576252B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-03 JP JP7068295A patent/JP3576252B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH08240740A (ja) | 1996-09-17 |
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