JPH04128711A - 光スイッチの製造方法 - Google Patents
光スイッチの製造方法Info
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- JPH04128711A JPH04128711A JP24935390A JP24935390A JPH04128711A JP H04128711 A JPH04128711 A JP H04128711A JP 24935390 A JP24935390 A JP 24935390A JP 24935390 A JP24935390 A JP 24935390A JP H04128711 A JPH04128711 A JP H04128711A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光通信、光情報処理等で使用される光回路の光路の切換
えを行う光スイッチの製造方法に関し、各光ファイバの
端面の位置出しを容易にすることを目的とし、 可動部及び固定部のそれぞれに端面を対向させて固定さ
れた光ファイバを、該可動部により該光ファイバの端面
を移動させて光路を切換える光スイッチの製造方法にお
いて、所定数の溝か形成されたガイド部の該溝部分に、
所定数の光ファイバを連設させたファイバアレイを固着
する工程と、前記可動部上及び固定部上に、該ガイド部
に固着されたファイバアレイを固定して架設する工程と
、該可動部と固定部との間で該架設されたファイバアレ
イ及び前記ガイド部を切断する工程と、を含むように構
成し、また、ガイド部に支持部を固着して前記ファイバ
アレイ及びガイド部を切断した後、該支持部を剥離させ
、または溶断させるように構成する。
えを行う光スイッチの製造方法に関し、各光ファイバの
端面の位置出しを容易にすることを目的とし、 可動部及び固定部のそれぞれに端面を対向させて固定さ
れた光ファイバを、該可動部により該光ファイバの端面
を移動させて光路を切換える光スイッチの製造方法にお
いて、所定数の溝か形成されたガイド部の該溝部分に、
所定数の光ファイバを連設させたファイバアレイを固着
する工程と、前記可動部上及び固定部上に、該ガイド部
に固着されたファイバアレイを固定して架設する工程と
、該可動部と固定部との間で該架設されたファイバアレ
イ及び前記ガイド部を切断する工程と、を含むように構
成し、また、ガイド部に支持部を固着して前記ファイバ
アレイ及びガイド部を切断した後、該支持部を剥離させ
、または溶断させるように構成する。
本発明は、光通信、光情報処理等で使用される光回路の
光路の切換えを行う光スイッチの製造方法。
光路の切換えを行う光スイッチの製造方法。
近年、光通信の発達により、光ファイバによる高速の光
Ｌ ＡＮ （Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ
）か利用されつつあり、世界的な規格も提案されている
。例えばＦ Ｄ Ｄ Ｉ （Ｆｉｂｅｒ Ｄｉｓｔｒｉ
ｂｕｔｅｄ Ｄａｔａ ［ｎｔｅｒｆａｃｅ）規格では
、ＬＡＮは二重リングで構成され、光スイッチはステー
ション異常時のバイパス切換えや、別のネットワークと
の接続切換え等に使用される。従って、切換時の光路の
軸合せの正確性か要求される。
Ｌ ＡＮ （Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ
）か利用されつつあり、世界的な規格も提案されている
。例えばＦ Ｄ Ｄ Ｉ （Ｆｉｂｅｒ Ｄｉｓｔｒｉ
ｂｕｔｅｄ Ｄａｔａ ［ｎｔｅｒｆａｃｅ）規格では
、ＬＡＮは二重リングで構成され、光スイッチはステー
ション異常時のバイパス切換えや、別のネットワークと
の接続切換え等に使用される。従って、切換時の光路の
軸合せの正確性か要求される。
第８図に、従来の光スイッチの切換部の構成図を示す。
第８図において２組の一次側及び二次側の光ファイバ５
０ａ、５０ｂの端部かそれぞれＶ溝板５１ａ、５１ｂの
Ｖ溝に位置強制されて固着される。またＶ溝板５１ａか
可動部５２上に固着され、■溝板５１ｂが固定部５３上
に固着される。
０ａ、５０ｂの端部かそれぞれＶ溝板５１ａ、５１ｂの
Ｖ溝に位置強制されて固着される。またＶ溝板５１ａか
可動部５２上に固着され、■溝板５１ｂが固定部５３上
に固着される。
そして、−次側の光ファイバ５０ａにおいて、二次側の
光ファイバ５０ｂに対する移動方向（Ｘ方向）及び垂直
方向（Ｚ方向）の軸合せを行い、さらに軸方向（Ｘ方向
）のファイバ端面の位置出し等を行う。
光ファイバ５０ｂに対する移動方向（Ｘ方向）及び垂直
方向（Ｚ方向）の軸合せを行い、さらに軸方向（Ｘ方向
）のファイバ端面の位置出し等を行う。
このような光スイッチは例えば可動部５２が圧電板の屈
曲変位で動作して、−次側の光ファイバ５０ａを移動さ
せる。そして二次側の光ファイバ５０ｂのいずれかとそ
の光軸を一致させることにより、スイッチング動作を行
っている。
曲変位で動作して、−次側の光ファイバ５０ａを移動さ
せる。そして二次側の光ファイバ５０ｂのいずれかとそ
の光軸を一致させることにより、スイッチング動作を行
っている。
しかし、二次側の光ファイバ５０ｂの端面に対して、−
次側の光ファイバ５０ａの端面を調整して位置合せを行
うことは困難であり、長時間装するという問題かある。
次側の光ファイバ５０ａの端面を調整して位置合せを行
うことは困難であり、長時間装するという問題かある。
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、各光
ファイバの端面の位置出しを容易にする光スイッチの製
造方法を提供することを目的とする。
ファイバの端面の位置出しを容易にする光スイッチの製
造方法を提供することを目的とする。
第１図に本発明方法の原理説明図を示す。第１図（Ａ）
は第１の発明の方法であり、第１図（Ｂ）は第２の発明
方法であり、第１図（Ｃ）は第２の発明方法を示してい
る。
は第１の発明の方法であり、第１図（Ｂ）は第２の発明
方法であり、第１図（Ｃ）は第２の発明方法を示してい
る。
第１図（Ａ）において、まず、所定数の溝か形成された
ガイド部の該溝部分に、所定数の光ファイバを連設させ
たファイバアレイを固着する（ステップ１）。そして、
可動部上及び固定部上に該ガイド部に固着されたファイ
バアレイを固定して架設する（ステップ２）。そこで、
可動部と固定部との間で架設されたファイバアレイ及び
ガイド部を切断するものである（ステップ３）。
ガイド部の該溝部分に、所定数の光ファイバを連設させ
たファイバアレイを固着する（ステップ１）。そして、
可動部上及び固定部上に該ガイド部に固着されたファイ
バアレイを固定して架設する（ステップ２）。そこで、
可動部と固定部との間で架設されたファイバアレイ及び
ガイド部を切断するものである（ステップ３）。
次に、第１図（Ｂ）の第２の発明方法において、まず、
上記ガイド部の溝部分にファイバアレイを固着しくステ
ップ１０）、該ガイド部に可溶性硬化剤により支持部を
固着する（ステップ１１）。
上記ガイド部の溝部分にファイバアレイを固着しくステ
ップ１０）、該ガイド部に可溶性硬化剤により支持部を
固着する（ステップ１１）。
そして、ファイバアレイ及びガイド部を切断しくステッ
プ１２）、該切断部分を可動部と固定部との間に位置さ
せて、該切断されたファイバアレイを可動部上及び固定
部上に固定し、架設する（ステップ１３）。そこで、可
溶性硬化剤を溶解させ、該ガイド部より前記支持部を剥
離する（ステップ１４）。
プ１２）、該切断部分を可動部と固定部との間に位置さ
せて、該切断されたファイバアレイを可動部上及び固定
部上に固定し、架設する（ステップ１３）。そこで、可
溶性硬化剤を溶解させ、該ガイド部より前記支持部を剥
離する（ステップ１４）。
また、第１図（Ｃ）の第３の発明方法において、上記ガ
イド部の溝部分にファイバアレイを固着しくステップ２
０）、該ガイド部に支持部を固着する（ステップ２１）
。また、該ファイバアレイ及びガイド部をダイシングす
ると共に、該支持部の一部を切欠く（ステップ２２）。
イド部の溝部分にファイバアレイを固着しくステップ２
０）、該ガイド部に支持部を固着する（ステップ２１）
。また、該ファイバアレイ及びガイド部をダイシングす
ると共に、該支持部の一部を切欠く（ステップ２２）。
そして、該ダイシング部分を可動部と固定部との間に位
置させて、該ダイシングされたファイバアレイを該可動
部上及び固定部上に固定し、架設する（ステップ２３）
。そこで、該支持部を前記切欠き部分に沿って溶断する
ものである（ステップ２４）。
置させて、該ダイシングされたファイバアレイを該可動
部上及び固定部上に固定し、架設する（ステップ２３）
。そこで、該支持部を前記切欠き部分に沿って溶断する
ものである（ステップ２４）。
第１図に示すように、ファイバアレイをガイド部で固定
した後に可動部及び固定部に架設して切断し、またはガ
イド部に支持部を固着した後にファイバを切断（ダイシ
ング）し、可動部及び固定部に架設して該支持部を剥離
若しくは溶断する。
した後に可動部及び固定部に架設して切断し、またはガ
イド部に支持部を固着した後にファイバを切断（ダイシ
ング）し、可動部及び固定部に架設して該支持部を剥離
若しくは溶断する。
これにより、切断されたファイバアレイは切断前の固着
された状態のままであり、ファイバ移動方向（Ｘ方向）
及び垂直方向（Ｚ方向）の軸ずれの発生を防止すること
か可能となり、ファイバ端面のファイバ軸方向（Ｘ方向
）の位置出しの調整を行う必要がない。
された状態のままであり、ファイバ移動方向（Ｘ方向）
及び垂直方向（Ｚ方向）の軸ずれの発生を防止すること
か可能となり、ファイバ端面のファイバ軸方向（Ｘ方向
）の位置出しの調整を行う必要がない。
従って、可動部で光ファイバを切換えた場合、可動部の
停止位置によるファイバ端面の軸合せを行うだけでよく
、位置出し調整が短時間で容易に行うことか可能となる
。
停止位置によるファイバ端面の軸合せを行うだけでよく
、位置出し調整が短時間で容易に行うことか可能となる
。
第２図に第１図の発明方法の一実施例の構成図を示す。
第２図は光スイッチの切換部を示したものである。第２
図において、台座ｌ上に可動部２及び固定部３か所定間
隔て設けられている。可動部２は、例えば圧電性のバイ
モルフであり、Ｌ、Ｎ、Ｃｈ（リチウム・ナイオベート
酸化物）により形成され、矢印方向に屈曲変位する。こ
の可動部の屈曲移動距離はストッパ４ａ、４ｂにより強
制される。
図において、台座ｌ上に可動部２及び固定部３か所定間
隔て設けられている。可動部２は、例えば圧電性のバイ
モルフであり、Ｌ、Ｎ、Ｃｈ（リチウム・ナイオベート
酸化物）により形成され、矢印方向に屈曲変位する。こ
の可動部の屈曲移動距離はストッパ４ａ、４ｂにより強
制される。
一方、例えば３本のＶｆｆｉ５ａか形成されたガイド部
５の該Ｖ溝５ａに３本の光ファイバを連設させたファイ
バアレイ６か固着され、該ファイバアレイ６か可動部２
上及び固定部３上に固定されて架設される。そして、切
断位置Ｃでガイド部５及びファイバアレイ６か切断され
る。
５の該Ｖ溝５ａに３本の光ファイバを連設させたファイ
バアレイ６か固着され、該ファイバアレイ６か可動部２
上及び固定部３上に固定されて架設される。そして、切
断位置Ｃでガイド部５及びファイバアレイ６か切断され
る。
ここで、第３図にガイド部５のＶ、１ｔ５ａの形成を説
明するための図を示す。Ｖ溝５ａは、シリコン（Ｓ、）
異方性エツチングによって形成される。
明するための図を示す。Ｖ溝５ａは、シリコン（Ｓ、）
異方性エツチングによって形成される。
すなわち、（１００）面で切出したＳ、（シリコン）ウ
ェハに（０１１） 面に平行な方向にＶ溝のパターン
をバターニングし、これを異方性エツチング液（エチレ
ンジアミン、ピロカテコール、純水の混合液）にてエツ
チングして形成するものである。
ェハに（０１１） 面に平行な方向にＶ溝のパターン
をバターニングし、これを異方性エツチング液（エチレ
ンジアミン、ピロカテコール、純水の混合液）にてエツ
チングして形成するものである。
例えば、第３図において、高さｈは３３０μｍ、 Ｖ溝
５ａ間の距離ｔは１７０ μｍ、 Ｖ溝５ａの深さｄは
１０２μｍ、中心線からの溝角θは３５度のものが得ら
れる。
５ａ間の距離ｔは１７０ μｍ、 Ｖ溝５ａの深さｄは
１０２μｍ、中心線からの溝角θは３５度のものが得ら
れる。
そこで、第４図に、第２図における光スイッチの切換部
の製造工程図を示す。まず、ファイバアレイ６をガイド
部５のＶ溝（５ａ）に接着剤（図示せず）により固着す
る（第４図（Ａ））。このファイバアレイを可動部２上
及び固定部３上に接着剤７により固定して架設する（第
４図（Ｂ））。
の製造工程図を示す。まず、ファイバアレイ６をガイド
部５のＶ溝（５ａ）に接着剤（図示せず）により固着す
る（第４図（Ａ））。このファイバアレイを可動部２上
及び固定部３上に接着剤７により固定して架設する（第
４図（Ｂ））。
そして、可動部２と固定部３との間てガイド部５及びフ
ァイバアレイ６を切断するものである（第４図（Ｃ））
。この場合、切断は例えばダイシングソーにより切幅約
５０μｍで行われる。
ァイバアレイ６を切断するものである（第４図（Ｃ））
。この場合、切断は例えばダイシングソーにより切幅約
５０μｍで行われる。
次に、第５図に第２の発明方法の一実施例の構成図を示
す。第５図の光スイッチの切換部は、ガイド部５の背面
に支持部８を可溶性硬化剤（９）により固着したもので
、他は第２図と同様である。
す。第５図の光スイッチの切換部は、ガイド部５の背面
に支持部８を可溶性硬化剤（９）により固着したもので
、他は第２図と同様である。
ここで、支持部８は、例えばＳ１板又はガラス板か使用
され、可溶性硬化剤は水溶性樹脂（例えば、■ケミチッ
ク製のＣＨＥＭＩＳＥＡＬ Ｕ−４５１） か使用さ
れる。この場合、該水溶性樹脂は紫外線により硬化（接
着）し、水により溶解するものて、従って、支持部８は
上述のような主に紫外線透過部材か用いられる。
され、可溶性硬化剤は水溶性樹脂（例えば、■ケミチッ
ク製のＣＨＥＭＩＳＥＡＬ Ｕ−４５１） か使用さ
れる。この場合、該水溶性樹脂は紫外線により硬化（接
着）し、水により溶解するものて、従って、支持部８は
上述のような主に紫外線透過部材か用いられる。
そこで、第６図に、第５図における製造工程図を示す。
まず、上述のガイド部５の溝（５ａ）部分に上記ファイ
バアレイ６を固着し、該ガイド部５の背面に上記可溶性
硬化剤９により支持部８を固着する（第６図（Ａ））。
バアレイ６を固着し、該ガイド部５の背面に上記可溶性
硬化剤９により支持部８を固着する（第６図（Ａ））。
この状態でファイバアレイ６及びガイド部５を、例えば
、ダイシングソーにより切幅５０μｍで切断する（第６
図（Ｂ））。これを、切断部分を可動部２と固定部３と
の間に位置させて、切断されたファイバアレイ６を接着
剤７により固定して架設する（第６図（Ｃ）。そして、
水等により可溶性硬化剤９を溶解させ、支持部８をガイ
ド部５より剥離するものである（第６図（Ｄ）。すなわ
ち、支持部８の剥離に際してガイド部５のＶ溝（５ａ）
部分に応力を与えずに行うものである。
、ダイシングソーにより切幅５０μｍで切断する（第６
図（Ｂ））。これを、切断部分を可動部２と固定部３と
の間に位置させて、切断されたファイバアレイ６を接着
剤７により固定して架設する（第６図（Ｃ）。そして、
水等により可溶性硬化剤９を溶解させ、支持部８をガイ
ド部５より剥離するものである（第６図（Ｄ）。すなわ
ち、支持部８の剥離に際してガイド部５のＶ溝（５ａ）
部分に応力を与えずに行うものである。
次に、第７図に、第３の発明方法の製造工程図を示す。
第７図において、まず、前記ガイド部５の溝（５ａ）部
分に前記ファイバアレイ６を固着し、該ガイド部５の背
面に接着剤（図示せず）により支持部８ａを固着する（
第７図（Ａ））。この支持部８ａは、例えばレーザ光て
溶断容易なり、Ｔ、０２（リチウム・タンタレート酸化
物）等で形成される。そして、ファイバアレイ６及びカ
イト部５を、例えばダイシングソーにより切幅５０μｍ
で切断（ダイシング）すると共に、支持板８ａの切欠く
（第７図（Ｂ））。例えば、支持板８ａの厚さを３８０
μｍとすると、切欠きは深さ２００μｍ程度に行われる
。そこで、ダイシンク部分を可動部２と固定部との間に
位置させて、ダイシングされたファイバアレイ６を可動
部２上及び固定部３上に接着剤７により固定し架設する
（第７図（Ｃ））。そして、切欠きの残存部分を、例え
ばレーザ光により溶断するものである（第７図（Ｄ））
。すなわち、レーザ光による溶断時にガイド部５のＶ溝
（５ａ）部分に応力を与えずに行うものである。なお、
ファイバアレイ６をレーザ光により溶断すると溶断面か
粗くなることから、溶断は支持部８ａに止まる。
分に前記ファイバアレイ６を固着し、該ガイド部５の背
面に接着剤（図示せず）により支持部８ａを固着する（
第７図（Ａ））。この支持部８ａは、例えばレーザ光て
溶断容易なり、Ｔ、０２（リチウム・タンタレート酸化
物）等で形成される。そして、ファイバアレイ６及びカ
イト部５を、例えばダイシングソーにより切幅５０μｍ
で切断（ダイシング）すると共に、支持板８ａの切欠く
（第７図（Ｂ））。例えば、支持板８ａの厚さを３８０
μｍとすると、切欠きは深さ２００μｍ程度に行われる
。そこで、ダイシンク部分を可動部２と固定部との間に
位置させて、ダイシングされたファイバアレイ６を可動
部２上及び固定部３上に接着剤７により固定し架設する
（第７図（Ｃ））。そして、切欠きの残存部分を、例え
ばレーザ光により溶断するものである（第７図（Ｄ））
。すなわち、レーザ光による溶断時にガイド部５のＶ溝
（５ａ）部分に応力を与えずに行うものである。なお、
ファイバアレイ６をレーザ光により溶断すると溶断面か
粗くなることから、溶断は支持部８ａに止まる。
上述の各実施例に示すように、光ファイバ（ファイバア
レイ）が固定された状態で切断することから、切断され
た端面の位置ずれを殆と生じない。すなわち、ファイバ
移動方向（Ｘ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）の軸ずれを
生じないことから軸合せの調整の必要かなく、またファ
イバ端面の軸方向（Ｘ方向）の位置出し調整の必要も生
じない。
レイ）が固定された状態で切断することから、切断され
た端面の位置ずれを殆と生じない。すなわち、ファイバ
移動方向（Ｘ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）の軸ずれを
生じないことから軸合せの調整の必要かなく、またファ
イバ端面の軸方向（Ｘ方向）の位置出し調整の必要も生
じない。
そこで、可動部２で光ファイバを切換える場合の移動距
離（他の光フアイバ端面の軸合せ）の調整をストッパ４
ａ、４ｂにより行う。従って、光スイッチの可動部の調
整は該ストッパ４ａ、４ｂだけでよく、調整か非常に容
易となる。
離（他の光フアイバ端面の軸合せ）の調整をストッパ４
ａ、４ｂにより行う。従って、光スイッチの可動部の調
整は該ストッパ４ａ、４ｂだけでよく、調整か非常に容
易となる。
以上のように本発明によれば、ファイバアレイをガイド
部で固定した後に可動部及び固定部に架設して切断し、
またはガイド部に支持部を固着した後にファイバアレイ
を切断（ダイシング）し、可動部及び固定部に架設して
該支持部を剥離若しくは溶断することにより、各光ファ
イバの端面の位置出しを容易にすることかでき、高精度
の光スイッチを短時間で製造することかてきる。
部で固定した後に可動部及び固定部に架設して切断し、
またはガイド部に支持部を固着した後にファイバアレイ
を切断（ダイシング）し、可動部及び固定部に架設して
該支持部を剥離若しくは溶断することにより、各光ファ
イバの端面の位置出しを容易にすることかでき、高精度
の光スイッチを短時間で製造することかてきる。
第１図は本発明方法の原理説明図、
第２図は第１の発明方法の一実施例の構成図、第３図は
ガイド部のＶ溝の形成を説明するための図、 第４図は第２図の製造工程図、 第５図は第２の発明方法の一実施例の構成図、第６図は
第５図における製造工程図、 第７図は第３図の発明方法の製造工程図、第８図は従来
のスイッチの切換部を示した構成図である。 図において、 ｌは台座、 ２は可動部、 ３は固定部、 ４ａ、４ｂはストッパ、 ５はガイド部、 ５ａはＶ溝、 ６はファイバアレイ、 ７は接着剤、 ８．８ａは支持部、 ９は可溶性硬化剤 を示す。 第１の発明方法の一実施例の構成図 第２図 ガイド部の■溝の形成を説明するための９第３図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ） 第２図の製造工程図 第 図 第２の発明方法の一実施例の構成９ 第 図 （Ｃ） 第５図における製造工程図 第６図 （Ａ） （Ｃ） 第３の発明方法の製造工程図 第７図 従来の光スイッチの切換部を示した構成図箱 図
ガイド部のＶ溝の形成を説明するための図、 第４図は第２図の製造工程図、 第５図は第２の発明方法の一実施例の構成図、第６図は
第５図における製造工程図、 第７図は第３図の発明方法の製造工程図、第８図は従来
のスイッチの切換部を示した構成図である。 図において、 ｌは台座、 ２は可動部、 ３は固定部、 ４ａ、４ｂはストッパ、 ５はガイド部、 ５ａはＶ溝、 ６はファイバアレイ、 ７は接着剤、 ８．８ａは支持部、 ９は可溶性硬化剤 を示す。 第１の発明方法の一実施例の構成図 第２図 ガイド部の■溝の形成を説明するための９第３図 （Ａ） （Ｂ） （Ｃ） 第２図の製造工程図 第 図 第２の発明方法の一実施例の構成９ 第 図 （Ｃ） 第５図における製造工程図 第６図 （Ａ） （Ｃ） 第３の発明方法の製造工程図 第７図 従来の光スイッチの切換部を示した構成図箱 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）可動部（２）及び固定部（３）のそれぞれに端面
を対向させて固定された光ファイバを、該可動部（２）
により該光ファイバの端面を移動させて光路を切換える
光スイッチの製造方法において、 所定数の溝（５ａ）が形成されたガイド部 （５）の該溝（５ａ）部分に、所定数の光ファイバを連
設させたファイバアレイ（６）を固着する工程と、 前記可動部（２）上及び固定部（３）上に、該ガイド部
（５）に固着されたファイバアレイ（６）を固定して架
設する工程と、 該可動部（２）と固定部（３）との間で該架設されたフ
ァイバアレイ（６）及び前記ガイド部（５）を切断する
工程と、 を含むことを特徴とする光スイッチの製造方法。 （２）可動部（２）及び固定部（３）のそれぞれに端面
を対向させて固定された光ファイバを、該可動部（２）
により該光ファイバの端面を移動させて光路を切換える
光スイッチの製造方法において、 所定数の溝（５ａ）が形成されたガイド部 （５）の該溝（５ａ）部分に、所定数の光ファイバを連
設させたファイバアレイ（６）を固着する工程と、 該ガイド部（５）に、可溶性硬化剤（９）により支持部
（８）を固着する工程と、 該ファイバアレイ（６）及び該ガイド部（５）を切断す
る工程と、 該切断部分を前記可動部（２）と固定部（３）との間に
位置させて、該切断されたファイバアレイ（６）を該可
動部（２）上及び固定部（３）上に固定し、架設する工
程と、 前記可溶性硬化剤（９）を溶解させ、該ガイド部（５）
より前記支持部（８）を剥離する工程と、を含むことを
特徴とする光スイッチの製造方法。 （３）可動部（２）及び固定部（３）のそれぞれに端面
を対向させて固定された光ファイバを、該可動部（２）
により該光ファイバの端面を移動させて光路を切換える
光スイッチの製造方法において、 所定数の溝（５ａ）が形成されたガイド部 （５）の該溝（５ａ）部分に、所定数の光ファイバを連
設させたファイバアレイ（６）を固着する工程と、 該ガイド部（５）に支持部（８ａ）を固着する工程と、 該ファイバアレイ（６）及びガイド部（５）をダイシン
グすると共に、該支持部（８ａ）の一部を切欠く工程と
、 該ダイシング部分を前記可動部（２）と固定部（３）と
の間に位置させて、該ダイシングされたファイバアレイ
（６）を該可動部（２）上及び固定部（３）上に固定し
、架設する工程と、 該支持部（８ａ）を前記切欠きの残存部分を溶断する工
程と、 を含むことを特徴とする光スイッチの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24935390A JPH04128711A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 光スイッチの製造方法 |
| US07/730,721 US5187758A (en) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Method of fabricating optical switch |
| DE69109386T DE69109386T2 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Herstellung von optischen Schaltern. |
| EP91306516A EP0467672B1 (en) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Fabricating optical switches |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24935390A JPH04128711A (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 光スイッチの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04128711A true JPH04128711A (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=17191768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24935390A Pending JPH04128711A (ja) | 1990-07-17 | 1990-09-19 | 光スイッチの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04128711A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10248867A1 (de) * | 2002-10-18 | 2004-06-03 | Daimlerchrysler Ag | Optischer Schalter |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP24935390A patent/JPH04128711A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10248867A1 (de) * | 2002-10-18 | 2004-06-03 | Daimlerchrysler Ag | Optischer Schalter |
| DE10248867B4 (de) * | 2002-10-18 | 2009-01-22 | Daimler Ag | Optischer Schalter |
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