JP2970080B2 - 熱式流量センサ - Google Patents
熱式流量センサInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子式燃料噴射
制御システムを有する内燃機関において吸入空気量を測
定するためのエアフロセンサとして使用することができ
る、熱式流量センサに関する。
制御システムを有する内燃機関において吸入空気量を測
定するためのエアフロセンサとして使用することができ
る、熱式流量センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば特開昭５７−２０８４１２号公報
にも記載されているように、以前はアルミナ等の絶縁体
からなる円筒の外周面に白金等の細い金属線を巻いて製
作していたホットワイヤ式の熱式流量検知器を改良し、
量産に適すると共にコストも低廉となるように、ＩＣの
製造技術を応用して平板状の絶縁体基板の表面にニッケ
ルや白金等の金属薄膜からなる抵抗体を形成したセンサ
チップが用いられるようになってきた。この公報に記載
された従来技術においては、センサチップに対する空気
中の異物の付着を防止すると共に、内燃機関の吸気通路
における吹き返しによる検出精度の低下を避けるため
に、センサチップを空気の流れの方向に対して３０°〜
６０°程度、好ましくは４５°に傾けて支持することを
特徴とするものである。そしてセンサチップを傾斜して
支持するための手段として、例えばステンレスの線材か
らなる２本のターミナルピンの先端を押しつぶして平坦
部を形成すると共に、それを所定の角度になるように折
り曲げ、前記平坦部の先端にセンサチップを蝋付けによ
って取り付けている。
にも記載されているように、以前はアルミナ等の絶縁体
からなる円筒の外周面に白金等の細い金属線を巻いて製
作していたホットワイヤ式の熱式流量検知器を改良し、
量産に適すると共にコストも低廉となるように、ＩＣの
製造技術を応用して平板状の絶縁体基板の表面にニッケ
ルや白金等の金属薄膜からなる抵抗体を形成したセンサ
チップが用いられるようになってきた。この公報に記載
された従来技術においては、センサチップに対する空気
中の異物の付着を防止すると共に、内燃機関の吸気通路
における吹き返しによる検出精度の低下を避けるため
に、センサチップを空気の流れの方向に対して３０°〜
６０°程度、好ましくは４５°に傾けて支持することを
特徴とするものである。そしてセンサチップを傾斜して
支持するための手段として、例えばステンレスの線材か
らなる２本のターミナルピンの先端を押しつぶして平坦
部を形成すると共に、それを所定の角度になるように折
り曲げ、前記平坦部の先端にセンサチップを蝋付けによ
って取り付けている。
【０００３】前記従来技術とは別に、図４は従来のセン
サチップを用いた熱式流量センサにおいてよく採用され
ているセンサチップの支持構造を示したものである。こ
の支持構造では、センサチップ２０１の両端の電極にそ
れぞれ接合された金属製の細い円柱状リード２０２を、
やや太い金属製のターミナルピン２０３の先端にスポッ
ト溶接によって固定している。２０４は導体ペースト等
によるセンサチップ２０１の電極と円柱状リード２０２
との接合部を示し、２０５は円柱状リード２０２とター
ミナルピン２０３とのスポット溶接部を示している。
サチップを用いた熱式流量センサにおいてよく採用され
ているセンサチップの支持構造を示したものである。こ
の支持構造では、センサチップ２０１の両端の電極にそ
れぞれ接合された金属製の細い円柱状リード２０２を、
やや太い金属製のターミナルピン２０３の先端にスポッ
ト溶接によって固定している。２０４は導体ペースト等
によるセンサチップ２０１の電極と円柱状リード２０２
との接合部を示し、２０５は円柱状リード２０２とター
ミナルピン２０３とのスポット溶接部を示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図４に示した従来技術
においては、センサチップ２０１の２本の円柱状リード
２０２を、それぞれターミナルピン２０３にスポット溶
接部２０５によって固定するときに、リード２０２が円
柱状で自由に転がるために、センサチップ２０１の姿勢
を画一的に規制することが難しく、矢印によって示した
空気流の方向に対するセンサチップ２０１の角度が、個
々の製品毎にばらつきやすいという問題があった。そし
て、空気流の方向に対するセンサチップの支持角度が異
なると、空気の流量が同じでもセンサチップの表面の冷
却の程度が変化することから、これが結果的に空気流量
の検出値のばらつきの原因となることがあった。
においては、センサチップ２０１の２本の円柱状リード
２０２を、それぞれターミナルピン２０３にスポット溶
接部２０５によって固定するときに、リード２０２が円
柱状で自由に転がるために、センサチップ２０１の姿勢
を画一的に規制することが難しく、矢印によって示した
空気流の方向に対するセンサチップ２０１の角度が、個
々の製品毎にばらつきやすいという問題があった。そし
て、空気流の方向に対するセンサチップの支持角度が異
なると、空気の流量が同じでもセンサチップの表面の冷
却の程度が変化することから、これが結果的に空気流量
の検出値のばらつきの原因となることがあった。
【０００５】前記特開昭５７−２０８４１２号公報に記
載された従来技術においては、ターミナルピンの先端を
押しつぶして平坦部を形成し、それを所定の角度に折り
曲げて、平坦部の先端にセンサチップを蝋付けするの
で、もし、ターミナルピンの先端の角度を全ての製品に
ついて同一に揃えることができれば、空気流の方向に対
するセンサチップの角度のばらつきの問題を解消するこ
とができるが、ステンレス鋼のような剛性の高い金属か
らなるターミナルピンの先端に平坦部を形成したり、そ
れを所定の角度に折り曲げるような作業を高精度で行う
ことは難しく、センサチップの支持角度のばらつきは避
けられない。
載された従来技術においては、ターミナルピンの先端を
押しつぶして平坦部を形成し、それを所定の角度に折り
曲げて、平坦部の先端にセンサチップを蝋付けするの
で、もし、ターミナルピンの先端の角度を全ての製品に
ついて同一に揃えることができれば、空気流の方向に対
するセンサチップの角度のばらつきの問題を解消するこ
とができるが、ステンレス鋼のような剛性の高い金属か
らなるターミナルピンの先端に平坦部を形成したり、そ
れを所定の角度に折り曲げるような作業を高精度で行う
ことは難しく、センサチップの支持角度のばらつきは避
けられない。
【０００６】また、この例では、センサチップの電極は
剛性の高いターミナルピンの先端に直接蝋付けによって
固定されるので、ターミナルピンの熱膨張、収縮等に起
因する無理な力が、センサチップの電極とターミナルピ
ンとの接合部に作用して、接合部が剥がれたり、抵抗体
である金属薄膜が破断したりする恐れがある。
剛性の高いターミナルピンの先端に直接蝋付けによって
固定されるので、ターミナルピンの熱膨張、収縮等に起
因する無理な力が、センサチップの電極とターミナルピ
ンとの接合部に作用して、接合部が剥がれたり、抵抗体
である金属薄膜が破断したりする恐れがある。
【０００７】本発明は、これらの従来技術の問題点を解
消することができるような、熱式流量センサにおけるセ
ンサチップのための改良された支持構造を提供すること
を、発明の解決課題とするものである。
消することができるような、熱式流量センサにおけるセ
ンサチップのための改良された支持構造を提供すること
を、発明の解決課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の課題を
解決するための手段として、平板形状のセンサチップの
両端に、断面形が偏平で少なくとも一面が平面となって
いる一対のリボン状リードの一端の平面部をそれぞれ接
合させ、また、前記一対のリボン状リードの他の一端の
平面部を同一の平面内に伸びている一対のターミナルピ
ンにそれぞれ当接させて接合すると共に、前記一対のリ
ボン状リードの形状をクランク形に成形するような手段
によって、前記一対のリボン状リードの座屈強度を前記
センサチップと前記リボン状リードとの接合部の強度以
下となるように設定したことを特徴とする熱式流量セン
サを提供する。
解決するための手段として、平板形状のセンサチップの
両端に、断面形が偏平で少なくとも一面が平面となって
いる一対のリボン状リードの一端の平面部をそれぞれ接
合させ、また、前記一対のリボン状リードの他の一端の
平面部を同一の平面内に伸びている一対のターミナルピ
ンにそれぞれ当接させて接合すると共に、前記一対のリ
ボン状リードの形状をクランク形に成形するような手段
によって、前記一対のリボン状リードの座屈強度を前記
センサチップと前記リボン状リードとの接合部の強度以
下となるように設定したことを特徴とする熱式流量セン
サを提供する。
【０００９】
【作用】本発明の熱式流量センサにおいては、平板形状
のセンサチップの両端に、断面形が偏平で少なくとも一
面が平面となっている一対のリボン状リードの一端の平
面部をそれぞれ接合させると共に、前記一対のリボン状
リードの他の一端の平面部を同一の平面内に伸びている
一対のターミナルピンにそれぞれ当接させて接合するの
で、センサチップの面は自然に一対のターミナルピンが
定める平面内に位置決めされ、流量を測定すべき気流の
方向に対する角度が所定の値となる。
のセンサチップの両端に、断面形が偏平で少なくとも一
面が平面となっている一対のリボン状リードの一端の平
面部をそれぞれ接合させると共に、前記一対のリボン状
リードの他の一端の平面部を同一の平面内に伸びている
一対のターミナルピンにそれぞれ当接させて接合するの
で、センサチップの面は自然に一対のターミナルピンが
定める平面内に位置決めされ、流量を測定すべき気流の
方向に対する角度が所定の値となる。
【００１０】また、前記一対のリボン状リードの座屈強
度を、前記センサチップと前記リボン状リードとの接合
部の強度以下となるように設定しているので、一対のタ
ーミナルピンの間隔がその支持部材の温度に応じて変化
しても、それが及ぼす力は一対のリボン状リードの変形
によって吸収され、センサチップとリボン状リードとの
接合部には、それらが破損するような大きな力が作用し
ないので、接合部、ひいてはセンサチップが保護され
る。
度を、前記センサチップと前記リボン状リードとの接合
部の強度以下となるように設定しているので、一対のタ
ーミナルピンの間隔がその支持部材の温度に応じて変化
しても、それが及ぼす力は一対のリボン状リードの変形
によって吸収され、センサチップとリボン状リードとの
接合部には、それらが破損するような大きな力が作用し
ないので、接合部、ひいてはセンサチップが保護され
る。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の実施例を示したもので、セン
サチップ１０１は、例えば長さが６ｍｍ、幅が０．５ｍ
ｍ、厚さが０．２ｍｍの結晶化ガラスからなる基板の表
面に、感温発熱体薄膜として、白金を０．５μｍの厚さ
に蒸着させ、これをフオトエッチングのような方法によ
って所定の電気的な抵抗値を有するジグザグパターンに
形成したものである。１０２は、センサチップ１０１を
外部から機械的に支持すると同時に、それと外部とを電
気的に接続するためのリボン状リードで、図２に一例を
示すように、幅が０．５ｍｍ、厚さが０．１ｍｍの白金
のリボン状薄板を長さ２ｍｍ程度に切断し、予めその先
端部を図２（ｂ）に示すようなクランク形状に折り曲げ
たものである。
サチップ１０１は、例えば長さが６ｍｍ、幅が０．５ｍ
ｍ、厚さが０．２ｍｍの結晶化ガラスからなる基板の表
面に、感温発熱体薄膜として、白金を０．５μｍの厚さ
に蒸着させ、これをフオトエッチングのような方法によ
って所定の電気的な抵抗値を有するジグザグパターンに
形成したものである。１０２は、センサチップ１０１を
外部から機械的に支持すると同時に、それと外部とを電
気的に接続するためのリボン状リードで、図２に一例を
示すように、幅が０．５ｍｍ、厚さが０．１ｍｍの白金
のリボン状薄板を長さ２ｍｍ程度に切断し、予めその先
端部を図２（ｂ）に示すようなクランク形状に折り曲げ
たものである。
【００１２】なお、リボン状リード１０２の変形例とし
ては、図２のような薄板ではなく、図３の（ａ）に示す
ような断面形の一部に直線部分があるリボン状リード１
０２ａや、図３の（ｂ）に示すような偏平な長円形でや
はり断面形の一部に直線部分があるリボン状リード１０
２ｂ等を使用することもできる。いずれにしても、これ
らのリボン状リード１０２、１０２ａ、１０２ｂは、そ
の断面形の一部を構成する直線部分によって、少なくと
も一面が平面として形成されており、厚さが幅に比べて
小さくなっていることと、この実施例ではクランク形状
に折り曲げられていることによって、後述のように座屈
強度が比較的に小さくなっていることが特徴である。
ては、図２のような薄板ではなく、図３の（ａ）に示す
ような断面形の一部に直線部分があるリボン状リード１
０２ａや、図３の（ｂ）に示すような偏平な長円形でや
はり断面形の一部に直線部分があるリボン状リード１０
２ｂ等を使用することもできる。いずれにしても、これ
らのリボン状リード１０２、１０２ａ、１０２ｂは、そ
の断面形の一部を構成する直線部分によって、少なくと
も一面が平面として形成されており、厚さが幅に比べて
小さくなっていることと、この実施例ではクランク形状
に折り曲げられていることによって、後述のように座屈
強度が比較的に小さくなっていることが特徴である。
【００１３】リボン状リード１０２（１０２ａや１０２
ｂも同様）の一端は、センサチップ１０１の端部の電極
に対して、例えば貴金属の粉末とガラスフリットからな
る導体ペーストを用いて取り付けられる。導体ペースト
は所定の高温度で焼成されることによって溶融固化して
接合部１０４となり、リボン状リード１０２とセンサチ
ップ１０１をガラス接合すると共に、ガラス中の貴金属
粉末によりリボン状リード１０２とセンサチップ１０１
表面の金属薄膜との電気的接続を行う。
ｂも同様）の一端は、センサチップ１０１の端部の電極
に対して、例えば貴金属の粉末とガラスフリットからな
る導体ペーストを用いて取り付けられる。導体ペースト
は所定の高温度で焼成されることによって溶融固化して
接合部１０４となり、リボン状リード１０２とセンサチ
ップ１０１をガラス接合すると共に、ガラス中の貴金属
粉末によりリボン状リード１０２とセンサチップ１０１
表面の金属薄膜との電気的接続を行う。
【００１４】１０３はモールド成形された例えばステン
レス鋼製のターミナルピンで、リボン状リード１０２に
対して、例えばスポット溶接のような方法によって一体
化される。ターミナルピン１０３の寸法は、例えば直径
が０．８ｍｍで、長さが１０ｍｍになっている。スポッ
ト溶接部は図中に１０５として示されている。リボン状
リード１０２（１０２ａ、１０２ｂ）が平面によってセ
ンサチップ１０１やターミナルピン１０３と接触するこ
とから、２本のターミナルピン１０３によって規定され
る平面とセンサチップ１０１の表面とは平行になるの
で、ターミナルピン１０３が図示しない支持部材によっ
て一定の方向に支持されている限り、組立のときは、セ
ンサチップ１０１を単にそれに載せるだけで正確に位置
決めされ、センサチップ１０１は自然に、ターミナルピ
ン１０３の方向によって決まる所定の方向に向くことに
なり、以後その角度を確実に維持することができる。
レス鋼製のターミナルピンで、リボン状リード１０２に
対して、例えばスポット溶接のような方法によって一体
化される。ターミナルピン１０３の寸法は、例えば直径
が０．８ｍｍで、長さが１０ｍｍになっている。スポッ
ト溶接部は図中に１０５として示されている。リボン状
リード１０２（１０２ａ、１０２ｂ）が平面によってセ
ンサチップ１０１やターミナルピン１０３と接触するこ
とから、２本のターミナルピン１０３によって規定され
る平面とセンサチップ１０１の表面とは平行になるの
で、ターミナルピン１０３が図示しない支持部材によっ
て一定の方向に支持されている限り、組立のときは、セ
ンサチップ１０１を単にそれに載せるだけで正確に位置
決めされ、センサチップ１０１は自然に、ターミナルピ
ン１０３の方向によって決まる所定の方向に向くことに
なり、以後その角度を確実に維持することができる。
【００１５】また、リボン状リード１０２（１０２ａ、
１０２ｂ）が、その断面形が偏平であることや、全体が
クランク状に成形されているため座屈強度が比較的小さ
く、温度の変化等によって２本のターミナルピン１０３
の間隔が変化しても、その変位はリボン状リード１０２
の長手方向の変形によって吸収されるため、比較的脆弱
な導体ペースト接合部１０４に無理な力が作用せず、接
合の剥がれや金属薄膜の破断等のトラブルを起こす心配
がない。
１０２ｂ）が、その断面形が偏平であることや、全体が
クランク状に成形されているため座屈強度が比較的小さ
く、温度の変化等によって２本のターミナルピン１０３
の間隔が変化しても、その変位はリボン状リード１０２
の長手方向の変形によって吸収されるため、比較的脆弱
な導体ペースト接合部１０４に無理な力が作用せず、接
合の剥がれや金属薄膜の破断等のトラブルを起こす心配
がない。
【００１６】この場合、リボン状リード１０２の座屈強
度（座屈荷重）を決めるためには次の式を目安とするこ
とができる。リボン状リード１０２の材質によるヤング
率をＥ、リード１０２の断面２次モーメントをＩ、同じ
く長さをｌとして、 ＥＩ／ｌ2 ＜３０Ｎ つまり、リボン状リード１０２の座屈荷重を導体ペース
ト接合部１０４の接合強度よりも小さくして、導体ペー
スト接合部１０４が破損する前にリボン状リード１０２
が座屈するように設定し、熱応力に対して導体ペースト
接合部１０４、ひいてはセンサチップ１０１を保護する
のである。
度（座屈荷重）を決めるためには次の式を目安とするこ
とができる。リボン状リード１０２の材質によるヤング
率をＥ、リード１０２の断面２次モーメントをＩ、同じ
く長さをｌとして、 ＥＩ／ｌ2 ＜３０Ｎ つまり、リボン状リード１０２の座屈荷重を導体ペース
ト接合部１０４の接合強度よりも小さくして、導体ペー
スト接合部１０４が破損する前にリボン状リード１０２
が座屈するように設定し、熱応力に対して導体ペースト
接合部１０４、ひいてはセンサチップ１０１を保護する
のである。
【００１７】熱式流量センサの検知特性に大きなばらつ
きを生じないようにするには、センサチップ１０１の角
度の誤差を例えば±２％以内に抑える必要があるが、図
５に示すように、接合層１０６の厚みむらを１％と見込
むと、リボン状リード１０２の幅ｗは接合層１０６の厚
さｄの０．２８７倍よりも大きくなければならない。
（ｗ＞０．０１ｄ／Ｓｉｎ２°）
きを生じないようにするには、センサチップ１０１の角
度の誤差を例えば±２％以内に抑える必要があるが、図
５に示すように、接合層１０６の厚みむらを１％と見込
むと、リボン状リード１０２の幅ｗは接合層１０６の厚
さｄの０．２８７倍よりも大きくなければならない。
（ｗ＞０．０１ｄ／Ｓｉｎ２°）
【００１８】また、リボン状リード１０２を図２に示し
たようなクランク状に折り曲げると共に、接合方法とし
て前述のガラス接合剤や有機系接着剤のように低粘度か
ら固化するものを使用する場合、図６から明らかなよう
に、接合層１０６の厚さを、リボン状リード１０２のク
ランク形状の段差ｈからセンサチップ１０１の基板の厚
さｔを減じた値として規定することができる。これはセ
ンサチップ１０１とリボン状リード１０２の下面を面一
に揃える場合である。
たようなクランク状に折り曲げると共に、接合方法とし
て前述のガラス接合剤や有機系接着剤のように低粘度か
ら固化するものを使用する場合、図６から明らかなよう
に、接合層１０６の厚さを、リボン状リード１０２のク
ランク形状の段差ｈからセンサチップ１０１の基板の厚
さｔを減じた値として規定することができる。これはセ
ンサチップ１０１とリボン状リード１０２の下面を面一
に揃える場合である。
【００１９】
【発明の効果】本発明の構成をとることにより、熱式流
量センサの組立が容易になり、しかも流量を計測すべき
気流の方向に対するセンサチップの角度が正確に決まる
ので、計測時の熱式流量センサとしての検知精度も向上
する。また、リボン状リードの柔軟な支持によって、セ
ンサチップとリボン状リードとの接合部が保護されるの
で、温度が変化しても破損せず、流量センサの耐久性や
信頼性が向上する。
量センサの組立が容易になり、しかも流量を計測すべき
気流の方向に対するセンサチップの角度が正確に決まる
ので、計測時の熱式流量センサとしての検知精度も向上
する。また、リボン状リードの柔軟な支持によって、セ
ンサチップとリボン状リードとの接合部が保護されるの
で、温度が変化しても破損せず、流量センサの耐久性や
信頼性が向上する。
【図１】本発明の熱式流量センサの実施例を示す斜視図
である。
である。
【図２】本発明によるリボン状リードの実施例を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図であ
る。
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図であ
る。
【図３】（ａ）及び（ｂ）とも、それぞれ本発明による
リボン状リードの他の実施例を示す断面図である。
リボン状リードの他の実施例を示す断面図である。
【図４】従来の熱式流量センサの一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】本発明によるセンサチップとリボン状リードと
の接合部を示す側方より見た断面図である。
の接合部を示す側方より見た断面図である。
【図６】本発明によるセンサチップとリボン状リードと
の接合部を示す正面より見た断面図である。
の接合部を示す正面より見た断面図である。
１０１、２０２…センサチップ １０２…リボン状リード １０３、２０３…ターミナルピン １０４、２０４…導体ペースト接合部 １０５、２０５…スポット溶接部 １０６…接合層 ２０２…円柱状リード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−44828（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−44829（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−314922（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−174833（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−90202（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−193323（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/68 G01P 5/12
Claims (2)
- 【請求項１】 平板形状のセンサチップの両端に、断面
形が偏平で少なくとも一面が平面となっている一対のリ
ボン状リードの一端の平面部をそれぞれ接合させ、ま
た、前記一対のリボン状リードの他の一端の平面部を同
一の平面内に伸びている一対のターミナルピンにそれぞ
れ当接させて接合すると共に、前記一対のリボン状リー
ドの座屈強度を前記センサチップと前記リボン状リード
との接合部の強度以下となるように設定したことを特徴
とする熱式流量センサ - 【請求項２】 平板形状のセンサチップの両端に、断面
形が偏平で少なくとも一面が平面となっている一対のリ
ボン状リードの一端の平面部をそれぞれ接合させ、ま
た、前記一対のリボン状リードの他の一端の平面部を同
一の平面内に伸びている一対のターミナルピンにそれぞ
れ当接させて接合すると共に、前記一対のリボン状リー
ドをクランク形状に成形することによって、その座屈強
度を前記センサチップと前記リボン状リードとの接合部
の強度以下となるように設定したことを特徴とする熱式
流量センサ
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3167050A JP2970080B2 (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 熱式流量センサ |
| US07/910,844 US5321382A (en) | 1991-07-08 | 1992-07-07 | Thermal type flow rate sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3167050A JP2970080B2 (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 熱式流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0510801A JPH0510801A (ja) | 1993-01-19 |
| JP2970080B2 true JP2970080B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=15842470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3167050A Expired - Fee Related JP2970080B2 (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | 熱式流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2970080B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104950133A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-09-30 | 浙江大学 | 微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102114679B1 (ko) | 2015-02-19 | 2020-05-25 | 캐논 가부시끼가이샤 | 정착 장치 |
| JP6639094B2 (ja) * | 2015-02-19 | 2020-02-05 | キヤノン株式会社 | 定着装置 |
-
1991
- 1991-07-08 JP JP3167050A patent/JP2970080B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104950133A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-09-30 | 浙江大学 | 微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法 |
| CN104950133B (zh) * | 2015-07-06 | 2017-12-15 | 浙江大学 | 微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0510801A (ja) | 1993-01-19 |
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