JP2969721B2 - 映像重畳型顕微鏡装置およびイメージコンバイナ素子 - Google Patents

映像重畳型顕微鏡装置およびイメージコンバイナ素子

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Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 映像重畳型顕微鏡装置に関し, 映像表示手段の映像からの光を取り込む対物レンズの
小形化と軸外収差の許容値を緩和することによって装置
を低価格化することを目的とし、 顕微鏡装置の観察物体用対物レンズと結像レンズとの
間の平行透過光路に反射角波長依存性イメージコンバイ
ナ素子を挿入し、観察物体と異なる方向に配置した映像
表示手段からの複数の映像を位置をずらした中間実像と
して観察物体の中間実像に重畳して、両者を同時観察可
能にするように映像重畳型顕微鏡装置を構成する。ま
た、前記反射角波長依存性イメージコンバイナ素子を反
射角波長依存性を有するように形成した複数の反射ホロ
グラム,あるいは、波長選択ミラーから構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は映像重畳型顕微鏡装置,とくに、コンピュー
タなどから映像表示手段に出力表示された複数の小さな
映像から、それをつなぎ合わせるようにして大きな映像
として観察物体の拡大像に重畳して観察可能にした機能
が高く,かつ、経済性に優れた新規なる映像重畳型顕微
鏡装置とそれに用いる反射角波長依存性イメージコンバ
イナ素子に関する。
〔従来の技術〕
物体の微細構造の観察や精密作業などを行う際に顕微
鏡,たとえば、実体顕微鏡が用いられることはよく知ら
れている。
第9図は実体顕微鏡の基本構成を示す図で、観察物体
7′を2つの異なる方向から見た映像を対物レンズ
4′,左右2つの結像レンズ5′a,5′bで左右2つの
中間実像9″a,9″bとして結像させ、それを左右2つ
の接眼レンズ6′a,6′bを通して左右両眼に送ること
により視差をつくり立体的な観察を可能にしている(図
ではズーム系,照明系などを省略してある)。
実体顕微鏡を用いて観察または作業を行う場合に、顕
微鏡の視野内に作業条件,たとえば、時間,温度など
や、映像情報,たとえば、枡目や矢印などを観察物体の
拡大立体像に重ねて表示できれば実体顕微鏡の機能や操
作性が向上する。
たとえば、第10図は観察物体像に外部映像を重畳する
方法の一例を示す図である。たとえば、英文字Aなる観
察物体7を2つの異なる方向から見た映像を第1の対物
レンズ4,結像レンズ5および接眼レンズ6で左右両眼に
送るときに、対物レンズ4と結像レンズ5の間の平行透
過光路8にイメージコンバイナ1′,たとえば、ハーフ
ミラーを挿入し、観察物体7と異なる方向に配置された
映像表示手段2′,たとえば、CRTディスプレイ上に表
示された矢印映像20′を第2の対物レンズ3′を通して
前記イメージコンバイナ1′に導き両光を重ね合わせれ
ば、中間実像9′a,9′bとして両者を視野内に重畳し
て観察することができる。
第8図は表示映像と重畳映像の関係を示す図で、矢印
の例(1)と英文字CおよびBの例(2)の2例につい
て図示した。同図(イ)は映像表示手段2′上の表示映
像、同図(ロ)は接眼レンズを通して観察される重畳映
像である。すなわち、映像表示手段2′上の表示映像2
0′はそのまゝの形で観察物体7の物体立体像に重畳し
て観察される。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、上記に説明したような映像重畳を行うための
光学系を構成するには第10図の構成からもわかるよう
に、少なくとも観察物体7のための第1の対物レンズ4
に相当する性能のレンズが映像表示手段2′に表示され
た映像のための第2の対物レンズ3′にも要求される。
すなわち、歪みの少ない映像を得るには第2の対物レン
ズに高い軸外性能が求められる。もし、レンズの軸外性
能が悪いと得られる像の周辺部が大きく歪んでしまう。
一般に、レンズの光軸から離れた位置における表示を
歪みなく結像させる軸外収差のよく補正されたレンズ系
は非常に高価であり,また、複合レンズを用いるので重
く,かつ、大きくなるなどの問題がある。そこで、本発
明は、高い軸外性能のレンズを用いることなく映像表示
手段2′に表示された映像20′を実効的に拡大し、これ
によって安価で小型・軽量な映像重畳型顕微鏡装置を提
供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
すなわち、上記の課題は、観察物体7からの光を取り
込み平行透過光路8を形成する第2の対物レンズ4と、
前記平行透過光路8の光を受けて前記観察物体7の中間
実像9を形成するごとくに配設された結像レンズ5と、
前記中間実像9からの光を受けて前記観察物体7の虚像
を観察するごとくに配設された接眼レンズ6と、前記観
察物体7と異なる方向に設けられた映像表示手段2と、
前記映像表示手段2の光を取り込み平行透過光路を形成
する第2の対物レンズ3と、前記第1の対物レンズ4と
前記結像レンズ5の間の平行透過光路8に挿入され、前
記第2の対物レンズ3を透過した平行透過光を波長選択
的に相異なる方向に反射させ,かつ、前記観察物体7か
らの光を透過させて両光が重なるごとくに配設された反
射角波長依存性イメージコンバイナ素子1とを少なくと
も備えるように映像重畳型顕微鏡装置を構成することに
より解決することができる。
前記反射角波長依存性イメージコンバイナ素子1とし
ては、反射角波長依存性を有するように形成した複数の
反射ホログラム,あるいは、波長選択ミラーを積層し平
行平板状に一体に形成したものにより効果的に達成する
ことができる。
〔作用〕
本発明の反射角波長依存性イメージコンバイナ素子1
は、異なる波長帯域の光を異なる方向に反射するように
構成されているので、映像表示手段2上の小さな同一領
域に表示されている複数の異なる色の映像を、異なる領
域にずらして,すなわち、大きく広げらた中間実像9と
して、観察物体7の拡大中間実像に重畳して観察するこ
とができる。したがって、相対的に小さな映像からの光
を取り込めばよいので、第2の対物レンズ3の軸外性能
は緩和された低価格化と軽量化が可能となるのである。
〔実施例〕
第1図は本発明の実施例装置の構成を示す図である。
図中、7は観察物体、4は第1の対物レンズで観察物体
7からの光を取り込み透過光は平行透過光路8を形成す
る。5は結像レンズ、6は接眼レンズで詳細はすでに第
10図で説明した通常の実体顕微鏡と同様の基本光学系構
成のものである。
2は映像表示手段で,たとえば、カラーCRTあるいは
カラーLCDなどの表示装置、3は第2の対物レンズであ
る。
1は反射角波長依存性イメージコンバイナ素子で、狭
い波長帯域巾の特定の光に対して特定の方向に高い反射
率をもつが、その他の大部分の光に対しては単なる光学
平板として作用するように構成された素子であり、前記
平行透過光路8に挿入され観察物体7からの光と映像表
示手段2上に表示された映像20からの光を重ね合わせて
結像レンズ5に入射させるように位置および角度を調整
して配設される。
映像表示手段2のほゞ同一表示領域の上に,たとえ
ば、青色で表示された映像矢印20x(図では破線で示
す)と赤色で表示された映像矢印20y(図では実線で示
す)からの光を第2の対物レンズ3に取り込んで平行透
過光とし、前記平行透過光路8に挿入された反射角波長
依存性イメージコンバイナ素子1に入射させると、左右
それぞれの入射点において反射される青色および赤色の
光は、それぞれ異なる反射角で反射され右眼用および左
眼用の結像レンズ5aおよび5bにより、それぞれ中間実像
9aおよび9bを結像するが各色の光の反射角の大きさによ
り表示映像20xおよび20yはある距離だけシフトして結像
する。たとえば、反射角の波長依存性を適当に設計すれ
ば前記表示映像20xおよび20yで表される表示領域が互い
に接するように結像することが可能である。
すなわち、この場合には映像表示手段2を2倍の大き
さにして2倍の大きさの領域を表示し、しかも、軸外性
能の極めて高いレンズを第2の対物レンズに使用したの
と同等の効果が得られる。たゞし、合成された中間実像
には元の表示映像20xおよび20yの色が混在,もしくは、
混色となって、観察物体7の拡大立体像,たとえば、英
数字Aに重畳して結像され、接眼レンズ6aおよび6bを通
して容易に観察される。
第2図は本発明の効果を示す模式図で、上記に説明し
た関係を分かり易く図示したもので、矢印の例(1)と
英数字CおよびBの例(2)の2例について示した。同
図(イ)は第2の対物レンズ3から見た映像表示手段2
上の表示映像、同図(ロ)は接眼レンズを通して観察さ
れる重畳映像である。こゝで破線は,たとえば、青色、
実線は,たとえば、赤色映像である。
第3図は本発明の実施例素子の断面を示す図である。
図中、10は,たとえば、光学ガラスからなる透明基板で
第2の対物レンズ3からの透過光をカバーする十分な大
きさのものを使用する。11aおよび11bはそれぞれ第1お
よび第2の反射ホログラム層であり、各層間は光学接着
材層13で接着して一体に形成してある。各層には所定の
方向から入射する狭い波長帯域巾(15〜30nm)を有する
中心波長がλおよびλの光を互いに相異なる方向に
反射する反射ホログラムが形成されている。
こゝで,たとえば、波長がλに対する第1の反射ホ
ログラム層11aには表面と平行な格子縞を持つように形
成し,一方、波長がλに対する第2の反射ホログラム
層11bには表面と傾いた格子縞を持つように形成してあ
る。
反射ホログラム層11の形成には公知の方法を用いれば
よく,たとえば、透過基板10の上にホトポリマのごとき
ホログラム材料をスピンコートして乾燥し、その両側か
ら2つのレーザ光,たとえば、アルゴンレーザビームを
照射して屈折率分布を持った格子縞を,いわゆる、ブラ
ック反射条件を満足するように形成する。反射波涛帯域
や波長帯域巾の選択形成には、レーザ光の波長を変えた
り、レーザ光の入射角度を変えたり、ホログラム層の厚
さを変えたりする公知の方法を用いればよい。
両反射ホログラム層11aおよび11bが対面接着されてい
るので、当然両外側面は透明基板10で挟持された平行平
板状をなしており、透明基板10の両表面には波長λ
光に対する反射防止膜12を設けてある。反射防止膜12は
公知の,たとえば、誘電体多層膜などを用いればよい。
この反射防止膜12は表面での不要反射波による,いわゆ
る、ゴースト発生を防止するのに極めて有効である。
いま、波長λの光と波長λの光が平行にある
角度をもって透明基板10に入射すると、の光に対して
は反射防止膜12が設けてあるので、そのまゝ透過する。
一方、の光は一部の光αを反射し残りの大部分は透過
して第1の反射ホログラム層11aに入射する。こゝで
の波長λの光は大部分が反射されとなって外部に出
射する。第1の反射ホログラム層11aを透過したの一
部の光は下部の透明基板10の表面で一部が透過してと
なり、一部は反射して入射側表面へ出射してβとなる。
この場合、両外側面と第1の反射ホログラム層11aの格
子縞は平行になっているので、主反射光と表面反射光
α,βとは全て平行であり,したがって、結像レンズを
透過すると一点に集束しゴーストを発生することはな
い。
一方、の波長λの光は第1の反射ホログラム層11
aを透過し第2の反射ホログラム11bに入射し、表面と傾
いた格子縞により大部分が反射されの波長λの光と
角度δをなして異なる方向に波長λのの光となって
出射する。第2の反射ホログラム11bを透過した一部の
光はの光となって反対面に出射する。この場合、第2
の反射ホログラム11bの格子縞は両表面と平行でなく傾
いているが、透明基板10の表面にはいずれも反射防止膜
12が施されているので、表面からの不要反射はなくゴー
ストは発生しない。
第4図は本発明の実施例素子の反射率・透過率特性を
示す図で、同図(イ)は第1層の特性、同図(ロ)は第
2層の特性であり、それぞれの反射ピークが重なること
なく、また、所要波長帯域外では高い透過率を持ち、本
発明の趣旨を十分満足するものであることがわかる。
なお、上記実施例では2層の場合を示したが3層以上
の反射波長選択性のある反射ホログラム層を重ねて用い
れば、色の異なる3つ以上の映像に対して適用できるこ
とは言うまでもない。
第5図は本発明の他の実施例素子の断面を示す図であ
る。前記実施例では反射波長選択性のある反射ホログラ
ム層を多層に積層したのに対して、本実施例では単一の
ホログラム層の中に複数の,たとえば、2つの反射ホロ
グラムを多重記録して多重記録反射ホログラム層14を形
成したものである。これを作成するには前記公知のホロ
グラム作成方法に準じて、それぞれの反射波長選択ホロ
グラムを多重記録して形成すればよく前記実施例の場合
に比較して厚さが薄く小形化され,かつ、作成方法が簡
易で低価格化されるという特徴がある。
実際に素子化するにはホログラム面に透明基板10′を
光学接着材層13で接着して平行平板状に形成し、両外側
面に,たとえば、波長λの光に対する反射防止膜12を
設けて完成する。
第6図は本発明の他の実施例素子の反射率・透過率特
性を示す図であり、λおよびλそれぞれの波長の光
反射ピークが重なることなく,また、所要波長帯域外で
は高い透過率を持ち、本発明の趣旨を十分満足するもの
であることがわかる。
なお、本実施例でも2重記録でなく3重以上に重なる
波長の反射ホログラムを多重記録して用いれば、色の異
なる3つ以上の映像に対して適用できることは言うまで
もない。
第7図は本発明のさらに他の実施例素子の断面を示す
図である。本実施例では平行な透明基板10の表面に平行
に格子縞を形成した第1の波長選択ミラー15aと、透明
なプリズム基板16の斜面に平行に格子縞を形成した第2
の波長選択ミラー15bとを傾けて配置する,たとえば、
具体的にはプリズム基板16′を間に挟んでそれぞれ光学
接着材層13で接着して一体に構成する。それぞれのプリ
ズム基板の角度は完成した素子が平行平板をなすように
予め決めておけばよい。そして、上述の実施例と同様に
両外側面に,たとえば、波長λの光に対する反射防止
膜12を設けて完成する。
本実施例に用いる波長選択ミラーは反射ホログラムを
用いてもよいが、その他反射ホログラムの代わりに誘電
体多層反射膜を用いてもよく、その作用は全く同様であ
るので詳細説明は省略する。
以上は全て実体双眼顕微鏡装置について説明してきた
が、本発明は単眼顕微鏡装置に対しても全く同様に適用
できることは勿論である。
また、上記実施例は数例を示したもので、本発明の趣
旨を添うものである限り、使用する素材や構成など適宜
好ましいもの、あるいはその組み合わせを用いてよいこ
とは言うまでもない。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の反射角波長依存性イメ
ージコンバイナ素子1は、異なる波長帯域の光を異なる
方向に反射するように構成されているので、映像表示手
段2上の小さな同一領域に表示されている複数の異なる
色の映像を、異なる領域にずらして,すなわち、大きく
広げられた中間実像9として、観察物体7の拡大中間実
像に重畳して観察することができる。したがって、相対
的に小さな映像からの光を取り込めばよいので、第2の
対物レンズ3の軸外性能は緩和され映像表示手段2も小
形のものでよいので、映像重畳型顕微鏡装置の低価格化
と小形・軽量化に寄与するところが極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例装置の構成を示す図、 第2図は本発明の効果を示す模式図、 第3図は本発明の実施例素子の断面を示す図、 第4図は本発明の実施例素子の反射率・透過率特性を示
す図、 第5図は本発明の他の実施例素子の断面を示す図、 第6図は本発明の他の実施例素子の反射率・透過率特性
を示す図、 第7図は本発明のさらに他の実施例素子の断面を示す
図、 第8図は表示映像と重畳映像の関係を示す図、 第9図は実体顕微鏡の基本構成を示す図、 第10図は観察物体像に外部映像を重畳する方法の一例を
示す図である。 図において、 1は反射角波長依存性イメージコンバイナ素子、 2は映像表示手段、 3は第2の対物レンズ、 4は第1の対物レンズ、 5(5a,5b)は結像レンズ、 6(6a,6b)は接眼レンズ、 7は観察物体、 8は平行透過光路、 9(9a,9b)は中間実像、 10,10′は透明基板、 11(11a,11b)は反射ホログラム層、 12は反射防止膜、 14は多重記録反射ホログラム層、 15(15a,15b)は波長選択ミラーである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−213816(JP,A) 特開 昭63−167318(JP,A) 特開 平2−186319(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 5/32 G02B 19/00 - 21/00 G02B 21/06 - 21/36

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】観察物体(7)からの光を取り込み平行透
    過光路(8)を形成する第1の対物レンズ(4)と、 前記平行透過光路(8)の光を受けて前記観察物体
    (7)の中間実像(9)を形成するごとくに配設された
    結像レンズ(5)と、 前記中間実像(9)からの光を受けて前記観察物体
    (7)の虚像を観察するごとくに配設された接眼レンズ
    (6)と、 前記観察物体(7)と異なる方向に設けられた映像表示
    手段(2)と、 前記映像表示手段(2)の光を取り込み平行透過光路を
    形成する第2の対物レンズ(3)と、 前記第1の対物レンズ(4)と前記結像レンズ(5)の
    間の平行透過光路(8)に挿入され、前記第2の対物レ
    ンズ(3)を透過した平行透過光を波長選択的に相異な
    る方向に反射させ,かつ、前記観察物体(7)からの光
    を透過させて両光が重なるごとくに配設された反射角波
    長依存性イメージコンバイナ素子(1)とを少なくとも
    備えることを特徴とした映像重畳型顕微鏡装置。
  2. 【請求項2】透明基板(10)上に狭い波長帯域巾の相異
    なる波長帯域の光を選択的に異なる方向に反射する反射
    ホログラム層(11)を設けた複数のホログラム板を、両
    外側面が透明基板(10)になるように多層に密着積層
    し、平行平板状に一体に形成したことを特徴とした反射
    角波長依存性イメージコンバイナ素子。
  3. 【請求項3】透明基板(10)上に設けた単層ホログラム
    媒体内に、狭い波長帯域巾の相異なる複数の波長帯域の
    光を選択的に異なる方向に反射するごとくに反射ホログ
    ラムを多重記録して形成された多重記録反射ホログラム
    層(14)と、その上を覆う透明基板(10′)とを有し、
    両外側面が透明基板で平行平板状に一体に形成されたこ
    とを特徴とした反射角波長依存性イメージコンバイナ素
    子。
  4. 【請求項4】反射格子縞が反射面に平行に形成され、か
    つ、狭い波長帯域巾の相異なる波長帯域の光を選択的に
    反射する複数の波長選択ミラー(15)が傾けて近接配置
    され、両外側面が透明基板(10)および透明プリズム基
    板(16)になるように多層に積層して平行平板状に一体
    に形成したことを特徴とした反射角波長依存性イメージ
    コンバイナ素子。
  5. 【請求項5】平行平板状に形成された両外側面の透明基
    板の表面に、特定の波長帯域の光に対する反射防止膜
    (12)を設けたことを特徴とした請求項(2)〜(4)
    記載の反射角波長依存性イメージコンバイナ素子。
  6. 【請求項6】前記反射角波長依存性イメージコンバイナ
    素子(1)が、請求項(2)〜(5)記載の反射角波長
    依存性イメージコンバイナ素子からなることを特徴とし
    た請求項(1)記載の映像重畳型顕微鏡装置。
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