JP2964253B2 - 静圧流体軸受摺動体の駆動装置 - Google Patents
静圧流体軸受摺動体の駆動装置Info
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- JP2964253B2 JP2964253B2 JP63217319A JP21731988A JP2964253B2 JP 2964253 B2 JP2964253 B2 JP 2964253B2 JP 63217319 A JP63217319 A JP 63217319A JP 21731988 A JP21731988 A JP 21731988A JP 2964253 B2 JP2964253 B2 JP 2964253B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、精密加工装置や精密測定装置などに使用さ
れ、摺動体を静圧間隙を介してガイド軸上に浮上させ、
これを超微少移送するようにした静圧流体軸受摺動体の
駆動装置に関する。
れ、摺動体を静圧間隙を介してガイド軸上に浮上させ、
これを超微少移送するようにした静圧流体軸受摺動体の
駆動装置に関する。
［従来の技術］ 従来、第４図に示す如く、ガイド軸28上に静圧気体に
より浮上する摺動体29を設け、基台22の側板23、24に回
転自在に軸受けされたネジ棒25を前記一方の側板23に固
定されたモータＭにより駆動する如く成すと共に、前記
摺動体29に設けた軸受27と前記ネジ棒25とをボールネジ
方式で駆動連結して、前記モータＭの駆動を制御して摺
動体29をガイド軸28上に移動調製する駆動装置が提供さ
れている。
より浮上する摺動体29を設け、基台22の側板23、24に回
転自在に軸受けされたネジ棒25を前記一方の側板23に固
定されたモータＭにより駆動する如く成すと共に、前記
摺動体29に設けた軸受27と前記ネジ棒25とをボールネジ
方式で駆動連結して、前記モータＭの駆動を制御して摺
動体29をガイド軸28上に移動調製する駆動装置が提供さ
れている。
また、第５図に示す如く、ガイド軸38上に静圧気体に
より浮上する摺動体39を設ける一方、基台32に設けた駆
動用モータＭと前記摺動体39とをワイヤー35、35及びプ
ーリー33、33を介して連結して、前記モータＭの駆動制
御により摺動体39をガイド軸38上に移動調整するように
した駆動装置が提供されている。
より浮上する摺動体39を設ける一方、基台32に設けた駆
動用モータＭと前記摺動体39とをワイヤー35、35及びプ
ーリー33、33を介して連結して、前記モータＭの駆動制
御により摺動体39をガイド軸38上に移動調整するように
した駆動装置が提供されている。
これらの駆動方法においては、粗駆動は充分果し得る
が、微小駆動させるためには摺動体の移送量をより高分
解的に位置検出しながら、間欠的に摺動体を移動させる
手段を設けなければならない。微小な送りには、従来第
６図に示す如く、摺動体49に直接圧電素子40（以下アク
チュエータと称す）を接続する方式は採用されている。
が、微小駆動させるためには摺動体の移送量をより高分
解的に位置検出しながら、間欠的に摺動体を移動させる
手段を設けなければならない。微小な送りには、従来第
６図に示す如く、摺動体49に直接圧電素子40（以下アク
チュエータと称す）を接続する方式は採用されている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前記アクチュエータを用いた方式で
は、このアクチュエータが摺動体に直接接続しているた
め、該アクチュエータの最大変位量分（約10μｍ程度）
の送りしかできない。そしてまた、この送りを大きくす
るため、アクチュエータの変位量をテコ構造により増幅
することも考えられるが、テコの支点と作用点の距離が
大きくなり、スペースに限界がある。
は、このアクチュエータが摺動体に直接接続しているた
め、該アクチュエータの最大変位量分（約10μｍ程度）
の送りしかできない。そしてまた、この送りを大きくす
るため、アクチュエータの変位量をテコ構造により増幅
することも考えられるが、テコの支点と作用点の距離が
大きくなり、スペースに限界がある。
［課題を解決するための手段］ そこで、本発明は上記課題に鑑み、ガイド軸上に摺動
体を静圧流体で浮上させて移動可能に設けてなる静圧流
体軸受摺動体の駆動装置において、上記ガイド軸に対し
て平行に配置された少なくとも１組の固定用のベルト及
び移送用のベルトと、前記摺動体に備え、上記固定用の
ベルトを保持又は解除する保持用アクチュエータと移送
用のベルトを保持又は解除する駆動連結用アクチュエー
タと、上記移送用のベルトを長手方向に移動させる駆動
用アクチュエータと、前記各アクチュエータを電気的に
制御するコントローラとを備え、該コントローラの制御
により駆動用アクチュエータを動作させ、摺動体を移送
するようにしたことを特徴とする。
体を静圧流体で浮上させて移動可能に設けてなる静圧流
体軸受摺動体の駆動装置において、上記ガイド軸に対し
て平行に配置された少なくとも１組の固定用のベルト及
び移送用のベルトと、前記摺動体に備え、上記固定用の
ベルトを保持又は解除する保持用アクチュエータと移送
用のベルトを保持又は解除する駆動連結用アクチュエー
タと、上記移送用のベルトを長手方向に移動させる駆動
用アクチュエータと、前記各アクチュエータを電気的に
制御するコントローラとを備え、該コントローラの制御
により駆動用アクチュエータを動作させ、摺動体を移送
するようにしたことを特徴とする。
本発明においては、ガイド軸上に静圧気体により浮上
する摺動体を超微小移送するに適した静圧流体軸受摺動
体の駆動装置を提供する。
する摺動体を超微小移送するに適した静圧流体軸受摺動
体の駆動装置を提供する。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面にもとずき説明する。本
発明の静圧気体軸受摺動体の駆動装置は、第１図、第２
図及び第３図に示す如く、アルミナ焼結体からなるガイ
ド軸１に静圧間隙Ｓを介して該ガイド軸１の周囲を囲撓
し、該ガイド軸上に摺動する摺動体２を設けている。こ
の摺動体２の下部には該摺動体２に固定する中央柱３と
この両側に設ける保持壁４、４とからなる保持部材５を
設け、この中央柱３と前記保持壁４、４との間に摺動体
２を移送した位置で固定する保持用アクチュエータ６
と、後記する駆動用アクチュエータの一動作を摺動体２
に連結するための駆動連結用アクチュエータ７とを中央
柱３側に固定し、これら各アクチュエータ６、７の外方
作用端と前記保持壁４、４内面との間に後記するベルト
13、14を挿通してアクチュエータ６、７の作動によりこ
のベルト13、14を保持または保持解除するための二つの
保持部８、９を形成している。また、前記一方の保持部
８に挿通し基台10の側板11、12に固定する固定ベルト13
を設けると共に、前記他方の保持部９に挿通する駆動用
ベルト14を設けている。該駆動用ベルト14は一方端を前
記側板11に取付けた支持金具15に弾性部材であるバネ16
を介して取付け、他方端は前記側板12に取付けた支持金
具17に取付けてある。さらに、該金具17の内面と側板12
外面とには駆動用アクチュエータ18を固着すると共に、
この金具17の一部に該金具に可撓性を持たせるための切
込み部19を形成し、前記アクチュエータ18を作動させる
ことにより駆動用ベルト14を前記バネ16力に抗して左右
動する様にしている。
発明の静圧気体軸受摺動体の駆動装置は、第１図、第２
図及び第３図に示す如く、アルミナ焼結体からなるガイ
ド軸１に静圧間隙Ｓを介して該ガイド軸１の周囲を囲撓
し、該ガイド軸上に摺動する摺動体２を設けている。こ
の摺動体２の下部には該摺動体２に固定する中央柱３と
この両側に設ける保持壁４、４とからなる保持部材５を
設け、この中央柱３と前記保持壁４、４との間に摺動体
２を移送した位置で固定する保持用アクチュエータ６
と、後記する駆動用アクチュエータの一動作を摺動体２
に連結するための駆動連結用アクチュエータ７とを中央
柱３側に固定し、これら各アクチュエータ６、７の外方
作用端と前記保持壁４、４内面との間に後記するベルト
13、14を挿通してアクチュエータ６、７の作動によりこ
のベルト13、14を保持または保持解除するための二つの
保持部８、９を形成している。また、前記一方の保持部
８に挿通し基台10の側板11、12に固定する固定ベルト13
を設けると共に、前記他方の保持部９に挿通する駆動用
ベルト14を設けている。該駆動用ベルト14は一方端を前
記側板11に取付けた支持金具15に弾性部材であるバネ16
を介して取付け、他方端は前記側板12に取付けた支持金
具17に取付けてある。さらに、該金具17の内面と側板12
外面とには駆動用アクチュエータ18を固着すると共に、
この金具17の一部に該金具に可撓性を持たせるための切
込み部19を形成し、前記アクチュエータ18を作動させる
ことにより駆動用ベルト14を前記バネ16力に抗して左右
動する様にしている。
この様にして、第２図に示すコントローラＣにより前
記各アクチュエータ６、７、18にパルス信号を制御して
送ることにより、以下の様に各アクチュエータを作動さ
せ、摺動体２を間欠的に移送させるようにする。
記各アクチュエータ６、７、18にパルス信号を制御して
送ることにより、以下の様に各アクチュエータを作動さ
せ、摺動体２を間欠的に移送させるようにする。
即ち、定常状態では一方の保持用アクチュエータ６に
電圧を印加して固定ベルト13を保持部８で保持すると共
に、他方の駆動連結用アクチュエータ７は非通電状態で
他方の保持部９が解放状態にあり、摺動体２は静止状態
を保っている。
電圧を印加して固定ベルト13を保持部８で保持すると共
に、他方の駆動連結用アクチュエータ７は非通電状態で
他方の保持部９が解放状態にあり、摺動体２は静止状態
を保っている。
この状態で駆動連結用アクチュエータ７に電圧を印加
し、駆動用ベルト14を保持部９で保持すると同時に、前
記一方の保持用アクチュエータ６の電圧を切り固定ベル
ト13の保持状態を解除する。次に、駆動用アクチュエー
タ18に電圧を印加して駆動用ベルト14をバネ16力に抗し
て右方向に変位させる。この時き固定ベルト13は保持部
８において保持状態が解放されているので、保持部材５
と共に摺動体２は右方向に移動する。この移動した状態
で保持用アクチュエータ６に電圧を印加して固定ベルト
13を保持部８で保持する。次に、駆動連結用アクチュエ
ータ７の通電を切りこの保持部９を解放すると共に、駆
動用アクチュエータ18の通電を切ると、摺動体２は静止
状態のまま駆動用ベルト14のみがバネ16の反作用で元の
位置に戻り、前記の定常状態に戻る。この様に、摺動体
２は駆動用アクチュエータ18及び駆動用ベルト14の変位
量分だけ右方向へ移動する。そして、上記一連の動作を
繰返すことにより摺動体２の右方向への移動を進行させ
る。
し、駆動用ベルト14を保持部９で保持すると同時に、前
記一方の保持用アクチュエータ６の電圧を切り固定ベル
ト13の保持状態を解除する。次に、駆動用アクチュエー
タ18に電圧を印加して駆動用ベルト14をバネ16力に抗し
て右方向に変位させる。この時き固定ベルト13は保持部
８において保持状態が解放されているので、保持部材５
と共に摺動体２は右方向に移動する。この移動した状態
で保持用アクチュエータ６に電圧を印加して固定ベルト
13を保持部８で保持する。次に、駆動連結用アクチュエ
ータ７の通電を切りこの保持部９を解放すると共に、駆
動用アクチュエータ18の通電を切ると、摺動体２は静止
状態のまま駆動用ベルト14のみがバネ16の反作用で元の
位置に戻り、前記の定常状態に戻る。この様に、摺動体
２は駆動用アクチュエータ18及び駆動用ベルト14の変位
量分だけ右方向へ移動する。そして、上記一連の動作を
繰返すことにより摺動体２の右方向への移動を進行させ
る。
逆に左方向へ移動させるためには、前記の定常状態よ
り、駆動用アクチュエータ18に電圧を印加すると、保持
部９は解放されているので、駆動用ベルト14はバネ16力
に抗して右方向に移動する。次に、駆動連結用アクチュ
エータ７に電圧を印加して駆動用ベルト14を保持部９で
保持する。次に、保持用アクチュエータ６の通電を切り
保持部８を解放すると同時に駆動用アクチュエータ18の
通電を切ると、駆動用ベルト14はバネ16の反作用により
元の位置に戻る。この時摺動体２は駆動用ベルト14及び
駆動用アクチュエータ18の変位量分だけ左方向へ移動す
る。次に保持用アクチュエータ６に電圧を印加し、一方
の保持部８で固定用ベルト13を保持すると共に、駆動連
結用アクチュエータ７の通電を切り保持部９を解放させ
て元の定常状態に戻す。上記一連の動作を繰返すことに
より摺動体２の左方向への移動を進行させる。
り、駆動用アクチュエータ18に電圧を印加すると、保持
部９は解放されているので、駆動用ベルト14はバネ16力
に抗して右方向に移動する。次に、駆動連結用アクチュ
エータ７に電圧を印加して駆動用ベルト14を保持部９で
保持する。次に、保持用アクチュエータ６の通電を切り
保持部８を解放すると同時に駆動用アクチュエータ18の
通電を切ると、駆動用ベルト14はバネ16の反作用により
元の位置に戻る。この時摺動体２は駆動用ベルト14及び
駆動用アクチュエータ18の変位量分だけ左方向へ移動す
る。次に保持用アクチュエータ６に電圧を印加し、一方
の保持部８で固定用ベルト13を保持すると共に、駆動連
結用アクチュエータ７の通電を切り保持部９を解放させ
て元の定常状態に戻す。上記一連の動作を繰返すことに
より摺動体２の左方向への移動を進行させる。
この様にして、摺動体２を一動作毎に移送する駆動用
アクチュエータ18と、この摺動体２を移送された位置に
固定する保持用アクチュエータ６と、前記駆動用アクチ
ュエータ18の一動作を摺動体２に連結する駆動連結用ア
クチュエータ７と、前記各アクチュエータ６、７、18を
電気的に制御するコントローラＣとから構成して、この
コントローラＣの制御により駆動用アクチュエータ18の
一動作毎に摺動体２をガイド軸１上に間欠的に移送する
ようにしている。
アクチュエータ18と、この摺動体２を移送された位置に
固定する保持用アクチュエータ６と、前記駆動用アクチ
ュエータ18の一動作を摺動体２に連結する駆動連結用ア
クチュエータ７と、前記各アクチュエータ６、７、18を
電気的に制御するコントローラＣとから構成して、この
コントローラＣの制御により駆動用アクチュエータ18の
一動作毎に摺動体２をガイド軸１上に間欠的に移送する
ようにしている。
［発明の効果］ 上述の如く本発明によれば、ガイド軸上に摺動体を静
圧流体で浮上させて移動可能に設けてなる静圧流体軸受
摺動体の駆動装置において、上記ガイド軸に対して平行
に配置された少なくとも１組の固定用のベルト及び移送
用のベルトと、前記摺動体に備え、上記固定用のベルト
を保持又は解除する保持用アクチュエータと移送用のベ
ルトを保持又は解除する駆動連結用アクチュエータと、
上記移送用のベルトを長手方向に移動させる駆動用アク
チュエータとを、コントローラを介して制御することに
より駆動用アクチュエータの動作により摺動体を移送す
るようにしたので、静圧流体によりガイド軸上に浮上す
る摺動体を超微小に間欠的に、かつ長い距離を移送させ
るることができる静圧気体軸受摺動体の駆動装置を提供
することができる。
圧流体で浮上させて移動可能に設けてなる静圧流体軸受
摺動体の駆動装置において、上記ガイド軸に対して平行
に配置された少なくとも１組の固定用のベルト及び移送
用のベルトと、前記摺動体に備え、上記固定用のベルト
を保持又は解除する保持用アクチュエータと移送用のベ
ルトを保持又は解除する駆動連結用アクチュエータと、
上記移送用のベルトを長手方向に移動させる駆動用アク
チュエータとを、コントローラを介して制御することに
より駆動用アクチュエータの動作により摺動体を移送す
るようにしたので、静圧流体によりガイド軸上に浮上す
る摺動体を超微小に間欠的に、かつ長い距離を移送させ
るることができる静圧気体軸受摺動体の駆動装置を提供
することができる。
第１図は本発明の実施例の静圧気体軸受摺動体の駆動装
置の側面図、第２図は第１図のII−II線断面図、第３図
は第１図のIII−III線断面図、第４図は従来例を示すボ
ールネジ方式を採用した同駆動装置の側面図、第５図は
従来のワイヤーとプーリーとにより駆動伝達する方式の
同駆動装置の側面図、第６図はアクチュエータを使用し
た従来例を示す側面図である。 １、ガイド軸 ２、摺動体 ５、保持部材 ６、保持用アクチュエータ ７、駆動連結用アクチュエータ ８、９、保持部 13、固定ベルト 14、駆動用ベルト 16、弾性部材 18、駆動用アクチュエータ
置の側面図、第２図は第１図のII−II線断面図、第３図
は第１図のIII−III線断面図、第４図は従来例を示すボ
ールネジ方式を採用した同駆動装置の側面図、第５図は
従来のワイヤーとプーリーとにより駆動伝達する方式の
同駆動装置の側面図、第６図はアクチュエータを使用し
た従来例を示す側面図である。 １、ガイド軸 ２、摺動体 ５、保持部材 ６、保持用アクチュエータ ７、駆動連結用アクチュエータ ８、９、保持部 13、固定ベルト 14、駆動用ベルト 16、弾性部材 18、駆動用アクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23Q 5/34 G12B 5/00 G05D 3/00
Claims (1)
- 【請求項１】ガイド軸上に摺動体を静圧流体で浮上させ
て移動可能に設けてなる静圧流体軸受摺動体の駆動装置
において、上記ガイド軸に対して平行に配置された少な
くとも１組の固定用のベルト及び移送用のベルトと、前
記摺動体に備え、上記固定用のベルトを保持又は解除す
る保持用アクチュエータと移送用のベルトを保持又は解
除する駆動連結用アクチュエータと、上記移送用のベル
トを長手方向に移動させる駆動用アクチュエータと、前
記各アクチュエータを電気的に制御するコントローラと
を備え、該コントローラの制御により駆動用アクチュエ
ータを動作させ、摺動体を移送するようにしたことを特
徴とする静圧流体軸受摺動体の駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63217319A JP2964253B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 静圧流体軸受摺動体の駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63217319A JP2964253B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 静圧流体軸受摺動体の駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265939A JPH0265939A (ja) | 1990-03-06 |
| JP2964253B2 true JP2964253B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=16702305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63217319A Expired - Fee Related JP2964253B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 静圧流体軸受摺動体の駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2964253B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4721327B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-07-13 | 阿蘇製薬株式会社 | 磁気治療器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62192685A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-24 | キヤノン株式会社 | 位置制御装置 |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP63217319A patent/JP2964253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0265939A (ja) | 1990-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |