JP2963598B2 - Inspection device and defect repair device for thin display devices - Google Patents
Inspection device and defect repair device for thin display devicesInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、薄型表示機器である例
えば液晶表示パネルの製造工程で発生する表示不良品の
検査及び修正を効率的に行う、薄型表示機器の検査装置
及び欠陥修正装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus and a defect repairing apparatus for a thin display device which efficiently inspect and repair defective display products which occur in a manufacturing process of a thin display device such as a liquid crystal display panel. Things.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルの製造工程は、従来、い
くつかの工程に分割されており、その各工程において
は、光学的検査装置や電気的検査装置等の検査装置を用
いて、製造途中の液晶表示パネルにおけるできあがり品
質状態が検査されるようになっている。各工程において
製造途中の液晶表示パネルが所定基準の品質状態を満た
していない場合は、その工程において不合格となり、不
合格となった液晶表示パネルは、その不合格の工程の前
工程における品質状態にまで修復が可能ならば、その修
復を行った上で、再度、不合格となった工程から製造し
直すということが行われている。2. Description of the Related Art The manufacturing process of a liquid crystal display panel has conventionally been divided into several processes. In each process, the manufacturing process is performed using an inspection device such as an optical inspection device or an electrical inspection device. The completed quality state of the liquid crystal display panel is inspected. If the liquid crystal display panel in the process of manufacture does not satisfy the quality condition of the predetermined standard in each process, the liquid crystal display panel is rejected in that process, and the rejected liquid crystal display panel is the quality status in the process before the failed process. If the repair is possible up to, the repair is performed, and then the process is restarted from the failed step.
【０００３】しかしながら、近年、液晶表示パネルの大
型化や高精度化、細密化が要求され、液晶表示パネル内
の絵素数が飛躍的に増加しており、これに伴い、各種欠
陥が液晶表示パネル内に発生する確率も高くなってい
る。そのため、従来の製造プロセスを踏襲していただけ
では、全く欠陥の無い液晶表示パネルを高い歩留りで生
産することは極めて難しい状況となっている。However, in recent years, there has been a demand for a liquid crystal display panel having a larger size, higher precision, and finerness, and the number of picture elements in the liquid crystal display panel has increased dramatically. The probability of occurrence within is also high. Therefore, it is extremely difficult to produce a liquid crystal display panel having no defect at a high yield only by following the conventional manufacturing process.
【０００４】そこで、液晶表示パネルの製造歩留りをよ
り一層向上させるために、液晶表示パネルを半完成品に
組み立てた時点で、検査用駆動信号を液晶表示パネルに
供給して点灯状態の検査を行い、この検査工程において
不合格品として選別された液晶表示パネルのうち、修正
可能と判断されたものの欠陥を修正したり、また、修正
しないまでも欠陥の解析を行い、不良原因を前工程にフ
ィードバックすることで、工程の歩留りを向上させるこ
とが行われている。Therefore, in order to further improve the production yield of the liquid crystal display panel, when the liquid crystal display panel is assembled into a semi-finished product, a driving signal for inspection is supplied to the liquid crystal display panel to inspect the lighting state. Of the liquid crystal display panels selected as rejected products in this inspection process, the defects of those judged to be correctable are corrected, and even if not corrected, the defects are analyzed and the cause of the defect is fed back to the previous process. By doing so, the yield of the process is improved.
【０００５】このような原因の解析や、欠陥箇所の修正
作業は、液晶表示パネルの点灯不良等を引き起こす原因
となる配線パターンのショート等が、０．５μｍから５
０μｍ程度と非常に小さいため、例えば顕微鏡等を使用
した拡大視野内での作業となっており、通常は、５０倍
の対物レンズを用いた約１８０μｍの視野内にて作業さ
れている。The analysis of such a cause and the work of correcting a defective portion are performed when a short circuit of a wiring pattern or the like which causes a lighting failure of a liquid crystal display panel or the like is reduced from 0.5 μm to 5 μm.
Since it is very small, about 0 μm, the work is performed in an enlarged field of view using, for example, a microscope or the like, and is usually performed in a field of about 180 μm using a 50 × objective lens.
【０００６】図１６及び図１７に基づいて、欠陥箇所の
検査・修正を行う従来の欠陥修正装置の一例を説明する
と、装置本体１上には、検査すべき液晶表示パネル（以
下、単にパネルと略記する）２を支持すると共に、所定
位置に固定させるパネル固定部３が設けられている。こ
のパネル固定部３は、装置本体１の水平面における所定
の直交方向に移動可能な、Ｘ−Ｙステージ４上に設けら
れており、欠陥観察修正部８’におけるレーザ照射用顕
微鏡システム１３の下方を、パネル２のサイズ分だけ自
由に動けるようになっている。Ｘ−Ｙステージ４には、
ジョイスティック２５からの信号が入力されるステージ
制御部２４が備えられており、作業者はジョイスティッ
ク２５を操作することで、Ｘ−Ｙステージ４をＸＹ方向
に操作できるようになっている。このようなＸ−Ｙステ
ージ４、ジョイスティック２５、ステージ制御部２４等
にて移動手段が構成されている。An example of a conventional defect repair apparatus for inspecting and repairing a defective portion will be described with reference to FIGS. 16 and 17. A liquid crystal display panel (hereinafter simply referred to as a panel) to be inspected is provided on the apparatus body 1. (Abbreviated) 2 and a panel fixing section 3 for fixing the panel at a predetermined position. The panel fixing unit 3 is provided on an XY stage 4 that is movable in a predetermined orthogonal direction on a horizontal plane of the apparatus main body 1, and is disposed below the laser irradiation microscope system 13 in the defect observation and correction unit 8 ′. , Can be freely moved by the size of the panel 2. In the XY stage 4,
A stage control unit 24 to which a signal from the joystick 25 is input is provided, and an operator can operate the joystick 25 to operate the XY stage 4 in the XY directions. The XY stage 4, the joystick 25, the stage control unit 24, and the like constitute a moving unit.
【０００７】上記パネル固定部３における、パネル２の
端部側に形成されている図示しない接続端子部に対応す
る箇所には、駆動信号供給手段である点灯駆動信号発生
部６から、パネル２を点灯させる駆動信号が入力される
電極端子群５が設けられており、これに、パネル２の接
続端子部が接触し、パネル２が点灯するようになってい
る。The panel 2 is supplied from a lighting drive signal generation section 6 as drive signal supply means to a portion of the panel fixing section 3 corresponding to a connection terminal (not shown) formed on an end of the panel 2. An electrode terminal group 5 to which a drive signal to be turned on is input is provided, and a connection terminal portion of the panel 2 comes into contact with the electrode terminal group 5 so that the panel 2 is turned on.
【０００８】一方、パネル固定部３の上方には、一対の
アライメント用カメラ９を有したアライメント機構部７
が設けられており、このアライメント機構部７には、ア
ライメント画像処理部１１とアライメント機構制御部１
２とが備えられている。パネル２は、これら処理部１１
と制御部１２とに接続されたメインコントローラ１０の
制御にて、接続端子部と上記電極端子群５とが正確に接
触された所定状態にアライメントされるようになってい
る。On the other hand, above the panel fixing section 3, an alignment mechanism section 7 having a pair of alignment cameras 9 is provided.
The alignment mechanism 7 includes an alignment image processor 11 and an alignment mechanism controller 1.
2 is provided. Panel 2 includes these processing units 11
Under the control of the main controller 10 connected to the control unit 12 and the control unit 12, the connection terminal unit and the electrode terminal group 5 are aligned in a predetermined state where they are accurately contacted.
【０００９】前述の欠陥観察修正部８’は、パネル固定
部３に固定されたパネル２の上方側に、主観察手段及び
欠陥修正手段としてのレーザ照射用顕微鏡システム１３
を有すると共に、下方側に、パネル２に点灯不良箇所の
検出に必要な光を照射する光源手段である透過照明４１
を有している。The above-mentioned defect observation and correction unit 8 ′ is provided above the panel 2 fixed to the panel fixing unit 3 with a laser irradiation microscope system 13 as a main observation unit and a defect correction unit.
And transmitted light 41, which is a light source means for irradiating the panel 2 with light necessary for detecting a defective lighting location on the lower side.
have.
【００１０】上記レーザ照射用顕微鏡システム１３は、
反射照明１３ｂ、例えば２．５倍及び５０倍の対物レン
ズ１３ｇ・１３ｃ、これら対物レンズ１３ｇ・１３ｃの
視野を映すＣＣＤカメラ１３ａを有しており、対物レン
ズ１３ｇ・１３ｃにて拡大された視野画像は、このＣＣ
Ｄカメラ１３ａを通し、装置本体１の上に設けられた画
像モニタ１７に表示されるようになっている。[0010] The laser irradiation microscope system 13 includes:
It has a reflection illumination 13b, for example, objective lenses 13g and 13c of 2.5 times and 50 times, and a CCD camera 13a that projects the field of view of these objective lenses 13g and 13c, and a field-of-view image enlarged by the objective lenses 13g and 13c. Is this CC
The image is displayed on an image monitor 17 provided on the apparatus main body 1 through the D camera 13a.
【００１１】また、上記レーザ照射用顕微鏡システム１
３は、欠陥部分にレーザ光を照射して修正を行うレーザ
１３ｄを備えており、レーザ光の照射は、レーザコント
ローラ２３にて制御されるようになっている。Further, the laser irradiation microscope system 1
Reference numeral 3 includes a laser 13d for irradiating a defect portion with a laser beam to perform correction, and the laser beam irradiation is controlled by a laser controller 23.
【００１２】このような装置において、検査・修正を行
う際、作業者は、まず、パネル２を点灯させると共に透
過照明４１を点灯させ、パネル２を目視して点灯不良箇
所を検出し、この検出箇所をサインペン等にてマーキン
グする。次いで、マーキングを目印に、点灯不良箇所
を、ジョイスティック２５を使い、勘に頼り、試行錯誤
に周囲を模索しながら、対物レンズ１３ｇの視野（約φ
１ｍｍ）内に追い込む。このようにして、低倍率の視野
内に追い込んだならば、５０倍（視野φ１８０μｍ）の
対物レンズ１３ｃの視野位置に対応する中央部に移動さ
せた後、レンズレボルバを回転させて対物レンズ１３ｇ
から対物レンズ１３ｃに切り換える。そして、点灯不良
を引き起こしている原因である配線パターンのショート
等の欠陥箇所を観察し、不良原因の解析や、レーザを用
いた修正を行う。In such an apparatus, when performing inspection / correction, the operator first turns on the panel 2 and also turns on the transmissive illumination 41, visually detects the panel 2 and detects a defective lighting position, and Mark the location with a felt-tip pen or the like. Then, using the marking as a mark, the defective lighting location is determined by using the joystick 25, relying on intuition, and exploring the surroundings by trial and error while looking at the field of view of the objective lens 13g (about φ
1 mm). If the objective lens 13c is moved into the low-magnification visual field in this way, it is moved to the center corresponding to the visual field position of the objective lens 13c having a magnification of 50 (field of 180 μm), and then the lens revolver is rotated to obtain the objective lens 13g.
Is switched to the objective lens 13c. Then, a defective portion such as a short-circuit of the wiring pattern, which is a cause of the lighting failure, is observed, and the cause of the failure is analyzed, and correction using a laser is performed.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】ところが、その場合、
レーザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３ｃの
５０倍の視野内に欠陥箇所を位置させるという、欠陥箇
所の解析や修正を行う以前の段階で非常に手間取ってお
り、この結果、このような検査修正工程を設けることで
歩留りは向上するものの、人件費等の関係から反対にコ
ストが高騰する等の問題が生じている。However, in that case,
This is very time-consuming before the analysis and correction of the defect, such as positioning the defect within a field of view 50 times larger than the objective lens 13c of the laser irradiation microscope system 13, and as a result, such inspection correction Although the yield is improved by providing the process, problems such as a rise in cost arise due to labor costs and the like.
【００１４】即ち、従来の検査修正装置においては、パ
ネル２を観察する手段として、レーザ照射用顕微鏡シス
テム１３の顕微鏡しか備えられていなかった。そのた
め、上述したように、５０倍の視野内で欠陥箇所を観察
したい場合、低倍率の対物レンズ１３ｇを用いて点灯不
良箇所を対物レンズ１３ｃの視野内に追い込む作業が必
要である。ところが、低倍率の対物レンズ１３ｇを用い
ても、その視野はφ１ｍｍと甚だ狭く、小さいもので３
０ｍｍ×４０ｍｍ、大きいもので２００ｍｍ×３００ｍ
ｍもあり、今後さらに大型化が予想されるパネル２か
ら、僅か０．１ｍｍ×０．３ｍｍ程度の点灯不良箇所を
この視野内に追い込む作業は、非常に困難を来たし、そ
のため、上記した問題が生ずることとなる。That is, in the conventional inspection and correction apparatus, only the microscope of the laser irradiation microscope system 13 is provided as means for observing the panel 2. Therefore, as described above, when it is desired to observe a defective portion within a field of view of 50 times, it is necessary to use a low-magnification objective lens 13g to drive a defective lighting portion into the field of view of the objective lens 13c. However, even when the low-magnification objective lens 13g is used, its field of view is extremely narrow at φ1 mm, and is as small as 3 mm.
0mm × 40mm, large 200mm × 300m
It is extremely difficult to drive a defective lighting area of only about 0.1 mm × 0.3 mm into this field of view from the panel 2 which is expected to be further enlarged in the future. Will happen.
【００１５】また、従来の装置によれば、点灯不良箇所
をマーキングしないことには、レーザ照射用顕微鏡シス
テム１３の対物レンズ１３ｇの視野内に入れることが難
しく、そのため、サインペン等を用いてマーキングする
ようになっているが、パネル２にマーキングすること
は、その後消す工程が必要となるため、これによっても
作業工程数が増加し、コスト上昇が招来されている。Further, according to the conventional apparatus, it is difficult to put the defective lighting portion in the field of view of the objective lens 13g of the laser irradiation microscope system 13 without marking, and therefore, marking is performed using a felt-tip pen or the like. However, marking on the panel 2 requires a subsequent erasing step, which also increases the number of working steps and increases costs.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
薄型表示機器の検査装置は、上記課題を解決するため
に、検査対象の薄型表示機器を支持すると共に移動させ
る移動手段と、薄型表示機器を点灯させるための駆動信
号を供給する駆動信号供給手段と、駆動信号が供給され
て点灯状態にある薄型表示機器に対して点灯不良箇所の
検出に必要な光を照射する光源手段と、薄型表示機器に
おける点灯不良箇所を拡大し、点灯不良を引き起こす原
因となる欠陥箇所の観察に用いられる主観察手段と、主
観察手段とは別体からなり、主観察手段よりも低倍率で
広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段
の視野が設定され、薄型表示機器における点灯不良箇所
の捜索に用いられる副観察手段とを備え、薄型表示機器
が液晶表示パネルであり、副観察手段が液晶表示パネル
の表示面側に配置されると共に、主観察手段が液晶表示
パネルの裏面側に配置されていることを特徴としてい
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, comprising: a moving means for supporting and moving a thin display device to be inspected; A drive signal supply unit that supplies a drive signal for lighting the display device, and a light source unit that irradiates light necessary for detection of a lighting failure portion to the thin display device that is supplied with the drive signal and is in a lighting state, The main observation means used for observing a defective place that causes lighting failure in a thin display device by enlarging a defective lighting place is separate from the main observation means, and has a wider field of view at a lower magnification than the main observation means. And a sub-observation unit having a field of view of the main observation unit set at a predetermined position in the field of view and used for searching for a lighting failure point in the thin display device.
Is a liquid crystal display panel, and the auxiliary observation means is a liquid crystal display panel.
And the main observation means is a liquid crystal display
Is disposed on the back side of the panel is characterized in Rukoto.
【００１７】[0017]
【００１８】請求項２記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記光源手段が、カー
ドエッジライトに偏光板を貼着したものからなることを
特徴としている。The inspection apparatus of a thin display device of claim 2, wherein, in order to solve the above problems, in the inspection apparatus of the thin display apparatus according to the first aspect, the light source means, a polarizing plate on the card edge light It is characterized by being made of affixed.
【００１９】請求項３記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記光源手段が、平行
に並べられた複数の細蛍光管に、偏光板を貼着したもの
からなることを特徴としている。The inspection apparatus of a thin display device of claim 3, wherein, in order to solve the above problems, in the inspection apparatus of the thin display apparatus according to the first aspect, the light source means, a plurality of which are arranged in parallel It is characterized by comprising a thin fluorescent tube to which a polarizing plate is adhered.
【００２０】請求項４記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、検査対象の薄型表示機
器を支持すると共に移動させる移動手段と、薄型表示機
器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給
手段と、駆動信号が供給されて点灯状態にある薄型表示
機器に対して点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する
光源手段と、薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大
し、点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に
使用される主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装
置において、主観察手段とは別に、主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観
察手段の視野が設定された副観察手段が設けられ、か
つ、光源手段が、薄い網状ファイバに拡散板と偏光板と
を貼着したものからなることを特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, comprising: a moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected; and a drive signal for lighting the thin display device. Drive signal supply means for supplying the light, light source means for irradiating light necessary for detecting a defective lighting location to a thin display device which is supplied with a driving signal and lighting, and a defective lighting location in the thin display device are enlarged. In addition, in the inspection apparatus for a thin display device having a main observation unit used for observing a defective portion which causes a lighting failure, apart from the main observation unit, a wide field of view at a lower magnification than the main observation unit is provided. And a sub-observation unit having a main observation unit with a field of view set at a predetermined position in the field of view, and the light source unit is formed by attaching a diffuser and a polarizing plate to a thin mesh fiber. It is characterized in that.
【００２１】請求項５記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、検査対象の薄型表示機
器を支持すると共に移動させる移動手段と、薄型表示機
器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給
手段と、駆動信号が供給されて点灯状態にある薄型表示
機器に対して点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する
光源手段と、薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大
し、点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に
使用される主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装
置において、主観察手段とは別に、主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観
察手段の視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器
を挟んで対向配設され、かつ、主観察手段が顕微鏡から
なり、光源手段が顕微鏡における対物レンズ切り換え用
のレボルバに取り付けられた、発光体と拡散板と偏光板
とを備えた第１照明部からなることを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, comprising: a moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected; and a drive signal for lighting the thin display device. Drive signal supply means for supplying the light, light source means for irradiating light necessary for detecting a defective lighting location to a thin display device which is supplied with a driving signal and lighting, and a defective lighting location in the thin display device are enlarged. In addition, in the inspection apparatus for a thin display device having a main observation unit used for observing a defective portion which causes a lighting failure, apart from the main observation unit, a wide field of view at a lower magnification than the main observation unit is provided. The sub-observation means, which has the field of view of the main observation means at a predetermined position in the field of view, is disposed opposite to the thin display device, and the main observation means is a microscope, and the light source means is a microscope. Attached to the revolver of the objective lens switching in the mirror, it is characterized by comprising a first illumination unit having a light emitting element and the diffusion plate and a polarizing plate.
【００２２】請求項６記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、検査対象の薄型表示機
器を支持すると共に移動させる移動手段と、薄型表示機
器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給
手段と、駆動信号が供給されて点灯状態にある薄型表示
機器に対して点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する
光源手段と、薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大
し、点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に
使用される主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装
置において、主観察手段とは別に、主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観
察手段の視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器
を挟んで対向配設され、かつ、上記主観察手段が顕微鏡
からなり、光源手段が、顕微鏡における対物レンズ切り
換え用のレボルバに取り付けられた、反射板と拡散板と
偏光板とを備えた第２照明部と、上記反射板に光を照射
する発光体とからなることを特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, wherein a moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected and a drive signal for lighting the thin display device are provided. Drive signal supply means for supplying the light, light source means for irradiating light necessary for detecting a defective lighting location to a thin display device which is supplied with a driving signal and lighting, and a defective lighting location in the thin display device are enlarged. In addition, in the inspection apparatus for a thin display device having a main observation unit used for observing a defective portion which causes a lighting failure, apart from the main observation unit, a wide field of view at a lower magnification than the main observation unit is provided. Sub-observing means having a field of view of the main observing means set at a predetermined position in the field of view, disposed opposite to each other with the thin display device interposed therebetween, and the main observing means comprising a microscope; A second illuminator provided with a reflector, a diffuser, and a polarizer, which is attached to a revolver for switching an objective lens in a microscope, and a light emitter for irradiating the reflector with light. .
【００２３】請求項７記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、検査対象の薄型表示機
器を支持すると共に移動させる移動手段と、薄型表示機
器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給
手段と、駆動信号が供給されて点灯状態にある薄型表示
機器に対して点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する
光源手段と、薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大
し、点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に
使用される主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装
置において、主観察手段とは別に、主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観
察手段の視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器
を挟んで対向配設され、かつ、主観察手段が顕微鏡から
なり、光源手段が、顕微鏡の対物レンズの外周に設けら
れたリング状照明と、各々移動可能に設けられた乱反射
防止板と偏光板とからなることを特徴としている。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, wherein a moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected and a drive signal for lighting the thin display device are provided. Drive signal supply means for supplying the light, light source means for irradiating light necessary for detecting a defective lighting location to a thin display device which is supplied with a driving signal and lighting, and a defective lighting location in the thin display device are enlarged. In addition, in the inspection apparatus for a thin display device having a main observation unit used for observing a defective portion which causes a lighting failure, apart from the main observation unit, a wide field of view at a lower magnification than the main observation unit is provided. The sub-observation unit having the field of view of the main observation unit set at a predetermined position in the field of view is disposed to face the thin display device, and the main observation unit is a microscope, and the light source unit is A ring-shaped illumination provided on the outer periphery of the objective lens of the microscope, is characterized in that each comprising a movably provided the irregular reflection prevention plate and polarizing plate.
【００２４】請求項８記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、検査対象の薄型表示機
器を支持すると共に移動させる移動手段と、薄型表示機
器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給
手段と、駆動信号が供給されて点灯状態にある薄型表示
機器に対して点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する
光源手段と、薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大
し、点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に
使用される主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装
置において、主観察手段とは別に、主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観
察手段の視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器
を挟んで対向配設され、かつ、光源手段が、主観察手段
と薄型表示機器との間に配されたペリクルミラーと偏光
板、及び、副観察手段と同じ側に設けられた反射板と発
光体とからなることを特徴としている。According to an eighth aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, wherein: a moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected; and a drive signal for lighting the thin display device. Drive signal supply means for supplying the light, light source means for irradiating light necessary for detecting a defective lighting location to a thin display device which is supplied with a driving signal and lighting, and a defective lighting location in the thin display device are enlarged. In addition, in the inspection apparatus for a thin display device having a main observation unit used for observing a defective portion which causes a lighting failure, apart from the main observation unit, a wide field of view at a lower magnification than the main observation unit is provided. The sub-observation means having the field of view of the main observation means at a predetermined position in the field of view is disposed opposite to the thin display device, and the light source means is provided between the main observation means and the thin display device. Pellicle mirror and a polarizing plate disposed in, and is characterized by comprising a reflective plate provided on the same side as the sub-observation means and the light emitting element.
【００２５】請求項９記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１，２，
３，４，５，６，７又は８記載の薄型表示機器の検査装
置において、上記副観察手段の視野内に入った画像か
ら、点灯不良箇所を検出する画像処理部と、上記画像処
理部にて検出された点灯不良箇所が、副観察手段の視野
内における主観察手段の視野が設定されている位置に入
るように、移動手段の駆動を制御する移動制御手段とが
備えられていることを特徴としている。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device, wherein:
3. The inspection apparatus for a thin display device according to 3, 4, 5, 6, 7, or 8, wherein an image processing unit that detects a lighting failure portion from an image that is within the field of view of the sub-observation unit; Moving control means for controlling the driving of the moving means, so that the lighting failure spot detected by means of the sub-observing means is positioned within the field of view of the main observing means. Features.
【００２６】請求項１０記載の薄型表示機器の欠陥修正
装置は、上記課題を解決するために、上記請求項１，
２，３，４，５，６，７，８又は９記載の薄型表示機器
の検査装置が備えられると共に、さらに、上記検査装置
にて検出された欠陥箇所を修正するための欠陥修正手段
が備えられていることを特徴としている。The defect correction apparatus of a thin display apparatus according to claim 1 0, wherein, in order to solve the above problems, the first aspect,
An inspection apparatus for a thin display device described in 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, or 9 is provided, and further, a defect correction unit for correcting a defective portion detected by the inspection apparatus is provided. It is characterized by being.
【００２７】[0027]
【作用】上記請求項１の構成により、点灯状態にある薄
型表示機器である例えば液晶表示パネルに光を照射し、
その透過光から点灯不良箇所を検出し、この部分を主観
察手段にて拡大し、点灯不良を引き起こす原因となって
いる配線パターンの欠陥箇所を観察する場合、まず、作
業者は、主観察手段とは別に設けられた副観察手段の視
野を観察しながら移動手段を駆動して、点灯不良箇所を
探す。そして、副観察手段の視野内に点灯不良箇所が入
ったならば、視野内の所定位置、即ち、主観察手段の視
野が設定されている位置に点灯不良箇所が位置するよう
に、移動手段を駆動する。点灯不良箇所が視野内の所定
位置に位置したならば、観察している視野を副観察手段
から主観察手段に切り換える。According to the structure of the first aspect, light is emitted to a liquid crystal display panel which is a thin display device in a lighting state, for example.
When a defective lighting portion is detected from the transmitted light, and this portion is enlarged by the main observation means to observe a defective portion of the wiring pattern which causes the defective lighting, first, the operator must use the main observation means. The moving means is driven while observing the field of view of the sub-observing means provided separately, and a defective lighting location is searched for. Then, when the lighting failure portion enters the field of view of the sub-observation means, the moving means is moved so that the lighting failure point is located at a predetermined position in the field of view, that is, the position where the field of view of the main observation means is set. Drive. When the lighting failure point is located at a predetermined position in the visual field, the visual field being observed is switched from the sub-observing means to the main observing means.
【００２８】即ち、上記の構成によれば、主観察手段と
副観察手段とが、各々別体にて構成されているので、主
観察手段を例えば５０倍程度の対物レンズを備えた顕微
鏡等から構成し、副観察手段を上記主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有する例えばＣＣＤ（Charge Coupled
Device)カメラ等から構成することができる。したがっ
て、従来の主観察手段としての顕微鏡しか備えられてお
らず、対物レンズの倍率を低から高へと切り換えること
で点灯不良箇所を５０倍に拡大して、欠陥箇所を観察す
るようになっていた場合とくらべ、主観察手段の視野に
欠陥箇所を取り入れるまでの作業が容易になる。この結
果、歩留り向上によるコスト削減が効率よく得られる。That is, according to the above configuration, since the main observation means and the sub observation means are formed separately from each other, the main observation means can be controlled by, for example, a microscope having an objective lens of about 50 times. For example, a CCD (Charge Coupled) having a wide field of view at a lower magnification than that of the main observation means may be used.
(Device) camera or the like. Therefore, only the microscope as the conventional main observation means is provided, and the defective portion is observed by switching the magnification of the objective lens from low to high to magnify the defective lighting portion by 50 times. In the field of view of the main observation means
The work until the defective part is taken in becomes easy. As a result, cost reduction by improving the yield can be efficiently obtained.
【００２９】また、副観察手段であるＣＣＤカメラの視
野は充分広いので、予めサインペン等を用いて、点灯不
良箇所をマーキングしておかずとも、移動手段を適当に
駆動することで、容易に視野内に点灯不良箇所を取り入
れることができる。この結果、作業工程数が減少し、こ
れによってもコスト削減が図れる。Since the field of view of the CCD camera, which is the sub-observation means, is sufficiently wide, it is possible to easily drive the moving means appropriately without marking the defective lighting spot using a felt-tip pen or the like. Lighting failure spots can be incorporated into As a result, the number of working steps is reduced, which can also reduce costs.
【００３０】また、請求項１の構成によれば、検査対象
の上記薄型表示機器が液晶表示パネルであり、副観察手
段が液晶表示パネルの表示面側に配置されると共に、上
記主観察手段が液晶表示パネルの裏面側に配置されてい
る。この場合、光源手段を、例えば請求項２，３，４，
５，６，７又は８の構成とすることで、例えば主観察手
段を５０倍の対物レンズを備えた顕微鏡から構成し、こ
れと薄型表示機器との間に光源手段を配設する構成も可
能である。According to the first aspect of the present invention, the thin display device to be inspected is a liquid crystal display panel, the sub-observation means is disposed on the display surface side of the liquid crystal display panel, and the main observation means is provided. It is arranged on the back side of the liquid crystal display panel. In this case, the light source means, for example, claim 2, 3, 4,
By adopting the configuration of 5, 6, 7 or 8 , for example, it is also possible to configure the main observation unit to be a microscope equipped with a 50 × objective lens and to arrange the light source unit between the microscope and the thin display device. It is.
【００３１】そして、このような構成とすることで、従
来の装置では発見できなかったような薄型表示機器の表
側（表示面側）の点灯状態が検査できるようになる。即
ち、液晶表示パネルを上記のような検査装置を使用して
観察する場合、主観察手段にて観察するのは、配線パタ
ーン等の欠陥箇所が観察できる、液晶表示パネルとして
完成された際に裏面となる面であり、そのため、従来の
主観察手段しか設けられていなかった装置では、裏側か
らの観察であった。しかしながら、上記構成によれば、
副観察手段が、主観察手段とは型表示機器を挟んで対向
して配設されているので、この副観察手段にて、表側、
即ち液晶ディスプレイとしてユーザが液晶表示パネルを
見る面と同じ面からの観察が可能で、上記したように、
薄型表示機器の表側の点灯状態が検査できることとな
る。With this configuration, it is possible to inspect the lighting state on the front side (display surface side) of the thin display device, which cannot be found by the conventional device. That is, when the liquid crystal display panel is observed using the inspection apparatus as described above, the main observation means observes a defective portion such as a wiring pattern. Therefore, in a device provided only with the conventional main observation means, the observation is from the back side. However, according to the above configuration,
Since the sub-observation means is disposed to face the main observation means with the type display device interposed therebetween, the sub-observation means allows the
That is, as a liquid crystal display, it is possible to observe from the same surface as the surface where the user looks at the liquid crystal display panel, as described above,
The lighting state on the front side of the thin display device can be inspected.
【００３２】また、請求項９の構成によれば、画像処理
部が、副観察手段の視野内に入った画像から点灯不良箇
所を検出し、移動制御手段が、上記画像処理部にて検出
された点灯不良箇所が副観察手段の視野内における主観
察手段の視野位置に入るように移動手段の駆動を制御す
るので、主観察手段の視野内に欠陥箇所を位置させるま
での作業がほぼ自動的になされるようになる。この結
果、検査装置の操作性が向上される。According to the ninth aspect of the present invention, the image processing unit detects a defective lighting portion from the image within the field of view of the sub-observation unit, and the movement control unit detects the defective lighting position. The drive of the moving means is controlled so that the defective lighting part is located within the field of view of the main observation means within the field of view of the sub-observation means. Will be made. As a result, the operability of the inspection device is improved.
【００３３】また、請求項１０の構成によれば、上記の
検査装置に、さらに、欠陥修正手段を設けて、欠陥修正
装置として構成したため、欠陥修正装置においても、欠
陥を修正する際の欠陥箇所を主観察手段の視野内に入れ
る作業が上記と同様に行い易くなる。Further, according to the configuration of claim 1 0, the above inspection apparatus, further provided with a defect correcting means, because of the structure as a defect repairing apparatus, even in the defect repair device, a defect when the defect is corrected The operation of putting the location within the field of view of the main observation means is facilitated in the same manner as described above.
【００３４】[0034]
【実施例】〔実施例１〕 本発明の一実施例を図１ないし図１３に基づいて説明す
れば、以下の通りである。[Embodiment 1] An embodiment of the present invention is described below with reference to FIGS.
【００３５】本発明にかかる薄型表示機器の欠陥修正装
置は、例えば、スイッチング素子として薄膜トランジス
タを備えたアクティブマトリクス基板と、表示媒体とし
て液晶とを組み合わせた液晶表示パネルの検査及び修正
に使用される。The defect repair apparatus for a thin display device according to the present invention is used, for example, for inspection and repair of a liquid crystal display panel in which an active matrix substrate provided with a thin film transistor as a switching element and a liquid crystal as a display medium are combined.
【００３６】上記欠陥修正装置は、図２に示すように、
箱型の装置本体１上に、検査すべき液晶表示パネル（以
下、単にパネルと略記する）２の周端部側を支持すると
共に、パネル２を後述する所定位置に固定させるパネル
固定部３が設けられている。このパネル固定部３は、Ｘ
−Ｙステージ４上に設けられており、後述する欠陥観察
修正部８のレーザ照射用顕微鏡システム１３の下を、パ
ネル２のサイズ分だけ自由に動けるようになっている。As shown in FIG.
On a box-shaped apparatus main body 1, a panel fixing portion 3 for supporting a peripheral end side of a liquid crystal display panel (hereinafter simply referred to as a panel) 2 to be inspected and fixing the panel 2 at a predetermined position described later is provided. Is provided. This panel fixing part 3 is X
It is provided on the -Y stage 4 and can move freely by the size of the panel 2 under the laser irradiation microscope system 13 of the defect observation and correction unit 8 described later.
【００３７】上記Ｘ−Ｙステージ４は、中央部が開口さ
れた中抜き状態に形成されており、上記装置本体１の水
平面における所定の直交方向に移動可能で、このような
移動は、図１に示すステージ制御部２４にて駆動が制御
されている。このステージ制御部２４には、ジョイステ
ィック２５からの信号が入力されており、作業者はこの
ジョイスティック２５を操作して、Ｘ−Ｙステージ４を
縦横無人に操作できるようになっている。即ち、ＸーＹ
ステージ４、ジョイスティック２５、ステージ制御部２
４にて、移動手段が構成されている。The XY stage 4 is formed in a hollow state with an opening at the center, and can move in a predetermined orthogonal direction on the horizontal plane of the apparatus main body 1. Such movement is as shown in FIG. The driving is controlled by the stage control unit 24 shown in FIG. A signal from a joystick 25 is input to the stage controller 24, and the operator can operate the joystick 25 to operate the XY stage 4 vertically and horizontally unattended. That is, XY
Stage 4, joystick 25, stage controller 2
At 4, the moving means is constituted.
【００３８】上記パネル固定部３における、支持される
パネル２の周端部に形成されている図示しない接続端子
部に対応する箇所には、電極端子群５が設けられてい
る。この電極端子群５には、図１に示す駆動信号供給手
段である点灯駆動信号発生部６から、パネル２を点灯さ
せる駆動信号が入力されており、これにより、パネル２
は点灯状態となる。An electrode terminal group 5 is provided at a position corresponding to a connection terminal (not shown) formed on the peripheral end of the panel 2 to be supported in the panel fixing portion 3. A drive signal for lighting the panel 2 is input to the electrode terminal group 5 from a lighting drive signal generator 6 which is a drive signal supply unit shown in FIG.
Is turned on.
【００３９】パネル固定部３の上方には、一対のアライ
メント用カメラ９を有したアライメント機構部７が設け
られている。アライメント用カメラ９にて得られた画像
は、図１に示すアライメント画像処理部１１にて処理さ
れた後メインコントローラ１０に送られる。メインコン
トローラ１０は、このアライメント画像処理部１１から
のデータに基づいて、パネル２が所定の状態、即ち、パ
ネル２の接続端子部と上記電極端子群５とが正確に接触
された状態となるように、アライメント機構処理部１２
を介してアライメント機構部７を駆動し、パネル２の位
置を合わせるようになっている。この位置合わせを経た
後、パネル２はパネル固定部３にて固定される。Above the panel fixing section 3, an alignment mechanism section 7 having a pair of alignment cameras 9 is provided. The image obtained by the alignment camera 9 is sent to the main controller 10 after being processed by the alignment image processing unit 11 shown in FIG. The main controller 10 controls the panel 2 based on the data from the alignment image processing unit 11 so that the panel 2 is in a predetermined state, that is, the connection terminal portion of the panel 2 and the electrode terminal group 5 are accurately contacted. The alignment mechanism processing unit 12
, The alignment mechanism 7 is driven to adjust the position of the panel 2. After this alignment, the panel 2 is fixed by the panel fixing part 3.
【００４０】上記アライメント機構部７には、併設して
欠陥観察修正部８が設けられている。この欠陥観察処理
部８は、図３に示すように、パネル固定部３に固定され
たパネル２の上方側に、主観察手段としてのレーザ照射
用顕微鏡システム１３と、光源手段としての透過照明１
５とを有し、パネル２の下方側に、副観察手段としての
追い込み用ＣＣＤカメラ１６を有している。The alignment mechanism section 7 is provided with a defect observation and correction section 8 in parallel. As shown in FIG. 3, the defect observation processing unit 8 includes a laser irradiation microscope system 13 as a main observation unit and a transmission illumination 1 as a light source unit above the panel 2 fixed to the panel fixing unit 3.
5, and a driving CCD camera 16 as a sub-observing means is provided below the panel 2.
【００４１】上記レーザ照射用顕微鏡システム１３は、
反射照明１３ｂと、５０倍の対物レンズ１３ｃと、この
対物レンズ１３ｃが捕らえた視野を映すＣＣＤカメラ１
３ａとを有しており、対物レンス１３ｃにて拡大された
視野画像は、このＣＣＤカメラ１３ａを通し、図１及び
図２に示す装置本体１の上に設けられた画像モニタ１７
に表示されるようになっている。尚、ＣＣＤカメラ１３
ａと、画像モニタ１７との間には、図１に示すビデオ信
号切換器２２が介されており、後述する追い込み用ＣＣ
Ｄカメラ１６からの画像と、本ＣＣＤカメラ１３ａから
の画像とを、作業者が選択的に切り換えられるようにな
っている。The laser irradiation microscope system 13 includes:
Reflective illumination 13b, 50x objective lens 13c, and CCD camera 1 showing the field of view captured by this objective lens 13c.
3a, the visual field image enlarged by the objective 13c passes through the CCD camera 13a, and is passed through an image monitor 17 provided on the apparatus main body 1 shown in FIGS.
Is displayed. The CCD camera 13
a and the image monitor 17, a video signal switch 22 shown in FIG.
The operator can selectively switch between the image from the D camera 16 and the image from the CCD camera 13a.
【００４２】また、上記レーザ照射用顕微鏡システム１
３は、欠陥修正手段としてのレーザ１３ｄも備えてお
り、欠陥箇所にレーザ光を照射して後述のように修正を
行うようになっている。このようなレーザ光の照射は、
図１に示すレーザコントローラ２３にて制御されてい
る。The laser irradiation microscope system 1
Reference numeral 3 also includes a laser 13d as a defect correcting means, and irradiates a laser beam to a defective portion to perform correction as described later. Irradiation of such a laser beam,
It is controlled by the laser controller 23 shown in FIG.
【００４３】透過照明１５は、対物レンズ１３ｃとパネ
ル２との間に配されており、下向きに光を照射するよう
になっており、シリンダ駆動部１８にて、必要に応じて
上記レーザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３
ｃの下方から移動されるようになっている。The transmitted illumination 15 is arranged between the objective lens 13c and the panel 2 and irradiates the light downward. Objective lens 13 of microscope system 13
c is moved from below.
【００４４】ここで、この透過照明１５について、図４
（ａ)(ｂ) に基づいて、詳細に説明すると、透過照明１
５は、表面が面状に光線を反射するように加工されたア
クリル等の樹脂１９のエッジ部に、φ２．５ｍｍから４
ｍｍ程度の蛍光管２０・２０を２本配置することで構成
されたカードエッジライトに、偏光板２１が貼着された
構成である。その厚みは、通常５０倍の対物レンズ１３
ｃのレンズ先端から観察試料までのワークディスタンス
が、６ｍｍ〜１７ｍｍ程度であり、パネル２を固定する
パネル固定部３の構成を考慮してワークディスタンス１
７ｍｍの対物レンズを使用したとしても、レンズ先端か
ら６ｍｍ以内に移動可能に取り付けるには、厚くとも４
ｍｍ程度に形成することが必要で、そのように設定され
ている。Here, the transmitted illumination 15 will be described with reference to FIG.
(A) and (b) will be described in detail.
Reference numeral 5 denotes an edge portion of a resin 19 such as acrylic processed so that the surface reflects light rays in a planar shape, from φ2.5 mm to 4 mm.
This is a configuration in which a polarizing plate 21 is attached to a card edge light configured by arranging two fluorescent tubes 20 of about mm. The thickness of the objective lens 13 is usually 50 times.
The work distance from the lens tip of c to the observation sample is about 6 mm to 17 mm, and the work distance 1 is set in consideration of the configuration of the panel fixing portion 3 for fixing the panel 2.
Even if a 7 mm objective lens is used, at least 4 mm is required to attach it so that it can move within 6 mm from the lens tip.
It is necessary to form it to about mm, and it is set as such.
【００４５】尚、上記透過照明１５の下面に偏光板２１
を貼着するのは、本実施例の欠陥修正装置においては、
偏光板を貼着される前のパネル２を検査するようになっ
ているためである。The polarizing plate 21 is provided on the lower surface of the transmission illumination 15.
Is attached in the defect repairing apparatus of the present embodiment.
This is because the panel 2 before the polarizing plate is attached is inspected.
【００４６】追い込み用ＣＣＤカメラ１６は、５ｍｍ角
〜２０ｍｍ角程度を撮像することができるもので、上記
透過照明１５にて照らされたパネル２を走査するように
なっている。この追い込み用ＣＣＤカメラ１６にて読み
取られた画像は、ビデオ信号切換器２２を介して、上記
の画像モニタ１７に表示される。尚、上記の透過照明１
５と同様の理由にて、追い込み用カメラ１６の上部に
も、偏光板２１が配されている（図４参照）。The driving CCD camera 16 is capable of capturing an image of about 5 mm square to 20 mm square, and scans the panel 2 illuminated by the transmission illumination 15. The image read by the driving CCD camera 16 is displayed on the image monitor 17 via the video signal switch 22. In addition, the above-mentioned transmitted illumination 1
For the same reason as in No. 5, a polarizing plate 21 is also provided above the driving camera 16 (see FIG. 4).
【００４７】このような欠陥修正装置を用いて、パネル
２の検査および修正を行う場合、作業者は、まず、検査
および修正を行う対象であるパネル２を、パネル固定部
３にセットする。この場合、レーザ照射用顕微鏡システ
ム１３にて観察される面は、ユーザがパネル２を見る際
の表側とは異なる裏面となる。これは、例えばＴＦＴタ
イプの液晶表示パネルにおいては、ＴＦＴ配線パターン
の上部カラーフィルター側にマスクパターンがあるた
め、配線パターンの観察や修正は、液晶表示パネルの裏
側からでなければできないためである。When inspecting and correcting the panel 2 using such a defect repairing apparatus, the operator first sets the panel 2 to be inspected and corrected on the panel fixing section 3. In this case, the surface observed by the laser irradiation microscope system 13 is a back surface different from the front surface when the user views the panel 2. This is because, for example, in a TFT type liquid crystal display panel, since a mask pattern is provided on the upper color filter side of the TFT wiring pattern, observation and correction of the wiring pattern can be performed only from the back side of the liquid crystal display panel.
【００４８】パネル２をセットしたならば、アライメン
ト機構部７を用いて所定の位置に位置合わせした後、パ
ネル固定部３にて固定する。これにより、パネル２の接
続端子部と電極端子群５とが接触した状態で固定され、
パネル２は点灯状態となる。After the panel 2 is set, the panel 2 is positioned at a predetermined position using the alignment mechanism 7 and then fixed by the panel fixing section 3. As a result, the connection terminal portion of the panel 2 and the electrode terminal group 5 are fixed in contact with each other,
Panel 2 is turned on.
【００４９】次いで、透過照明１５を点灯させた後、追
い込み用ＣＣＤカメラ１６で得られた画像が表示されて
いる画像モニタ１７の画面を見ながら、ジョイスティッ
ク２５を用いてパネル２を移動させ、図５に示すような
パターンの欠陥箇所にて生じる点灯不良箇所、即ち欠陥
絵素２６を捜し出す。Next, after the transmitted illumination 15 is turned on, the panel 2 is moved using the joystick 25 while viewing the screen of the image monitor 17 on which the image obtained by the driving CCD camera 16 is displayed. A defective lighting position which occurs at a defective position of the pattern as shown in FIG.
【００５０】欠陥絵素２６がモニタ画像１７内に映し出
されたならば、そのままジョイスティック２５を用い
て、レーザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３
ｃの視野内である追い込み中心位置２７に位置させる
（図６（ａ)(ｂ）参照）。尚、複数個の欠陥絵素２６が
確認された場合は、順に行う。When the defective picture element 26 is displayed in the monitor image 17, the objective lens 13 of the laser irradiation microscope system 13 is directly used by using the joystick 25.
It is positioned at the drive-in center position 27 in the field of view c (see FIGS. 6A and 6B). When a plurality of defective picture elements 26 are confirmed, the processing is performed in order.
【００５１】追い込み中心位置２７に位置させたなら
ば、透過照明１５を移動させて対物レンズ１３ｃの下側
から外すと共に、反射照明１３ｂを点灯し、ビデオ信号
切換器２２を切り換えて、画像モニタ１７に、対物レン
ズ１３ｃにて見える視野を映す（図７参照）。After being positioned at the drive-in center position 27, the transmitted light 15 is moved to remove it from the lower side of the objective lens 13c, the reflected light 13b is turned on, the video signal switch 22 is switched, and the image monitor 17 is turned on. Then, the visual field seen by the objective lens 13c is projected (see FIG. 7).
【００５２】そして、画像モニタ１７を見て配線パター
ンを観察し、点灯不良を生じる原因を解析し、欠陥箇所
２８が修正可能か否かを判断する。修正可能であれば、
レーザ１３ｄを駆動して、修正する。ショートからくる
欠陥の場合は、ショート箇所にレーザ光を照射して切断
して修正し、また、パネル２のセル内に、異物が存在し
ている場合は、異物にレーザを照射して粉砕することに
より修正する。The wiring pattern is observed by looking at the image monitor 17, the cause of the lighting failure is analyzed, and it is determined whether or not the defective portion 28 can be corrected. If it can be modified,
The laser 13d is driven for correction. In the case of a defect resulting from a short circuit, the short part is irradiated with a laser beam to be cut and corrected, and if there is a foreign substance in the cell of the panel 2, the foreign substance is irradiated with a laser to be crushed. To correct.
【００５３】以上のように、本実施例の欠陥修正装置の
欠陥観察修正部８には、レーザ照射用顕微鏡システム１
３と共に、低倍率で視野範囲の大きな追い込み用ＣＣＤ
カメラ１６が備えられているので、作業者は、視野の大
きな追い込み用ＣＣＤカメラ１６のモニタした画像を画
像モニタ１７で見ながら、ジョイスティック２５を用い
てパネル２を移動させ、点灯不良を生じている欠陥絵素
２６を捜し、発見したならば、そのままジョイスティッ
ク２５を用いてパネル２を移動させることで、短時間
で、欠陥絵素２６を追い込み中心位置２７に追い込むこ
とができる。また、従来のように点灯不良箇所を、サイ
ンペン等を用いてパネル２にマーキングする必要もなく
なる。これらの結果、検査・修正の際の作業効率が向上
し、欠陥修正装置を用いて歩留りを向上させ、コスト削
減を図るという効果が効率良く得られる。As described above, the defect observation and repair unit 8 of the defect repair apparatus of this embodiment includes the laser irradiation microscope system 1
Along with 3, CCD with low magnification and large viewing range
Since the camera 16 is provided, the operator moves the panel 2 using the joystick 25 while viewing the image monitored by the driving CCD camera 16 having a large field of view on the image monitor 17, and lighting failure occurs. If the defective picture element 26 is searched for and found, the panel 2 is moved using the joystick 25 as it is, so that the defective picture element 26 can be driven to the drive center position 27 in a short time. Further, it is not necessary to mark a defective lighting location on the panel 2 using a felt-tip pen or the like as in the related art. As a result, the work efficiency at the time of inspection / correction is improved, and the effect of using a defect repair device to improve the yield and reduce the cost can be obtained efficiently.
【００５４】また、従来装置においては、レーザ照射用
顕微鏡システム１３しか設けられていなかったため、配
線パターンが形成されている、液晶表示パネルの裏側か
らの点灯状態の観察しかできなかったが、本装置におい
ては、レーザ照射用顕微鏡システム１３と追い込み用Ｃ
ＣＤカメラ１６とが、パネル２を挟んで対向して設けら
れているので、追い込み用ＣＣＤカメラ１６にて、ユー
ザが見る側となる表側からの点灯状態の観察が可能とな
り、従来の裏側からの観察では発見できなかったような
欠陥を発見できることとなる。Further, in the conventional apparatus, only the laser irradiation microscope system 13 was provided, so that it was possible to observe only the lighting state from the back side of the liquid crystal display panel on which the wiring pattern was formed. , The laser irradiation microscope system 13 and the driving C
Since the CD camera 16 is provided so as to face the panel 2 with the panel 2 interposed therebetween, it is possible to observe the lighting state from the front side, which is the side to be viewed by the user, with the driving CCD camera 16, and from the conventional back side. Defects that could not be found by observation can be found.
【００５５】尚、本実施例においては、欠陥修正装置を
例示して説明したが、レーザ等の修正手段を具備しな
い、欠陥絵素２６を拡大して欠陥箇所２８の解析のみを
行う、検査装置にも適用できることは言うまでもない。
同様に、欠陥修正手段として、本実施例においては、レ
ーザ１３ｄを採用しているが、その他、例えばポンチを
使ったような衝撃力を応用した機械的な修正方法を採用
することも可能である。In this embodiment, the defect repairing apparatus has been described by way of example. However, an inspection apparatus which does not have a repair means such as a laser and which only analyzes the defective portion 28 by enlarging the defective picture element 26 is provided. Needless to say, it can also be applied to.
Similarly, in this embodiment, the laser 13d is used as the defect correcting means, but it is also possible to use a mechanical correction method using an impact force, for example, using a punch. .
【００５６】また、レーザ照射用顕微鏡システム１３
と、追い込み用ＣＣＤカメラ１６との位置関係は、本実
施例に限定されるものではなく、パネル２を挟んで対向
しておれば、上下が逆でも、水平でも、ユーザが見る側
となる表側からの観察が可能である。The laser irradiation microscope system 13
The positional relationship between the camera and the driving CCD camera 16 is not limited to the present embodiment. If the panel is opposed to the panel 2 with the panel 2 interposed therebetween, it can be turned upside down or horizontally. Observation from is possible.
【００５７】さらに、本実施例の欠陥修正装置において
は、透過照明１５を、表面が面状に光線を反射するよう
に加工されたアクリル等の樹脂１９のエッジ部に、蛍光
管２０を２本配置することで構成されたカードエッジラ
イトからなる構成としてが、これに限定されるものでは
なく、以下に示すような構成も採用可能である。Further, in the defect repairing apparatus of this embodiment, two fluorescent tubes 20 are provided at the edge of a resin 19 such as acrylic which is processed so that the surface reflects light rays in a planar manner. The configuration including the card edge lights configured by the arrangement is not limited to this, and the following configuration can be adopted.
【００５８】例えば、図８（ａ)(ｂ) に示すように、上
記蛍光管（細蛍光管）２０を数本併設し、パネル２と対
向する面に、偏光板２１を貼着することにより構成され
た透過照明１５ａでもよい。これによれば、より一層高
輝度な光源が得られる。For example, as shown in FIGS. 8A and 8B, several fluorescent tubes (fine fluorescent tubes) 20 are provided side by side, and a polarizing plate 21 is attached to a surface facing the panel 2. The configured transmitted illumination 15a may be used. According to this, a light source with even higher luminance can be obtained.
【００５９】また、例えば、図９（ａ)(ｂ) に示すよう
に、細いガラスやプラスティック等でできているファイ
バを編んだファイバ体（網状ファイバ）３２にファイバ
光源３６を設けると共に、パネル２と対向する面に、拡
散板３３と偏光板２１とを順に貼着して構成された透過
照明１５ｂでもよい。これによれば、自身が発光するも
のではないため、長寿命であるという利点を有する。For example, as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b), a fiber light source 36 is provided on a fiber body (net-like fiber) 32 formed by knitting fibers made of thin glass, plastic, or the like. The transmitted light 15b may be configured by adhering the diffusion plate 33 and the polarizing plate 21 in this order to the surface facing the light. According to this, since it does not emit light by itself, it has an advantage of a long life.
【００６０】また、例えば、図１０に示すように、レー
ザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３ｃを切り
換えるための図示しないレンズレボルバに、レンズの代
わりに、光源ランプ（発光体）３４と拡散板３３と偏光
板２１とからなる照明部（第１照明部）４０を設けて構
成された透過照明１５ｃでもよい。これによれば、上記
のようなシリンダ駆動部１８を別途設ける必要がないと
共に、厚さの制限も無くなり、作製し易いという利点を
有する。For example, as shown in FIG. 10, a lens revolver (not shown) for switching the objective lens 13c of the laser irradiation microscope system 13 includes a light source lamp (light emitter) 34 and a diffusion plate 33 instead of a lens. The transmitted illumination 15c may be configured to include an illumination unit (first illumination unit) 40 including the light source and the polarizing plate 21. According to this, there is an advantage that it is not necessary to separately provide the above-described cylinder driving unit 18 and there is no limitation on the thickness, and it is easy to manufacture.
【００６１】また、例えば、図１１に示すように、図１
０（ａ) の照明部４０の光源ランプ３４の代わりに、ミ
ラー（反射板）３７と、ファイバ光源（発光体）３６を
備えた照明部（第２照明部）４１を設けた構成の透過照
明１５ｄでもよい。For example, as shown in FIG.
A transmission illumination having a configuration in which a mirror (reflection plate) 37 and an illumination unit (second illumination unit) 41 having a fiber light source (light emitter) 36 are provided instead of the light source lamp 34 of the illumination unit 40 of FIG. It may be 15d.
【００６２】また、例えば、図１２（ａ)(ｂ) に示すよ
うに、対物レンズ１３ｃの外周に配設されたリング状照
明体（リング状照明）３８と、移動可能に設けられた乱
反射防止板３９と偏光板２１とからなる透過照明１５ｅ
でもよい。この場合、乱反射防止板３９は、パネル２表
面と対物レンズ１３ｃが鏡面で、追い込み用ＣＣＤカメ
ラ１６に対物レンズ１３ｃの像が映ることを阻止するた
めに、必要に応じて挿入されるよう設けられている。こ
れによれば、上記のように、対物レンズ１３ｃと、照明
部４０・４１との間で、レンズレボルバを回転させて切
り換える作業が必要なくなり、操作性がより向上され
る。For example, as shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b), a ring-shaped illumination body (ring-shaped illumination) 38 disposed on the outer periphery of the objective lens 13c and a movable reflection preventing anti-reflection coating. Illumination 15e composed of a plate 39 and a polarizing plate 21
May be. In this case, the diffuse reflection preventing plate 39 is provided so as to be inserted as necessary in order to prevent the image of the objective lens 13c from being reflected on the driving CCD camera 16 when the surface of the panel 2 and the objective lens 13c are mirror surfaces. ing. According to this, as described above, there is no need to rotate and switch the lens revolver between the objective lens 13c and the illumination units 40 and 41, and the operability is further improved.
【００６３】また、例えば、図１３に示すように、対物
レンズ１３ｃの下に配されたペリクルミラー４０と偏光
板２１、及び追い込み用ＣＣＤカメラ１６近傍に配され
た光源ランプ３４とミラー３７から構成された透過照明
１５ｆでもよい。光源ランプ（発光体）３４から照射さ
れた光がミラー（反射板）３７にて屈折され、パネル２
を通過した後ペリクルミラー４０にて反射されるように
し、この反射光が再度、パネル２を通過するようになっ
ている。これによれば、ペリクルミラー４０を使用し、
対物レンズ１３ｃによる観察は支障なく行えるので、普
段は、機械的に移動させる必要がなく、移動機構を全く
必要としない、光源手段となる。Further, for example, as shown in FIG. 13, a pellicle mirror 40 and a polarizing plate 21 arranged below the objective lens 13c, and a light source lamp 34 and a mirror 37 arranged near the driving CCD camera 16 are constituted. The transmitted illumination 15f may be used. Light emitted from a light source lamp (light emitter) 34 is refracted by a mirror (reflection plate) 37 and
After passing through the pellicle mirror 40, and the reflected light passes through the panel 2 again. According to this, the pellicle mirror 40 is used,
Since the observation by the objective lens 13c can be performed without any trouble, the light source means usually does not need to be mechanically moved and does not require any moving mechanism.
【００６４】〔実施例２〕 本発明の他の実施例を図１４及び図１５に基づいて説明
すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記の
実施例の図面に示した部材と同一の機能を有する部材に
は、同一の符号を付記し、その説明を省略する。Embodiment 2 Another embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 14 and 15. For the sake of convenience, members having the same functions as those shown in the drawings of the above-described embodiment will be denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【００６５】本実施例の欠陥修正装置は、追い込み中心
位置２７への欠陥絵素２６の追い込み動作を作業者の手
作業ではなく、画像処理によって自動的に行うようにな
っており、そのため、図１４に示すように、メインコン
トローラ１０は、移動制御手段としての機能も備えてお
り、アライメント画像処理部１１から得た信号に基づい
て、アライメント機構制御部１２を駆動させるだけでな
く、追い込み用ＣＣＤカメラ１６の画像処理部２９から
の信号や、ジョイスティックからの操作を伝える信号が
入力されると共に、レーザコントローラ２３や点灯駆動
信号発生部６、ステージ制御部２４等の駆動を制御する
ようになっている。また、ＣＣＤカメラ１３ａからのビ
デオ信号も、メインコントローラ１０を介して、画像モ
ニタ１７に伝達されるようになっている。The defect correcting apparatus of the present embodiment is configured to automatically perform the operation of driving the defective picture element 26 to the driving center position 27 by image processing instead of the manual operation of the operator. As shown in FIG. 14, the main controller 10 also has a function as a movement control means, and not only drives the alignment mechanism control unit 12 based on a signal obtained from the alignment image processing unit 11 but also drives the drive-in CCD. A signal from the image processing unit 29 of the camera 16 and a signal for transmitting an operation from the joystick are input, and the driving of the laser controller 23, the lighting drive signal generation unit 6, the stage control unit 24, and the like is controlled. I have. Also, a video signal from the CCD camera 13a is transmitted to the image monitor 17 via the main controller 10.
【００６６】上記画像処理部２９は、追い込み用ＣＣＤ
カメラ１６からのビデオ信号に基づいて、従来からある
パターンマッチング法や画像重心算出法等の方法にて、
欠陥絵素２６の検出を行うようになっており、これによ
り、メインコントローラ１０が、画像処理部２９にて検
出された欠陥絵素位置を、予め記憶しているレーザ照射
用顕微鏡システム１３の５０倍の対物レンズ１３ｃの直
下の位置、即ち追い込み中心位置２７との差だけ、Ｘ−
Ｙステージ４を移動させるべく、ステージ制御部２４を
駆動することで、自動的に追い込みを行うことができ
る。The image processing unit 29 includes a driving CCD.
Based on a video signal from the camera 16, a conventional method such as a pattern matching method or an image centroid calculation method is used.
The main controller 10 detects the defective picture element 26, and the main controller 10 stores the defective picture element position detected by the image processing unit 29 in the laser irradiation microscope system 13 in advance. The difference between the position immediately below the double objective lens 13c, that is, the difference from the driving center position 27,
By driving the stage control unit 24 to move the Y stage 4, it is possible to automatically drive in.
【００６７】これにより、作業者は、ジョイスティック
２５を用いて、欠陥絵素２６を追い込み用ＣＣＤカメラ
１６に映る位置にまで移動させるだけで、欠陥絵素２６
を拡大して、欠陥箇所２８の観察ができるようになる。Thus, the operator simply moves the defective picture element 26 to the position shown in the drive-in CCD camera 16 by using the joystick 25.
Can be enlarged so that the defect portion 28 can be observed.
【００６８】また、さらに発展させて、図１５にも示す
ように、パネル２の欠陥部分を作業者が指で示すことが
できるような透明タッチパネル３０を設けることも考え
られる。さすれば、このタッチパネル３０からの信号を
受けて、メインコントローラ１０が、ステージ制御部２
４を駆動することで、欠陥絵素２５を追い込み用ＣＣＤ
カメラ１６に映る位置にまで移動することができるの
で、欠陥部分をさし示す作業の他は、自動的に行われる
ようになる。この場合、タッチパネル３０による入力の
位置精度は、充分追い込み用ＣＣＤカメラ１６の視野範
囲に入る余裕を有している。Further, as a further development, as shown in FIG. 15, it is conceivable to provide a transparent touch panel 30 that allows an operator to indicate a defective portion of the panel 2 with a finger. Then, in response to the signal from the touch panel 30, the main controller 10 causes the stage control unit 2
4 drives the defective picture element 25 to drive the CCD.
Since it can be moved to the position reflected by the camera 16, the operation other than the operation of indicating the defective portion is automatically performed. In this case, the positional accuracy of the input by the touch panel 30 has a sufficient margin within the visual field range of the driving CCD camera 16.
【００６９】また、タッチパネル３０ではなく、別装置
の全面検査装置等からの信号を、外部通信部３１から入
力させることでも、完全に自動化させることができる。Further, the signal can be completely automated by inputting a signal from the external inspection unit 31 instead of the touch panel 30 instead of the touch panel 30.
【００７０】[0070]
【発明の効果】本発明の請求項１記載の薄型表示機器の
検査装置は、以上のように、検査対象の薄型表示機器を
支持すると共に移動させる移動手段と、薄型表示機器を
点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給手段
と、駆動信号が供給されて点灯状態にある薄型表示機器
に対して点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光源
手段と、薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、
点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に用い
られる主観察手段と、主観察手段とは別体からなり、主
観察手段よりも低倍率で広い視野を有すると共に視野内
の所定位置に主観察手段の視野が設定され、薄型表示機
器における点灯不良箇所の捜索に用いられる副観察手段
とを備え、薄型表示機器が液晶表示パネルであり、副観
察手段が液晶表示パネルの表示面側に配置されると共
に、主観察手段が液晶表示パネルの裏面側に配置されて
いる構成である。As described above, the inspection apparatus for a thin display device according to the first aspect of the present invention has a moving means for supporting and moving a thin display device to be inspected and a lighting device for lighting the thin display device. Drive signal supply means for supplying a drive signal; light source means for irradiating the thin display device with the drive signal supplied thereto with light necessary for detecting a defective lighting location on the illuminated display device; to expand,
The main observation means used for observing a defective portion that causes a lighting failure is separate from the main observation means, has a wide field of view at a lower magnification than the main observation means, and performs main observation at a predetermined position in the visual field. And a sub-observing means for setting a field of view of the means and used for searching for a lighting failure point in the thin display device, wherein the thin display device is a liquid crystal display panel,
When the sensing means is arranged on the display surface side of the liquid crystal display panel,
The main observation means is arranged on the back side of the liquid crystal display panel
It is a configuration while creating.
【００７１】[0071]
【００７２】請求項２記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記光源手段が、カードエッジライ
トに偏光板を貼着したものからなる構成である。In the inspection apparatus for a thin display device according to the second aspect, as described above, in the inspection apparatus for a thin display device according to the first aspect , the light source means is obtained by attaching a polarizing plate to a card edge light. It is a configuration consisting of
【００７３】請求項３記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記光源手段が、平行に並べられた
複数の細蛍光管に、偏光板を貼着したものからなる構成
である。According to a third aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for a thin display device according to the first aspect, wherein the light source means comprises a plurality of thin fluorescent tubes arranged in parallel. And a polarizing plate adhered thereto.
【００７４】請求項４記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、検査対象の薄型表示機器を支持する
と共に移動させる移動手段と、薄型表示機器を点灯させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動
信号が供給されて点灯状態にある薄型表示機器に対して
点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光源手段と、
薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良
を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主
観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、
主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野
が設定された副観察手段が設けられ、かつ、光源手段
が、薄い網状ファイバに拡散板と偏光板とを貼着したも
のからなる構成である。According to the fourth aspect of the present invention, as described above, the inspection device for supporting and moving the thin display device to be inspected and the drive signal for lighting the thin display device are supplied. Drive signal supply means, and light source means for irradiating light necessary for detection of a lighting failure location on the thin display device in which the drive signal is supplied and in the lighting state,
In the inspection apparatus for a thin display device having a main observation means used for observing a defective portion that causes a lighting failure by enlarging a lighting failure portion in the thin display device,
Apart from the main observation means, a sub-observation means having a wide field of view at a lower magnification than the main observation means and having the field of view of the main observation means set at a predetermined position in the field of view is provided, and the light source means has a thin net-like shape. This is a configuration in which a diffusion plate and a polarizing plate are attached to a fiber.
【００７５】請求項５記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、検査対象の薄型表示機器を支持する
と共に移動させる移動手段と、薄型表示機器を点灯させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動
信号が供給されて点灯状態にある薄型表示機器に対して
点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光源手段と、
薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良
を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主
観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、
主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野
が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで対向
配設され、かつ、主観察手段が顕微鏡からなり、光源手
段が顕微鏡における対物レンズ切り換え用のレボルバに
取り付けられた、発光体と拡散板と偏光板とを備えた第
１照明部からなる構成である。As described above, the inspection apparatus for a thin display device according to the fifth aspect supplies a moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected and a drive signal for lighting the thin display device. Drive signal supply means, and light source means for irradiating light necessary for detection of a lighting failure location on the thin display device in which the drive signal is supplied and in the lighting state,
In the inspection apparatus for a thin display device having a main observation means used for observing a defective portion that causes a lighting failure by enlarging a lighting failure portion in the thin display device,
Separately from the main observation means, sub-observation means having a wider field of view at a lower magnification than the main observation means and having the field of view of the main observation means set at a predetermined position in the field of view are arranged to face each other with the thin display device interposed therebetween. In addition, the main observation means comprises a microscope, and the light source means comprises a first illuminator provided with a luminous body, a diffusion plate, and a polarizing plate, which is attached to a revolver for switching an objective lens in the microscope.
【００７６】請求項６記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、検査対象の薄型表示機器を支持する
と共に移動させる移動手段と、薄型表示機器を点灯させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動
信号が供給されて点灯状態にある薄型表示機器に対して
点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光源手段と、
薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良
を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主
観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、
主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野
が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで対向
配設され、かつ、上記主観察手段が顕微鏡からなり、光
源手段が、顕微鏡における対物レンズ切り換え用のレボ
ルバに取り付けられた、反射板と拡散板と偏光板とを備
えた第２照明部と、上記反射板に光を照射する発光体と
からなる構成である。According to a sixth aspect of the present invention, as described above, the inspection apparatus for supporting and moving the thin display device to be inspected and the driving signal for lighting the thin display device are supplied. Drive signal supply means, and light source means for irradiating light necessary for detection of a lighting failure location on the thin display device in which the drive signal is supplied and in the lighting state,
In the inspection apparatus for a thin display device having a main observation means used for observing a defective portion that causes a lighting failure by enlarging a lighting failure portion in the thin display device,
Separately from the main observation means, sub-observation means having a wider field of view at a lower magnification than the main observation means and having the field of view of the main observation means set at a predetermined position in the field of view are arranged to face each other with the thin display device interposed therebetween. A second illuminator provided with a reflector, a diffuser, and a polarizer, wherein the main observation means comprises a microscope, and the light source means is attached to a revolver for switching an objective lens in the microscope; And a light-emitting body for irradiating the light.
【００７７】請求項７記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、検査対象の薄型表示機器を支持する
と共に移動させる移動手段と、薄型表示機器を点灯させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動
信号が供給されて点灯状態にある薄型表示機器に対して
点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光源手段と、
薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良
を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主
観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、
主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野
が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで対向
配設され、かつ、主観察手段が顕微鏡からなり、光源手
段が、顕微鏡の対物レンズの外周に設けられたリング状
照明と、各々移動可能に設けられた乱反射防止板と偏光
板とからなる構成である。According to the seventh aspect of the present invention, as described above, the moving means for supporting and moving the thin display device to be inspected and the drive signal for lighting the thin display device are provided. Drive signal supply means, and light source means for irradiating light necessary for detection of a lighting failure location on the thin display device in which the drive signal is supplied and in the lighting state,
In the inspection apparatus for a thin display device having a main observation means used for observing a defective portion that causes a lighting failure by enlarging a lighting failure portion in the thin display device,
Separately from the main observation means, sub-observation means having a wider field of view at a lower magnification than the main observation means and having the field of view of the main observation means set at a predetermined position in the field of view are arranged to face each other with the thin display device interposed therebetween. The main observation means comprises a microscope, and the light source means comprises a ring-shaped illumination provided on the outer periphery of an objective lens of the microscope, and a diffusely-reflective anti-reflection plate and a polarizing plate which are movably provided.
【００７８】請求項８記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、検査対象の薄型表示機器を支持する
と共に移動させる移動手段と、薄型表示機器を点灯させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動
信号が供給されて点灯状態にある薄型表示機器に対して
点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光源手段と、
薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良
を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主
観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、
主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野
が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで対向
配設され、かつ、光源手段が、主観察手段と薄型表示機
器との間に配されたペリクルミラーと偏光板、及び、副
観察手段と同じ側に設けられた反射板と発光体とからな
る構成である。[0078] inspection apparatus thin display apparatus according to claim 8, as described above, and supplies a moving means for moving to support the thin display device to be inspected, a driving signal for turning on the thin display device Drive signal supply means, and light source means for irradiating light necessary for detection of a lighting failure location on the thin display device in which the drive signal is supplied and in the lighting state,
In the inspection apparatus for a thin display device having a main observation means used for observing a defective portion that causes a lighting failure by enlarging a lighting failure portion in the thin display device,
Separately from the main observation means, sub-observation means having a wider field of view at a lower magnification than the main observation means and having the field of view of the main observation means set at a predetermined position in the field of view are arranged to face each other with the thin display device interposed therebetween. Further, the light source means comprises a pellicle mirror and a polarizing plate disposed between the main observation means and the thin display device, and a reflector and a light emitter provided on the same side as the sub observation means. .
【００７９】これにより、広い視野を有する副観察手段
を用いて点灯不良箇所を捜し出し、副観察手段の所定位
置に該点灯不良箇所を取り入れるといった簡単な作業
で、主観察手段の視野内に点灯不良箇所を位置させるこ
とができる。この結果、点灯不良箇所の解析に要する時
間が短くなり、歩留り向上によるコスト削減が効率よく
得られるという効果を奏する。 Thus, the auxiliary observation means having a wide field of view
To find the defective lighting location using the
Simple work such as taking in the defective lighting part
It is necessary to locate defective lighting spots within the field of view of the main observation means.
Can be. As a result, when it is necessary to analyze the defective lighting location
Time is shortened and cost reduction by improving yield is efficient
The effect is obtained .
【００８０】また、副観察手段を使用して、表側、即ち
液晶ディスプレイとしてユーザが液晶表示パネルを見る
面と同じ面からの観察が可能となり、従来の装置では発
見できなかったような薄型表示機器の表側の点灯状態も
検査できるようになるという効果を奏する。Further, by using the sub-observation means, it is possible to observe from the front side, that is, the same surface as the liquid crystal display as the user looks at the liquid crystal display panel, and a thin display device which cannot be found by the conventional device. This has the effect that the lighting state on the front side can be inspected.
【００８１】請求項９記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１，２，３，４，５，
６，７又は８記載の薄型表示機器の検査装置において、
上記副観察手段の視野内に入った画像から、点灯不良箇
所を検出する画像処理部と、上記画像処理部にて検出さ
れた点灯不良箇所が、副観察手段の視野内における主観
察手段の視野が設定されている位置に入るように、移動
手段の駆動を制御する移動制御手段とが備えられている
構成である。As described above, the inspection apparatus for a thin display device according to the ninth aspect is characterized in that
In the inspection device for a thin display device described in 6, 7, or 8 ,
An image processing unit that detects a lighting failure point from an image that is within the field of view of the sub-observation unit, and a lighting failure point detected by the image processing unit is a field of view of the main observation unit within the field of view of the sub-observation unit. And movement control means for controlling the driving of the movement means so as to enter the position where is set.
【００８２】これにより、主観察手段の視野内に欠陥箇
所を位置させるまでの作業がほぼ自動的になされるよう
になるので、この結果、上記請求項１，２，３，４，
５，６，７又は８と同様の効果と共に、検査装置の操作
性をより一層向上できるという効果を奏する。As a result, the work up to the position of the defect within the field of view of the main observation means can be performed almost automatically .
In addition to the effects similar to 5, 6, 7, or 8 , the operability of the inspection device can be further improved.
【００８３】請求項１０記載の薄型表示機器の欠陥修正
装置は、以上のように、上記請求項１，２，３，４，
５，６，７，８又は９記載の薄型表示機器の検査装置が
備えられると共に、さらに、上記検査装置にて検出され
た欠陥箇所を修正するための欠陥修正手段が備えられて
いる構成である。[0083] defect correction apparatus of a thin display apparatus according to claim 1 0, wherein, as described above, the claim 1, 2, 3, 4,
The inspection apparatus for a thin display device described in 5, 6, 7, 8 or 9 is provided, and further, a defect correcting means for correcting a defective portion detected by the inspection apparatus is provided. .
【００８４】このように、上記の検査装置に、さらに、
欠陥修正手段を設けて、欠陥修正装置として構成したた
め、欠陥修正装置においても、上記請求項１，２，３，
４，５，６，７，８又は９記載の検査装置と同様の効果
を奏する。As described above, in addition to the above inspection apparatus,
Since the defect repairing device is provided and configured as a defect repairing device, the defect repairing device can also be configured as described above .
The same effects as those of the inspection apparatus described in 4, 5, 6, 7, 8 or 9 are obtained.
【図１】本発明の一実施例における欠陥修正装置の要部
を模式的に示す正面図である。FIG. 1 is a front view schematically showing a main part of a defect repairing apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】上記欠陥修正装置の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the defect repair device.
【図３】上記欠陥修正装置に備えられた欠陥観察修正部
の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a defect observation and repair unit provided in the defect repair apparatus.
【図４】上記欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 4 shows a main part of the defect observation and correction unit,
FIG. 2A is a perspective view of a transmitted illumination, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a defect observation and repair unit showing an arrangement state of the transmitted illumination.
【図５】パネルの点灯不良箇所を示すパネルの平面図で
ある。FIG. 5 is a plan view of the panel showing a lighting failure portion of the panel.
【図６】（ａ)(ｂ）とも、上記欠陥修正装置に備えられ
た画像モニタに映し出された、追い込み用ＣＣＤカメラ
の視野内の映像を示す説明図である。6 (a) and 6 (b) are explanatory diagrams showing images in the field of view of a driving CCD camera, which are displayed on an image monitor provided in the defect repairing apparatus.
【図７】上記画像モニタに映し出された、レーザ照射用
顕微鏡システムの対物レンズの視野内の映像を示す説明
図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an image in a field of view of an objective lens of the laser irradiation microscope system, which is displayed on the image monitor.
【図８】他の欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 8 shows a main part of another defect observation and correction unit,
FIG. 2A is a perspective view of a transmitted illumination, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a defect observation and repair unit showing an arrangement state of the transmitted illumination.
【図９】他の欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 9 shows a main part of another defect observation and correction unit,
FIG. 2A is a perspective view of a transmitted illumination, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a defect observation and repair unit showing an arrangement state of the transmitted illumination.
【図１０】他の欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 10 is a sectional view of another defect observation and correction unit.
【図１１】他の欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 11 is a sectional view of another defect observation and correction unit.
【図１２】他の欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 12 shows a main part of another defect observation and correction unit,
FIG. 2A is a perspective view of a transmitted illumination, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a defect observation and repair unit showing an arrangement state of the transmitted illumination.
【図１３】他の欠陥観察修正部の断面図である。FIG. 13 is a sectional view of another defect observation and correction unit.
【図１４】本発明の他の実施例における欠陥修正装置の
要部を模式的に示す正面図である。FIG. 14 is a front view schematically showing a main part of a defect repairing apparatus according to another embodiment of the present invention.
【図１５】図１４に示す欠陥修正装置の斜視図である。15 is a perspective view of the defect repairing device shown in FIG.
【図１６】従来の欠陥修正装置の斜視図である。FIG. 16 is a perspective view of a conventional defect repair device.
【図１７】従来の欠陥修正装置の要部を模式的に示す正
面図である。FIG. 17 is a front view schematically showing a main part of a conventional defect repair apparatus.
１ 装置本体 ２ パネル（薄型表示機器） ３ パネル固定部 ４ ＸーＹステージ（移動手段） １０ メインコントローラ（移動制御手段） １３ レーザ照射用顕微鏡システム（主観察手段、欠
陥修正手段） １５ 透過照明（光源手段） １５ａ 透過照明（光源手段） １５ｂ 透過照明（光源手段） １５ｃ 透過照明（光源手段） １５ｄ 透過照明（光源手段） １５ｅ 透過照明（光源手段） １５ｆ 透過照明（光源手段） １６ 追い込み用ＣＣＤカメラ（副観察手段） １７ 画像モニタ ２４ ステージ制御部（移動手段） ２５ ジョイスティック（移動手段） ２６ 欠陥絵素（点灯不良箇所） ２８ 欠陥箇所 ２９ 画像処理部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Device main body 2 Panel (thin display device) 3 Panel fixing part 4 XY stage (movement means) 10 Main controller (movement control means) 13 Laser irradiation microscope system (main observation means, defect correction means) 15 Transmission illumination ( 15a Transmission illumination (light source) 15c Transmission illumination (light source) 15d Transmission illumination (light source) 15e Transmission illumination (light source) 15f Transmission illumination (light source) 16 Drive-in CCD camera (Sub observation means) 17 Image monitor 24 Stage control unit (moving means) 25 Joystick (moving means) 26 Defective picture element (lighting defective part) 28 Defective part 29 Image processing unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02F 1/13 G02B 21/00 G01N 21/21 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields investigated (Int.Cl. 6 , DB name) G02F 1/13 G02B 21/00 G01N 21/21
Claims (10)
移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されて点灯状態にある上記薄型表示機器
に対して、点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光
源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に用いられ
る主観察手段と、 上記主観察手段とは別体からなり、主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観
察手段の視野が設定され、上記薄型表示機器における点
灯不良箇所の捜索に用いられる副観察手段とを備え、 上記薄型表示機器が液晶表示パネルであり、 上記副観察手段が液晶表示パネルの表示面側に配置され
ると共に、上記主観察手段が液晶表示パネルの裏面側に
配置されてい ることを特徴とする薄型表示機器の検査装
置。1. A moving means for supporting and moving a thin display device to be inspected, a drive signal supply means for supplying a drive signal for lighting the thin display device, and a driving signal supplied to a lighting state. for some the thin display device, a light source means for irradiating light necessary for detection of the lighting failure location, expanding the lighting failure point in the thin display device, used in observation of a defect portion which becomes a cause of lighting failure The main observation means, which is separate from the main observation means, has a wide field of view at a lower magnification than the main observation means, and the field of view of the main observation means is set at a predetermined position in the field of view, and a sub-observation means used to search for lighting defective portion, the thin display device is a liquid crystal display panel, the sub-observation means are arranged on the display surface side of the liquid crystal display panel
And the main observation means is on the back side of the liquid crystal display panel.
Arranged optionally inspection apparatus thin display apparatus according to claim Rukoto.
光板を貼着したものからなることを特徴とする上記請求
項１記載の薄型表示機器の検査装置。 2. The method according to claim 1, wherein the light source means is biased toward a card edge light.
The above claim, characterized in that the light board is attached.
Item 2. An inspection device for a thin display device according to item 1.
細蛍光管に、偏光板を貼着したものからなることを特徴
とする上記請求項１記載の薄型表示機器の検査装置。 3. A method according to claim 1, wherein said light source means comprises a plurality of
It consists of a thin fluorescent tube with a polarizing plate attached to it.
The inspection apparatus for a thin display device according to claim 1, wherein
移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されて点灯状態にある上記薄型表示機器
に対して、点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光
源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
不良を引き起こす原因 となる欠陥箇所の観察に使用され
る主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置におい
て、 上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広
い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の
視野が設定された副観察手段が設けられ、 かつ、上記光源手段が、薄い網状ファイバに拡散板と偏
光板とを貼着したものからなることを特徴とする薄型表
示機器の検査装置。 4. Supporting a thin display device to be inspected and
A moving means for moving, and a drive signal for lighting the thin display device.
Drive signal supply means, and the thin display device which is supplied with a drive signal and is turned on
Light that irradiates light necessary to detect defective lighting
Source means, and lighting failure spots in the thin display device
Used for observing defects that cause defects
Inspection equipment for thin display equipment with main observation means
Te, apart from the main observation means, wide at low magnification than the main observation means
The main observation means at a predetermined position in the field of view.
A sub-observation means having a set field of view is provided, and the light source means is provided on a thin mesh fiber with a diffuser and a polarizing plate.
A thin table characterized by being adhered to a light plate
Inspection equipment for indicating equipment.
移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されて点灯状態にある上記薄型表示機器
に対して、点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光
源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用され
る主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置におい
て、 上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広
い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の
視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで
対向配設され、 かつ、上記主観察手段が顕微鏡からなり、上記光源手段
が顕微鏡における対物レンズ切り換え用のレボルバに取
り付けられた、発光体と拡散板と偏光板とを備えた第１
照明部からなることを特徴とする薄型表示機器の検査装
置。 5. A thin display device to be inspected is supported.
A moving means for moving, and a drive signal for lighting the thin display device.
Drive signal supply means, and the thin display device which is supplied with a drive signal and is turned on
Light that irradiates light necessary to detect defective lighting
Source means, and lighting failure spots in the thin display device
Used for observing defects that cause defects
Inspection equipment for thin display equipment with main observation means
Te, apart from the main observation means, wide at low magnification than the main observation means
The main observation means at a predetermined position in the field of view.
The sub-observation means with a set field of view interposes the thin display device
Wherein the main observation means comprises a microscope, and the light source means
Is mounted on a revolver for switching the objective lens in the microscope.
A first light-emitting body, a light-emitting body, a diffusion plate, and a polarizing plate
Inspection equipment for thin display equipment characterized by comprising an illumination part
Place.
移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されて点灯状態にある上記薄型表示機器
に対して、点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光
源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用され
る主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装 置におい
て、 上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広
い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の
視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで
対向配設され、 かつ、上記主観察手段が顕微鏡からなり、上記光源手段
が、顕微鏡における対物レンズ切り換え用のレボルバに
取り付けられた、反射板と拡散板と偏光板とを備えた第
２照明部と、上記反射板に光を照射する発光体とからな
ることを特徴とする薄型表示機器の検査装置。 6. A thin display device to be inspected is supported.
A moving means for moving, and a drive signal for lighting the thin display device.
Drive signal supply means, and the thin display device which is supplied with a drive signal and is turned on
Light that irradiates light necessary to detect defective lighting
Source means, and lighting failure spots in the thin display device
Used for observing defects that cause defects
Inspection equipment smell of flat-panel display device that includes a main observation means that
Te, apart from the main observation means, wide at low magnification than the main observation means
The main observation means at a predetermined position in the field of view.
The sub-observation means with a set field of view interposes the thin display device
Wherein the main observation means comprises a microscope, and the light source means
Becomes a revolver for switching objective lenses in microscopes
Attached, second with reflector, diffuser and polarizer
2 An illumination unit and a illuminator that irradiates the reflector with light.
An inspection apparatus for a thin display device, characterized in that:
移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されて点灯状態にある上記薄型表示機器
に対して、点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光
源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用され
る主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置におい
て、 上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広
い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の
視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで
対向配設され、 かつ、上記主観察手段が顕微鏡からなり、上記光源手段
が、顕微鏡の対物レンズの外周に設けられたリング状照
明と、各々移動可能に設けられた乱反射防止板と偏光板
とからなることを特徴とする薄型表示機器の検査装置。 7. A thin display device to be inspected is supported.
A moving means for moving, and a drive signal for lighting the thin display device.
Drive signal supply means, and the thin display device which is supplied with a drive signal and is turned on
Light that irradiates light necessary to detect defective lighting
Source means, and lighting failure spots in the thin display device
Used for observing defects that cause defects
Inspection equipment for thin display equipment with main observation means
Te, apart from the main observation means, wide at low magnification than the main observation means
The main observation means at a predetermined position in the field of view.
The sub-observation means with a set field of view interposes the thin display device
Wherein the main observation means comprises a microscope, and the light source means
Is a ring-shaped illumination provided on the outer circumference of the microscope objective lens.
Akira and diffusely anti-reflection plate and polarizing plate, each provided movably
An inspection apparatus for a thin display device, comprising:
移動させる移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されて点灯状態にある上記薄型表示機器
に対して、点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する光
源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用され
る主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置におい
て、 上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広
い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の
視野が設定された副観察手段が、薄型表示機器を挟んで
対向配設され、 かつ、上記光源手段が、主観察手段と薄型表示機器との
間に配されたペリクルミラーと偏光板、及び、副観察手
段と同じ側に設けられた反射板と発光体とからなること
を特徴とする薄型表示機器の検査装置。 8. A thin display device to be inspected is supported.
A moving means for moving, and a drive signal for lighting the thin display device.
Drive signal supply means, and the thin display device which is supplied with a drive signal and is turned on
Light that irradiates light necessary to detect defective lighting
Source means, and lighting failure spots in the thin display device
Used for observing defects that cause defects
Inspection equipment for thin display equipment with main observation means
Te, apart from the main observation means, wide at low magnification than the main observation means
The main observation means at a predetermined position in the field of view.
The sub-observation means with a set field of view interposes the thin display device
Are oppositely provided, and the light source means, the main observation means and thin display devices
Pellicle mirror and polarizing plate placed in between, and secondary observation hand
Be composed of a reflector and a luminous body provided on the same side as the step
An inspection device for a thin display device characterized by the following.
ら、点灯不良箇所を検出する画像処理部と、 上記画像処理部にて検出された点灯不良箇所が、副観察
手段の視野内における主観察手段の視野が設定されてい
る位置に入るように、移動手段の駆動を制御する移動制
御手段とが備えられていることを特徴とする上記請求項
１，２，３，４，５，６，７又は８記載の薄型表示機器
の検査装置。 9. An image falling within a field of view of said auxiliary observation means.
Then, an image processing unit that detects a lighting failure location, and a lighting failure location detected by the image processing unit are sub-observed.
The field of view of the main observation means within the field of view of the means is set
Movement control that controls the driving of the moving means so that
And a control means.
Thin display device according to 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 or 8
Inspection equipment.
７，８又は９記載の薄型表示機器の検査装置が備えられ
ると共に、さらに、上記検査装置にて検出された欠陥箇
所を修正するための欠陥修正手段が備えられていること
を特徴とする薄型表示機器の欠陥修正装置。 10. The method of claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, or 7.
An inspection device for a thin display device described in 7, 8, or 9 is provided.
As well as the defect
Defect remediation means to correct the location
A defect correction device for a thin display device, characterized by the following.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12167693A JP2963598B2 (en) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | Inspection device and defect repair device for thin display devices |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12167693A JP2963598B2 (en) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | Inspection device and defect repair device for thin display devices |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331945A JPH06331945A (en) | 1994-12-02 |
| JP2963598B2 true JP2963598B2 (en) | 1999-10-18 |
Family
ID=14817128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12167693A Expired - Fee Related JP2963598B2 (en) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | Inspection device and defect repair device for thin display devices |
Country Status (1)
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| KR100843620B1 (en) * | 2007-01-11 | 2008-07-03 | 주식회사 코윈디에스티 | Microscope unit for the inspection / processing, and, a method |
| WO2009154105A1 (en) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 日本電気硝子株式会社 | Method for evaluating luminance nonuniformity of display glass substrate, method for manufacturing display glass substrate, and display glass substrate wherein luminance nonuniformity is not easily generated |
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1993
- 1993-05-24 JP JP12167693A patent/JP2963598B2/en not_active Expired - Fee Related
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