JP2960591B2

JP2960591B2 - 炭化ケイ素−窒化ケイ素−混合酸化物系焼結体およびその製造方法

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Publication number: JP2960591B2
Application number: JP3273605A
Authority: JP
Inventors: 守大森; 敏雄平井
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1991-09-26
Filing date: 1991-09-26
Publication date: 1999-10-06
Anticipated expiration: 2014-10-06
Also published as: JPH0585823A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、強度や信頼性低下の原
因となるセラミックス中のポアやマイクロクラックをな
くすことによって、高い強度と信頼性をもつ炭化ケイ素
（SiＣ）−窒化ケイ素（ Si₃N₄）系酸化物セラミックス
の焼結体に関し、特に、組織的に均一なSiＣ− Si₃N₄−
（Ln-Al-Si）酸化物系焼結体（ただし、Lnは希土類元素
およびそれらの化合物）とこれを製造する方法について
提案する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、セラミックス材料は、高温での
強度が大きく、耐熱性, 耐酸化性および耐食性に優れて
いることから、構造材料として有望である。特に、金属
の使用限界を超えた温度域で使用される構造材料に対
し、かかるセラミックスの応用に多大の関心が寄せられ
ている。こうしたセラミックスの中でも、SiＣおよび S
i₃N₄は、耐熱性や耐酸化性に優れているので、高温下で
使用できる構造材料の１つとして、極めて有望なものの
１つである。

【０００３】しかしながら、このSiＣおよび Si₃N₄は、
焼結しにくいため、助剤の添加なしで緻密な焼結体を得
ることが極めて困難な材料である。このことから、従
来、SiＣ粉および Si₃N₄粉は焼結助剤としてY₂O₃やAl₂O
₃を添加して焼成されていた。ところが、これらの酸化
物の単独あるいは組み合わせたものを焼結助剤として得
られるSiＣ焼結体および Si₃N₄焼結体は、緻密で強度が
大きく、耐酸化性に優れているものの、ジルコニアセラ
ミックスに比べて靱性が低い。その結果、このSiＣ焼結
体および Si₃N₄焼結体を、構造材料として使用するに
は、信頼性の乏しい材料といえるものであった。

【０００４】これに対して、SiＣを他のセラミックスと
複合化することにより、SiＣ焼結体の強度および靱性値
を向上させ信頼性を改善する技術が、先に、本発明者ら
の一人によって提案されている。例えば、無加圧下の焼
結によって、緻密なSiＣ−希土類酸化物−アルミナ系複
合焼結体を製造する技術が、大森や武居らの報告にかか
る「J,Am.Ceram.Soc., 65 (1982) C-92 」で提案されて
いる。また、 Si₃N₄結晶を異方的に成長させることによ
り、 Si₃N₄焼結体の靱性値を向上させ信頼性を改善する
技術が、川島ら（川島健，岡本寛巳，山本秀治，北村
昭、窒化珪素セラミックス２、内田老鶴圃、Ｐ135 〜14
6 ）によって提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記方法で
合成されるSiＣ焼結体および Si₃N₄焼結体は、焼結体内
部に常に欠陥が存在し、それを起点に破壊がおこるため
に、未だ材料としての信頼性に欠け、実用上は大きな問
題点を抱えていた。

【０００６】このSiＣ粉および Si₃N₄粉と希土類酸化物
−アルミナ系粉体との焼結体の生成機構は次のように考
えられる。まず、無加圧焼結の第１段階で、希土類酸化
物とアルミナから酸化物固溶体、あるいは酸化物の化合
物を生成する。次いで、第２段階では、上記SiＣおよび
Si₃N₄が前記酸化物中に固溶, 拡散してSiＣ粒およびSi
₃N₄粒の粒成長が図られ収縮して緻密な焼結体が生成す
る。

【０００７】しかしながら、前記第２段階では、SiＣ粉
および Si₃N₄粉は酸化物に固溶すると同時に化学反応が
起こり、SiＣおよび Si₃N₄がアルミナと反応して分解
し、CO,CO₂およびNOなどのガスを発生する。その結果、
焼結体中にボイドやポアなどの欠陥が生じ、SiＣおよび
Si₃N₄と酸化物との界面の強度が低下するという欠点を
招くのである。

【０００８】本発明の目的は、SiＣおよび Si₃N₄と希土
類酸化物−アルミナ系酸化物を焼成してなるSiＣ− Si₃
N₄−希土類酸化物−アルミナ系焼結体について、さら
に、上述したようなボイドやポアなどの欠陥がなく、高
強度で、高い靭性をもつ信頼性の高い焼結体を提供する
と共に、その有利な製造方法についての新規な技術を提
案することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上掲の目的を実現するた
めに鋭意研究した結果、本発明者らは、希土類酸化物−
アルミナ系酸化物に、さらに、シリカを混合することに
より、希土類酸化物−アルミナ−シリカ系粉体とSiＣお
よび Si₃N₄との混合物焼成を行うこととした。このよう
な混合物焼成では、SiＣおよび Si₃N₄とアルミナとの反
応が抑制されるので、ポアの生成が減少し、かつSiＣお
よび Si₃N₄と酸化物との焼結も穏やかに進行するため、
緻密な焼結体が得られやすいことが判った。

【００１０】すなわち、本発明は、希土類酸化物95〜５
wt％，アルミナ4.9 〜94.9wt％およびシリカ0.1 〜10wt
％からなる混合酸化物５〜95wt％と；粉もしくはウイス
カー，またはこれらの混合物にかかるSiＣ90〜５wt％と
粉もしくはウイスカー，またはこれらの混合物にかかる
Si₃N₄10〜95wt％からなる非酸化物混合物95〜５wt％
と；の混合物を成形し、その後、この成形体を非酸化性
雰囲気中において、５〜2000℃／分の昇温速度にて加熱
し、1500〜1900℃の温度域で0.1 〜600 分間保持して焼
成を行うことを特徴とするSiＣ− Si₃N₄−（Ln-Al-Si）
酸化物焼結体の製造方法と、これによって合成されるSi
Ｃ− Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化物焼結体、ならびに、Ln
₄Al₂O₉もしくはLnAlO₃（ただし、Lnは希土類金属および
それらの化合物）99.9〜90wt％とシリカ0.1 〜10wt％と
の混合物５〜95wt％と；粉もしくはウイスカー，または
これらの混合物にかかるSiＣ90〜５wt％と粉もしくはウ
イスカー，またはこれらの混合物にかかるSi₃N₄10〜95
wt％からなる非酸化物混合物95〜５wt％と；の混合物を
成形し、その後、この成形体を非酸化性雰囲気中におい
て、５〜2000℃／分の昇温速度にて加熱し、1500〜1900
℃の温度域で0.1 〜600 分間保持して焼成を行うことを
特徴とするSiＣ− Si₃N₄−（Ln-Al-Si）酸化物焼結体の
製造方法と、これによって合成されるSiＣ− Si₃N₄−
（Ln-Al-Si）酸化物焼結体である。

【００１１】

【作用】一般に、他の酸化物セラミックス中に添加する
シリカは、融点が1550℃と低く、ガラス状態となって粒
界に析出し、高温強度を低下させると考えられている。
そのために、むしろこのシリカは添加したくない化合物
の１つであった。

【００１２】これに対し、本発明では、このシリカに着
目し、SiＣおよび Si₃N₄と（希土類酸化物−アルミナ−
シリカ系粉体）との混合物にすると焼結が可能となり、
しかも、このシリカは粒界に析出してガラスとなること
もなく、さらには希土類酸化物−アルミナ系に固溶する
か、固溶量以上に存在する場合は、希土類酸化物あるい
はアルミナと反応してシリケイト化合物を作るので、高
温強度を低下させるような問題が生じないことが判っ
た。

【００１３】本発明者らが知見したところによれば、こ
のシリカを他の化合物中に添加することにより、むしろ
緻密な焼結体を得るのに有効に作用し、焼結体の酸化物
部分の強度と靱性を向上させるのに有効である。

【００１４】なお、酸化処理していないSiＣおよび Si₃
N₄の表面に存在する微少量のシリカは、これのみでは、
酸化物の強度と靱性とを上げるのに不十分である。

【００１５】次に、本発明のSiＣ− Si₃N₄−（Ln-Al-S
i）酸化物系焼結体は、希土類酸化物粉 5〜95wt％，ア
ルミナ粉94.9〜4.9 wt％およびシリカ0.1 〜10wt％から
なる混合酸化物５〜95wt％と；粉もしくはウイスカー，
またはこれらの混合物にかかるSiＣと Si₃N₄の非酸化物
混合物95〜５wt％とを混合し焼成して得られるものであ
る。

【００１６】ここで、希土類酸化物粉が５wt％未満で
は、混合酸化物の特性がアルミナ単独の特性に片寄った
ものとなり、SiＣおよびSi₃N₄ との焼結性が悪くなる。
また、アルミナが4.9 wt％未満では、混合酸化物の特性
がほとんど希土類酸化物単独の特性に片寄ったものとな
り、SiＣおよびSi₃N₄ との焼結性は悪くなる。

【００１７】一方、希土類酸化物が95wt％超では、酸化
物の性質が希土類酸化物と変わらなくなり、アルミナが
94.9wt％超では、酸化物の性質がアルミナと変わらなく
なる。従って、この希土類酸化物粉とアルミナは、上記
範囲に限定されるのである。

【００１８】また、シリカの添加量が、0.1 wt％未満で
は、焼結体の結晶粒の異常成長を抑制できないため、焼
結体の酸化物部分の強度と靱性が小さく、緻密な焼結体
を得ることができない。一方、このシリカの添加量が、
10wt％超では、添加効果は変わらないが、固溶量より多
いシリカが希土類酸化物あるいはアルミナと反応してシ
リケイト化合物を形成するため、却って好ましくない。
従って、シリカの添加量は、上記の範囲0.1 〜10wt％に
限定されるのである。

【００１９】さらに、前記混合酸化物の量が、５wt％未
満では、SiＣおよび Si₃N₄との焼結性は悪くなり緻密な
焼結体を得ることができない。一方、SiＣと Si₃N₄から
なる非酸化物混合物の量が、５wt％未満，すなわち混合
酸化物の量が95wt％超では、SiＣおよび Si₃N₄の添加効
果である硬度と高温強度の優れた焼結体は得られない。
従って、混合酸化物と非酸化物混合物の配合割合は、こ
のように限定したのである。

【００２０】なお、希土類酸化物（Ln₂O₃）としては、
Sc₂O₃,Y₂O₃, La₂O₃, CeO₂, Pr₂O₃,Nd₂O₃, Sm₂O₃,Eu₂O₃,
Gd₂O₃, Tb₂O₃, Dy₂O₃, Ho₂O₃, Er₂O₃, Tm₂O₃, Yb₂O₃,
Lu₂O₃が好適に用いられる。

【００２１】また、前記混合酸化物と非酸化物混合物と
の混合に当っては、粉体の混合あるいは混練に用いられ
る通常の機械を使用することができる。この混合は、乾
式，湿式のどちらでもよく、特に湿式の場合はエチルア
ミン，魚油等の表面活性剤を使用すると効果的に混合で
きる。

【００２２】次に、上述のようにして得られた混合原料
は、一旦乾燥し、引続き所定形状の生成形体を成形す
る。この成形工程では、成形助剤として有機高分子( ポ
リエチレングリコール, ポリビニルアルコール等) を上
記混合原料に添加し、常法の既知成形技術を適用して成
形することができる。

【００２３】次に、本発明製造方法について説明する。
本発明方法は、まず、上述のような混合割合でSiＣおよ
び Si₃N₄と（Ln-Al-Si）混合酸化物との混合物を成形す
る。次いで、その生成形体は、５〜2000℃／分の昇温速
度にて加熱し、1500〜1900℃の温度に、0.1 〜600 分間
保持する焼成処理を行い焼結体とする。

【００２４】上記昇温速度は、５℃／分より遅いと緻密
な焼結体が得られず、一方、2000℃／分より速く昇温す
ることは実情不可能であるので、５〜2000℃／分の範囲
に限定される。

【００２５】また、この焼成温度が、1500℃より低い
と、焼結が不十分なために緻密な焼結体を得ることがで
きず、一方、1900℃より高いとSiＣおよび Si₃N₄とアル
ミナとが反応してポアを形成し緻密化されなくなる。こ
のことから、適性焼成温度の範囲は、1500〜1900℃の範
囲に限定される。

【００２６】次に、焼成時間は、前記焼成温度に関連
し、焼成温度が低い時には長く、また高い時には短くす
ることが好ましいが、0.1 分より短いと焼結が不十分な
ために緻密な焼結体を得ることができず、一方 600分超
では焼結効果がほとんど変わらなくなるか、あるいは、
SiＣおよび Si₃N₄とアルミナとが反応して、却ってポア
を形成するようになるので、0.1 〜600 分の範囲に限定
される。

【００２７】なお、焼成時の雰囲気としては、酸化雰囲
気中では SiCおよび Si₃N₄が酸化されるため、非酸化雰
囲気（例えば、窒素ガスやアルゴンガス，ヘリウムガス
等の不活性ガス）が好ましい。なかでも、窒素ガス雰囲
気が良く、窒素高圧ガス雰囲気では、 Si₃N₄の分解を抑
制できるため、高温で緻密な焼結体を合成するのに有効
である。

【００２８】このようにして得られた本発明の SiC− S
i₃N₄−混合酸化物系焼結体は、 SiCおよびSi₃N₄ と酸化
物が良く焼結し、かつ酸化物の靱性と強度が、従来のシ
リカを含まないものに比べ著しく改善された。

【００２９】次に、本発明によれば、シリカを含む酸化
物とSiC および Si₃N₄を焼成して強度と靱性に優れる高
温でも使用可能な酸化物焼結体を製造する上述のような
技術は、焼成時にマルテンサイト変態を生じるLn₄Al₂O₉
あるいはLnAlO₃なる化合物を主成分とする希土類酸化物
−アルミナ−シリカ系焼結体のときに特に有効である。
すなわち、Ln₄Al₂O₉もしくはLnAlO₃99.9〜90wt％と、シ
リカ粉0.1 〜10wt％からなる混合酸化物５〜95wt％と；
粉もしくはウイスカー，またはこれらの混合物にかかる
SiＣ10〜95wt％と、粉もしくはウイスカー，またはこれ
らの混合物にかかるSi₃N₄90〜５wt％からなる非酸化物
混合物95〜５wt％；を混合して、上述した方法によって
合成される SiC− Si₃N₄−混合酸化物系焼結体は、結晶
粒径が30μｍ以下に制御されているため、マルテンサイ
ト変態によって双晶を生成せず、強度および靱性に優れ
たものであった。

【００３０】その理由は、前記焼結体中の構成粒子に双
晶が生成せず、クラックの進展に伴って初めて少ない数
の双晶が生成するが、この双晶は、クラックの歪みのエ
ネルギーを吸収し、かつ、この双晶面の動きによって
も、この歪みのエネルギーを吸収できるため、前記焼結
体の強度と靱性とを大きくすると考えられる。これは、
従来知られていない強靱化の機構で、発明者らの新規の
発見である。

【００３１】

【実施例】

（実施例１） 150mlの蒸留水と４mlのジエチルアミンの
混合液中に、 Si₃N₄粉30ｇ，SiC ウィスカー30ｇ, Ｙ₂O
₃ 粉71.2ｇ, Al₂O₃粉16.1ｇおよびSiO₂粉 2.7ｇの混合
粉体を入れ、さらに２mlのジエチルアミンを添加し、ボ
ールミルを用いて24時間湿式混合した。次いで、混合液
が10％溶液になるようにポリエチレングリコールを入れ
て３時間攪拌混合した。混合終了後、この懸濁液をスリ
ップキャスト法にて生成形体に成形した。次に、この生
成形体を、空気中で２℃／分の昇温速度で500 ℃まで昇
温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。次いで、この
仮焼試料を、窒素ガス10kgf/cm² の圧力下において50℃
／分の昇温速度で1775℃まで昇温し、1775℃に30分間保
持して焼結体を得た。

【００３２】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1500MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝20MP・
m^1/2であった。

【００３３】（実施例２） 90ml のエチルアルコールと
２mlのジエチルアミンの混合液中に、SiC 粉10ｇ, Si₃N
₄ ウィスカー10ｇ，Yb₂O₃ 粉 69.42ｇ，Al₂O₃粉6.98ｇ
およびSiO₂粉 1.6ｇの混合粉体を入れ、ボールミルを用
いて72時間湿式混合した。混合終了後、60℃に加熱し
て、アルコールを蒸発させ、次いで、５％のポリエチレ
ングリコール水溶液に入れて攪拌混合し、これを乾燥し
た。その後、45×20×５mm³の大きさの生成形体に成形
した。次に、この生成形体を空気中において２℃／分の
昇温速度で500 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して
仮焼した。次いで、この仮焼試料を、窒素ガス中におい
て80℃／分の昇温速度で1700℃まで昇温し、1700℃に５
分間保持して焼結し、さらに窒素ガス100kgf/cm²の圧力
下において、1650℃でHIP 処理して焼結体を得た。

【００３４】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1300MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝18MP・
m^1/2であった。

【００３５】（実施例３） 100mlの蒸留水と1.5ml のジ
エチルアミンの混合液中に、Si₃N₄粉60ｇ，SiC ウィス
カー25ｇ, Gd₂O₃ 粉 12.76ｇ，Al₂O₃粉 1.79 ｇおよび
SiO₂粉0.45ｇの混合粉体を入れ、ボールミルを用いて24
時間湿式混合した。次いで、12ｇのポリエチレングリコ
ールを入れて３時間攪拌混合した。混合終了後、この懸
濁液をスリップキャスト法にて生成形体に成形した。次
に、この生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速
度で500 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼し
た。この仮焼試料を、窒素ガス30kgf/cm²の圧力下にお
いて 400℃／分の昇温速度で1770℃まで昇温し、1770℃
に20分間保持して焼結体を得た。

【００３６】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は 1400MPaであり、破壊靱性値Ｋ_IC＝18MP・
m^1/2であった。

【００３７】（実施例４） 100mlの蒸留水と２mlのジエ
チルアミンの混合液中に、Si₃N₄ 粉40ｇ，SiC ウィスカ
ー20ｇ, Ho₂O₃ 粉 52.34ｇ，Al₂O₃粉 3.75 ｇおよびSi
O₂粉0.6ｇの混合粉体を入れ、ボールミルを用いて24時
間湿式混合した。次いで、12ｇのポリエチレングリコー
ルを入れて３時間攪拌混合した。混合終了後、この懸濁
液をスリップキャスト法にて生成形体に成形した。次
に、この生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速
度で500 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼し
た。この仮焼試料を、窒素ガス10kgf/cm²の圧力下にお
いて50℃／分の昇温速度で1700℃まで昇温し、1700℃で
30分間保持して焼結体を得た。

【００３８】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1500MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝19MP・
m^1/2であった。

【００３９】（実施例５） 100mlの蒸留水と２mlのジエ
チルアミンの混合液中に、Si₃N₄ 粉50ｇ，SiC ウィスカ
ー20ｇ, Sm₂O₃ 粉 25.65ｇ，Al₂O₃粉 3.75 ｇおよびSi
O₂粉0.6ｇの混合粉体を入れ、ボールミルを用いて24時
間湿式混合した。次いで、12ｇのポリエチレングリコー
ルを入れて３時間攪拌混合した。混合終了後、この懸濁
液をスリップキャスト法にて生成形体に成形した。次
に、この生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速
度で500 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼し
た。次いで、この仮焼試料を、窒素ガス10kgf/cm² の圧
力下において80℃／分の昇温速度で1750℃まで昇温し、
1750℃に30分間保持して焼結体を得た。

【００４０】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は1100MPa であり、破壊靱性値Ｋ_IC＝15MP・
m^1/2であった。

【００４１】（実施例６） 100mlの蒸留水と２mlのジエ
チルアミンの混合液中に、 Si₃N₄粉25ｇ，SiC ウィスカ
ー20ｇ, Ｙ₂O₃ 粉 42.36ｇ，Al₂O₃粉7.7 ｇおよびSiO₂
粉 1.1ｇの混合粉体を入れ、ボールミルを用いて24時間
湿式混合した。次いで、12ｇのポリエチレングリコール
を入れて３時間攪拌混合した。混合終了後、この懸濁液
をスリップキャスト法にて生成形体に成形した。次に、
この生成形体を、空気中において２℃／分の昇温速度で
500 ℃まで昇温し、500 ℃で２時間保持して仮焼した。
次いで、この仮焼試料を、窒素ガス100kgf/cm²の圧力下
において ℃／分の昇温速度で1800℃まで昇温し、18
00℃に10分間保持して焼結体を得た。

【００４２】得られた焼結体は、緻密に焼結されてお
り、ポアーはほとんど観察されたかった。また、焼結体
の曲げ強度は 1200MPaであり、破壊靱性値Ｋ_IC＝15MP・
m^1/2であった。

【００４３】このように本発明の方法で得られた SiC−
Si₃N₄−混合酸化物系焼結体は、緻密でポアがなく、平
均結晶粒径30μｍ以下の粒子で構成されている。従っ
て、本発明の焼結体は、曲げ強度については、1000MPa
以上で、破壊靱性値についても、15MP・m^1/2以上であ
り、実用に供されるに充分な強度ならびに破壊靱性値を
有する。しかも、高温でも強度を維持することができる
ので、室温，高温のいずれにおいても、空気中で使用で
きる優れたセラミックス材料を提供できる。

【００４４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、希土
類酸化物−アルミナ−シリカ系の混合酸化物と SiCおよ
び Si₃N₄を焼成して、焼結体の結晶粒径を30μｍ以下に
制御し、ポアの形成を阻止することにより、酸化物焼結
体の優れた靱性と SiCおよび Si₃N₄の高温強度に優れた
特性を共に有する，緻密で高い強度と靱性を有する組織
的に均一な SiC− Si₃N₄−混合酸化物系焼結体を容易に
得ることができる。

【００４５】従って、本発明によれば、エンジン部品，
ガスタービン翼，ガスタービン用部品，耐腐食性装置部
品，坩堝，ボールミル用部品，高温炉用熱交換器，耐熱
材，高空飛翔体用耐熱材，燃焼管，ダイカスト用部品，
絶縁材料，核融合炉材料，原子炉用材料，太陽炉材料，
工具，熱遮蔽材料，電子回路用基体，シール材，継手や
バルブ用部品，人工骨や人工歯根等の生体材料，誘電材
料，刃物やカッター刃，スポーツ用品，ポンプ，ノズ
ル，磁気ヘッド，ローラー，ガイド，軸受，フェルー
ル，その他の広い分野で有効に用いられるものを提供で
きる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) C04B 35/10 C04B 35/50 C04B 35/565 C04B 35/584

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】炭化ケイ素90〜５wt％と窒化ケイ素10〜
95wt％からなる非酸化物混合物 95 〜５wt％と、希土類
酸化物95〜５wt％，アルミナ4.9 〜94.9wt％およびシリ
カ0.1 〜10wt％からなる混合酸化物５〜95wt％との焼結
体からなる炭化ケイ素−窒化ケイ素−混合酸化物系焼結
体。
【請求項２】上記混合酸化物が、Ln₄Al₂O₉もしくはLn
AlO₃（ただし、Lnは希土類元素およびそれらの化合物）
99.9〜90wt％とシリカ0.1 〜10wt％からなる請求項１に
記載の焼結体。
【請求項３】炭化ケイ素90〜５wt％と窒化ケイ素10〜
95wt％からなる非酸化物混合物 95 〜５wt％と、希土類
酸化物95〜５wt％，アルミナ4.9 〜94.9wt％およびシリ
カ0.1 〜10wt％からなる混合酸化物５〜95wt％との混合
物を成形し、その後、得られた成形体を非酸化性雰囲気
中において、５〜2000℃／分の昇温速度にて加熱し、15
00〜1900℃の温度域で0.1 〜600 分間保持して焼成を行
うことを特徴とする炭化ケイ素−窒化ケイ素−混合酸化
物系焼結体の製造方法。
【請求項４】上記混合酸化物が、Ln₄Al₂O₉もしくはLn
AlO₃（ただし、Lnは希土類元素およびそれらの化合物）
99.9〜90wt％とシリカ0.1 〜10wt％からなる請求項３に
記載の製造方法。