JP2960374B2 - Piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric oscillator

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JP2960374B2
JP2960374B2 JP9159425A JP15942597A JP2960374B2 JP 2960374 B2 JP2960374 B2 JP 2960374B2 JP 9159425 A JP9159425 A JP 9159425A JP 15942597 A JP15942597 A JP 15942597A JP 2960374 B2 JP2960374 B2 JP 2960374B2
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piezoelectric
piezoelectric oscillator
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祐己 佐藤
修司 近藤
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    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話などの移
動体通信機器の基準周波数源などとして用いることがで
きる圧電発振器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric oscillator which can be used as a reference frequency source for a mobile communication device such as a mobile phone.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6に従来の圧電発振器、ここでは圧電
素子として水晶振動子を用いたものの一例を示す。図6
において、1はプリント基板、2は水晶振動子、3は発
振回路を構成するチップ抵抗やチップコンデンサ、トラ
ンジスタなどのディスクリート部品、4は外部端子とな
る金属端子、5は金属キャップである。水晶振動子2お
よびいくつかのディスクリート部品3が基板1に実装さ
れ、水晶振動子2上に金属キャップ5を被せ、さらに特
別に用意された金属端子4で外部端子を構成するという
構造である。
2. Description of the Related Art FIG. 6 shows an example of a conventional piezoelectric oscillator, in which a quartz oscillator is used as a piezoelectric element. FIG.
In the figure, 1 is a printed circuit board, 2 is a crystal oscillator, 3 is a discrete component such as a chip resistor, a chip capacitor, and a transistor constituting an oscillation circuit, 4 is a metal terminal serving as an external terminal, and 5 is a metal cap. The crystal oscillator 2 and some discrete components 3 are mounted on a substrate 1, a metal cap 5 is put on the crystal oscillator 2, and an external terminal is constituted by a specially prepared metal terminal 4.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の構
成では、発振回路が電磁界的に遮蔽されておらず、たと
えば該水晶発振器をセット機器のマザーボードに実装す
る際、そのマザーボードの配線パターンさらには近傍に
配置されるデバイスや回路によって発振回路周りの浮遊
容量が一定とならない。発振回路では、発振ループ内に
発生する浮遊容量によって、その発振周波数が変化す
る。つまり、発振回路周りの浮遊容量が安定しないの
で、圧電発振器の重要な特性である出力周波数が一定と
ならないという問題があった。
However, in the above configuration, the oscillation circuit is not electromagnetically shielded. For example, when the crystal oscillator is mounted on the motherboard of a set device, the wiring pattern of the motherboard and the vicinity thereof are not provided. The stray capacitance around the oscillation circuit is not constant due to the devices and circuits arranged in the circuit. In an oscillation circuit, the oscillation frequency changes due to stray capacitance generated in an oscillation loop. That is, since the stray capacitance around the oscillation circuit is not stable, there is a problem that the output frequency, which is an important characteristic of the piezoelectric oscillator, is not constant.

【0004】そこで本発明は出力周波数を安定化するこ
とを目的とするものである。
Therefore, an object of the present invention is to stabilize the output frequency.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は、導電体上に固定されるとともに、発
振回路を構成する集積回路素子を収納した第1のパッケ
ージと、内部に圧電素子を収納するとともに、少なくと
もその上面側にシールド面を有する第2のパッケージと
を備え、第1のパッケージ上に第2のパッケージを一体
化するとともに、第1のパッケージの集積回路素子と第
2のパッケージの圧電素子を電気的に接続したものであ
り、これにより所期の目的を達成するものである。
In order to achieve this object, the present invention provides a first package which is fixed on a conductor and houses an integrated circuit element constituting an oscillating circuit; A second package accommodating the element and having a shield surface at least on an upper surface side thereof, wherein the second package is integrated on the first package, and the integrated circuit element of the first package and the second package are integrated. And the piezoelectric elements of the package are electrically connected, thereby achieving the intended purpose.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、導電体上に固定されるとともに、発振回路を構成す
る集積回路素子を収納した第1のパッケージと、内部に
圧電素子を収納するとともに、少なくともその上面側に
シールド面を有する第2のパッケージとを備え、第1の
パッケージ上に第2のパッケージを一体化するととも
に、第1のパッケージの集積回路素子と第2のパッケー
ジの圧電素子を電気的に接続したものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 of the present invention is characterized in that a first package accommodating an integrated circuit element constituting an oscillating circuit, which is fixed on a conductor, and a piezoelectric element contained therein. A second package having a shield surface on at least an upper surface side of the first package, the second package being integrated on the first package, an integrated circuit element of the first package, and a second package Are electrically connected.

【0007】以上の構成とすれば発振回路を構成する集
積回路素子は、その上下面を第2のパッケージのシール
ド面と第1のパッケージのリードフレームによって覆わ
れているので、電磁界的な遮蔽が行われ、この結果とし
て出力周波数が安定化するのである。
With the above structure, the upper and lower surfaces of the integrated circuit element constituting the oscillation circuit are covered by the shield surface of the second package and the lead frame of the first package, so that electromagnetic shielding is provided. Is performed, and as a result, the output frequency is stabilized.

【0008】また本発明の請求項2の発明は、導電体と
シールド面を電気的に接地した請求項1に記載の圧電発
振器であり、集積回路素子と圧電素子が電磁界的に、よ
り効果的に遮蔽され、出力周波数の安定度が増す。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the piezoelectric oscillator according to the first aspect, wherein the conductor and the shield surface are electrically grounded, and the integrated circuit element and the piezoelectric element are more effective in an electromagnetic field. And the stability of the output frequency is increased.

【0009】また本発明の請求項3の発明は、第2のパ
ッケージのシールド面は、この第2のパッケージの上面
に設けたシールド膜により構成した請求項1または2に
記載の圧電発振器であり、シールド膜によりシールド面
を容易に形成出来ることとなる。
The invention according to claim 3 of the present invention is the piezoelectric oscillator according to claim 1 or 2, wherein the shield surface of the second package is constituted by a shield film provided on the upper surface of the second package. The shield surface can be easily formed by the shield film.

【0010】さらに本発明の請求項4の発明は、第2の
パッケージのシールド面は、第2のパッケージの上面上
に設けた金属キャップにより構成した請求項1または2
に記載の圧電発振器であり、金属キャップの装着により
シールド面を容易に形成出来ることとなる。
Further, according to the invention of claim 4 of the present invention, the shield surface of the second package is constituted by a metal cap provided on the upper surface of the second package.
Wherein the shield surface can be easily formed by mounting the metal cap.

【0011】また本発明の請求項5の発明は、リードフ
レームの一部を第1のパッケージの上面側に延長し、こ
のリードフレームの延長部を介して集積回路素子と圧電
素子を電気的に接続した請求項1〜4のいずれか一つに
記載の圧電発振器であり、集積回路素子と圧電素子の電
気的な接続が容易に行える。
According to a fifth aspect of the present invention, a part of the lead frame is extended toward the upper surface of the first package, and the integrated circuit element and the piezoelectric element are electrically connected to each other through the extension of the lead frame. The piezoelectric oscillator according to any one of claims 1 to 4, wherein an electrical connection between the integrated circuit element and the piezoelectric element can be easily performed.

【0012】さらに本発明の請求項6の発明は、導電体
を印刷などにより積層セラミック上もしくはプリント基
板上に構成した導体層で構成した請求項1〜4のいずれ
か一つに記載の圧電発振器であり、電極パターンを積層
間に構成することができ、集積回路素子と圧電素子の電
気的な接続が容易に行える。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the piezoelectric oscillator according to any one of the first to fourth aspects, wherein the conductor is formed by a conductor layer formed on a laminated ceramic or a printed board by printing or the like. Thus, the electrode pattern can be formed between the stacked layers, and the electrical connection between the integrated circuit element and the piezoelectric element can be easily performed.

【0013】また本発明の請求項7に記載の発明は、圧
電素子として水晶振動子を用いた請求項1〜6のいずれ
か一つに記載の圧電発振器であり、水晶振動子からの出
力周波数を安定化するものである。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the piezoelectric oscillator according to any one of the first to sixth aspects, wherein a quartz oscillator is used as the piezoelectric element. Is to stabilize.

【0014】(実施の形態1)以下、本発明の第1の実
施の形態について図面を参照しながら説明する。
Embodiment 1 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0015】図1、図2において21は水晶振動子31
用の第2のパッケージである。22はモールドされた集
積回路素子36用の第1のパッケージ、23は水晶振動
子31と電気接続を行うための端子、24は第2のパッ
ケージ21の上面と側面に形成されたシールド電極26
と接続するための端子、25はマザー基板と接続するた
めの端子である。
1 and 2, reference numeral 21 denotes a quartz oscillator 31.
A second package for Reference numeral 22 denotes a molded first package for the integrated circuit element 36, 23 denotes a terminal for making electrical connection with the crystal unit 31, and 24 denotes a shield electrode 26 formed on the upper surface and side surfaces of the second package 21.
And 25, a terminal for connecting to the motherboard.

【0016】つまり、水晶振動子31用の第2のパッケ
ージ21は、第1のパッケージ22上に実装固定されて
いる。端子24は電気的に接地された電極であり、シー
ルド電極26に接続され、シールド電極26が電磁界シ
ールド膜として作用するようになっている。また、端子
23は水晶振動子31の出力を取り出すための端子とな
っている。
That is, the second package 21 for the crystal unit 31 is mounted and fixed on the first package 22. The terminal 24 is an electrode that is electrically grounded, and is connected to the shield electrode 26 so that the shield electrode 26 functions as an electromagnetic field shield film. The terminal 23 is a terminal for taking out the output of the crystal unit 31.

【0017】なお図2の33は第2のパッケージ21の
内部を通って水晶振動子31と集積回路素子36を接続
するための内部導体であり、第2のパッケージ21下面
の端子21aを介して端子23と接続されている。34
は容器32と一体となって水晶振動子31を保持するキ
ャビティを構成する蓋材、37は集積回路素子36がそ
の上面に実装されるリードフレームで、このリードフレ
ーム37の延長部である端子23とはワイヤー37aに
よって接続されている。また図1の端子24もリードフ
レーム37の一部の延長部により構成されている。次に
38はエポキシ樹脂などで構成されたモールド材であ
る。
Reference numeral 33 in FIG. 2 denotes an internal conductor for connecting the crystal unit 31 and the integrated circuit element 36 through the inside of the second package 21 and via a terminal 21a on the lower surface of the second package 21. Connected to terminal 23. 34
Reference numeral 37 denotes a lid member which forms a cavity for holding the crystal unit 31 integrally with the container 32. Reference numeral 37 denotes a lead frame on which the integrated circuit element 36 is mounted on the upper surface thereof. Are connected by a wire 37a. The terminal 24 in FIG. 1 is also formed by a part of the extension of the lead frame 37. Next, reference numeral 38 denotes a molding material made of an epoxy resin or the like.

【0018】以上の図1、図2からわかるように、本実
施の形態では水晶振動子31だけでなく発振回路を含む
集積回路素子36が共に、シールド電極26およびリー
ドフレーム37で挟み込まれた構造となっているので、
本圧電発振器をセット機器のマザーボードに実装した
際、そのマザーボードの配線パターンによる電磁界の影
響、さらには近傍に配置される他のデバイスならびに回
路からの電磁界的な影響による周波数の変化をなくすこ
とができる。
As can be seen from FIGS. 1 and 2 described above, in this embodiment, not only the crystal oscillator 31 but also the integrated circuit element 36 including the oscillation circuit is sandwiched between the shield electrode 26 and the lead frame 37. So
When this piezoelectric oscillator is mounted on the motherboard of a set device, eliminate the effects of electromagnetic fields due to the wiring pattern of the motherboard, and the frequency changes due to the electromagnetic field from other devices and circuits located in the vicinity. Can be.

【0019】また、本実施の形態の変形として、図3に
示すようにシールド電極26の代わりに、金属キャップ
41を第2のパッケージ21上に装着しても同様な効果
を得ることができる。
As a modification of the present embodiment, a similar effect can be obtained by mounting a metal cap 41 on the second package 21 instead of the shield electrode 26 as shown in FIG.

【0020】(実施の形態2)以下、本発明の第2の実
施の形態について図面を参照しながら説明する。
Embodiment 2 Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0021】図4、図5において44は水晶振動子42
用の第2のパッケージである。50はモールドされた集
積回路素子49用の第1のパッケージ、46および54
はそれぞれ水晶振動子42と電気接続を行うために第2
のパッケージ44および第1のパッケージ50に設けら
れた端子、47および55はそれぞれ第2のパッケージ
44のシールド電極用金属キャップ41と接続するため
の端子、56はマザー基板と接続するための端子であ
る。
4 and 5, reference numeral 44 denotes a quartz oscillator 42.
A second package for 50 is a first package for the molded integrated circuit element 49, 46 and 54
Are used to make electrical connection with the quartz oscillator 42, respectively.
Terminals provided on the package 44 and the first package 50, terminals 47 and 55 for connecting to the shield electrode metal cap 41 of the second package 44, and terminals 56 for connecting to the motherboard. is there.

【0022】つまり、水晶振動子42用の第2のパッケ
ージ44は、第1のパッケージ50上に実装固定されて
いる。端子55は電気的に接地された電極であり、接続
端子47を介して金属キャップ41に接続され、金属キ
ャップ41が電磁界シールド膜として作用するようにな
っている。また、端子46は水晶振動子42の出力を取
り出すための端子となっている。
That is, the second package 44 for the crystal unit 42 is mounted and fixed on the first package 50. The terminal 55 is an electrode that is electrically grounded, and is connected to the metal cap 41 via the connection terminal 47 so that the metal cap 41 functions as an electromagnetic field shield film. The terminal 46 is a terminal for taking out the output of the crystal unit 42.

【0023】なお、水晶振動子42には励振電極43が
両面に構成され、引き出し部43aおよび電極45を介
し図中には示していない内部電極を通って一方が端子4
6に、他方が端子46と対角の位置に引き出されて第1
のパッケージ50側と接続される。また、金属キャップ
41は、パッケージ44に鑞付けされた金属リング48
にシーム溶接されて内部を気密封止しており、また、金
属リング48が内部電極を介して端子47およびその対
角に位置する端子に接続されて電気的に接地されてい
る。また、励振電極43は、水晶振動子の向きに方向性
がないようにするために、このようなパターンとなって
いる。
Excitation electrodes 43 are formed on both sides of the crystal unit 42. One of the excitation electrodes 43 passes through an internal electrode (not shown) through a lead-out portion 43a and an electrode 45, and one of the terminals 4
6, the other is pulled out to a position diagonal to the terminal 46 so that the first
Is connected to the package 50 side. The metal cap 41 is provided with a metal ring 48 brazed to the package 44.
The inside is hermetically sealed, and a metal ring 48 is connected to a terminal 47 and a terminal located at a diagonal thereof via an internal electrode to be electrically grounded. Further, the excitation electrode 43 has such a pattern so that the direction of the crystal unit does not have any directivity.

【0024】一方、集積回路素子49はダイボンドエリ
ア59に実装され、ワイヤボンド51で、第1のパッケ
ージ50のランド53と接続されている。さらに第1の
パッケージには、電極56、57が形成され、ユーザ使
用の端子およびデバイス作製時に集積回路素子49とデ
ータをやりとりする端子に接続されている。また、第1
のパッケージ50の外形は、端子56、57を構成する
ためにキャスタレーションを有する形状となっている。
On the other hand, the integrated circuit element 49 is mounted on a die bond area 59 and is connected to a land 53 of the first package 50 by a wire bond 51. Further, electrodes 56 and 57 are formed on the first package, and are connected to terminals used by the user and terminals for exchanging data with the integrated circuit element 49 during device fabrication. Also, the first
Of the package 50 has a castellation for forming the terminals 56 and 57.

【0025】さらに、集積回路素子49の上には、保護
のために例えば樹脂などで構成されたコーティング材5
2が構成されている。ここで、第1のパッケージ50は
積層セラミックでできており、その層間には印刷により
電極を形成することができる。ここでは、一例として5
0a、b、c、dの4層で構成された場合を示してお
り、50cと50dの間に内部配線により接地された導
電体58が設けられている。
Further, a coating material 5 made of, for example, resin is provided on the integrated circuit element 49 for protection.
2 are configured. Here, the first package 50 is made of a laminated ceramic, and electrodes can be formed between the layers by printing. Here, as an example, 5
The figure shows a case where it is composed of four layers 0a, b, c and d, and a conductor 58 grounded by an internal wiring is provided between 50c and 50d.

【0026】以上の図4、図5からわかるように、本実
施の形態では水晶振動子42だけでなく発振回路を含む
集積回路素子49が共に、接地される金属キャップ41
および導電体58で挟み込まれた構造となっているの
で、本圧電発振器をセット機器のマザーボードに実装し
た際、そのマザーボードの配線パターンによる電磁界の
影響、さらには近傍に配置される他のデバイスならびに
回路からの電磁界的な影響による周波数の変化をなくす
ことができる。
As can be seen from FIGS. 4 and 5, in this embodiment, not only the quartz oscillator 42 but also the integrated circuit element 49 including the oscillation circuit are grounded by the metal cap 41.
And the structure sandwiched between the conductors 58, when the present piezoelectric oscillator is mounted on a motherboard of a set device, the influence of an electromagnetic field due to the wiring pattern of the motherboard, and other devices arranged in the vicinity, and It is possible to eliminate a change in frequency due to an electromagnetic field effect from the circuit.

【0027】また、本実施の形態の変形として、図5に
示す導電体58の代わりに、ダイボンドエリア59を構
成する導体のパターンを導電体58と同等に広げて、か
つ接地させても同様な効果が得られる。
Further, as a modification of the present embodiment, the same applies even if the conductor pattern forming the die bond area 59 is expanded to the same extent as the conductor 58 and grounded, instead of the conductor 58 shown in FIG. The effect is obtained.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上のように本発明は導電体上に固定さ
れるとともに、発振回路を構成する集積回路素子を収納
した第1のパッケージと、内部に圧電素子を収納すると
ともに、少なくともその上面側にシールド面を有する第
2のパッケージとを備え、第1のパッケージ上に第2の
パッケージを一体化するとともに、第1のパッケージの
集積回路素子と第2のパッケージの圧電素子を電気的に
接続したものである。
As described above, according to the present invention, a first package accommodating an integrated circuit element constituting an oscillation circuit, which is fixed on a conductor, and a piezoelectric element accommodated therein, and at least an upper surface thereof are provided. A second package having a shield surface on the side, the second package is integrated on the first package, and the integrated circuit element of the first package and the piezoelectric element of the second package are electrically connected to each other. Connected.

【0029】以上の構成とすれば発振回路を構成する集
積回路素子は、その上下面を第2のパッケージのシール
ド面と第1のパッケージのリードフレームによって覆わ
れているので、電磁界的な遮蔽が行われ、この結果とし
て出力周波数が安定化するのである。
With the above arrangement, the integrated circuit element constituting the oscillation circuit is covered with the upper and lower surfaces by the shield surface of the second package and the lead frame of the first package. Is performed, and as a result, the output frequency is stabilized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態の圧電発振器の分解
斜視図
FIG. 1 is an exploded perspective view of a piezoelectric oscillator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同圧電発振器の断面図FIG. 2 is a sectional view of the piezoelectric oscillator.

【図3】本発明の他の実施の形態の圧電発振器の断面図FIG. 3 is a sectional view of a piezoelectric oscillator according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施の形態の圧電発振器の分解
斜視図
FIG. 4 is an exploded perspective view of a piezoelectric oscillator according to a second embodiment of the present invention.

【図5】同圧電発振器の断面図FIG. 5 is a sectional view of the piezoelectric oscillator.

【図6】従来の圧電発振器の断面図FIG. 6 is a sectional view of a conventional piezoelectric oscillator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 第2のパッケージ 22 第1のパッケージ 26 シールド電極 31、42 水晶振動子 36、49 集積回路素子 38 モールド材 41 金属キャップ 21 Second Package 22 First Package 26 Shield Electrode 31, 42 Crystal Resonator 36, 49 Integrated Circuit Element 38 Molding Material 41 Metal Cap

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−14554(JP,A) 特開 平4−259104(JP,A) 特開 平4−334202(JP,A) 特開 平2−125643(JP,A) 実開 昭50−59956(JP,U) 実開 昭54−71962(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H03B 5/00 H03H 9/00 H05K 9/00 Continuation of front page (56) References JP-A-2-14554 (JP, A) JP-A-4-259104 (JP, A) JP-A-4-334202 (JP, A) JP-A-2-125643 (JP) , A) Japanese Utility Model Showa 50-59956 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 54-71962 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H03B 5/00 H03H 9/00 H05K 9/00

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 導電体上に固定されるとともに、発振回
路を構成する集積回路素子を収納した第1のパッケージ
と、内部に圧電素子を収納するとともに、少なくともそ
の上面側にシールド面を有する第2のパッケージとを備
え、第1のパッケージ上に第2のパッケージを一体化す
るとともに、第1のパッケージの集積回路素子と第2の
パッケージの圧電素子を電気的に接続した圧電発振器。
1. A first package fixed on a conductor and containing an integrated circuit element constituting an oscillation circuit, and a first package containing a piezoelectric element therein and having a shield surface on at least an upper surface thereof. A piezoelectric oscillator comprising: a first package; a second package integrated with the first package; and an electrically connected integrated circuit element of the first package and a piezoelectric element of the second package.
【請求項2】 導電体と前記シールド面を電気的に接地
したことを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
2. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein a conductor and the shield surface are electrically grounded.
【請求項3】 第2のパッケージのシールド面は、この
第2のパッケージの上面に設けたシールド膜により構成
した請求項1または2に記載の圧電発振器。
3. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein a shield surface of the second package is constituted by a shield film provided on an upper surface of the second package.
【請求項4】 第2のパッケージのシールド面は、第2
のパッケージの上面上に設けた金属キャップにより構成
した請求項1または2に記載の圧電発振器。
4. The shield surface of the second package is a second package.
3. The piezoelectric oscillator according to claim 1, comprising a metal cap provided on an upper surface of the package.
【請求項5】 導電体をリードフレームで構成し、前記
リードフレームの一部を第1のパッケージの上面側に延
長し、このリードフレームの延長部を介して集積回路素
子と圧電素子を電気的に接続した請求項1〜4のいずれ
か一つに記載の圧電発振器。
5. A conductor is constituted by a lead frame, a part of the lead frame is extended to an upper surface side of the first package, and an integrated circuit element and a piezoelectric element are electrically connected through an extension of the lead frame. The piezoelectric oscillator according to any one of claims 1 to 4, wherein the piezoelectric oscillator is connected to:
【請求項6】 導電体を積層セラミックもしくはプリン
ト基板上に構成した導体膜としたことを特徴とする請求
項1〜4のいずれか一つに記載の圧電発振器。
6. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the conductor is a laminated ceramic or a conductor film formed on a printed circuit board.
【請求項7】 圧電素子として水晶振動子を用いた請求
項1〜6のいずれか一つに記載の圧電発振器。
7. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein a quartz oscillator is used as the piezoelectric element.
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