JP2960258B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超純水製造装置に係り、
ユースポイントでの使用を停止することなくカートリッ
ジポリッシャの交換が行える超純水製造装置に関する。
ユースポイントでの使用を停止することなくカートリッ
ジポリッシャの交換が行える超純水製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の超純水製造装置のブロック
図を示す。１は工業用水等の原水の懸濁物質と有機物の
一部を除去する前処理装置で、原水を前処理装置で処理
し、その処理水を脱塩装置、例えば２床３塔式脱塩装置
２に送る。脱塩装置２はイオン交換装置であって、前処
理装置の処理水中の不純物イオンの除去を行う。３は逆
浸透膜からなるＲＯ装置で、脱塩装置２によりイオンの
除去が行われた処理水中の無機イオン，有機物，微粒子
等の不純物の除去を行う。４は真空脱気装置で、ＲＯ装
置３からの処理水中の溶存酸素を除去する。５は混床式
の脱塩装置で、高純度の純水を製造し、これを一次純水
タンク６に供給する。
図を示す。１は工業用水等の原水の懸濁物質と有機物の
一部を除去する前処理装置で、原水を前処理装置で処理
し、その処理水を脱塩装置、例えば２床３塔式脱塩装置
２に送る。脱塩装置２はイオン交換装置であって、前処
理装置の処理水中の不純物イオンの除去を行う。３は逆
浸透膜からなるＲＯ装置で、脱塩装置２によりイオンの
除去が行われた処理水中の無機イオン，有機物，微粒子
等の不純物の除去を行う。４は真空脱気装置で、ＲＯ装
置３からの処理水中の溶存酸素を除去する。５は混床式
の脱塩装置で、高純度の純水を製造し、これを一次純水
タンク６に供給する。
【０００３】７は紫外線酸化装置で、一次純水タンク６
からの純水に紫外線を照射し、純水中の有機物又は有機
酸までも酸化分解すると共に、バクテリア殺菌を行う。
からの純水に紫外線を照射し、純水中の有機物又は有機
酸までも酸化分解すると共に、バクテリア殺菌を行う。
【０００４】８は混床カートリッジ方式のイオン交換装
置であるカートリッジポリッシャであって、供給される
イオン負荷が殆どない超純水に近い純水中のイオンをさ
らに除去する。カートリッジポリッシャ８を出た水は、
限外ろ過膜、糖蜜ろ過膜、逆浸透膜等を装着してなる膜
処理装置９で微粒子等が除去されて透過水である超純水
が製造され、供給ライン１１を通ってユースポイント１
０に超純水が供給される。なお、一次純水タンク以前の
装置を通常一次系システムと云い、一次純水タンク以降
の装置を２次系システムと云う。
置であるカートリッジポリッシャであって、供給される
イオン負荷が殆どない超純水に近い純水中のイオンをさ
らに除去する。カートリッジポリッシャ８を出た水は、
限外ろ過膜、糖蜜ろ過膜、逆浸透膜等を装着してなる膜
処理装置９で微粒子等が除去されて透過水である超純水
が製造され、供給ライン１１を通ってユースポイント１
０に超純水が供給される。なお、一次純水タンク以前の
装置を通常一次系システムと云い、一次純水タンク以降
の装置を２次系システムと云う。
【０００５】一方、超純水は、ユースポイントで使用し
ているとき、及び使用していないときでもリターンライ
ン１２を通して一次純水タンク６に戻り、一次純水タン
ク６→紫外線酸化装置７→カートリッジポリッシャ８→
膜処理装置９→供給ライン１１→リターンライン１２→
一次純水タンク６からなる閉ループ内を常時循環してい
る。
ているとき、及び使用していないときでもリターンライ
ン１２を通して一次純水タンク６に戻り、一次純水タン
ク６→紫外線酸化装置７→カートリッジポリッシャ８→
膜処理装置９→供給ライン１１→リターンライン１２→
一次純水タンク６からなる閉ループ内を常時循環してい
る。
【０００６】このように超純水を常時循環させているの
は、例えばユースポイント１０における超純水の不使用
時に運転を停止すると、停止時に配管やシステムを構成
する各ユニット中に水が滞留してバクテリアの増殖が起
きたり、イオン成分や有機物が微量ながら管壁等から溶
出して超純水の水質を劣化させたりする虞があること、
また停止時や再起動時のショックで各ユニットから微粒
子が吐き出されたり、溶出が促進されたりする虞がある
こと、さらに、ユースポイント１０で超純水を使用して
いる場合であっても、ユースポイント１０に送られる超
純水の全部をユースポイント１０で使用してしまうと、
リターンライン１２の配管中に超純水が滞留してやはり
バクテリアの増殖が起きたり、イオン成分等が溶出した
りする虞があるからである。
は、例えばユースポイント１０における超純水の不使用
時に運転を停止すると、停止時に配管やシステムを構成
する各ユニット中に水が滞留してバクテリアの増殖が起
きたり、イオン成分や有機物が微量ながら管壁等から溶
出して超純水の水質を劣化させたりする虞があること、
また停止時や再起動時のショックで各ユニットから微粒
子が吐き出されたり、溶出が促進されたりする虞がある
こと、さらに、ユースポイント１０で超純水を使用して
いる場合であっても、ユースポイント１０に送られる超
純水の全部をユースポイント１０で使用してしまうと、
リターンライン１２の配管中に超純水が滞留してやはり
バクテリアの増殖が起きたり、イオン成分等が溶出した
りする虞があるからである。
【０００７】なお、膜処理装置９の非透過水は非透過水
配管１３を介してＲＯ装置３の入口側に戻される。
配管１３を介してＲＯ装置３の入口側に戻される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の純水製造装置において、いくつかの問題点が
指摘されている。
うな従来の純水製造装置において、いくつかの問題点が
指摘されている。
【０００９】第１は、カートリッジポリッシャ８を交換
する際、超純水の製造を停止する必要があり、その間は
超純水の使用ができなくなり、さらには超純水の循環が
行えず、各ユニット等に水の滞留を招くという問題があ
る。
する際、超純水の製造を停止する必要があり、その間は
超純水の使用ができなくなり、さらには超純水の循環が
行えず、各ユニット等に水の滞留を招くという問題があ
る。
【００１０】第２は、カートリッジポリッシャ８の交換
後に、そのカートリッジポリッシャを洗浄する洗浄水は
微量のイオン成分が残留している一次純水タンク６から
の一次純水であるため、その分イオン交換能力を消費す
るという問題がある。
後に、そのカートリッジポリッシャを洗浄する洗浄水は
微量のイオン成分が残留している一次純水タンク６から
の一次純水であるため、その分イオン交換能力を消費す
るという問題がある。
【００１１】第３は、膜処理装置９の非透過水は一次純
水よりも純度が高いものであるにもかかわらず、一次系
システムのＲＯ装置３の入口側に戻されているために不
経済となるという問題である。
水よりも純度が高いものであるにもかかわらず、一次系
システムのＲＯ装置３の入口側に戻されているために不
経済となるという問題である。
【００１２】本発明の目的は、このような従来の問題を
解決できる超純水製造装置を提供することにある。
解決できる超純水製造装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の目的を実現する
具体的構成は特許請求の範囲に記載の通りであり、その
一例とするところは、原水の１次処理により純水を製造
する１次系システムと、該１次系システムにより製造さ
れた純水を処理して超純水を製造する循環系をなす２次
系システムとから構成し、該２次系システムは、複数の
カートリッジポリッシャを交互運転可能とするイオン交
換装置と、該イオン交換装置で処理された処理水をさら
に処理する膜処理装置と、該膜処理装置の非透過水を洗
浄水として該前段部の各イオン交換装置に夫々選択的に
通水し、洗浄排水を１次系システムで回収するようにし
た洗浄配管系とから構成したことを特徴とする超純水製
造装置にある。
具体的構成は特許請求の範囲に記載の通りであり、その
一例とするところは、原水の１次処理により純水を製造
する１次系システムと、該１次系システムにより製造さ
れた純水を処理して超純水を製造する循環系をなす２次
系システムとから構成し、該２次系システムは、複数の
カートリッジポリッシャを交互運転可能とするイオン交
換装置と、該イオン交換装置で処理された処理水をさら
に処理する膜処理装置と、該膜処理装置の非透過水を洗
浄水として該前段部の各イオン交換装置に夫々選択的に
通水し、洗浄排水を１次系システムで回収するようにし
た洗浄配管系とから構成したことを特徴とする超純水製
造装置にある。
【００１４】
【作用】上記した構成の超純水製造装置は、２次系シス
テムにおけるカートリッジポリッシャが交換時期にくる
と、このカートリッジポリッシャを使用したまま新しい
カートリッジポリッシャを所定位置に取り付けて同時に
洗浄配管系による洗浄通水が行える。
テムにおけるカートリッジポリッシャが交換時期にくる
と、このカートリッジポリッシャを使用したまま新しい
カートリッジポリッシャを所定位置に取り付けて同時に
洗浄配管系による洗浄通水が行える。
【００１５】
【実施例】図１は、本発明による超純水製造装置の第１
の実施例を示すブロック図である。
の実施例を示すブロック図である。
【００１６】本実施例は、図４に示す従来の超純水製造
装置における前処理装置１、２床３塔式脱塩装置２、Ｒ
Ｏ装置３、真空脱気装置４、混床式脱塩装置５、一次純
水タンク６からなる、所謂一次系システムと同じ構成の
一次系システムを用いているため、その作用等の説明は
省略する。また、図４に示す従来装置における所謂二次
系システムあるいはサブシステムを構成する紫外線酸化
装置７、カートリッジポリッシャ８、膜処理装置９につ
いても、本実施例は同様のものを使用しているので、そ
の作用等の説明は省略する。
装置における前処理装置１、２床３塔式脱塩装置２、Ｒ
Ｏ装置３、真空脱気装置４、混床式脱塩装置５、一次純
水タンク６からなる、所謂一次系システムと同じ構成の
一次系システムを用いているため、その作用等の説明は
省略する。また、図４に示す従来装置における所謂二次
系システムあるいはサブシステムを構成する紫外線酸化
装置７、カートリッジポリッシャ８、膜処理装置９につ
いても、本実施例は同様のものを使用しているので、そ
の作用等の説明は省略する。
【００１７】本実施例は、サブシステムにおけるカート
リッジポリッシャ（以下ＣＰと略す）を２基並列的に配
置し、第１のＣＰ８Ａを再生処理等のために取り外す場
合には、第２のＣＰ８Ｂを使用できるようにしている。
リッジポリッシャ（以下ＣＰと略す）を２基並列的に配
置し、第１のＣＰ８Ａを再生処理等のために取り外す場
合には、第２のＣＰ８Ｂを使用できるようにしている。
【００１８】第１、第２のＣＰ８Ａ、８Ｂの入口側には
夫々弁Ｖ１、Ｖ４が取り付けられ、また出口側には弁Ｖ
８、Ｖ５が夫々取り付けらており、例えば第１のＣＰ８
Ａを取り外す際に、弁Ｖ１と弁Ｖ８を閉じ、弁Ｖ４と弁
Ｖ５を開けば、第２のＣＰ８Ｂによりサブシステムの動
作を中断することなく超純水の製造が行える。
夫々弁Ｖ１、Ｖ４が取り付けられ、また出口側には弁Ｖ
８、Ｖ５が夫々取り付けらており、例えば第１のＣＰ８
Ａを取り外す際に、弁Ｖ１と弁Ｖ８を閉じ、弁Ｖ４と弁
Ｖ５を開けば、第２のＣＰ８Ｂによりサブシステムの動
作を中断することなく超純水の製造が行える。
【００１９】また本実施例は、ＣＰの洗浄水として膜処
理装置９の非透過水を利用するようにしており、非透過
水ライン１３に分岐ライン１３Ａを設け、弁Ｖ９を閉じ
ると非透過水が分岐ライン１３Ａを通って第１のＣＰ８
Ａと第２のＣＰ８Ｂへ供給されるようになっており、弁
Ｖ２を開弁すると第１のＣＰ８Ａに非透過水が供給さ
れ、弁Ｖ３を開弁すると第２のＣＰ８Ｂへ非透過水が供
給される。
理装置９の非透過水を利用するようにしており、非透過
水ライン１３に分岐ライン１３Ａを設け、弁Ｖ９を閉じ
ると非透過水が分岐ライン１３Ａを通って第１のＣＰ８
Ａと第２のＣＰ８Ｂへ供給されるようになっており、弁
Ｖ２を開弁すると第１のＣＰ８Ａに非透過水が供給さ
れ、弁Ｖ３を開弁すると第２のＣＰ８Ｂへ非透過水が供
給される。
【００２０】第１のＣＰ８Ａと第２のＣＰ８Ｂの出口側
には夫々弁Ｖ７と弁Ｖ６が取り付けられ、ＣＰの洗浄排
水を洗浄排水ライン１４を通ってＲＯ装置３の入口側に
戻すようにしている。なお、洗浄の作業のための弁Ｖ
２、Ｖ３、Ｖ６、Ｖ７は常時閉弁されている。
には夫々弁Ｖ７と弁Ｖ６が取り付けられ、ＣＰの洗浄排
水を洗浄排水ライン１４を通ってＲＯ装置３の入口側に
戻すようにしている。なお、洗浄の作業のための弁Ｖ
２、Ｖ３、Ｖ６、Ｖ７は常時閉弁されている。
【００２１】以上のように構成した本実施例の超純水製
造装置を第２のＣＰ８Ｂの交換が必要となった場合を例
にして説明する。
造装置を第２のＣＰ８Ｂの交換が必要となった場合を例
にして説明する。
【００２２】現在の各弁の開閉状態は、Ｖ１−閉、Ｖ２
−閉、Ｖ３−閉、Ｖ４−開、Ｖ５−開、Ｖ６−閉、Ｖ７
−閉、Ｖ８−閉、Ｖ９−開、の状態にある。すなわち、
第２のＣＰ８Ｂによる採水通水工程が行われ、非透過水
はＲＯ装置３の前段にて回収されている。
−閉、Ｖ３−閉、Ｖ４−開、Ｖ５−開、Ｖ６−閉、Ｖ７
−閉、Ｖ８−閉、Ｖ９−開、の状態にある。すなわち、
第２のＣＰ８Ｂによる採水通水工程が行われ、非透過水
はＲＯ装置３の前段にて回収されている。
【００２３】まず、例えば再生処理済の第１のＣＰ８Ａ
を接続部（Ａ）に取り付け、新しいＣＰ８Ａの洗浄通水
工程を行う。この洗浄通水工程は、弁Ｖ２と弁Ｖ７とを
開弁し、洗浄のために非透過水ライン１３の弁Ｖ９を閉
弁して非透過水を分岐ライン１３Ａに通水して第１のＣ
Ｐ８Ａの洗浄を開始し、洗浄排水を洗浄排水ライン１４
を通ってＲＯ装置３の前段で回収する。なお、他の弁は
そのままとし、第２のＣＰ８Ｂの採水工程により超純水
の製造が実行されている。
を接続部（Ａ）に取り付け、新しいＣＰ８Ａの洗浄通水
工程を行う。この洗浄通水工程は、弁Ｖ２と弁Ｖ７とを
開弁し、洗浄のために非透過水ライン１３の弁Ｖ９を閉
弁して非透過水を分岐ライン１３Ａに通水して第１のＣ
Ｐ８Ａの洗浄を開始し、洗浄排水を洗浄排水ライン１４
を通ってＲＯ装置３の前段で回収する。なお、他の弁は
そのままとし、第２のＣＰ８Ｂの採水工程により超純水
の製造が実行されている。
【００２４】次に、使用中の第２のＣＰ８Ｂの採水通水
工程から第１のＣＰ８Ａによる採水通水工程への切換え
のための各弁の開閉を以下に述べる。
工程から第１のＣＰ８Ａによる採水通水工程への切換え
のための各弁の開閉を以下に述べる。
【００２５】Ｖ１−開、Ｖ２−閉、Ｖ３−閉、Ｖ４−
閉、Ｖ５−閉、Ｖ６−閉、Ｖ７−閉、Ｖ８−開、Ｖ９−
開とする。
閉、Ｖ５−閉、Ｖ６−閉、Ｖ７−閉、Ｖ８−開、Ｖ９−
開とする。
【００２６】以上は採水通水中の第２のＣＰ８Ｂから第
１のＣＰ８Ａに切換える手順を説明したが、第１のＣＰ
８Ａの交換時期に達した場合には同様の操作により、第
２のＣＰ８Ｂの取り付けて各弁の開閉を行えばよい。
１のＣＰ８Ａに切換える手順を説明したが、第１のＣＰ
８Ａの交換時期に達した場合には同様の操作により、第
２のＣＰ８Ｂの取り付けて各弁の開閉を行えばよい。
【００２７】図２は第２の実施例を示す。
【００２８】図１に示す第１の実施例では、膜処理装置
９の非透過水を第１、第２のＣＰの洗浄水として利用し
ているが、本実施例ではリターンライン１２に分岐ライ
ン１２Ａを設け、この分岐ライン１２Ａを弁Ｖ２と弁Ｖ
３に夫々接続している。なお、ＣＰの洗浄排水について
は、第１の実施例と同様に洗浄排水ライン１４を通って
ＲＯ装置３の前段に回収される。
９の非透過水を第１、第２のＣＰの洗浄水として利用し
ているが、本実施例ではリターンライン１２に分岐ライ
ン１２Ａを設け、この分岐ライン１２Ａを弁Ｖ２と弁Ｖ
３に夫々接続している。なお、ＣＰの洗浄排水について
は、第１の実施例と同様に洗浄排水ライン１４を通って
ＲＯ装置３の前段に回収される。
【００２９】本実施例は、上記した第１の実施例と同様
のバルブ操作により、カートリッジポリッシャの交換作
業が行えるが、カートリッジポリッシャの洗浄はユース
ポイント１０のリターン水を用いているため、第１の実
施例のように弁Ｖ９を要しない。
のバルブ操作により、カートリッジポリッシャの交換作
業が行えるが、カートリッジポリッシャの洗浄はユース
ポイント１０のリターン水を用いているため、第１の実
施例のように弁Ｖ９を要しない。
【００３０】図３は第３の実施例を示す。
【００３１】本実施例は、カートリッジポリッシャの洗
浄水としてユースポイントのリターン水を用いることに
ついては上記した第２の実施例と同様であるが、洗浄排
水の回収のための配管系を上記した第１、第２の実施例
と同様のＲＯ装置３の前段にて回収する洗浄排水ライン
（以下本実施例では第１の洗浄排水ラインと称す）１４
と、１次純水タンク６に回収する第２の洗浄排水ライン
１５との２系統を有し、洗浄通水工程の初期では第１の
洗浄排水ライン１４により洗浄排水をＲＯ装置３の前段
で回収し、その後の洗浄通水工程の洗浄排水は第２の洗
浄排水ライン１５を用いて１次純水タンク６に回収する
ようにしている。このような２系統の洗浄排水ラインの
切換えは、弁Ｖ１０、弁Ｖ１１及び弁Ｖ１２の３つの弁
の開閉により行っており、以下にＣＰの交換作業の各工
程毎の弁操作を第２のＣＰ８Ｂから第１のＣＰ８Ａに交
換する場合を例にして説明する。
浄水としてユースポイントのリターン水を用いることに
ついては上記した第２の実施例と同様であるが、洗浄排
水の回収のための配管系を上記した第１、第２の実施例
と同様のＲＯ装置３の前段にて回収する洗浄排水ライン
（以下本実施例では第１の洗浄排水ラインと称す）１４
と、１次純水タンク６に回収する第２の洗浄排水ライン
１５との２系統を有し、洗浄通水工程の初期では第１の
洗浄排水ライン１４により洗浄排水をＲＯ装置３の前段
で回収し、その後の洗浄通水工程の洗浄排水は第２の洗
浄排水ライン１５を用いて１次純水タンク６に回収する
ようにしている。このような２系統の洗浄排水ラインの
切換えは、弁Ｖ１０、弁Ｖ１１及び弁Ｖ１２の３つの弁
の開閉により行っており、以下にＣＰの交換作業の各工
程毎の弁操作を第２のＣＰ８Ｂから第１のＣＰ８Ａに交
換する場合を例にして説明する。
【００３２】第２のＣＰ８Ｂの採水通水工程中では、弁
Ｖ１−閉、弁Ｖ２−閉、弁Ｖ３−閉、弁Ｖ４−開、弁Ｖ
５−開、弁Ｖ６−閉、弁Ｖ７−閉、弁Ｖ８−閉、弁Ｖ１
０−閉、弁Ｖ１１−閉、弁Ｖ１２−開、の状態にある。
Ｖ１−閉、弁Ｖ２−閉、弁Ｖ３−閉、弁Ｖ４−開、弁Ｖ
５−開、弁Ｖ６−閉、弁Ｖ７−閉、弁Ｖ８−閉、弁Ｖ１
０−閉、弁Ｖ１１−閉、弁Ｖ１２−開、の状態にある。
【００３３】第２のＣＰ８Ｂの交換時期がくると、接続
部（Ａ）に第１のＣＰ８Ａを接続し、第１のＣＰ８Ａの
洗浄通水初期工程を以下の弁操作により開始する。
部（Ａ）に第１のＣＰ８Ａを接続し、第１のＣＰ８Ａの
洗浄通水初期工程を以下の弁操作により開始する。
【００３４】第１のＣＰ８Ａの洗浄通水初期工程のため
の弁操作は、閉弁状態にある弁Ｖ２、Ｖ７及びＶ１０を
開弁し、開弁状態にある弁Ｖ１２を閉弁し、これら以外
の弁についてはそのままとする。これにより、リターン
ライン１２の分岐ライン１２Ａを通ったリターン水で第
１のＣＰ８Ａを洗浄し、洗浄排水は第１の洗浄排水ライ
ン１４を通ってＲＯ装置３の前段で回収される。
の弁操作は、閉弁状態にある弁Ｖ２、Ｖ７及びＶ１０を
開弁し、開弁状態にある弁Ｖ１２を閉弁し、これら以外
の弁についてはそのままとする。これにより、リターン
ライン１２の分岐ライン１２Ａを通ったリターン水で第
１のＣＰ８Ａを洗浄し、洗浄排水は第１の洗浄排水ライ
ン１４を通ってＲＯ装置３の前段で回収される。
【００３５】この洗浄通水初期工程において時間の経過
に伴って第１のＣＰ８Ａは次第に洗浄されそれに伴って
洗浄排水の純度が上昇してくるので、長時間にわたり洗
浄を実行したい場合、洗浄排水の純度がある程度高くな
ったら、これをＲＯ装置３の前段にて回収することは効
率が悪いため、洗浄排水を第２の洗浄排水ライン１５を
通して１次純水タンク６に回収する。この時には、弁Ｖ
１０を閉じ、弁Ｖ１１を開くことによりこの切換えを行
う。
に伴って第１のＣＰ８Ａは次第に洗浄されそれに伴って
洗浄排水の純度が上昇してくるので、長時間にわたり洗
浄を実行したい場合、洗浄排水の純度がある程度高くな
ったら、これをＲＯ装置３の前段にて回収することは効
率が悪いため、洗浄排水を第２の洗浄排水ライン１５を
通して１次純水タンク６に回収する。この時には、弁Ｖ
１０を閉じ、弁Ｖ１１を開くことによりこの切換えを行
う。
【００３６】第１のＣＰ８Ａの洗浄通水工程を終了して
採水通水工程を開始し、また使用中の第２のＣＰ８Ｂの
採水通水工程の停止は、弁Ｖ１−開、弁Ｖ２−閉、弁Ｖ
３−閉、弁Ｖ４−閉、弁Ｖ５−閉、弁Ｖ６−閉、弁Ｖ７
−閉、弁Ｖ８−開、弁Ｖ１０−閉、弁Ｖ１１−閉、弁Ｖ
１２−開とする。そして、この弁操作の終了後に使用済
の第２のＣＰ８Ｂを取り外す。
採水通水工程を開始し、また使用中の第２のＣＰ８Ｂの
採水通水工程の停止は、弁Ｖ１−開、弁Ｖ２−閉、弁Ｖ
３−閉、弁Ｖ４−閉、弁Ｖ５−閉、弁Ｖ６−閉、弁Ｖ７
−閉、弁Ｖ８−開、弁Ｖ１０−閉、弁Ｖ１１−閉、弁Ｖ
１２−開とする。そして、この弁操作の終了後に使用済
の第２のＣＰ８Ｂを取り外す。
【００３７】以上の各実施例において、１次系にて製造
した純水は１次純水タンク６に貯えておき、リターンラ
イン１２からの超純水を１次純水タンク６に回収して絶
えず循環させているが、１次純水タンクを省略し、その
替わりに循環ポンプを設けるようにしてもよい。
した純水は１次純水タンク６に貯えておき、リターンラ
イン１２からの超純水を１次純水タンク６に回収して絶
えず循環させているが、１次純水タンクを省略し、その
替わりに循環ポンプを設けるようにしてもよい。
【００３８】また、カートリッジポリッシャは２本を並
列に取り付けることができるようにしているが、３本又
はそれ以上であってもよい。
列に取り付けることができるようにしているが、３本又
はそれ以上であってもよい。
【００３９】なお、上述の実施例１〜３においては、説
明の都合上、流路の切換を多数の開閉弁の開閉によって
行うようにしたが、実用的には三方切換弁や４方切換弁
等を使用するとよい。
明の都合上、流路の切換を多数の開閉弁の開閉によって
行うようにしたが、実用的には三方切換弁や４方切換弁
等を使用するとよい。
【００４０】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明によれ
ば、２次系システムに例えば２本のカートリッジポリッ
シャを取り付け可能とした場合、現在使用中のカートリ
ッジポリッシャの交換時期がくると、この古いカートリ
ッジポリッシャを使用したまま新しいカートリッジポリ
ッシャの洗浄通水を行え、システム全体を一時停止する
ことなく新しいカートリッジポリッシャに交換すること
ができる。
ば、２次系システムに例えば２本のカートリッジポリッ
シャを取り付け可能とした場合、現在使用中のカートリ
ッジポリッシャの交換時期がくると、この古いカートリ
ッジポリッシャを使用したまま新しいカートリッジポリ
ッシャの洗浄通水を行え、システム全体を一時停止する
ことなく新しいカートリッジポリッシャに交換すること
ができる。
【００４１】また、カートリッジポリッシャの洗浄水は
膜処理装置の非透過水を用いることにより、かなり高純
度の純水である非透過水を有効利用して効率のよいカー
トリッジポリッシャの洗浄が行える。
膜処理装置の非透過水を用いることにより、かなり高純
度の純水である非透過水を有効利用して効率のよいカー
トリッジポリッシャの洗浄が行える。
【００４２】さらに、カートリッジポリッシャの洗浄水
としては、２次系システムのリターン水を用いることに
より、循環のためのリターン水である超純水による洗浄
で、より一層効率の良いカートリッジポリッシャの洗浄
が行える。その際、洗浄排水を１次系で回収するライン
と、２次系の入口側で回収するラインとを設けることに
より、洗浄初期の比較的純度の低い洗浄排水を１次系で
回収し、その後の比較的純度の高い洗浄排水を２次系の
入口側で回収することで、カートリッジポリッシャの長
時間洗浄の要求を装置全体の効率を落とすことなく実現
することができる。
としては、２次系システムのリターン水を用いることに
より、循環のためのリターン水である超純水による洗浄
で、より一層効率の良いカートリッジポリッシャの洗浄
が行える。その際、洗浄排水を１次系で回収するライン
と、２次系の入口側で回収するラインとを設けることに
より、洗浄初期の比較的純度の低い洗浄排水を１次系で
回収し、その後の比較的純度の高い洗浄排水を２次系の
入口側で回収することで、カートリッジポリッシャの長
時間洗浄の要求を装置全体の効率を落とすことなく実現
することができる。
【図１】本発明による超純水製造装置の第１の実施例を
示すブロック図。
示すブロック図。
【図２】本発明による超純水製造装置の第２の実施例を
示すブロック図。
示すブロック図。
【図３】本発明による超純水製造装置の第３の実施例を
示すブロック図。
示すブロック図。
【図４】従来の超純水製造装置のブロック図。
１ 前処理装置 ２ ２床３塔式脱塩装置 ３ ＲＯ装置 ４ 真空脱気装置 ５ 混床式脱塩装置 ６ 一次純水タンク ７ 紫外線酸化装置 ８Ａ、８Ｂ カートリッジポリッシャ ９ 膜処理装置 １０ ユースポイント １１ 供給ライン １２ リターンライン １２Ａ 分岐ライン １３ 非透過水ライン １３Ａ 分岐ライン １４、１５ 洗浄排水ライン Ｖ１〜Ｖ１２ 弁
Claims (3)
- 【請求項１】 原水の１次処理により純水を製造する１
次系システムと、該１次系システムにより製造された純
水を処理して超純水を製造する循環系をなす２次系シス
テムとから構成し、 該２次系システムは、複数のカートリッジポリッシャを
交互運転可能とするイオン交換装置と、該イオン交換装
置で処理された処理水をさらに処理する膜処理装置と、
該膜処理装置の非透過水を洗浄水として前記各イオン交
換装置に夫々選択的に通水し、洗浄排水を１次系システ
ムで回収するようにした洗浄配管系とから構成したこと
を特徴とする超純水製造装置。 - 【請求項２】 原水の１次処理により純水を製造する１
次系システムと、該１次系システムにより製造された純
水を処理して超純水を製造する循環系をなす２次系シス
テムとから構成し、 該２次系システムは、複数のカートリッジポリッシャを
交互運転可能とするイオン交換装置と、該イオン交換装
置で処理された処理水をさらに処理する膜処理装置と、
ユースポイントよりも下流側のリターン水を洗浄水とし
て該前段部の各イオン交換装置に夫々選択的に通水し、
洗浄排水を１次系システムで回収するようにした洗浄配
管系とから構成したことを特徴とする超純水製造装置。 - 【請求項３】 原水の１次処理により純水を製造する１
次系システムと、該１次系システムにより製造された純
水を処理して超純水を製造する循環系をなす２次系シス
テムとから構成し、 該２次系システムは、複数のカートリッジポリッシャを
交互運転可能とするイオン交換装置と、該イオン交換装
置で処理された処理水をさらに処理する膜処理装置と、
ユースポイントよりも下流側のリターン水を洗浄水とし
て該前段部の各イオン交換装置に夫々選択的に通水し、
洗浄排水を１次系システムで回収するようにした第１の
洗浄配管系と、ユースポイントよりも下流側のリターン
水を洗浄水として該前段部の各イオン交換装置に夫々選
択的に通水し、洗浄排水を２次系システムの入口側で回
収するようにした第２の洗浄配管系とから構成したこと
を特徴とする超純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17717792A JP2960258B2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17717792A JP2960258B2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 超純水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615264A JPH0615264A (ja) | 1994-01-25 |
| JP2960258B2 true JP2960258B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=16026532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17717792A Expired - Fee Related JP2960258B2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 超純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2960258B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4034668B2 (ja) * | 2003-03-04 | 2008-01-16 | オルガノ株式会社 | 超純水製造システムおよびその運転方法 |
| JP6722552B2 (ja) * | 2016-09-05 | 2020-07-15 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 非再生型イオン交換樹脂の洗浄装置及び超純水製造システム |
| JP7171386B2 (ja) * | 2018-11-22 | 2022-11-15 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造装置の立ち上げ方法及び超純水製造装置 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP17717792A patent/JP2960258B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0615264A (ja) | 1994-01-25 |
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