JP2957234B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JP2957234B2 JP2957234B2 JP2159116A JP15911690A JP2957234B2 JP 2957234 B2 JP2957234 B2 JP 2957234B2 JP 2159116 A JP2159116 A JP 2159116A JP 15911690 A JP15911690 A JP 15911690A JP 2957234 B2 JP2957234 B2 JP 2957234B2
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- JP
- Japan
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- laser beam
- exposure
- power
- exposure laser
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- Prior art date
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- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、露光装置に関する。
従来の露光方法および装置は、光ディスク原盤の露光
装置の場合、第２図に示すように、フォトレジスト円盤
１を固着し、回転，移動する回転移動機構２と、露光レ
ーザビーム３をパワーコントロールするパワー制御部４
と、前記パワーコントロールされた露光レーザビーム３
を光変調する変調部５と、前記変調部５からの露光レー
ザビーム３のビーム径を拡大するエキスパンダ11と、こ
のエキスパンダ11からの露光レーザビームとフォーカス
レーザビーム12を集光する光ヘッド14と、この光ヘッド
14により集光された前記フォーカスレーザビーム12のフ
ォトレジスト円盤１からの反射光を検出し、フォーカス
サーボビーム12が常にフォトレジスト円盤１上にあるよ
うに、光ヘッド14にアクチュエータ駆動信号をｄを出力
するフォーカスサーボ手段13とで構成される。
装置の場合、第２図に示すように、フォトレジスト円盤
１を固着し、回転，移動する回転移動機構２と、露光レ
ーザビーム３をパワーコントロールするパワー制御部４
と、前記パワーコントロールされた露光レーザビーム３
を光変調する変調部５と、前記変調部５からの露光レー
ザビーム３のビーム径を拡大するエキスパンダ11と、こ
のエキスパンダ11からの露光レーザビームとフォーカス
レーザビーム12を集光する光ヘッド14と、この光ヘッド
14により集光された前記フォーカスレーザビーム12のフ
ォトレジスト円盤１からの反射光を検出し、フォーカス
サーボビーム12が常にフォトレジスト円盤１上にあるよ
うに、光ヘッド14にアクチュエータ駆動信号をｄを出力
するフォーカスサーボ手段13とで構成される。
例えば、フォトレジスト円盤１の内周上に、露光レー
ザビームを公知のフォーカスサーボ手段13により合焦集
光し、さらに前記回転移動機構２により、前記フォトレ
ジスト円盤１を回転し、前記パワー制御部４によりパワ
ーコントロールされた露光ビームが、前記フォトレジス
ト円盤１上を内周から外周に向けて露光するように回転
移動機構２を制御することによりスパイラル状の露光を
行うことができる。
ザビームを公知のフォーカスサーボ手段13により合焦集
光し、さらに前記回転移動機構２により、前記フォトレ
ジスト円盤１を回転し、前記パワー制御部４によりパワ
ーコントロールされた露光ビームが、前記フォトレジス
ト円盤１上を内周から外周に向けて露光するように回転
移動機構２を制御することによりスパイラル状の露光を
行うことができる。
従って、前記変調部５にON信号を与えることにより、
グループの露光を行い、前記変調部５にON−OFF信号を
与えることにより、ビットの露光を行うことができる。
グループの露光を行い、前記変調部５にON−OFF信号を
与えることにより、ビットの露光を行うことができる。
第３図は第２図に示すパワー制御部４の一例を示すブ
ロック構成図であり、露光レーザビーム３はアナログA/
O変調器20に入射される。アナログA/O変調器20の出射ビ
ームは、ビームサンプラ21により５パーセント程度のビ
ームパワーがサンプリングされ、レーザビーム23とな
り、残りは露光レーザビーム22として出射される。検出
器24は、前記レーザビーム23の光量検出を行い、光量信
号ｆとして出射される。光量信号ｆは、光量補正部25の
入力信号となり、端子100に印加されている設定信号ｅ
と比較し補正をおこなった後、アナログA/O変調器20の
ドライバ26のドライブ入力信号ｇとして印加される。し
たがって、ドライバ26から出力される制御信号ｈにより
アナログA/O変調器20は露光レーザビーム３の制御を行
うことができる。
ロック構成図であり、露光レーザビーム３はアナログA/
O変調器20に入射される。アナログA/O変調器20の出射ビ
ームは、ビームサンプラ21により５パーセント程度のビ
ームパワーがサンプリングされ、レーザビーム23とな
り、残りは露光レーザビーム22として出射される。検出
器24は、前記レーザビーム23の光量検出を行い、光量信
号ｆとして出射される。光量信号ｆは、光量補正部25の
入力信号となり、端子100に印加されている設定信号ｅ
と比較し補正をおこなった後、アナログA/O変調器20の
ドライバ26のドライブ入力信号ｇとして印加される。し
たがって、ドライバ26から出力される制御信号ｈにより
アナログA/O変調器20は露光レーザビーム３の制御を行
うことができる。
例えば、回転数が一定の露光においては、露光レーザ
パワーはフォトレジスト円盤１の内周から外周にかけて
増加する必要があるため、パワー制御部４の設定信号ｅ
はフォトレジスト円盤１の内周から外周にかけて増大す
る。このとき、アナログA/O変調器20から出射される露
光レーザビーム３は設定信号ｅが変化すると位置ズレを
起こすことになる。
パワーはフォトレジスト円盤１の内周から外周にかけて
増加する必要があるため、パワー制御部４の設定信号ｅ
はフォトレジスト円盤１の内周から外周にかけて増大す
る。このとき、アナログA/O変調器20から出射される露
光レーザビーム３は設定信号ｅが変化すると位置ズレを
起こすことになる。
しかしながら、このように上述した従来の露光方法お
よび装置は、パワー制御部により露光レーザビームのパ
ワーコントロールを行う構成となっているため、フォト
レジスト円盤の内周から外周にかけてアナログA/O変調
器のドライバの設定信号を変化させるとアナログA/O変
調器から出射される露光レーザビームは位置ズレを起こ
し、またヘッド出射までの露光レーザビームの光路が長
いため途中の光学素子により、露光レーザビームがケラ
レることにより、ヘッド出射での露光レーザビームの強
度分布が悪化したり、パワー変動をおこすという欠点が
あった。
よび装置は、パワー制御部により露光レーザビームのパ
ワーコントロールを行う構成となっているため、フォト
レジスト円盤の内周から外周にかけてアナログA/O変調
器のドライバの設定信号を変化させるとアナログA/O変
調器から出射される露光レーザビームは位置ズレを起こ
し、またヘッド出射までの露光レーザビームの光路が長
いため途中の光学素子により、露光レーザビームがケラ
レることにより、ヘッド出射での露光レーザビームの強
度分布が悪化したり、パワー変動をおこすという欠点が
あった。
本発明の露光装置は、露光レーザビームを光ヘッドを
介して原盤に照射することにより前記原盤を露光する露
光装置であり、前記露光レーザビームのパワーを制御
し、そのパワー設定値の大小により出射する前記露光レ
ーザビームの光軸の位置が変動するパワー制御部と、パ
ワー制御された露光レーザビームを光変調する変調部
と、このパワー制御部から出射される前記露光レーザビ
ームの光軸の位置ズレ量を検出するセンサ部と、前記位
置ズレ量からこれを補正するのに必要な補正量を算出す
る演算部と、前記補正量による前記露光レーザビームの
光軸の位置ズレを補正して前記光ヘッドに入射させる位
置補正部とを含むことを特徴とする。
介して原盤に照射することにより前記原盤を露光する露
光装置であり、前記露光レーザビームのパワーを制御
し、そのパワー設定値の大小により出射する前記露光レ
ーザビームの光軸の位置が変動するパワー制御部と、パ
ワー制御された露光レーザビームを光変調する変調部
と、このパワー制御部から出射される前記露光レーザビ
ームの光軸の位置ズレ量を検出するセンサ部と、前記位
置ズレ量からこれを補正するのに必要な補正量を算出す
る演算部と、前記補正量による前記露光レーザビームの
光軸の位置ズレを補正して前記光ヘッドに入射させる位
置補正部とを含むことを特徴とする。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック構成図であ
る。
る。
第１図に示す露光装置は、フォトレジスト円盤１を固
着し回転移動する回転移動機構２と、露光レーザビーム
３をパワーコントロールするパワー制御部４と、前記パ
ワーコントロールされた露光レーザビーム３を光変調す
る変調器５と、前記パワーコントロールされた露光レー
ザビームをサンプラを介してサンプリングしたレーザビ
ーム６の位置ズレ量を検出するセンサ部７と、前記セン
サ部７の位置ズレ量から補正量を算出する演算部８と、
前記演算部８の補正量から、前記変調部５の露光レーザ
ビームの位置ズレ量を補正する位置補正部９と、位置ズ
レ補正された露光レーザビーム10のビーム径を拡大する
エキスパンダ11と、前記エキスパンダ11からの露光レー
ザビームとフォーカスビーム12を集光する光ヘッド14
と、この光ヘッド14により集光されて、前記フォーカス
レーザビーム12のフォトレジスト円盤１からの反射光を
検出し、フォーカスレーザビーム12の焦点が常にフォト
レジスト円盤１上にあるように光ヘッド14にアクチュエ
ータ駆動信号ｄを出力するフォーカスサーボ手段13とで
構成されている。
着し回転移動する回転移動機構２と、露光レーザビーム
３をパワーコントロールするパワー制御部４と、前記パ
ワーコントロールされた露光レーザビーム３を光変調す
る変調器５と、前記パワーコントロールされた露光レー
ザビームをサンプラを介してサンプリングしたレーザビ
ーム６の位置ズレ量を検出するセンサ部７と、前記セン
サ部７の位置ズレ量から補正量を算出する演算部８と、
前記演算部８の補正量から、前記変調部５の露光レーザ
ビームの位置ズレ量を補正する位置補正部９と、位置ズ
レ補正された露光レーザビーム10のビーム径を拡大する
エキスパンダ11と、前記エキスパンダ11からの露光レー
ザビームとフォーカスビーム12を集光する光ヘッド14
と、この光ヘッド14により集光されて、前記フォーカス
レーザビーム12のフォトレジスト円盤１からの反射光を
検出し、フォーカスレーザビーム12の焦点が常にフォト
レジスト円盤１上にあるように光ヘッド14にアクチュエ
ータ駆動信号ｄを出力するフォーカスサーボ手段13とで
構成されている。
センサ部７はサンプラによりサンプリングされた露光
レーザビーム６の位置ズレ量を検出し、電圧信号ａとし
て演算部８へ出力する。センサ部７の構成としては、例
えば、一般に市販されている二分割センサを使用した位
置ズレ検出ユニットが使用できる。
レーザビーム６の位置ズレ量を検出し、電圧信号ａとし
て演算部８へ出力する。センサ部７の構成としては、例
えば、一般に市販されている二分割センサを使用した位
置ズレ検出ユニットが使用できる。
演算部８は前記検出された位置ズレ量を補正するため
のデータを演算する。例えば、位置補正部９とXY駆動の
ガルバノミラーを使用すれば、前記演算部８はこのガル
バノミラーに対するXY補正データ信号b,cを出力する。
のデータを演算する。例えば、位置補正部９とXY駆動の
ガルバノミラーを使用すれば、前記演算部８はこのガル
バノミラーに対するXY補正データ信号b,cを出力する。
位置補正部９は、例えばXY駆動のガルバノミラーを使
用して露光レーザビームのあおり調整を行うことによ
り、前記レーザビームの位置ズレの補正が可能となる。
用して露光レーザビームのあおり調整を行うことによ
り、前記レーザビームの位置ズレの補正が可能となる。
〔発明の効果〕 本発明の露光装置は、パワー制御部から出射される露
光レーザビームの位置ズレを検出し、補正することによ
り、ビームの位置ズレにより光学素子で露光レーザビー
ムのケラレをなくすことができるため、ヘッド出射での
露光レーザビームの強度分布をよくし、パワー変動を小
さくできるという効果がある。
光レーザビームの位置ズレを検出し、補正することによ
り、ビームの位置ズレにより光学素子で露光レーザビー
ムのケラレをなくすことができるため、ヘッド出射での
露光レーザビームの強度分布をよくし、パワー変動を小
さくできるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック構成図、第２
図は従来の一例を示すブロック構成図、第３図は第１
図，第２図に示すパワー制御部の一例を示すブロック構
成図である。 １……フォトレジスト円盤、２……回転移動機構、３…
…露光レーザビーム、４……パワー制御部、５……変調
部、６……レーザビーム、７……センサ部、８……演算
部、９……位置補正部、10……レーザビーム、11……エ
キスパンダ、12……フォーカスレーザビーム、13……フ
ォーカスサーボ手段、14……光ヘッド、20……アナログ
A/O変調器、21……サンプリングミラー、22,23……レー
ザビーム、24……検出器、25……光量補正部、26……ド
ライバ、ａ……電圧信号、b,c……補正データ信号、ｄ
……アクチュエータ駆動信号、ｅ……設定信号、ｆ……
光量信号、ｇ……ドライブ入力信号、ｈ……制御信号、
100……端子。
図は従来の一例を示すブロック構成図、第３図は第１
図，第２図に示すパワー制御部の一例を示すブロック構
成図である。 １……フォトレジスト円盤、２……回転移動機構、３…
…露光レーザビーム、４……パワー制御部、５……変調
部、６……レーザビーム、７……センサ部、８……演算
部、９……位置補正部、10……レーザビーム、11……エ
キスパンダ、12……フォーカスレーザビーム、13……フ
ォーカスサーボ手段、14……光ヘッド、20……アナログ
A/O変調器、21……サンプリングミラー、22,23……レー
ザビーム、24……検出器、25……光量補正部、26……ド
ライバ、ａ……電圧信号、b,c……補正データ信号、ｄ
……アクチュエータ駆動信号、ｅ……設定信号、ｆ……
光量信号、ｇ……ドライブ入力信号、ｈ……制御信号、
100……端子。
Claims (2)
- 【請求項１】露光レーザビームを光ヘッドを介して原盤
に照射することにより前記原盤を露光する露光装置であ
り、 前記露光レーザビームのパワーを制御し、そのパワー設
定値の大小により出射する前記露光レーザビームの光軸
の位置が変動するパワー制御部と、 パワー制御された前記露光レーザビームを光変調する変
調部と、 前記パワー制御部から出射される前記露光レーザビーム
の光軸の位置ズレ量を検出するセンサ部と、 前記位置ズレ量からこれを補正するのに必要な補正量を
算出する演算部と、 前記補正量による前記露光レーザビームの光軸の位置ズ
レを補正して前記光ヘッドに入射させる位置補正部とを
含むことを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】前記パワー制御部は、アナログA/O変調器
を含むことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2159116A JP2957234B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2159116A JP2957234B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0449527A JPH0449527A (ja) | 1992-02-18 |
| JP2957234B2 true JP2957234B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=15686591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2159116A Expired - Fee Related JP2957234B2 (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2957234B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2910725B2 (ja) | 1997-04-14 | 1999-06-23 | 日本電気株式会社 | 光ディスク記録システム用記録不良判定装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8601006A (nl) * | 1986-04-21 | 1987-11-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het aftasten van een stralingsgevoelig registratieoppervlak van een roterende schijfvormige drager met behulp van een gemoduleerde stralingsbundel, en optische schrijfinrichting voor het uitvoeren van de werkwijze. |
| JPH01134729A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Hitachi Maxell Ltd | 光デイスク原盤露光装置 |
-
1990
- 1990-06-18 JP JP2159116A patent/JP2957234B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449527A (ja) | 1992-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |