JP2952698B2

JP2952698B2 - 距離の測定装置

Info

Publication number: JP2952698B2
Application number: JP2253803A
Authority: JP
Inventors: 和昭木村; 薫熊谷
Original assignee: TOPUKON KK
Current assignee: TOPUKON KK
Priority date: 1990-09-21
Filing date: 1990-09-21
Publication date: 1999-09-27
Anticipated expiration: 2014-09-27
Also published as: JPH04131788A

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は多重変調信号の位相差と遅延時間を検出する
ことにより、距離を測定する光波距離計に係わり、特
に、１つの周波数で位相差測定測定を行うと共に、遅延
時間の測定を並行して行うことができる距離の測定装置
に関するものである。

「従来の技術」従来の光波距離計は、光波距離計本体と反射器から構
成されており、光波距離計本体から放射された変調波を
反射器で反射させ、反射変調波を再び光波距離計本体で
受光する様に構成されていた。光波距離計本体から放射
された変調波と反射変調波との位相差は、光波距離計と
反射器との距離に反応することから、この位相差を検出
することにより光波距離計と反射器との距離を算出する
様になっていた。

なお近距離測定においては、特に、反射ミラーを設け
ず、測定対象物を反射部とし、これからの反射を利用す
る場合もある。

ところで光波距離計においては、高精度の計測が要求
されるため、比較的短い波長変調波により測定する必要
がある。例えば、±5mm程度の測定精度を得るために
は、精測定用に第１の波長λ_１＝20mを使用する必要が
ある。しかしながら測定距離と位相の関係は、測定距離
が10m（光路長20m）変化するごとに、位相は０〜２πの
範囲で変化する。従って、10mまでの測定を行うことし
かできないことになる。（測定周期10m）。そこで、前
記精測定より測定周期の長い波長であるλ_２を使用し
て、粗測定（大略測定）を行う必要があった。また、更
に遠距離測定を可能とするために、粗測定より測定周期
の長い波長λ_３を使用して、多大略測定を行う様に構成
されていた。

そして、これらの精測定、粗測定（大略測定）、多大
略測定の結果を合成して最終測定結果を得る様になって
いた。即ち、λ_１、λ_２、λ_３の３種の周波数の変調波
を使用して測定を行う光波距離計が知られていた。

「発明が解決しようとする課題」しかしながら上記従来型の光波距離計は、測定周波数
が３種類以上使用しているため、時間毎に各測定波長を
切り替えて測定する必要があり、測定時間が長くなると
いう問題点があった。測定時間の短縮化を図ろうとすれ
ば、各測定周波数での測定時間を短縮化せねばならず、
精度を低下させてしまうという問題点があった。

そこで測定精度を低下させることなく、測定時間を短
縮化させることのできる光波距離計の出現が強く望まれ
ていた。

「課題を解決するための手段」本発明は上記課題に鑑み案出されたもので、測定点に
配置した反射部からの反射光を検出して距離を測定する
ための距離測定装置において、第１周波数及び第２周波
数で多重変調信号を発生させるための信号発生手段と、
該信号発生手段からの信号に基づき変調光を発生させる
ための発光手段と、この発光手段から射出され、測定点
に配置した前記反射部により反射された多重変調光を受
光し、反射多重変調信号を形成するための受光手段と、
前記第１周波数から僅かに異なる第３周波数の第３周期
信号を形成するための第１の局部発振器と、前記第２周
波数から僅かに異なる第４周波数の第４周期信号を形成
するための第２の局部発振器と、前記受光手段からの反
射多重変調信号と前記第３周期信号との第１の合成信号
を形成し、また前記受光手段からの反射多重変調信号と
前記第４周期信号との第２の合成信号を形成するための
混合器と、前記第１の合成信号及び該第２の合成信号か
ら所定の周波数成分の信号とを取り出し、所定周波数成
分の信号と前記信号発生器の発生信号に対応する信号と
の位相差を求める位相差測定手段と、この位相差測定手
段で測定された位相差に基づき、測定点までの距離を精
密測定するするための第１の距離測定手段と、前記発光
手段が発光する変調信号と前記受光手段からの反射多重
変調信号との遅延時間を測定することにより、測定点ま
での距離を粗測定するための第２の距離測定手段とから
構成されている。

また本発明は、測定点に配置した反射部からの反射光
を検出して距離を測定するための距離測定装置におい
て、第１周波数及び第２周波数で多重変調信号を発生さ
せるための信号発生手段と、該信号発生手段からの信号
に基づき変調光を発生させるための発光手段と、この発
光手段から射出され、測定点に配置した前記反射部によ
り反射された多重変調光を受光し、反射多重変調信号を
形成するための受光手段と、前記第１周波数から僅かに
異なる第３周波数の第３周期信号を形成するための第１
の局部発振器と、前記第２周波数から僅かに異なる第４
周波数の第４周期信号を形成するための第２の局部発振
器と、前記受光手段からの反射多重変調信号と前記第３
周期信号との第１の合成信号を形成するための第１の混
合器と、前記受光手段からの反射多重変調信号と前記第
４周期信号との第２の合成信号を形成するための第２の
混合器と、前記第１の合成信号及び該第２の合成信号か
ら所定の周波数成分を取り出すローパスフィルタと、こ
のローパスフィルタで取り出された所定の周波数成分の
信号と前記信号発生器の発生信号に対応する信号との位
相差を求める位相差測定手段と、この位相差測定手段で
測定されたローパスフィルタを通過させた第１の合成信
号と前記信号発生手段の発生信号に対応する信号との位
相差及びローパスフィルタを通過させた第２の合成信号
と前記信号発生手段の発生信号に対応する信号との位相
差とにより、測定点までの距離を精密測定するするため
の第１の距離測定手段と、前記発光手段が発光する変調
信号と前記受光手段からの反射多重変調信号との遅延時
間を測定することにより、測定点までの距離を粗測定す
るための第２の距離測定手段とから構成されている。

「発明の実施の形態」以上の様に構成された本発明は、測定点に配置した反
射部からの反射光を検出して距離を測定するための距離
測定装置であって、信号発生手段が、第１周波数及び第
２周波数で多重変調信号を発生させ、発光手段が、信号
発生手段からの信号に基づき変調光を発生させ、受光手
段が、発光手段から射出され、測定点に配置した反射部
により反射された多重変調光を受光して反射多重変調信
号を形成させ、第１の局部発振器が、第１周波数から僅
かに異なる第３周波数の第３周期信号を形成し、第２の
局部発振器が、第２周波数から僅かに異なる第４周波数
の第４周期信号を形成し、混合器が、発光手段からの反
射多重変調信号と第３周期信号との第１の合成信号を形
成し、また受光手段からの反射多重変調信号と第４周期
信号との第２の合成信号を形成し、位相差測定手段が、
第１の合成信号及び該第２の合成信号から所定の周波数
成分の信号とを取り出し、所定周波数成分の信号と前記
信号発生器の発生信号に対応する信号との位相差を求
め、第１の距離測定手段が、位相差測定手段で測定され
た位相差に基づき、測定点までの距離を精密測定し、第
２の距離測定手段が、発光手段で発光する変調信号と前
記受光手段からの反射多重変更信号との遅延時間を測定
することにより、測定点までの距離を粗測定する様にな
っている。

また本発明は、信号発生手段が、第１周波数及び第２
周波数で多重変調信号を発生させ、発光手段が、信号発
生手段からの信号に基づき変調光を発生させ、受光手段
が、発光手段から射出され、測定点に配置した反射部に
より反射された多重変調光を受光して反射多重変調信号
を形成し、第１の局部発振器が、第１周波数から僅かに
異なる第３周波数の第３周期信号を形成し、第２の局部
発振器が、第２周波数から僅かに異なる第４周波数の第
４周期信号を形成し、第１混合器が、受光手段からの反
射多重変調信号と第３周期信号との第１の合成信号を形
成し、第２の混合器が、受光手段からの反射多重変調信
号と第４周期信号との第２の合成信号を形成し、ローパ
スフィルタが、第１の合成信号及び第２の合成信号から
所定の周波数成分を取り出し、位相差測定手段が、ロー
パスフィルタで取り出された所定の周波数成分の信号と
信号発生器の発生信号で対応する信号との位相差を求
め、第１の距離測定手段が、位相差測定手段で測定され
たローパスフィルタを通過させた第１の合成信号と信号
発生手段の発生信号に対応する信号との位相差及びロー
パスフィルタを通過させた第２の合成信号と信号発生手
段の発生信号に対応する信号との位相差とにより、測定
点までの距離を精密測定し、第２の距離測定手段が、発
光手段が発光する変調信号と受光手段からの反射多重変
調信号との遅延時間を測定することにより、測定点まで
の距離を粗測定する様になっている。

「実施例」本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１図は
本実施例の構成を示すもので、光波距離計は、基準信号
発振器１と、同期回路２と、駆動回路３と、発光手段４
と、受光手段５と、第１の位相差検出手段6Aと、第２の
位相差検出手段6Bと、遅れ時間測定手段７と、マイクロ
コンピュータ８と、分周器９と、アンド回路10とから構
成されている。

基準信号発振器１は信号発生手段に該当するもので、
変調信号を発生させるものである。基準信号発振器１
は、周波数f₁の信号を発振させることができ、更に、第
１の分周器91を介することにより、周波数f₂を供給する
こともできる。同期回路２は、基準信号発振器１からの
周波数f₁及び第１の分周器91からの周波数f₂の論理積出
力を入力し、周波数f₂に同期した信号を形成するための
ものである。

駆動回路３は発光手段４を駆動させるためのものであ
り、同期回路２で同期された信号に基づいて発光手段４
を駆動させることができる。発光手段４は、入力された
駆動信号に基づき変調光を発生させるためのものであ
り、本実施例ではレーザーダイオードが採用されてい
る。受光手段５は、測定点に配置された反射ミラーによ
り反射された変調光を受光するための光電変換素子であ
る。この受光手段５で得られた反射変調信号は、増幅器
51で増幅された後、位相差検出手段６及び遅れ時間測定
手段７に供給される。

位相差検出手段６は位相差測定手段に該当するもの
で、第１の位相差検出手段6Aと第２の位相差検出手段6B
とから構成されている。位相差検出手段６は、発光手段
４が発光する変調信号と受光手段５からの反射多重変調
信号との位相差を検出することにより精密測定を行うた
めのものである。

第１の位相差検出手段6Aは、第１の混合器61Aと、第
１のローパスフィルタ62Aと、第１の波形変換回路63A
と、第１の位相比較回路64Aと、第１の周波数発生器65A
とから構成されている。第１の周波数発生器65Aは第１
の局部発振器に該当するもので、第１の周波数（f₁）か
ら僅かに異なる第３周波数（f₃）の第３周期信号を形成
するためのものである。第１の混合器61Aは、受光手段
からの反射多重変調信号と第３周期信号との第１の合成
信号を形成するためのものである。第１のローパスフィ
ルタ62Aは、第１の合成信号から所定の周波数成分を取
り出すためのものである。第１の位相比較回路64Aは、
第１の合成信号と基準信号発振器１の発生信号に対応す
る信号との位相差を求めるためのものである。

同様に第２の位相差検出手段6Bは、第２の混合器61B
と、第２のローパスフィルタ62Bと、第２の波形変換回
路63Bと、第２の位相比較回路64Bと、第２の周波数発生
器65Bとから構成されている。第２の周波数発生器65Bは
第２の局部発振器に該当するもので、第２周波数（f₂）
から僅かに異なる第４周波数（f₄）の第４周期信号を形
成するためのものである。第２の混合器62Bは、受光手
段からの反射多重変調信号と第４周期信号との第２の合
成信号を形成するためのものである。第２のローパスフ
ィルタ62Bは、第２の合成信号から所定の周波数成分を
取り出すためのものである。第２の位相比較回路64B
は、第２の合成信号と基準信号発振器１の発生信号に対
応する信号との位相然を求めるためのものである。

遅れ時間測定手段７は、発光手段４が発光する変調信
号と受光手段５からの反射多重変調信号との遅れ時間を
測定することにより粗測定を行うためのものであり、比
較器71と、カウンタ72と、基準電圧発生器73とから構成
されている。

マイクロコンピュータ８は、各々の回路の動作を制御
したり、距離の演算等を行うものである。

以上の様に構成された本発明の動作を第１図及び第２
図に基づいて説明する。

基準信号発振器１から周波数f₁の信号がアンド回路10
に供給される。また基準信号発振器１からの周波数f₁の
信号は、第１の分周器91で分周され周波数f₂の信号とな
ってアンド回路10に供給される。従ってアンド回路10
は、基準信号発振器１からの周波数f₁の信号と、第１の
分周器91からの周波数f₂の信号の論理積信号（波形１）
を形成する。そして、この周波数f₁と周波数f₂とが多重
化された信号（即ち、論理積信号）は、同期回路２に供
給されて周波数f₂に同期された信号となる。そしてマイ
クロコンピュータ８から測定開始信号（波形２）が出力
され、同期回路に送出されると、周波数f₁と周波数f₂と
が多重化された信号が駆動手段３に送出されると共に、
スタート信号（波形４）が遅れ時間測定手段７のカウン
タ72に送出される。

駆動手段３は、入力された多重変調信号（波形１）に
基づき発光手段４を駆動させて多重変調光を発生させ
る。そして発光手段４から射出された光は、測定点に配
置された反射ミラーで反射され、受光手段５で受光され
る。受光手段５では光電変換が行われ、反射多重変調信
号が形成される。この反射多重変調信号は第１の増幅器
51で増幅された後、位相差検出手段６に送出される。第
１の増幅器51で増幅された反射変調信号は、更に第２の
増幅器52で増幅され、遅れ時間測定手段７に供給され
る。

まず、遅れ時間測定手段７の動作を説明する。第２の
増幅器52で増幅された反射変調信号（波形５）は、比較
器71に入力される。比較器71は、基準電圧発生回路73か
らの基準電圧と、入力された反射変調信号を比較し、反
射変調信号が基準電圧を越えると、ストップ信号（波形
６）を出力する様になっている。このストップ信号（波
形６）と、スタート信号（波形４）とが、カウンタ72に
入力される様に構成されており、カウンタ72は、スター
ト信号とストップ信号の間に入力される基準信号発振器
１のクロックをカウントする様になっている（波形
７）。このカウントされたクロック数と基準信号発振器
１の周波数とから、マイクロコンピュータ８は、反射器
と光波距離計との距離を演算することができる。

例えば、スタート信号とストップ信号との時間差が25
μｓ、基準信号発振器１の発振周波数が15MHzである場
合には、カウンタ72は「375」を計数する。基準信号発
振器１の１カウント分は20mに相当するので、光波距離
計と反射器との往復距離は、 375×20m＝7500m となり、光波距離計と反射器までの距離は3750mとな
る。

なお周波数f₂を利用した場合も同様な結果が得られ
る。

従って遅れ時間測定手段７とマイクロコンピュータ８
とが、第２の距離測定手段に該当するものである。

次に位相差検出手段６の動作を説明する。第１の増幅
器51で増幅された反射変調信号は、第１の位相差検出手
段6Aと第２の位相差検出手段6Bに供給される。

まず、第１の位相差検出手段6Aの動作を説明する。第
１の周波数発振器65Aが、周波数f₁より僅か周波数f₅異
なる、周波数f₃の信号（f₃＝f₁−f₅）を発振する。この
周波数f₃の信号が第１の混合器61Aに供給され、第１の
増幅器51で増幅された反射変調信号と混合され、周波数
変換が行われる。ここで、第１の混合器61Aの出力信号
（波形11）の成分を示すと以下の様になる。

f₁ f₂ f₅ f₁＋f₂ f₁−f₂ f₁−f₅ f₂＋f₅ f₂−f₅ 2f₁−f₅ f₁＋f₂−f₅ f₁−f₂−f₅ 2f₁−f₂−f₅ 2f₁＋f₂−f₅ そして第１の混合器61Aの出力信号は、第１のローパ
スフィルタ62Aに送られ、所定の周波数であるf₅の信号
のみが通過される。第１のローパスフィルタ62Aを通過
した信号は、第１の波形変換回路63Aで波形整形され
る。（波形９）また基準信号発振器１で発生した周波数f₁の信号は、
第２の分周器92で分周されて周波数f₅′（f₅と同一の周
波数）の信号となり、この周波数f₅′の信号と、第１の
波形変換回路63Aの出力波形である周波数f₅の信号と
が、第１の位相比較回路64Aにより位相差比較がなされ
る。

次に、第２の位相差検出手段6Bの動作を説明する。第
２の周波数発振器65Bが、周波数f₂より僅か周波数f₅異
なる、周波数f₄の信号（f₄＝f₂−f₅）を発振する。この
周波数f₄の信号が第２の混合器61Bに供給され、第１の
増幅器51で増幅された反射変調信号と混合され、周波数
変換が行われる。ここで、第２の混合器61Bの出力信号
（波形12）の成分を示すと以下の様になる。

f₁ f₂ f₅ f₁＋f₂ f₂−f₅ f₁＋f₅ f₁−f₅ f₁−f₂ 2f₂−f₅ f₁＋f₂−f₅ f₁−f₂＋f₅ f₁＋2f₂−f₅ f₁−2f₂＋f₅ そして第２の混合器61Bの出力信号は、第２のローパ
スフィルタ62Bに送られ、所定の周波数であるf₅の信号
のみが通過される。第２のローパスフィルタ62Bを通過
した信号は、第２の波形変換回路63Bで波形整形され
る。（波形10）そして、第２の分周器92で分周されて周波数f₅′の信
号と、第２の波形変換回路63Bの出力波形である周波数f
₅の信号とが、第２の位相比較回路64Bにより位相差比較
がなされる。

この結果、第１の位相比較回路64Aと第２の位相比較
回路64Bとで得られた位相差を利用して、マイクロコン
ピュータ８が、光波距離計と反射器までの距離を演算す
ることができる。従って、第１の位相比較回路64Aと第
２の位相比較回路64Bとマイクロコンピュータ８とが、
第１の距離測定手段に該当するものである。

なお、第１の位相比較回路64Aと第２の位相比較回路6
4Bの位相比較動作は、同時に行われるものである。

ここで具体的な距離測定を説明すると、例えば、周波
数f₁を15MHzとし、周波数f₂を150kHzとした場合、第１
の位相差検出手段6Aで測定した位相差が90度、第２の位
相差検出手段6Bで測定した位相差が271度の場合、第１
の位相差検出手段6Aは位相差が360度の時10mの距離に相
当し、第２の位相差検出手段6Bは位相差が360度の時100
0mに相当するので、第１の位相差検出手段6Aで測定した
場合の距離換算は2.5mとなり、第２の位相差検出手段6B
で測定した場合の距離換算は753mとなる。

この結果マイクロコンピュータ８は、第１の位相差検
出手段6Aと第２の位相差検出手段6Bと遅れ時間測定手段
７とから得られた３種の距離を合成して測定距離を演算
する。即ち、10m以下の距離は第１の位相差検出手段6a
により得られた位相差測定から求め、10m以上1000m未満
の距離は第２の位相差検出手段6Bにより得られた位相差
測定から求め、更に1000m以上の距離は遅れ時間測定手
段７から求めた距離を使用して、3752.5mと求めるもの
である。

以上の様に構成された本実施例は、周波数f₁と周波数
f₂を多重変調した信号を使用して位相差検出手段６によ
り精密測定を行い、遅れ時間測定手段７により粗測定を
行っているので、１つの周波数で高精度な計測を行うこ
とができるという効果がある。従って、３つの周波数を
使用した光波距離計より測定時間を短くすることができ
るという卓越した効果がある。なお、周波数f₁、周波数
f₂、基準信号発振器１の発振周波数等は、上記実施例に
限定されるものではなく、適宜選択されることはいうま
でもない。

「効果」以上の様に構成された本発明は、測定点に配置した反
射部からの反射光を検出して距離を測定するための距離
測定装置において、第１周波数及び第２周波数で多重変
調信号を発生させるための信号発生手段と、該信号発生
手段からの信号に基づき変調光を発生させるための発光
手段と、この発光手段から射出され、測定点に配置した
前記反射部により反射された多重変調光を受光し、反射
多重変調信号を形成するための受光手段と、前記第１周
波数から僅かに異なる第３周波数の第３周期信号を形成
するための第１の局部発振器と、前記第２周波数から僅
かに異なる第４周波数の第４周期信号を形成するための
第２の局部発振器と、前記受光手段からの反射多重変調
信号と前記第３周期信号との第１の合成信号を形成し、
また前記受光手段からの反射多重変調信号と前記第４周
期信号との第２の合成信号を形成するための混合器と、
前記第１の合成信号及び該第２の合成信号から所定の周
波数成分の信号とを取り出し、所定周波数成分の信号と
前記信号発生器の発生信号に対応する信号との位相差を
求める位相差測定手段と、この位相差測定手段で測定さ
れた位相差に基づき、測定点までの距離を精密測定する
するための第１の距離測定手段と、前記発光手段が発光
する変調信号と前記受光手段からの反射多重変調信号と
の遅延時間を測定することにより、測定点までの距離を
粗測定するための第２の距離測定手段とから構成されて
いるので、粗測定に別個の周波数の信号を使用する必要
がないという効果がある。

更に２つの周波数の信号を多重化しているので、通常
の２波長分の位相差測定を同時に測定することができる
という効果がある。また、位相差測定と時間差測定のハ
ードウェアが独立しているので、測距時間を短縮するこ
とができ、特に、従来のものに比較して１波長測定分の
時間で測定が完了するという卓越した効果がある。

そして、粗測定が遅れ時間を利用しているので、発光
手段から発光された光が反射される限り、測定距離に制
限がないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すもので、第１図は本実施例の
構成を説明する図であり、第２図は本実施例の動作を説
明する波形を示す図である。１……基準信号発振器２……同期回路３……駆動回路４……発光手段５……受光手段６……位相差検出手段 6A……第１の位相差検出手段 6B……第２の位相差検出手段 61A……第１の混合器 62A……第１のローパスフィルタ 63A……第１の波形変換回路 64A……第１の位相比較回路 65A……第１の周波数発生器 61B……第２の混合器 62B……第２のローパスフィルタ 63B……第２の波形変換回路 64B……第２の位相比較回路 65B……第２の周波数発生器７……遅れ時間測定手段 71……比較器 72……カウンタ 73……基準電圧発生回路８……マイクロコンピュータ 91……第１の分周器 92……第２の分周器 10……アンド回路

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01S 7/00 - 7/66 G01S 13/00 - 17/95

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】測定点に配置した反射部から反射光を検出
して距離を測定するための距離測定装置において、第１
周波数及び第２周波数で多重変調信号を発生させるため
の信号発生手段と、該信号発生手段からの信号に基づき
変調光を発生させるための発光手段と、この発光手段か
ら射出され、測定点に配置した前記反射部により反射さ
れた多重変調光を受光し、反射多重変調信号を形成する
ための受光手段と、前記第１周波数から僅かに異なる第
３周波数の第３周期信号を形成するための第１の局部発
振器と、前記第２周波数から僅かに異なる第４周波数の
第４周期信号を形成するための第２の局部発振器と、前
記受光手段からの反射多重変調信号と前記第３周期信号
との第１の合成信号を形成し、また前記受光手段からの
反射多重変調信号と前記第４周期信号との第２の合成信
号を形成するための混合器と、前記第１の合成信号及び
該第２の合成信号から所定の周波数成分の信号とを取り
出し、所定周波数成分の信号と前記信号発生器の発生信
号に対応する信号との位相差を求める位相差測定手段
と、この位相差測定手段で測定された位相差に基づき、
測定点までの距離を精密測定するするための第１の距離
測定手段と、前記発光手段が発光する変調信号と前記受
光手段からの反射多重変調信号との遅延時間を測定する
ことにより、測定点までの距離を粗測定するための第２
の距離測定手段とからなる距離の測定装置。
【請求項２】測定点に配置した反射部から反射光を検出
して距離を測定するための距離測定装置において、第１
周波数及び第２周波数で多重変調信号を発生させるため
の信号発生手段と、該信号発生手段からの信号に基づき
変調光を発生させるための発光手段と、この発光手段か
ら射出され、測定点に配置した前記反射部により反射さ
れた多重変調光を受光し、反射多重変調信号を形成する
ための受光手段と、前記第１周波数から僅かに異なる第
３周波数の第３周期信号を形成するための第１の局部発
振器と、前記第２周波数から僅かに異なる第４周波数の
第４周期信号を形成するための第２の局部発振器と、前
記受光手段からの反射多重変調信号と前記第３周期信号
との第１の合成信号を形成するための第１の混合器と、
前記受光手段からの反射多重変調信号と前記第４周期信
号との第２の合成信号を形成するための第２の混合器
と、前記第１の合成信号及び該第２の合成信号から所定
の周波数成分を取り出すローパスフィルタと、このロー
パスフィルタで取り出された所定の周波数成分の信号と
前記信号発生器の発生信号に対応する信号との位相差を
求める位相差測定手段と、この位相差測定手段で測定さ
れたローパスフィルタを通過させた第１の合成信号と前
記信号発生手段の発生信号に対応する信号との位相差及
びローパスフィルタを通過させた第２の合成信号と前記
信号発生手段の発生信号に対応する信号との位相差とに
より、測定点までの距離を精密測定するするための第１
の距離測定手段と、前記発光手段が発光する変調信号と
前記受光手段からの反射多重変調信号との遅延時間を測
定することにより、測定点までの距離を粗測定するため
の第２の距離測定手段とからなる距離の測定装置。