JP2945158B2 - Deflection magnet for charged particle devices - Google Patents

Deflection magnet for charged particle devices

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JP2945158B2
JP2945158B2 JP8651691A JP8651691A JP2945158B2 JP 2945158 B2 JP2945158 B2 JP 2945158B2 JP 8651691 A JP8651691 A JP 8651691A JP 8651691 A JP8651691 A JP 8651691A JP 2945158 B2 JP2945158 B2 JP 2945158B2
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return yoke
coil
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coil winding
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敏恵 竹内
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、シンクロトロン放射
光発生装置などにおいて、荷電粒子の進行方向を曲げる
ために使用する荷電粒子用超電導偏向マグネットに関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a superconducting deflection magnet for charged particles used for bending a traveling direction of charged particles in a synchrotron radiation light generator or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は、「中田他“ベクトルポテンシャ
ル法による超電導180゜偏向マグネットの三次元磁界
解析”」、コンファレンス オン コンピューテーショ
ン オブ エレクトロンマグネィック フィールド、コ
ンピューマグ(1989年9月)321頁〜324頁、
(J.NAKATA他,“THREE−DIMENSI
ONAL MAGNETIC FIELD ANALY
SYS OF SUPERCONDUCTING 18
0゜BENDING MAGNETS BY POTE
NTIAL FEM USING SUPERCOMP
UTERS”,CONFERENCE ON COMP
UTATION OF ELECTOROMAGNET
IC FIELDS,COMPUMAG SEPTEM
BER 3−7,1989,TOKYO,JAPAN)
に示された従来の超電導偏向マグネットを分解して一部
断面で示す分解斜視図である。図において、コイル1
は、外径側コイル巻線2、内径側コイル巻線3およびこ
れらをつなぐはね上げ形端部コイル巻線4からなってい
る。5はクライオスタット、6は荷電粒子、11は鉄な
どの強磁性体で構成されたリターンヨーク、51はビー
ムダクトを通す窓であり、面12で対称に構成されてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 7 shows "Nakata et al.," Three-Dimensional Magnetic Field Analysis of Superconducting 180 ° Deflection Magnet by Vector Potential Method ", Conference on Computation of Electron Magnetic Field, Computer Mag (September 1989) 321. Pp. 324,
(J. NAKATA et al., "THREE-DIMENSI
ONAL MAGNETIC FIELD ANALY
SYS OF SUPERCONDUCTING 18
0 @ BENDING MAGNETS BY POTE
NTIAL FEM USING SUPERCOMP
UTERS ”, CONFERENCE ON COMP
UTATION OF ELECTROMAMAGNET
IC FIELDS, COMPUMAG SEPTEM
(BER 3-7, 1989, TOKYO, JAPAN)
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the conventional superconducting deflection magnet shown in FIG. In the figure, coil 1
Consists of an outer-diameter coil winding 2, an inner-diameter coil winding 3, and a flip-up end coil winding 4 connecting these. Reference numeral 5 denotes a cryostat, 6 denotes charged particles, 11 denotes a return yoke made of a ferromagnetic material such as iron, and 51 denotes a window through which a beam duct is passed.

【0003】次に動作について説明する。主としてコイ
ル1が発生する垂直方向の磁界(1対の相対するコイル
1に鎖交する磁界)によって荷電粒子6は半径方向に力
を受け、180゜偏向される。このとき、荷電粒子6は
半径方向と直交する方向(ビーム軌道の接線方向)に放
射光を発生する。高エネルギービームを小半径で設計軌
道通り曲げるには、高均一な高磁界が必要である。コイ
ル1の端部をはね上げ形の端部コイル巻線4でつなぐこ
とにより、高均一な磁界を得ることができる。
Next, the operation will be described. The charged particles 6 receive a force in the radial direction mainly by a vertical magnetic field generated by the coil 1 (a magnetic field interlinking a pair of opposing coils 1) and are deflected by 180 °. At this time, the charged particles 6 generate emitted light in a direction perpendicular to the radial direction (tangential direction of the beam orbit). In order to bend a high-energy beam with a small radius according to a design orbit, a highly uniform high magnetic field is required. A highly uniform magnetic field can be obtained by connecting the ends of the coil 1 with the flip-up end coil windings 4.

【0004】クライオスタット5は各コイル1を極低温
に保持するための低温容器である。クライオスタット5
は低温脆性を防ぐためやコイル1から発生する磁界を歪
ませないために、通常ステンレス鋼などの非磁性金属で
作られる。また、高磁界が発生すると、周辺に大きな漏
れ磁界が発生し、周辺機器に影響を及ぼすため、通常、
強磁性体を用いたリターンヨーク11により、コイル1
をシールドする。
[0004] The cryostat 5 is a low-temperature container for keeping each coil 1 at a very low temperature. Cryostat 5
Is usually made of a non-magnetic metal such as stainless steel in order to prevent low-temperature brittleness and to prevent the magnetic field generated from the coil 1 from being distorted. In addition, when a high magnetic field is generated, a large leakage magnetic field is generated in the vicinity, which affects peripheral devices.
The return yoke 11 using a ferromagnetic material allows the coil 1
Shield.

【0005】リターンヨーク11は、荷電粒子6の通過
する高真空のビームダクトを通す窓51が設けられた内
径側リターンヨーク11a、外径側リターンヨーク11
b、上下天板11cより構成されている。高磁界が発生
すると各コイル巻線2,3,4と各リターンヨーク11
a,11b,11c間の複雑な方向の強大な電磁力が発
生する。
The return yoke 11 has an inner diameter side return yoke 11 a and an outer diameter side return yoke 11 provided with a window 51 for passing a high vacuum beam duct through which the charged particles 6 pass.
b, upper and lower top plates 11c. When a high magnetic field is generated, each coil winding 2, 3, 4 and each return yoke 11
A strong electromagnetic force is generated in a complicated direction between a, 11b, and 11c.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の荷電粒子装置用
偏向マグネットは以上のように構成されているので、コ
イル巻線とリターンヨーク間の距離の調整が不可能なた
め、端部コイル巻線と上下天間に働く電磁力、内径側コ
イル巻線および端部コイル巻線と内径側リターンヨーク
間に生じる電磁力、さらに、外径側コイル巻線および端
部コイル巻線の一部外径側と外径側リターンヨーク間に
生じる電磁力をつり合わせることが難しく、リターンヨ
ークとコイル間に強大な電磁力が働いたり、コイルの組
立時の誤差等により上下コイル巻線間やコイル巻線とリ
ターンヨーク間にアンバランス磁気吸引力が発生する等
の問題点があった。そのため、強大な電磁力をサポート
する支持材が必要で、偏向マグネットの構造が複雑にな
り、また、全重量が重くなる、液体ヘリウムなどの寒剤
の消費量が増すなどの問題点があった。
Since the conventional deflection magnet for a charged particle device is constructed as described above, it is impossible to adjust the distance between the coil winding and the return yoke. Electromagnetic force acting between the upper and lower ceilings, the electromagnetic force generated between the inner and outer coil windings and the inner return yoke, and a part of the outer and end coil windings It is difficult to balance the electromagnetic force generated between the return yoke and the outer diameter side return yoke, a strong electromagnetic force acts between the return yoke and the coil, and errors between the upper and lower coil windings and coil windings due to errors during coil assembly. There is a problem that an unbalanced magnetic attractive force is generated between the motor and the return yoke. Therefore, there is a problem that a supporting material for supporting a strong electromagnetic force is required, the structure of the deflection magnet becomes complicated, the total weight becomes heavy, and the consumption of the cryogen such as liquid helium increases.

【0007】また、2Tを越える高磁界を発生した場
合、強磁性体により構成されているリターンヨークが磁
気飽和を起こして透磁率が低下するため、漏れ磁界のシ
ールド効果が悪くなって外部への漏れ磁界が増加し、荷
電粒子に悪影響を及ぼす。そのため、漏れ磁界シールド
するための強磁性体の量が増え、偏向マグネットの全重
量が重くなり、分解、運搬が困難になる、また、コスト
がかかるなどの問題点があった。
Further, when a high magnetic field exceeding 2T is generated, the return yoke made of a ferromagnetic material causes magnetic saturation and lowers the magnetic permeability. The leakage magnetic field increases, adversely affecting the charged particles. Therefore, the amount of ferromagnetic material for shielding the leakage magnetic field is increased, the total weight of the deflection magnet is increased, and it is difficult to disassemble and transport the magnet.

【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、端部コイル巻線と上下天間に働
く電磁力と、内径側コイル及び端部コイルと内径側リタ
ーンヨーク間に生じる電磁力、および一部端部コイル巻
線と外径側コイル巻線と側辺部リターンヨーク間に生じ
る電磁力とをつり合わせることを可能にし、コイル全体
にかかる径方向の電磁力が実質的に働かないように、か
つ、コイルの組立時の誤差や製作誤差などによるコイル
巻線とリターンヨーク間の設置誤差を調整できる荷電粒
子装置用偏向マグネットを得ることを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an electromagnetic force acting between an end coil winding and an upper and lower ceiling, and an inner coil and between an end coil and an inner return return yoke. And the electromagnetic force generated between the part end coil winding, the outer diameter side coil winding and the side return yoke can be balanced, and the radial electromagnetic force applied to the entire coil can be balanced. It is an object of the present invention to provide a deflection magnet for a charged particle device that does not substantially work and can adjust an installation error between a coil winding and a return yoke due to an error in assembling a coil or a manufacturing error.

【0009】また強磁性体の磁気飽和による漏れ磁界の
シールド効果の低下を防ぎ、偏向マグネット外部への漏
れ磁界を減らすことができる荷電粒子装置用偏向マグネ
ットを得ることを目的としている。
It is another object of the present invention to provide a deflection magnet for a charged particle device capable of preventing a reduction in a leakage magnetic field shielding effect due to magnetic saturation of a ferromagnetic material and reducing a leakage magnetic field to the outside of the deflection magnet.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この発明に係る荷電粒子
装置用偏向マグネットは、コイル巻線とある一定距離を
おいて設置するリターンヨークに複数個の可動式強磁性
体シムを設けたものである。
A deflection magnet for a charged particle device according to the present invention has a plurality of movable ferromagnetic shims provided on a return yoke installed at a certain distance from a coil winding. is there.

【0011】また、コイル巻線とある一定距離をおいて
設置するリターンヨークに空隙を設けたものであり、さ
らに、空隙をはさんで偏向マグネット内側のリターンヨ
ークを外側のリターンヨークより厚く構成したものであ
る。
In addition, a gap is provided in a return yoke installed at a certain distance from the coil winding, and the return yoke inside the deflection magnet is configured to be thicker than the outside return yoke across the gap. Things.

【0012】[0012]

【作 用】この発明においては、シムを設けてコイル巻
線とリターンヨーク間の距離の調整を可能にすることに
より、端部コイル巻線と上下リターンヨーク間に働く電
磁力と内径側コイル巻線及び端部コイル巻線と内径側リ
ターンヨーク間に生じる電磁力と、一部端部コイル巻線
及び外径側コイルと外径側リターンヨーク間に生じる電
磁力とをつり合わせ、実質的にコイル全体とリターンヨ
ーク間に径方向の電磁力が働かなくなり、電磁力をサポ
ートする支持材を減少させることができる。また、可動
式の強磁性体シムを設けたことによりコイルの組立誤差
などの補正が簡便化できる。
According to the present invention, by providing a shim to adjust the distance between the coil winding and the return yoke, the electromagnetic force acting between the end coil winding and the upper and lower return yokes and the inner diameter side coil winding can be adjusted. The electromagnetic force generated between the wire and the end coil winding and the inner diameter return yoke and the electromagnetic force generated between the part end coil winding and the outer diameter coil and the outer diameter return yoke are substantially balanced. The electromagnetic force in the radial direction does not work between the entire coil and the return yoke, and the number of support members that support the electromagnetic force can be reduced. Further, by providing the movable ferromagnetic shim, it is possible to simplify correction of a coil assembly error and the like.

【0013】また、リターンヨーク間に空隙を設けるこ
とにより強磁性体の磁気飽和による漏れ磁界の増加を防
ぎ、強磁性体の重量を増加させることなく漏れ磁界を減
少させることができる。
Further, by providing a gap between the return yokes, it is possible to prevent the leakage magnetic field from increasing due to the magnetic saturation of the ferromagnetic material, and to reduce the leakage magnetic field without increasing the weight of the ferromagnetic material.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

実施例 1 図1、図2は、この発明の一実施例を示し、図におい
て、ρは荷電粒子の曲率半径、oは曲率中心、7は可動
式強磁性体シム、8はシム7を動かすための押ネジであ
る。9は空隙である。その他、図7と同一符号は同一ま
たは相当部分である。
Embodiment 1 FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention, where ρ is the radius of curvature of charged particles, o is the center of curvature, 7 is a movable ferromagnetic shim, and 8 moves the shim 7. Is a set screw. 9 is an air gap. In addition, the same reference numerals as those in FIG. 7 denote the same or corresponding parts.

【0015】以下、動作を説明する。コイル1を通電す
ると、マグネットに磁界が発生する。この磁界により、
荷電粒子はローレンツ力を受ける。このローレンツ力を
利用して、入射ビームラインから入射される荷電粒子6
を曲げる。その際、ビーム軌道の接線方向に放射光が発
生する。磁界が発生すると、各コイル巻線2,3,4が
リターンヨーク11に引き寄せられる電磁力が発生す
る。リターンヨーク11はコイル1の巻線を囲むように
設置されているため複雑な方向の電磁力が発生する。こ
れらの力の合成により、コイル全体1とリターンヨーク
11間に強大な径方向の電磁力が働くことになる。この
実施例では、リターンヨーク上下天板11cに偏向マグ
ネット外側へ可動できる強磁性体シム7を設けている。
このようなリターンヨーク11を設置することにより、
コイル巻線1と上下天板11c間の距離を等価的に広げ
ることができ、コイル1とリターンヨーク11間に働く
電磁力が変化する。よって、これらの電磁力をつり合わ
せてコイル全体に働く径方向の電磁力を実質的にゼロに
することができる。
The operation will be described below. When the coil 1 is energized, a magnetic field is generated in the magnet. With this magnetic field,
The charged particle receives Lorentz force. Utilizing this Lorentz force, charged particles 6 incident from the incident beam line
Bend. At that time, radiation light is generated in the tangential direction of the beam orbit. When a magnetic field is generated, an electromagnetic force is generated in which the coil windings 2, 3, and 4 are drawn to the return yoke 11. Since the return yoke 11 is installed so as to surround the winding of the coil 1, an electromagnetic force in a complicated direction is generated. By combining these forces, a strong radial electromagnetic force acts between the entire coil 1 and the return yoke 11. In this embodiment, a ferromagnetic shim 7 that is movable to the outside of the deflection magnet is provided on the upper and lower return yoke top plates 11c.
By installing such a return yoke 11,
The distance between the coil winding 1 and the upper and lower top plates 11c can be equivalently increased, and the electromagnetic force acting between the coil 1 and the return yoke 11 changes. Therefore, these electromagnetic forces can be balanced to make the radial electromagnetic force acting on the entire coil substantially zero.

【0016】また、コイル1の組立誤差によるコイル1
とリターンヨーク11間の距離の微調が可能となり、こ
の誤差に基づくアンバランス磁気吸引力の補正が可能と
なる。これによって、径方向の電磁力がマグネットの励
磁時の位置ズレなどの小さな偏心に対応するだけとなる
ので、サポートする支持材を極めて小さくできる。この
ため液体ヘリウムなどの寒剤の消費量が激減し、マグネ
ットの運転経費が極めて安価となる。
Further, the coil 1 due to an assembly error of the coil 1
And the return yoke 11 can be finely adjusted , and the unbalanced magnetic attraction based on this error can be corrected. As a result, the radial electromagnetic force only corresponds to a small eccentricity such as a positional deviation when the magnet is excited, so that the supporting material to be supported can be extremely small. For this reason, the consumption of the cryogen such as liquid helium is drastically reduced, and the operating cost of the magnet becomes extremely low.

【0017】さらに、高磁界が発生すると強磁性体によ
り構成されているリターンヨーク11が磁気飽和を起こ
す。そのため漏れ磁界のシールド効果が低下し偏向マグ
ネットの外側への漏れ磁界が大きくなり、有効にシール
ドするために強磁性体の量を増やす必要があり、重量が
増す。しかし、この実施例では、リターンヨーク内に空
隙9を設けたために、空隙9でいったん磁気抵抗が高く
なる。そのために空隙9を挟んで外側のリターンヨーク
2 へ侵入する磁場が減少しリターンヨークW2 の磁気
飽和が緩和され、リターンヨーク11の量を増加させる
ことなく漏れ磁界を有効にシールドできる。特に、空隙
9を挟んで内側のリターンヨークW1 を厚くすることに
より外側のリターンヨークW2 に侵入する磁場をより有
効に減少させることができる。
Further, when a high magnetic field is generated, the return yoke 11 made of a ferromagnetic material causes magnetic saturation. Therefore, the effect of shielding the leakage magnetic field is reduced, the leakage magnetic field to the outside of the deflection magnet is increased, and it is necessary to increase the amount of the ferromagnetic material for effective shielding, and the weight increases. However, in this embodiment, since the gap 9 is provided in the return yoke, the gap 9 temporarily increases the magnetic resistance. Therefore, the magnetic field penetrating into the outer return yoke W 2 across the gap 9 is reduced, the magnetic saturation of the return yoke W 2 is reduced, and the leakage magnetic field can be effectively shielded without increasing the amount of the return yoke 11. In particular, it is possible to reduce the magnetic field that invades the outside of the return yoke W 2 by increasing the inside of the return yoke W 1 across the air gap 9 more effectively.

【0018】実施例 2〜4 図3、図4および図5はそれぞれ他の実施例を示し、可
動方向の異なる強磁性体シム7を取り付けたものであ
る。図3に示したものは、偏向マグネットの内側に動作
する可動式強磁性体シム7である。図4はそれぞれ図
1、図2に示した動作方向の違う可動式強磁性体シム7
を組み合わせて設置したもの、また、図5はマグネット
の内外両方向に動作可能な可動式強磁性体シムを示した
ものである。
Embodiments 2 to 4 FIGS. 3, 4 and 5 show other embodiments, respectively, in which ferromagnetic shims 7 having different moving directions are attached. FIG. 3 shows a movable ferromagnetic shim 7 operating inside the deflection magnet. FIG. 4 shows a movable ferromagnetic shim 7 shown in FIGS.
FIG. 5 shows a movable ferromagnetic shim operable in both directions inside and outside the magnet.

【0019】また、図3、図4および図5に示すもの
は、いずれもリターンヨーク上下天板11cにシム7を
取り付けたが、外側リターンヨーク11bや内側リター
ンヨーク11aに設置しても良く、それぞれ組み合わせ
て設置し、使用することによりあらゆる方向の調整が可
能となる。もちろん上記実施例と同様の効果を奏するこ
とは言うまでもない。
Although the shims 7 are attached to the upper and lower return yoke top plates 11c in FIGS. 3, 4 and 5, they may be installed on the outer return yoke 11b and the inner return yoke 11a. It can be adjusted in all directions by installing and using them in combination. Of course, it goes without saying that the same effects as those of the above embodiment can be obtained.

【0020】実施例 図6は第2の発明の他の実施例を示し、空隙9をリター
ンヨーク上下天板11cに設置したものである。また、
空隙9は内側リターンヨーク11aに設置するとも可能
であり、リターンヨーク11の磁気飽和の位置、程度に
より複数の箇所に設置することも可能である。上記実施
例と同様の効果を奏することは言うまでもない。
Embodiment 5 FIG. 6 shows another embodiment of the second invention, in which a gap 9 is provided in the upper and lower return yoke top plates 11c. Also,
The air gap 9 can be provided in the inner return yoke 11a, and can be provided in a plurality of places depending on the position and degree of magnetic saturation of the return yoke 11. Needless to say, the same effects as in the above embodiment can be obtained.

【0021】また、この発明の第1の発明と第2の発明
はそれぞれ独自の効果を奏するため、単独に使用しても
その効果は変わりなく、勿論両方組み合わせることによ
り2つの効果を同時に得ることができる。
The first and second inventions of the present invention have their own effects. Therefore, even if they are used independently, the effects are not changed. Of course, the two effects can be simultaneously obtained by combining both. Can be.

【0022】さらに、コイル1は超電導および常電導の
いずれも使用することができる。また、上記実施例では
偏向角度が180゜のものを示したが、他の角度にも適
用できる。
Further, the coil 1 can use either superconducting or normal conducting. In the above embodiment, the deflection angle is 180 °, but the invention can be applied to other angles.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、リタ
ーンヨークに複数個の可動式強磁性体シムを取り付けた
ことにより、各コイル巻線と各リターンヨーク間の距離
の調整を可能にし、各コイル巻線と各リターンヨーク間
に働く電磁力をつり合わせることを容易にし、コイルと
リターンヨーク間に働く径方向の電磁力を実質的にゼロ
にできる。また、コイル巻線の組立誤差を外部から容易
に調整できる。このため、支持材を減少させることがで
き、装置の構成が容易にでき装置が高性能にでき、運転
経費が安価となるなどの効果がある。
As described above, according to the present invention, the distance between each coil winding and each return yoke can be adjusted by attaching a plurality of movable ferromagnetic shims to the return yoke. This makes it easy to balance the electromagnetic force acting between each coil winding and each return yoke, and the radial electromagnetic force acting between the coil and the return yoke can be made substantially zero. Further, the assembly error of the coil winding can be easily adjusted from the outside. Therefore, the number of support members can be reduced, the configuration of the apparatus can be easily made, the apparatus can be made high-performance, and the operation cost can be reduced.

【0024】また、リターンヨーク内に空隙を設けたこ
とにより、リターンヨークの重量を増すことなくマグネ
ット外部への漏れ磁界を低減でき、マグネットの重量化
を防ぎ、偏向マグネットの移動、周辺の機器のシールド
を簡便化できる効果がある。
Also, by providing a gap in the return yoke, it is possible to reduce the leakage magnetic field to the outside of the magnet without increasing the weight of the return yoke, to prevent the weight of the magnet from being increased, to move the deflection magnet, and to operate peripheral devices. There is an effect that the shield can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の請求項1,2,3いずれかの一実施
例の横断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of one embodiment of the present invention.

【図2】図1のものの平断面図である。FIG. 2 is a plan sectional view of that of FIG.

【図3】この発明の請求項1の他の実施例の横断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

【図4】この発明の請求項1のさらに他の実施例の横断
面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of yet another embodiment of the present invention.

【図5】この発明の請求項1の別の実施例の横断面図で
ある。
FIG. 5 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

【図6】この発明の請求項2または3の他の実施例の横
断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of another embodiment of the second or third aspect of the present invention.

【図7】従来の荷電粒子装置用偏向マグネットの一部断
面分解斜視図である。
FIG. 7 is an exploded perspective view, partly in section, of a conventional deflection magnet for a charged particle device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コイル 2 外径側コイル巻線 3 内径側コイル巻線 4 端部コイル巻線 6 荷電粒子 7 強磁性体シム 9 空隙 11 リターンヨーク REFERENCE SIGNS LIST 1 coil 2 outer diameter coil winding 3 inner diameter coil winding 4 end coil winding 6 charged particle 7 ferromagnetic shim 9 air gap 11 return yoke

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05H 7/00 - 7/22 G21K 1/08 - 1/093 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H05H 7/00-7/22 G21K 1/08-1/093

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 外径側コイル巻線、内径側コイル巻線、
およびこれらのコイル巻線を接続する端部コイル巻線か
らなるコイルを1対と、上記コイルを一定距離をおいて
取り囲むリターンヨークとを備えた荷電粒子装置用偏向
マグネットにおいて、複数個の可動式強磁性体シムが設
けられた上記リターンヨークを備えてなることを特徴と
する荷電粒子装置用偏向マグネット。
An outer diameter side coil winding, an inner diameter side coil winding,
And a return magnet surrounding the coil at a fixed distance, and a plurality of movable magnets. A deflection magnet for a charged particle device, comprising the return yoke provided with a ferromagnetic shim.
【請求項2】 外径側コイル巻線、内径側コイル巻線、
およびこれらのコイル巻線を接続する端部コイル巻線か
らなるコイルを1対と、上記コイルを一定距離をおいて
取り囲むリターンヨークとを備えた荷電粒子装置用偏向
マグネットにおいて、マグネット外部への漏れ磁界を減
少させるための空隙が形成された上記リターンヨークを
備えてなることを特徴とする荷電粒子装置用偏向マグネ
ット。
2. An outer diameter side coil winding, an inner diameter side coil winding,
And a return magnet surrounding the coil at a certain distance, and a return yoke surrounding the coil at a fixed distance. A deflection magnet for a charged particle device, comprising: the return yoke having a gap formed therein for reducing a magnetic field.
【請求項3】 空隙をはさんでマグネット外側のリター
ンヨークより上記マグネット内のリターンヨークを厚く
したことを特徴とする請求項2記載の荷電粒子装置用偏
向マグネット。
3. A charged particle apparatus for polarizing magnet of claim 2, wherein the across the gap from the magnet outside of the return yoke and thicker return yoke in the magnet.
JP8651691A 1991-04-18 1991-04-18 Deflection magnet for charged particle devices Expired - Fee Related JP2945158B2 (en)

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