JPH04319298A - Deflection magnet for charged particle device - Google Patents

Deflection magnet for charged particle device

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JPH04319298A
JPH04319298A JP8651691A JP8651691A JPH04319298A JP H04319298 A JPH04319298 A JP H04319298A JP 8651691 A JP8651691 A JP 8651691A JP 8651691 A JP8651691 A JP 8651691A JP H04319298 A JPH04319298 A JP H04319298A
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return yoke
coil winding
coil
magnet
deflection magnet
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Toshie Takeuchi
敏恵 竹内
Shiro Nakamura
史朗 中村
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Abstract

PURPOSE:To provide a deflection magnet of a minimum heat intruding quantity in a simple support structure by minimizing electromagnetic force between coils and a return yoke. CONSTITUTION:There are provided a plurality of movable ferromagnetic shims 7 in a return yoke 11. The shims 7 are displaced by pushing screws 8, thus finely adjusting distances between the return yoke 11 and coils 2, 3. Consequently, it is possible to easily correct unbalance magnetic attraction force caused by an assembling error of the coils. Moreover, formation of a clearance 9 in the return yoke 11 can reduce outward leakage of a flux.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は、シンクロトロン放射
光発生装置などにおいて、荷電粒子の進行方向を曲げる
ために使用する荷電粒子用超電導偏向マグネットに関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a superconducting deflection magnet for charged particles used in a synchrotron radiation generator or the like to bend the traveling direction of charged particles.

【0002】0002

【従来の技術】図7は、「中田他“ベクトルポテンシャ
ル法による超電導180゜偏向マグネットの三次元磁界
解析”」、コンファレンス  オン  コンピューテー
ション  オブ  エレクトロンマグネィック  フィ
ールド、コンピューマグ(1989年9月)321頁〜
324頁、(J.NAKATA他,“THREE−DI
MENSIONAL  MAGNETIC  FIEL
D  ANALYSYS  OF  SUPERCON
DUCTING  180゜BENDING  MAG
NETS  BY  POTENTIAL  FEM 
 USING  SUPERCOMPUTERS”,C
ONFERENCE  ON  COMPUTATIO
N  OF  ELECTOROMAGNETIC  
FIELDS,COMPUMAG  SEPTEMBE
R  3−7,1989,TOKYO,JAPAN)に
示された従来の超電導偏向マグネットを分解して一部断
面で示す分解斜視図である。図において、コイル1は、
外径側コイル巻線2、内径側コイル巻線3およびこれら
をつなぐはね上げ形端部コイル巻線4からなっている。 5はクライオスタット、6は荷電粒子、11は鉄などの
強磁性体で構成されたリターンヨーク、51はビームダ
クトを通す窓であり、面12で対称に構成されている。
[Prior Art] Figure 7 shows "Nakata et al. "Three-dimensional magnetic field analysis of superconducting 180° deflection magnet using vector potential method", Conference on Computation of Electron Magnetic Field, Computmag (September 1989), 321 page~
324 pages, (J. NAKATA et al., “THREE-DI
MENSIONAL MAGNETIC FIEL
D ANALYSYS OF SUPERCON
DUCTING 180°BENDING MAG
NETS BY POTENTIAL FEM
USING SUPER COMPUTERS”,C
ONFERENCE ON COMPUTATION
N OF ELECTOROMAGNETIC
FIELDS, COMPUMAG SEPTEMBE
3-7, 1989, TOKYO, JAPAN) is an exploded perspective view partially showing a cross section of a conventional superconducting deflection magnet. In the figure, coil 1 is
It consists of an outer diameter coil winding 2, an inner diameter coil winding 3, and a flip-up end coil winding 4 connecting these. 5 is a cryostat, 6 is a charged particle, 11 is a return yoke made of a ferromagnetic material such as iron, and 51 is a window through which the beam duct passes, and is configured symmetrically with respect to a plane 12.

【0003】次に動作について説明する。主としてコイ
ル1が発生する垂直方向の磁界(1対の相対するコイル
1に鎖交する磁界)によって荷電粒子6は半径方向に力
を受け、180゜偏向される。このとき、荷電粒子6は
半径方向と直交する方向(ビーム軌道の接線方向)に放
射光を発生する。高エネルギービームを小半径で設計軌
道通り曲げるには、高均一な高磁界が必要である。コイ
ル1の端部をはね上げ形の端部コイル巻線4でつなぐこ
とにより、高均一な磁界を得ることができる。
Next, the operation will be explained. The charged particles 6 are subjected to a force in the radial direction mainly due to the vertical magnetic field (magnetic field interlinking with a pair of opposing coils 1) generated by the coil 1, and are deflected by 180°. At this time, the charged particles 6 generate synchrotron radiation in a direction perpendicular to the radial direction (tangential direction of the beam trajectory). A highly uniform and high magnetic field is required to bend a high-energy beam along a designed trajectory with a small radius. By connecting the ends of the coil 1 with the flip-up end coil winding 4, a highly uniform magnetic field can be obtained.

【0004】クライオスタット5は各コイル1を極低温
に保持するための低温容器である。クライオスタット5
は低温脆性を防ぐためやコイル1から発生する磁界を歪
ませないために、通常ステンレス鋼などの非磁性金属で
作られる。また、高磁界が発生すると、周辺に大きな漏
れ磁界が発生し、周辺機器に影響を及ぼすため、通常、
強磁性体を用いたリターンヨーク11により、コイル1
をシールドする。
[0004] The cryostat 5 is a low temperature container for maintaining each coil 1 at an extremely low temperature. Cryostat 5
is usually made of a non-magnetic metal such as stainless steel in order to prevent low-temperature embrittlement and to avoid distorting the magnetic field generated from the coil 1. In addition, when a high magnetic field is generated, a large leakage magnetic field is generated in the surrounding area, which affects peripheral devices.
The return yoke 11 using ferromagnetic material
shield.

【0005】リターンヨーク11は、荷電粒子6の通過
する高真空のビームダクトを通す窓51が設けられた内
径側リターンヨーク11a、外径側リターンヨーク11
b、上下天板11cより構成されている。高磁界が発生
すると各コイル巻線2,3,4と各リターンヨーク11
a,11b,11c間の複雑な方向の強大な電磁力が発
生する。
The return yoke 11 includes an inner return yoke 11a provided with a window 51 through which the charged particles 6 pass through a high vacuum beam duct, and an outer return yoke 11.
b, consists of upper and lower top plates 11c. When a high magnetic field occurs, each coil winding 2, 3, 4 and each return yoke 11
A strong electromagnetic force in a complicated direction is generated between a, 11b, and 11c.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の荷電粒子装置用
偏向マグネットは以上のように構成されているので、コ
イル巻線とリターンヨーク間の距離の調整が不可能なた
め、端部コイル巻線と上下天間に働く電磁力、内径側コ
イル巻線および端部コイル巻線と内径側リターンヨーク
間に生じる電磁力、さらに、外径側コイル巻線および端
部コイル巻線の一部外径側と外径側リターンヨーク間に
生じる電磁力をつり合わせることが難しく、リターンヨ
ークとコイル間に強大な電磁力が働いたり、コイルの組
立時の誤差等により上下コイル巻線間やコイル巻線とリ
ターンヨーク間にアンバランス磁気吸引力が発生する等
の問題点があった。そのため、強大な電磁力をサポート
する支持材が必要で、偏向マグネットの構造が複雑にな
り、また、全重量が重くなる、液体ヘリウムなどの寒剤
の消費量が増すなどの問題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] Conventional deflection magnets for charged particle devices are constructed as described above, so it is impossible to adjust the distance between the coil winding and the return yoke. The electromagnetic force that acts between the top and bottom, the electromagnetic force that occurs between the inner diameter side coil winding, the end coil winding, and the inner diameter return yoke, and the part of the outer diameter of the outer diameter side coil winding and the end coil winding. It is difficult to balance the electromagnetic force generated between the side return yoke and the outer diameter side return yoke, and a strong electromagnetic force acts between the return yoke and the coil, and errors in assembling the coil may cause damage between the upper and lower coil windings or between the coil windings. There were problems such as an unbalanced magnetic attraction force occurring between the yoke and the return yoke. This required a support material to support the strong electromagnetic force, which complicated the structure of the deflection magnet, resulting in problems such as increased overall weight and increased consumption of cryogens such as liquid helium.

【0007】また、2Tを越える高磁界を発生した場合
、強磁性体により構成されているリターンヨークが磁気
飽和を起こして透磁率が低下するため、漏れ磁界のシー
ルド効果が悪くなって外部への漏れ磁界が増加し、荷電
粒子に悪影響を及ぼす。そのため、漏れ磁界シールドす
るための強磁性体の量が増え、偏向マグネットの全重量
が重くなり、分解、運搬が困難になる、また、コストが
かかるなどの問題点があった。
Furthermore, when a high magnetic field exceeding 2T is generated, the return yoke made of ferromagnetic material undergoes magnetic saturation and its magnetic permeability decreases, which deteriorates the shielding effect of the leakage magnetic field and prevents it from leaking to the outside. The leakage magnetic field increases and has a negative effect on charged particles. As a result, the amount of ferromagnetic material used to shield leakage magnetic fields increases, which increases the total weight of the deflection magnet, making it difficult to disassemble and transport, and increasing costs.

【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、端部コイル巻線と上下天間に働
く電磁力と、内径側コイル及び端部コイルと内径側リタ
ーンヨーク間に生じる電磁力、および一部端部コイル巻
線と外径側コイル巻線と側辺部リターンヨーク間に生じ
る電磁力とをつり合わせることを可能にし、コイル全体
にかかる径方向の電磁力が実質的に働かないように、か
つ、コイルの組立時の誤差や製作誤差などによるコイル
巻線とリターンヨーク間の設置誤差を調整できる荷電粒
子装置用偏向マグネットを得ることを目的としている。
[0008] This invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and the electromagnetic force acting between the end coil winding and the upper and lower ceilings, the inner diameter coil, and the inner diameter return yoke between the end coil and the inner diameter return yoke. This makes it possible to balance the electromagnetic force generated between the partial end coil winding, the outer diameter side coil winding, and the side return yoke, thereby reducing the radial electromagnetic force applied to the entire coil. The object of the present invention is to obtain a deflection magnet for a charged particle device that does not work substantially and can adjust installation errors between the coil winding and the return yoke due to errors during coil assembly or manufacturing errors.

【0009】また強磁性体の磁気飽和による漏れ磁界の
シールド効果の低下を防ぎ、偏向マグネット外部への漏
れ磁界を減らすことができる荷電粒子装置用偏向マグネ
ットを得ることを目的としている。
Another object of the present invention is to obtain a deflection magnet for a charged particle device that can prevent a reduction in the shielding effect of leakage magnetic fields due to magnetic saturation of a ferromagnetic material and reduce leakage magnetic fields to the outside of the deflection magnet.

【0010】0010

【課題を解決するための手段】この発明に係る荷電粒子
装置用偏向マグネットは、コイル巻線とある一定距離を
おいて設置するリターンヨークに複数個の可動式強磁性
体シムを設けたものである。
[Means for Solving the Problems] A deflection magnet for a charged particle device according to the present invention includes a plurality of movable ferromagnetic shims provided on a return yoke installed at a certain distance from a coil winding. be.

【0011】また、コイル巻線とある一定距離をおいて
設置するリターンヨークに空隙を設けたものであり、さ
らに、空隙をはさんで偏向マグネット内側のリターンヨ
ークを外側のリターンヨークより厚く構成したものであ
る。
[0011] Furthermore, a gap is provided in the return yoke installed at a certain distance from the coil winding, and the return yoke on the inside of the deflection magnet is made thicker than the return yoke on the outside across the gap. It is something.

【0012】0012

【作  用】この発明においては、シムを設けてコイル
巻線とリターンヨーク間の距離の調整を可能にすること
により、端部コイル巻線と上下リターンヨーク間に働く
電磁力と内径側コイル巻線及び端部コイル巻線と内径側
リターンヨーク間に生じる電磁力と、一部端部コイル巻
線及び外径側コイルと外径側リターンヨーク間に生じる
電磁力とをつり合わせ、実質的にコイル全体とリターン
ヨーク間に径方向の電磁力が働かなくなり、電磁力をサ
ポートする支持材を減少させることができる。また、可
動式の強磁性体シムを設けたことによりコイルの組立誤
差などの補正が簡便化できる。
[Function] In this invention, by providing a shim to enable adjustment of the distance between the coil winding and the return yoke, the electromagnetic force acting between the end coil winding and the upper and lower return yokes can be reduced. The electromagnetic force generated between the wire, the end coil winding, and the inner diameter return yoke is balanced with the electromagnetic force generated between the partial end coil winding, the outer diameter coil, and the outer diameter return yoke, and the No radial electromagnetic force acts between the entire coil and the return yoke, and the supporting material that supports the electromagnetic force can be reduced. Furthermore, by providing a movable ferromagnetic shim, correction of coil assembly errors can be simplified.

【0013】また、リターンヨーク間に空隙を設けるこ
とにより強磁性体の磁気飽和による漏れ磁界の増加を防
ぎ、強磁性体の重量を増加させることなく漏れ磁界を減
少させることができる。
Furthermore, by providing a gap between the return yokes, it is possible to prevent an increase in leakage magnetic field due to magnetic saturation of the ferromagnetic material, and to reduce the leakage magnetic field without increasing the weight of the ferromagnetic material.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

実施例  1 図1、図2は、この発明の一実施例を示し、図において
、ρは荷電粒子の曲率半径、oは曲率中心、7は可動式
強磁性体シム、8はシム7を動かすための押ネジである
。9は空隙である。その他、図7と同一符号は同一また
は相当部分である。
Embodiment 1 FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention. In the figures, ρ is the radius of curvature of the charged particle, o is the center of curvature, 7 is a movable ferromagnetic shim, and 8 is the movable shim 7. This is a set screw for 9 is a void. In addition, the same reference numerals as in FIG. 7 indicate the same or corresponding parts.

【0015】以下、動作を説明する。コイル1を通電す
ると、マグネットに磁界が発生する。この磁界により、
荷電粒子はローレンツ力を受ける。このローレンツ力を
利用して、入射ビームラインから入射される荷電粒子6
を曲げる。その際、ビーム軌道の接線方向に放射光が発
生する。磁界が発生すると、各コイル巻線2,3,4が
リターンヨーク11に引き寄せられる電磁力が発生する
。リターンヨーク11はコイル1の巻線を囲むように設
置されているため複雑な方向の電磁力が発生する。これ
らの力の合成により、コイル全体1とリターンヨーク1
1間に強大な径方向の電磁力が働くことになる。この実
施例では、リターンヨーク上下天板11cに偏向マグネ
ット外側へ可動できる強磁性体シム7を設けている。 このようなリターンヨーク11を設置することにより、
コイル巻線1と上下天板11c間の距離を等価的に広げ
ることができ、コイル1とリターンヨーク11間に働く
電磁力が変化する。よって、これらの電磁力をつり合わ
せてコイル全体に働く径方向の電磁力を実質的にゼロに
することができる。
The operation will be explained below. When the coil 1 is energized, a magnetic field is generated in the magnet. This magnetic field causes
Charged particles are subject to Lorentz forces. Using this Lorentz force, charged particles 6 incident from the incident beam line
bend. At this time, synchrotron radiation is generated in the tangential direction of the beam trajectory. When a magnetic field is generated, an electromagnetic force is generated that draws each coil winding 2, 3, 4 toward the return yoke 11. Since the return yoke 11 is installed so as to surround the winding of the coil 1, electromagnetic force is generated in complicated directions. By combining these forces, the entire coil 1 and the return yoke 1
A strong radial electromagnetic force acts between the two. In this embodiment, a ferromagnetic shim 7 that can be moved to the outside of the deflection magnet is provided on the upper and lower return yoke top plates 11c. By installing such a return yoke 11,
The distance between the coil winding 1 and the upper and lower top plates 11c can be equivalently increased, and the electromagnetic force acting between the coil 1 and the return yoke 11 changes. Therefore, by balancing these electromagnetic forces, the radial electromagnetic force acting on the entire coil can be made substantially zero.

【0016】また、コイル1の組立誤差によるコイル1
とリターンヨーク11間の距離の徴調が可能となり、こ
の誤差に基づくアンバランス磁気吸引力の補正が可能と
なる。これによって、径方向の電磁力がマグネットの励
磁時の位置ズレなどの小さな偏心に対応するだけとなる
ので、サポートする支持材を極めて小さくできる。この
ため液体ヘリウムなどの寒剤の消費量が激減し、マグネ
ットの運転経費が極めて安価となる。
[0016] Also, the coil 1 due to the assembly error of the coil 1
It becomes possible to adjust the distance between the return yoke 11 and the return yoke 11, and it becomes possible to correct the unbalanced magnetic attraction force based on this error. As a result, the electromagnetic force in the radial direction only responds to small eccentricities such as positional deviations during magnet excitation, so the support material to be supported can be made extremely small. This dramatically reduces the consumption of cryogens such as liquid helium, making the operating costs of the magnet extremely low.

【0017】さらに、高磁界が発生すると強磁性体によ
り構成されているリターンヨーク11が磁気飽和を起こ
す。そのため漏れ磁界のシールド効果が低下し偏向マグ
ネットの外側への漏れ磁界が大きくなり、有効にシール
ドするために強磁性体の量を増やす必要があり、重量が
増す。しかし、この実施例では、リターンヨーク内に空
隙9を設けたために、空隙9でいったん磁気抵抗が高く
なる。そのために空隙9を挟んで外側のリターンヨーク
W2 へ侵入する磁場が減少しリターンヨークW2 の
磁気飽和が緩和され、リターンヨーク11の量を増加さ
せることなく漏れ磁界を有効にシールドできる。特に、
空隙9を挟んで内側のリターンヨークW1 を厚くする
ことにより外側のリターンヨークW2 に侵入する磁場
をより有効に減少させることができる。
Furthermore, when a high magnetic field is generated, the return yoke 11 made of a ferromagnetic material undergoes magnetic saturation. As a result, the shielding effect of the leakage magnetic field decreases, and the leakage magnetic field to the outside of the deflection magnet increases, and in order to effectively shield it, it is necessary to increase the amount of ferromagnetic material, which increases the weight. However, in this embodiment, since the air gap 9 is provided in the return yoke, the magnetic resistance becomes high once at the air gap 9. Therefore, the magnetic field penetrating the outer return yoke W2 across the air gap 9 is reduced, the magnetic saturation of the return yoke W2 is alleviated, and leakage magnetic fields can be effectively shielded without increasing the amount of the return yoke 11. especially,
By increasing the thickness of the inner return yoke W1 across the air gap 9, the magnetic field penetrating the outer return yoke W2 can be more effectively reduced.

【0018】実施例  2〜4 図3、図4および図5はそれぞれ他の実施例を示し、可
動方向の異なる強磁性体シム7を取り付けたものである
。図3に示したものは、偏向マグネットの内側に動作す
る可動式強磁性体シム7である。図4はそれぞれ図1、
図2に示した動作方向の違う可動式強磁性体シム7を組
み合わせて設置したもの、また、図5はマグネットの内
外両方向に動作可能な可動式強磁性体シムを示したもの
である。
Embodiments 2 to 4 FIGS. 3, 4 and 5 each show other embodiments in which ferromagnetic shims 7 having different movable directions are attached. Shown in FIG. 3 is a movable ferromagnetic shim 7 operating inside the deflection magnet. Figure 4 is Figure 1, respectively.
FIG. 2 shows a combination of movable ferromagnetic shims 7 that operate in different directions, and FIG. 5 shows a movable ferromagnetic shim that can move both inward and outward directions of the magnet.

【0019】また、図3、図4および図5に示すものは
、いずれもリターンヨーク上下天板11cにシム7を取
り付けたが、外側リターンヨーク11bや内側リターン
ヨーク11aに設置しても良く、それぞれ組み合わせて
設置し、使用することによりあらゆる方向の調整が可能
となる。もちろん上記実施例と同様の効果を奏すること
は言うまでもない。
Furthermore, although the shims 7 are attached to the upper and lower top plates 11c of the return yoke in each case shown in FIGS. 3, 4, and 5, they may be installed on the outer return yoke 11b or the inner return yoke 11a. By installing and using them in combination, adjustment in all directions is possible. Of course, it goes without saying that the same effects as in the above embodiment can be achieved.

【0020】実施例  6 図6は第2の発明の他の実施例を示し、空隙9をリター
ンヨーク上下天板11cに設置したものである。また、
空隙9は内側リターンヨーク11aに設置するとも可能
であり、リターンヨーク11の磁気飽和の位置、程度に
より複数の箇所に設置することも可能である。上記実施
例と同様の効果を奏することは言うまでもない。
Embodiment 6 FIG. 6 shows another embodiment of the second invention, in which gaps 9 are provided in the upper and lower return yoke top plates 11c. Also,
The air gap 9 can be installed in the inner return yoke 11a, or can be installed in a plurality of locations depending on the position and degree of magnetic saturation of the return yoke 11. It goes without saying that the same effects as in the above embodiment can be achieved.

【0021】また、この発明の第1の発明と第2の発明
はそれぞれ独自の効果を奏するため、単独に使用しても
その効果は変わりなく、勿論両方組み合わせることによ
り2つの効果を同時に得ることができる。
[0021] Also, since the first invention and the second invention of this invention each have their own effects, the effect remains the same even when used alone, and of course, by combining both, the two effects can be obtained at the same time. Can be done.

【0022】さらに、コイル1は超電導および常電導の
いずれも使用することができる。また、上記実施例では
偏向角度が180゜のものを示したが、他の角度にも適
用できる。
Furthermore, the coil 1 can be either superconducting or normal conducting. Further, although the above embodiment shows a case where the deflection angle is 180 degrees, it can also be applied to other angles.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、リタ
ーンヨークに複数個の可動式強磁性体シムを取り付けた
ことにより、各コイル巻線と各リターンヨーク間の距離
の調整を可能にし、各コイル巻線と各リターンヨーク間
に働く電磁力をつり合わせることを容易にし、コイルと
リターンヨーク間に働く径方向の電磁力を実質的にゼロ
にできる。また、コイル巻線の組立誤差を外部から容易
に調整できる。このため、支持材を減少させることがで
き、装置の構成が容易にでき装置が高性能にでき、運転
経費が安価となるなどの効果がある。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, by attaching a plurality of movable ferromagnetic shims to the return yoke, it is possible to adjust the distance between each coil winding and each return yoke. , it is easy to balance the electromagnetic force acting between each coil winding and each return yoke, and the radial electromagnetic force acting between the coil and return yoke can be made substantially zero. Furthermore, assembly errors in the coil winding can be easily adjusted from the outside. Therefore, the number of supporting materials can be reduced, the construction of the device can be facilitated, the device can have high performance, and operating costs can be reduced.

【0024】また、リターンヨーク内に空隙を設けたこ
とにより、リターンヨークの重量を増すことなくマグネ
ット外部への漏れ磁界を低減でき、マグネットの重量化
を防ぎ、偏向マグネットの移動、周辺の機器のシールド
を簡便化できる効果がある。
Furthermore, by providing a gap in the return yoke, it is possible to reduce the leakage magnetic field to the outside of the magnet without increasing the weight of the return yoke, preventing the weight of the magnet from increasing, and preventing the movement of the deflection magnet and the surrounding equipment. This has the effect of simplifying shielding.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】この発明の請求項1,2,3いずれかの一実施
例の横断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of one embodiment of any one of claims 1, 2, and 3 of the present invention.

【図2】図1のものの平断面図である。FIG. 2 is a plan sectional view of that of FIG. 1;

【図3】この発明の請求項1の他の実施例の横断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view of another embodiment of claim 1 of the present invention.

【図4】この発明の請求項1のさらに他の実施例の横断
面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of still another embodiment of claim 1 of the present invention.

【図5】この発明の請求項1の別の実施例の横断面図で
ある。
FIG. 5 is a cross-sectional view of another embodiment of claim 1 of the present invention.

【図6】この発明の請求項2または3の他の実施例の横
断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of another embodiment of claim 2 or 3 of the present invention.

【図7】従来の荷電粒子装置用偏向マグネットの一部断
面分解斜視図である。
FIG. 7 is a partially sectional exploded perspective view of a conventional deflection magnet for a charged particle device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    コイル 2    外径側コイル巻線 3    内径側コイル巻線 4    端部コイル巻線 6    荷電粒子 7    強磁性体シム 9    空隙 11    リターンヨーク 1 Coil 2   Outer diameter side coil winding 3 Inner diameter side coil winding 4 End coil winding 6 Charged particles 7 Ferromagnetic shim 9 Void 11 Return yoke

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  外径側コイル巻線、内径側コイル巻線
、およびこれらのコイル巻線を接続する端部コイル巻線
からなるコイルを1対と、上記コイルを一定距離をおい
て取り囲むリターンヨークとを備えた荷電粒子装置用偏
向マグネットにおいて、複数個の可動式強磁性体シムが
設けられた上記リターンヨークを備えてなることを特徴
とする荷電粒子装置用偏向マグネット。
1. A pair of coils consisting of an outer diameter coil winding, an inner diameter coil winding, and an end coil winding connecting these coil windings, and a return that surrounds the coil at a certain distance. A deflection magnet for a charged particle device, characterized in that the deflection magnet for a charged particle device is equipped with the above return yoke provided with a plurality of movable ferromagnetic shims.
【請求項2】  外径側コイル巻線、内径側コイル巻線
、およびこれらのコイル巻線を接続する端部コイル巻線
からなるコイルを1対と、上記コイルを一定距離をおい
て取り囲むリターンヨークとを備えた荷電粒子装置用偏
向マグネットにおいて、マグネット外部への漏れ磁界を
減少させるための空隙が形成された上記リターンヨーク
を備えてなることを特徴とする荷電粒子装置用偏向マグ
ネット。
2. A pair of coils consisting of an outer diameter coil winding, an inner diameter coil winding, and an end coil winding connecting these coil windings, and a return that surrounds the coil at a certain distance. A deflection magnet for a charged particle device, characterized in that the deflection magnet for a charged particle device is equipped with the above-mentioned return yoke in which a gap is formed to reduce a leakage magnetic field to the outside of the magnet.
【請求項3】  空隙をはさんでマグネット外側のリタ
ーンヨークより上記マグネット内のまリターンヨークを
厚くしたことを特徴とする請求項2記載の荷電粒子装置
用偏向マグネット。
3. The deflection magnet for a charged particle device according to claim 2, wherein the return yoke inside the magnet is thicker than the return yoke outside the magnet across a gap.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017188481A (en) * 2012-09-28 2017-10-12 メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド Magnetic shims to alter magnetic fields

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