JP2941411B2 - Surface inspection equipment - Google Patents

Surface inspection equipment

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JP2941411B2 JP31588290A JP31588290A JP2941411B2 JP 2941411 B2 JP2941411 B2 JP 2941411B2 JP 31588290 A JP31588290 A JP 31588290A JP 31588290 A JP31588290 A JP 31588290A JP 2941411 B2 JP2941411 B2 JP 2941411B2
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【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、ロール等に接した状態で走行する帯状物
の表面をそのロール等に接した位置にて幅方向に光電的
に走査して欠陥を検出する表面検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial field of application) The present invention relates to a method in which a surface of a belt-shaped object traveling in contact with a roll or the like is photoelectrically moved in a width direction at a position in contact with the roll or the like. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a surface inspection apparatus for detecting defects by scanning.

(従来の技術) この種の表面検査装置の従来の代表的な構成を第4図
に示している。被検査物である長尺の帯状物1がロール
2に接した状態で走行する。ロール2に接した位置では
帯状物1は振動したり撓んだりしないので、光電的走査
はこの位置で行われる。つまり、ロール2に接した部分
の帯状物1の表面が光源3で照明され、その反射光を受
光器4で受光して帯状物1を幅方向に走査する。走査に
はフライングスポット、フライングイメージ、一次元カ
メラ等の各種の方式がある。
(Prior Art) FIG. 4 shows a typical conventional structure of this type of surface inspection apparatus. The long strip 1 to be inspected runs in contact with the roll 2. Since the strip 1 does not vibrate or bend at the position in contact with the roll 2, photoelectric scanning is performed at this position. That is, the surface of the strip 1 in contact with the roll 2 is illuminated by the light source 3, the reflected light is received by the light receiver 4, and the strip 1 is scanned in the width direction. There are various types of scanning, such as a flying spot, a flying image, and a one-dimensional camera.

光電的走査は帯状物1の幅より少し長い範囲にわたっ
て行われるので、ロール2の表面も走査される。ロール
2の表面から帯状物1からと同等の反射光があると、受
光信号の処理系でロール2の表面の検査信号なのか帯状
物1の表面の検査信号なのかを区別することができな
い。そこで受光器4に入るロール2からの反射光の強度
を充分に小さくするために、遮光装置5を設けて、帯状
物1で覆われていない部分のロール2に光源3からの照
明光が当らないようにしている。つまり、帯状物1の両
側に露出しているロール2の部分が影になるように遮光
装置5を設けている。こうするとロール2の部分の反射
光レベルは充分に小さくなり、帯状物1からの反射光レ
ベルと確実に区別することができる。
Since the photoelectric scanning is performed over a range slightly longer than the width of the strip 1, the surface of the roll 2 is also scanned. If there is the same reflected light from the surface of the roll 2 as that from the band 1, it is impossible to distinguish whether the inspection signal is the inspection signal of the surface of the roll 2 or the inspection signal of the surface of the band 1 in the processing system of the received light signal. Therefore, in order to sufficiently reduce the intensity of the reflected light from the roll 2 entering the light receiver 4, a light-shielding device 5 is provided so that the illumination light from the light source 3 impinges on the roll 2 which is not covered with the strip 1. I try not to. That is, the light-shielding device 5 is provided so that the portions of the roll 2 exposed on both sides of the strip 1 are shaded. In this way, the level of the reflected light at the portion of the roll 2 becomes sufficiently small, and can be reliably distinguished from the level of the reflected light from the strip 1.

(発明が解決しようとする課題) 前述した従来の技術において、ロール2に接して走行
する帯状物1が幅方向にまったく変動しないのであれ
ば、簡単な遮光装置5でもって目的を達成することがで
きる。しかし帯状物1は走行に伴って幅方向に変動する
場合が多く、露出したロール2の面に照明光を当てず、
かつ帯状物1の表面は影にならない状態を保つのは現実
的に困難であった。
(Problem to be Solved by the Invention) In the above-described conventional technology, if the strip 1 traveling in contact with the roll 2 does not fluctuate at all in the width direction, the object can be achieved with a simple light shielding device 5. it can. However, the strip 1 often fluctuates in the width direction as it travels, and does not irradiate the exposed surface of the roll 2 with illumination light.
In addition, it was practically difficult to keep the surface of the band 1 out of the shadow.

この発明は前述した従来の問題点に鑑みなされたもの
で、その目的は、ロール等に接した位置にて帯状物を幅
方向に走査する表面検査装置において、帯状物が幅方向
に変動しても、帯状物表面からの反射光レベルに対して
ロール等の表面からの反射光レベルを充分に小さく保て
るようにすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a surface inspection apparatus that scans a strip in the width direction at a position in contact with a roll or the like. Another object of the present invention is to keep the level of the reflected light from the surface of the roll or the like sufficiently small with respect to the level of the reflected light from the surface of the strip.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するため、本発明の表面検査装置は、
ロール等に接した状態で走行する帯状物の表面をこのロ
ール等に接した位置にて幅方向に光学的に走査して表面
を検査する装置において、表面の色が検査のための照明
光源の色に対して補色であるロール等と、前記帯状物の
走行量を検出する走行量検出手段と、前記走査の開始を
検出する走査開始検出手段と、この走査開始検出手段か
らの走査開始を受けて、走行量検出手段による前記帯状
物の走行量の検出結果に基づき前記帯状物の所定走行量
毎の走査結果を入力する走査結果入力手段と、前記走査
の幅を所定幅の領域に分割して、走査結果入力手段から
の所定走行量毎の走査結果について、分割した各領域毎
に前記帯状物からの反射光レベルが所定レベルを越える
頻度を計数する計数手段と、を有することを要旨とす
る。
[Configuration of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, a surface inspection apparatus of the present invention comprises:
In a device that inspects the surface by optically scanning the surface of a strip running in contact with a roll or the like in a width direction at a position in contact with the roll or the like, the color of the surface is an illumination light source for inspection. A roll or the like that is complementary to the color, travel amount detection means for detecting the travel amount of the strip, scan start detection means for detecting the start of the scan, and receiving a scan start from the scan start detection means. Scanning result input means for inputting a scanning result for each predetermined traveling amount of the band based on a detection result of the traveling amount of the band by the traveling amount detecting means, and dividing a width of the scanning into an area having a predetermined width. And counting means for counting the frequency at which the level of light reflected from the strip exceeds a predetermined level for each of the divided areas for the scanning result for each predetermined travel distance from the scanning result input means. I do.

(作用) 被検査物である帯状物の両側に前記ロール等が露出
し、そこにも走査のための照明光が当たり、そこからの
反射光も受光器に入って走査されることになるが、照明
光の色に対してロール等の表面の色が補色になっている
ので、ロール等の表面からの反射光レベルは充分に小さ
くなる。加えて、光学的な走査の幅を所定幅の領域に分
割して、分割した各領域毎に走査する帯状物からの異常
反射の頻度を計数して行くことで、帯状物の表面状況に
関する情報を収集している。
(Operation) The rolls and the like are exposed on both sides of the belt-like object to be inspected. Illumination light for scanning also hits the roll, and reflected light from the roll enters the light receiver and is scanned. Since the color of the surface of the roll or the like is complementary to the color of the illumination light, the level of light reflected from the surface of the roll or the like becomes sufficiently small. In addition, by dividing the width of the optical scanning into regions of a predetermined width and counting the frequency of abnormal reflection from the scanning band for each of the divided regions, information on the surface condition of the band is obtained. Have collected.

(実施例) 走査のための照明光源としてHe−Neレーザ等の赤色光
源を用いる場合、ロール等の表面の色を青ないし緑色に
選定する。
(Example) When a red light source such as a He-Ne laser is used as an illumination light source for scanning, the surface color of a roll or the like is selected from blue or green.

また走査のための受光器に偏光フィルタを設け、ロー
ル等の表面からの反射光を減衰させるようにすればさら
に好ましい。
Further, it is more preferable to provide a polarizing filter in a light receiver for scanning so as to attenuate light reflected from a surface such as a roll.

走査のための受光器の出力において、被検査物である
帯状物の表面からの反射光レベルに対し、ロール等の表
面からの反射光レベルが充分に小さく保たれていれば、
受光出力の有効部分(帯状物の検査信号)と無効部分
(帯状物からはみだした部分)とを簡単かつ正確に区別
することができる。以下ではそのための信号処理につい
て説明する。
In the output of the photodetector for scanning, if the reflected light level from the surface of the roll or the like is kept sufficiently small with respect to the reflected light level from the surface of the belt-like object to be inspected,
It is possible to easily and accurately distinguish an effective portion (a test signal of a strip) and an ineffective portion (a portion protruding from the strip) of the received light output. Hereinafter, signal processing for that will be described.

第1図において、1は帯状物、2はロール、3は照明
光源、4は受光器であり、前述のようにロール2の表面
の色は照明光源3の色に対して補色になっている。従っ
て受光器4の出力aにおいて、帯状物1の走査部分Bの
レベルに対し、ロール2の走査部分AおよびCのレベル
は充分に低くなる。そこで設定器6からの適宜なしきい
値bと受光出力aとをコンパレータ7で比較してレベル
弁別にすれば、同図のように正確なゲート信号cが得ら
れ、この信号cでゲート8を制御すれば、帯状物1の走
査部分Bの信号dを抽出することができる。
In FIG. 1, 1 is a strip, 2 is a roll, 3 is an illumination light source, and 4 is a light receiver. As described above, the color of the surface of the roll 2 is complementary to the color of the illumination light source 3. . Therefore, at the output a of the light receiver 4, the level of the scanning portions A and C of the roll 2 is sufficiently lower than the level of the scanning portion B of the strip 1. Therefore, if the appropriate threshold value b from the setting unit 6 and the light receiving output a are compared by the comparator 7 to perform level discrimination, an accurate gate signal c is obtained as shown in FIG. By controlling, the signal d of the scanning portion B of the strip 1 can be extracted.

別の信号処理の例を第2図と第3図に示している。こ
こでは受光器4の出力aを微分回路9で微分し、その微
分出力eをコンパレータ10a,10にて設定器11からの正負
のしきい値+Vs,−Vsと比較してレベル弁別する。
Another example of signal processing is shown in FIG. 2 and FIG. Here, the output a of the light receiver 4 is differentiated by the differentiating circuit 9, and the differentiated output e is compared with the positive / negative thresholds + Vs, -Vs from the setter 11 by the comparators 10a, 10 to discriminate the level.

コンパレータ10aから出力される正微分パルスfには
帯状物1の一方のエッジ信号E1が含まれ、コンパレータ
10bから出力される負微分パルスgには帯状物1の他方
のエッジ信号E2が含まれる。
The positive differential pulse f output from the comparator 10a includes one edge signal E1 of the strip 1 and
The negative differential pulse g output from 10b includes the other edge signal E2 of the strip 1.

一方、走査開始検査手段を構成するセンサ12により走
査開始信号hが得られ、また帯状体1の走行に同期した
信号がパルスジェネレータ13から得られる。パルスジェ
ネレータ13の出力は分周器14で分周され、微小な一定ピ
ッチ1ごとの信号と、ある程度大きな一定走行量Lごと
の信号が作られる。この分周器14の出力と走査開始信号
hとを受けてメモリコントローラ15が動作し、走査開始
信号hでリセットされた後、一定ピッチ1ごとの信号で
カウントアップされる。なお、パルスジェネレータ13お
よび分周器14は、走行量検出手段を構成するものであ
る。
On the other hand, a scanning start signal h is obtained by the sensor 12 constituting the scanning start inspection means, and a signal synchronized with the running of the strip 1 is obtained from the pulse generator 13. The output of the pulse generator 13 is frequency-divided by the frequency divider 14 to generate a signal for each minute constant pitch 1 and a signal for each constant traveling distance L which is relatively large. The memory controller 15 operates in response to the output of the frequency divider 14 and the scan start signal h, and is reset by the scan start signal h. Note that the pulse generator 13 and the frequency divider 14 constitute a traveling amount detecting means.

メモリ16a(16b)は入力段に加算器をもち、コンパレ
ータ10a(10b)から正微分パルス(負微分パルス)が出
力されるごとにメモリコントローラ15のアドレスをリー
ドし、前回の値に対し正微分パルス(負微分パルス)が
あった場合“1"を加算し記憶する。つまりアドレス単位
に加算していくマルチ加算型として働く。
The memory 16a (16b) has an adder at the input stage, and reads the address of the memory controller 15 every time a positive differential pulse (negative differential pulse) is output from the comparator 10a (10b), and performs positive differential with respect to the previous value. If there is a pulse (negative differential pulse), "1" is added and stored. In other words, it works as a multi-addition type in which addition is performed in address units.

メモリ16a(16b)に加算記憶するタイミングは、ライ
ン進行する毎に進行量に同期してパルスを発生するパル
スジェネレータ13からの信号を分周器14により分周して
得られる一定ピッチ1毎にサンプリングして記憶する形
をとる。つまりメモリ16a(16b)内に記憶された内容は
走査開始点から帯状物幅方向をメモリアドレス単位wで
区分しかつ帯状物進行方向をピッチ1毎に絵素化状態の
流れ方向のコンパレータ10a(10b)の出力パルス数を抽
出し流れ方向に斜影を求めたことになる。ここで流れ方
向進行量L(1<L)を経過すると、メモリ16a(16b)
内にはコンパレータ10a(10b)のパルス出力を幅方向毎
に細かく細分化した幅位置毎のカウント値が記憶されて
いることになる。なお、コンパレータ10a,10b、設定器1
1、メモリコントローラ15およびメモリ16a,16bは、走査
結果入力手段および計数手段を構成するものである。一
定値L進むと、メモリ16a(16b)の内容はアドレスバス
のアドレスに従がい順次読出されて行き、その内容を
正,負独立のプロフィル比較器17a(17b)により設定器
18a(18b)の設定値と比較し設定値を越えたアドレスを
ラッチ回路19a(19b)によりラッチする。この時、正極
性のラッチ19aは設定値を越える毎にラッチするが、負
極性の設定値を越えたアドレス以後はラッチを禁止する
ようにする。積算されたプロフィールは帯状物エッジ部
では連続して微分パルスが発生するのに対しロール2の
汚れ、疵は連続的に微分パルスが出ずらくなるので(ロ
ールの場合回転するので間欠点発生となる)、積算値が
エッジより低いので確実に分離可能となる。ラッチされ
た正極性アドレス、負極性アドレスは次の走行量Lの信
号まで更新せず、走査開始信号に同期したアドレスとラ
ッチされたアドレスを正/負独立に比較器20a(20b)に
より比較し、それぞれ一致した点でゲート用フリップフ
ロップ21に対し正極性アドレス一致点をセット信号とし
て負極性アドレス一致点をリセット信号として与えるこ
とにより、フリプフロップ21の出力は正しいゲート信号
cとなる。
The timing of addition and storage in the memory 16a (16b) is determined at every fixed pitch 1 obtained by dividing the signal from the pulse generator 13 which generates a pulse in synchronization with the progress amount every time the line progresses by the frequency divider 14. Take the form of sampling and storing. In other words, the contents stored in the memory 16a (16b) are divided in the width direction of the band from the scanning start point by the memory address unit w, and the traveling direction of the band is pitched at every pitch and the flow direction comparator 10a ( This means that the number of output pulses in 10b) is extracted and the oblique shadow is obtained in the flow direction. Here, when the flow direction progress amount L (1 <L) has elapsed, the memory 16a (16b)
This stores the count value for each width position obtained by finely dividing the pulse output of the comparator 10a (10b) in each width direction. The comparators 10a and 10b and the setting device 1
1. The memory controller 15 and the memories 16a and 16b constitute scanning result input means and counting means. When the value advances by a certain value L, the contents of the memory 16a (16b) are sequentially read out according to the address of the address bus, and the contents are set by the positive and negative independent profile comparators 17a (17b).
The address exceeding the set value is compared with the set value of 18a (18b) and latched by the latch circuit 19a (19b). At this time, the latch 19a of the positive polarity latches every time the set value is exceeded, but the latch is prohibited after the address exceeding the set value of the negative polarity. In the integrated profile, the differential pulse is continuously generated at the edge portion of the strip, whereas the dirt and flaws on the roll 2 are difficult to continuously generate the differential pulse. ), Since the integrated value is lower than the edge, the separation can be reliably performed. The latched positive address and negative address are not updated until the next signal of the travel distance L, and the address synchronized with the scanning start signal and the latched address are independently and positively / negatively compared by the comparator 20a (20b). By giving the positive address coincidence point as a set signal and the negative address coincidence point as a reset signal to the gate flip-flop 21 at each coincident point, the output of the flip-flop 21 becomes the correct gate signal c.

なお帯状物エッジ部とロール2のプロフィール積算値
が近似し前述の条件が満足出来ないような場合、アドレ
スバスを正極性用と負極性用の2系列に分離し、走行量
Lごとの信号による読出し時アドレスカウンタをバス切
換ゲートにより切り換え、正極性データはメモリ書込み
範囲の1/2からダウンカウントして読出し、負極性デー
タは1/2からアップカウントして読出し、各々最初の比
較設定値を越えたアドレスをラッチして求め、以後前記
と同様にフリップフロップ21のセット,リセットを行な
いゲート信号cを出力しても良い。
If the profile integration value of the edge of the strip and that of the roll 2 are close to each other and the above-mentioned conditions cannot be satisfied, the address bus is separated into two systems, one for the positive polarity and the other for the negative polarity. When reading, the address counter is switched by the bus switching gate, positive data is read by counting down from 1/2 of the memory writing range, and negative data is read by counting up from 1/2 and the first comparison set value is read. The exceeded address may be latched and the flip-flop 21 may be set and reset in the same manner as described above to output the gate signal c.

[発明の効果] 以上詳細に説明したように、この発明では、走査のた
めの照明光源の色に対し、帯状物(被検査物)の接する
ロール等の色を補色の関係になるように選定したので、
帯状物が走行に伴ってロール等の上で幅方向に変動して
も、走査受光器の出力において、帯状物の表面からの反
射光レベルに対してロール等の表面からの反射光レベル
は充分低い状態に常に保たれ、簡単な回路処理で走査出
力の有効部分のみを正確に抽出することができる。加え
て、光学的な走査の幅を所定幅の領域に分割して、分割
した各領域毎に走査による帯状物からの異常反射の頻度
を計数して行くことで、帯状物の表面状況に関する情報
を収集しているので、帯状物の表面状況の的確な検査に
寄与することができる。
[Effects of the Invention] As described above in detail, in the present invention, the color of a roll or the like in contact with a strip (inspected object) is selected so as to have a complementary color relationship with the color of an illumination light source for scanning. Because
Even if the strip fluctuates in the width direction on a roll or the like as it travels, the level of light reflected from the surface of the roll or the like is sufficiently higher than the level of light reflected from the surface of the strip in the output of the scanning photodetector. The low state is always maintained, and only the effective portion of the scan output can be accurately extracted by simple circuit processing. In addition, by dividing the width of the optical scanning into regions of a predetermined width and counting the frequency of abnormal reflection from the band by scanning for each of the divided regions, information on the surface state of the band is obtained. Is collected, it is possible to contribute to an accurate inspection of the surface condition of the band.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明を採用した装置における信号処理系の一
例の構成と波形を示す図、第2図は同じく信号処理系の
他の例を示すブロック図、第3図は第2図の動作波形
図、第4図は従来装置の構成図である。 1……帯状物、2……ロール 3……照明光源、4……受光器 5……遮光装置、6……設定器 7……コンパレータ、8……ゲート
FIG. 1 is a diagram showing a configuration and a waveform of an example of a signal processing system in an apparatus adopting the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing another example of the signal processing system, and FIG. FIG. 4 is a waveform diagram, and FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Strip | belt-shaped material, 2 ... Roll 3 ... Illumination light source 4, ... Light receiver 5 ... Light shielding device, 6 ... Setting device 7 ... Comparator, 8 ... Gate

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ロール等に接した状態で走行する帯状物の
表面をこのロール等に接した位置にて幅方向に光学的に
走査して表面を検査する装置において、 表面の色が検査のための照明光源の色に対して補色であ
るロール等と、 前記帯状物の走行量を検出する走行量検出手段と、 前記走査の開始を検出する走査開始検出手段と、 この走査開始検出手段からの走査開始を受けて、走行量
検出手段による前記帯状物の走行量の検出結果に基づき
前記帯状物の所定走行量毎の走査結果を入力する走査結
果入力手段と、 前記走査の幅を所定幅の領域に分割して、走査結果入力
手段からの所定走行量毎の走査結果について、分割した
各領域毎に前記帯状物からの反射光レベルが所定レベル
を越える頻度を計数する計数手段と、 を有することを特徴とする表面検査装置。
An apparatus for inspecting a surface of a belt-shaped object traveling in contact with a roll or the like by optically scanning the surface in a width direction at a position in contact with the roll or the like. A roll or the like that is complementary to the color of the illumination light source, travel amount detection means for detecting the travel amount of the strip, scanning start detection means for detecting the start of scanning, and scanning start detection means. Receiving the start of scanning, scanning result input means for inputting a scanning result for each predetermined traveling amount of the band based on a detection result of the traveling amount of the band by the traveling amount detecting means; and setting the width of the scanning to a predetermined width. Counting means for counting the frequency at which the reflected light level from the strip exceeds a predetermined level for each of the divided areas with respect to the scanning result for each predetermined traveling amount from the scanning result input means. Characterized by having Surface inspection apparatus.
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