JP2936662B2 - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JP2936662B2 JP2936662B2 JP18210990A JP18210990A JP2936662B2 JP 2936662 B2 JP2936662 B2 JP 2936662B2 JP 18210990 A JP18210990 A JP 18210990A JP 18210990 A JP18210990 A JP 18210990A JP 2936662 B2 JP2936662 B2 JP 2936662B2
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- JP
- Japan
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- microscope
- stage
- axis
- defect
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液晶基板のように透明基板上に形成された
デバイスの検査において、目視検査により発見された欠
陥個所の形状、大きさ、分類等の確認のために使用する
顕微鏡に関するものである。
デバイスの検査において、目視検査により発見された欠
陥個所の形状、大きさ、分類等の確認のために使用する
顕微鏡に関するものである。
従来、目視検査により発見された検査基板の欠陥箇所
の確認を顕微鏡で行なう場合には、目視では顕微鏡の観
察視野がわからないため観察視野の近くと思われるとこ
ろに欠陥個所を置いて顕微鏡をのぞきながらｘ、ｙ方向
へテーブルを移動させて欠陥個所を探したり、観察光を
反射光にして目視でその反射光が欠陥箇所により乱反射
することにより欠陥位置を特定したのち顕微鏡で観察す
るという方法により欠陥箇所の観察を行なっていた。
の確認を顕微鏡で行なう場合には、目視では顕微鏡の観
察視野がわからないため観察視野の近くと思われるとこ
ろに欠陥個所を置いて顕微鏡をのぞきながらｘ、ｙ方向
へテーブルを移動させて欠陥個所を探したり、観察光を
反射光にして目視でその反射光が欠陥箇所により乱反射
することにより欠陥位置を特定したのち顕微鏡で観察す
るという方法により欠陥箇所の観察を行なっていた。
しかし、前者の欠陥箇所の位置出し方法の場合ｘ、ｙ
方向への走査が必要なため欠陥箇所が観察視野に入るた
めには時間がかかり、後者の欠陥箇所の位置出し方法の
場合には、欠陥の種類により必ずしも乱反射するとは限
らないという問題点を有する。
方向への走査が必要なため欠陥箇所が観察視野に入るた
めには時間がかかり、後者の欠陥箇所の位置出し方法の
場合には、欠陥の種類により必ずしも乱反射するとは限
らないという問題点を有する。
そこで本発明は、このような問題点を解決するための
もので、欠陥箇所を顕微鏡の観察視野に入れるための位
置出しを欠陥の形状や付着物の種類によらず短時間で行
なうことを目的とする。
もので、欠陥箇所を顕微鏡の観察視野に入れるための位
置出しを欠陥の形状や付着物の種類によらず短時間で行
なうことを目的とする。
本発明による顕微鏡は、Ｘ軸、Ｙ軸方向に可動で、か
つ目視できる印が附されているステージを有する顕微鏡
において、該ステージのＸ軸、Ｙ軸方向とも定点停止機
能を有し、Ｙ軸、Ｘ軸方向とも定点に停止させたときは
前記目視できる印が顕微鏡の観察視野に丁度入るように
したことを特徴とする。
つ目視できる印が附されているステージを有する顕微鏡
において、該ステージのＸ軸、Ｙ軸方向とも定点停止機
能を有し、Ｙ軸、Ｘ軸方向とも定点に停止させたときは
前記目視できる印が顕微鏡の観察視野に丁度入るように
したことを特徴とする。
このような構成により、目視でステージの印を透明基
板を通して確認しつつ、透明基板の欠陥個所と一致させ
た後にステージを移動して定点に停止させると欠陥個所
が観察視野に入るため、欠陥の形状や付着物の種類によ
らず短時間に観察することができる。
板を通して確認しつつ、透明基板の欠陥個所と一致させ
た後にステージを移動して定点に停止させると欠陥個所
が観察視野に入るため、欠陥の形状や付着物の種類によ
らず短時間に観察することができる。
本発明の顕微鏡のステージは、第１図に示すように
ｘ、ｙ方向へのステージ１の移動を行なうための歯車２
とラック３、さらにxy方向それぞれのラックに定点停止
を行なったためのストッパー９から構成されている。
ｘ、ｙ方向へのステージ１の移動を行なうための歯車２
とラック３、さらにxy方向それぞれのラックに定点停止
を行なったためのストッパー９から構成されている。
また、ストッパー９は板バネとラックの溝から構成す
るのが最も簡易的な方法であるが、この方法に特定され
るものではなく各種の方法が考えられる。また、ストッ
パー９により定点に停止した場合の顕微鏡の観察視野を
示す印４がステージ１を構成するガラス板６上に配置さ
れている。印４は、一例として観察視野の外周を示す円
が考えられる。この円の大きさは顕微鏡の最低倍率の視
野とすることが適当で、これにより円をより大きくする
ことができ目視で欠陥箇所と合せることが容易となる。
また、線の太さは、目視で確認が容易かつできるだけ細
いことが望ましく0.1〜3mmが適当であるが、それ以上で
も使用することができる。
るのが最も簡易的な方法であるが、この方法に特定され
るものではなく各種の方法が考えられる。また、ストッ
パー９により定点に停止した場合の顕微鏡の観察視野を
示す印４がステージ１を構成するガラス板６上に配置さ
れている。印４は、一例として観察視野の外周を示す円
が考えられる。この円の大きさは顕微鏡の最低倍率の視
野とすることが適当で、これにより円をより大きくする
ことができ目視で欠陥箇所と合せることが容易となる。
また、線の太さは、目視で確認が容易かつできるだけ細
いことが望ましく0.1〜3mmが適当であるが、それ以上で
も使用することができる。
第２図（ａ）（ｂ）は本発明による顕微鏡のステージ
の使用方法を示すものである。目視で検査基板７に欠陥
箇所８が発見された場合、第２図（ａ）に示すようにス
テージ１を手前に引いて検査基板７を欠陥箇所８が印４
の円の中に入るように置く。この場合、印４と顕微鏡の
観察視野５の位置は一致していない。印４は、ステージ
１を構成するガラス板６を通して入ってくる透過光によ
り、検査基板７を通して目視でその位置を確認でき、欠
陥箇所８は検査基板７の上方よりの光が検査基板７に当
った反射光によりその位置を目視で確認できる。印４と
欠陥箇所８を合わせた後、第２図（ロ）に示すように定
点停止機能により定点にステージ１を移動させると印４
と顕微鏡の観察視野５の位置が一致する。これは欠陥箇
所８と顕微鏡の観察視野５が一致することであり、既に
欠陥箇所８の顕微鏡観察が可能な状態にあることを示し
ている。
の使用方法を示すものである。目視で検査基板７に欠陥
箇所８が発見された場合、第２図（ａ）に示すようにス
テージ１を手前に引いて検査基板７を欠陥箇所８が印４
の円の中に入るように置く。この場合、印４と顕微鏡の
観察視野５の位置は一致していない。印４は、ステージ
１を構成するガラス板６を通して入ってくる透過光によ
り、検査基板７を通して目視でその位置を確認でき、欠
陥箇所８は検査基板７の上方よりの光が検査基板７に当
った反射光によりその位置を目視で確認できる。印４と
欠陥箇所８を合わせた後、第２図（ロ）に示すように定
点停止機能により定点にステージ１を移動させると印４
と顕微鏡の観察視野５の位置が一致する。これは欠陥箇
所８と顕微鏡の観察視野５が一致することであり、既に
欠陥箇所８の顕微鏡観察が可能な状態にあることを示し
ている。
以上述べたように、本発明は、Ｘ軸、Ｙ軸方向に可動
で、かつ目視できる印が附されているステージを有する
顕微鏡において、該ステージのＸ軸、Ｙ軸方向とも定点
停止機能を有し、Ｙ軸、Ｘ軸方向とも定点に停止させた
ときは前記目視できる印が顕微鏡の観察視野に丁度入る
ようにしたから、透明基基板上の欠陥個所の観察におい
て欠陥の形状や付着物がある場合には、その種類によら
ず短時間で欠陥個所を顕微鏡の観察視野に入れることが
できるという特有の効果を有する。
で、かつ目視できる印が附されているステージを有する
顕微鏡において、該ステージのＸ軸、Ｙ軸方向とも定点
停止機能を有し、Ｙ軸、Ｘ軸方向とも定点に停止させた
ときは前記目視できる印が顕微鏡の観察視野に丁度入る
ようにしたから、透明基基板上の欠陥個所の観察におい
て欠陥の形状や付着物がある場合には、その種類によら
ず短時間で欠陥個所を顕微鏡の観察視野に入れることが
できるという特有の効果を有する。
第１図は本発明による顕微鏡のステージの構成図。 第２図（ａ）（ｂ）は本発明による顕微鏡のステージの
使用方法を示す図。 １……ステージ ２……歯車 ３……ラック ４……印 ５……顕微鏡の観察視野 ６……ガラス板 ７……検査基板 ８……欠陥箇所 ９……ストッパー
使用方法を示す図。 １……ステージ ２……歯車 ３……ラック ４……印 ５……顕微鏡の観察視野 ６……ガラス板 ７……検査基板 ８……欠陥箇所 ９……ストッパー
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ軸、Ｙ軸方向に可動で、かつ目視できる
印が附されているステージを有する顕微鏡において、該
ステージのＸ軸、Ｙ軸方向とも定点停止機能を有し、Ｙ
軸、Ｘ軸方向とも定点に停止させたときは前記目視でき
る印が顕微鏡の観察視野に丁度入るようにしたことを特
徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18210990A JP2936662B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18210990A JP2936662B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0469614A JPH0469614A (ja) | 1992-03-04 |
| JP2936662B2 true JP2936662B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=16112493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18210990A Expired - Fee Related JP2936662B2 (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2936662B2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-10 JP JP18210990A patent/JP2936662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0469614A (ja) | 1992-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 10 |
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Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 |
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