JP2924342B2 - コリオリ式質量流量計 - Google Patents
コリオリ式質量流量計Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定流体が流れる測定
管に固定されてこの測定管を駆動手段により振動させ測
定流体によって生じる測定管の変位を少なくとも２個の
変位センサで変位信号として検出しこの変位信号をタイ
ミング発生回路から出力されるタイミング信号に基づい
て同期整流して質量流量信号として出力するコリオリ式
質量流量計に係り、特にこの測定管に加わる配管振動な
どにより同期整流のタイミングが乱されるのを防止して
安定な出力を得るように改良したコリオリ式質量流量計
に関する。
管に固定されてこの測定管を駆動手段により振動させ測
定流体によって生じる測定管の変位を少なくとも２個の
変位センサで変位信号として検出しこの変位信号をタイ
ミング発生回路から出力されるタイミング信号に基づい
て同期整流して質量流量信号として出力するコリオリ式
質量流量計に係り、特にこの測定管に加わる配管振動な
どにより同期整流のタイミングが乱されるのを防止して
安定な出力を得るように改良したコリオリ式質量流量計
に関する。
【０００２】図５は従来のコリオリ式質量流量計の構成
を示す斜視図である。１０は測定流体Ｑが流される配管
であり、この配管１０の両端にはフランジ１１、１２が
固定されている。この配管１０はその上流側と下流側に
それぞれ流体分岐用のエルボ１３、１４が一体に接続さ
れている。
を示す斜視図である。１０は測定流体Ｑが流される配管
であり、この配管１０の両端にはフランジ１１、１２が
固定されている。この配管１０はその上流側と下流側に
それぞれ流体分岐用のエルボ１３、１４が一体に接続さ
れている。
【０００３】エルボ１３、１４には、２本のＵ字状をし
た測定管１５、１６が固定され、この測定管１５、１６
はその下端近傍で上流側は固定板１７により下流側は固
定板１８により相互にそれぞれ固定されている。また、
測定管１５のＵ字状の屈曲部近傍の上流側と下流側には
振動板１９が、測定管１６の屈曲部近傍の上流側と下流
側には振動板２０がそれぞれ固定されている。これらの
振動板１９と２０の端部は相互に変位が可能なように対
向配置され、振動板２０側の両端部には位置検出センサ
２１、２２が固定され、位置検出センサ２１、２２はこ
れ等の測定管１５と１６の相互の変位を検出する。
た測定管１５、１６が固定され、この測定管１５、１６
はその下端近傍で上流側は固定板１７により下流側は固
定板１８により相互にそれぞれ固定されている。また、
測定管１５のＵ字状の屈曲部近傍の上流側と下流側には
振動板１９が、測定管１６の屈曲部近傍の上流側と下流
側には振動板２０がそれぞれ固定されている。これらの
振動板１９と２０の端部は相互に変位が可能なように対
向配置され、振動板２０側の両端部には位置検出センサ
２１、２２が固定され、位置検出センサ２１、２２はこ
れ等の測定管１５と１６の相互の変位を検出する。
【０００４】さらに、これ等の振動板１９と２０の中央
部にはこれ等の振動板１９と２０を介して測定管１５、
１６を互いに離間或いは接近する方向に振動させるドラ
イブコイル２３が固定されている。これ等のＵ字状の測
定管１５、１６、固定板１７、１８、ドライブコイル２
３、位置検出センサ２１、２２などはハウジング２４に
収納されて配管１０に固定されている。位置検出センサ
２１、２２からの信号とドライブコイル２３を駆動する
駆動信号はケ−ブル２５を介して図６に示す変換器に出
力される。
部にはこれ等の振動板１９と２０を介して測定管１５、
１６を互いに離間或いは接近する方向に振動させるドラ
イブコイル２３が固定されている。これ等のＵ字状の測
定管１５、１６、固定板１７、１８、ドライブコイル２
３、位置検出センサ２１、２２などはハウジング２４に
収納されて配管１０に固定されている。位置検出センサ
２１、２２からの信号とドライブコイル２３を駆動する
駆動信号はケ−ブル２５を介して図６に示す変換器に出
力される。
【０００５】以上の構成において、測定流体Ｑが配管１
０を介して測定管１５、１６に満たされてはいるが流れ
ていない状態では、互いに平行にされている測定管１５
と１６はドライブコイル２３により互いに全面に亘って
固定板１７、１８に対して同じ割合で離間或いは接近す
る方向に振動されている。
０を介して測定管１５、１６に満たされてはいるが流れ
ていない状態では、互いに平行にされている測定管１５
と１６はドライブコイル２３により互いに全面に亘って
固定板１７、１８に対して同じ割合で離間或いは接近す
る方向に振動されている。
【０００６】しかし、ドライブコイル２３によりある方
向に測定管１５と１６を振動させている状態で測定流体
Ｑが測定管１５、１６に上流側から下流側に向かって矢
印のように流れると、測定管１５と１６にはコリオリの
力が働き、測定管１５と１６の上流側の変位が互いに接
近するときは測定管１５と１６の下流側の変位が互いに
離間するように動作し、ドライブコイル２３によりこれ
とは逆方向に測定管１５と１６を振動させている状態の
ときは、これ等の変位は逆の関係になるように動作す
る。
向に測定管１５と１６を振動させている状態で測定流体
Ｑが測定管１５、１６に上流側から下流側に向かって矢
印のように流れると、測定管１５と１６にはコリオリの
力が働き、測定管１５と１６の上流側の変位が互いに接
近するときは測定管１５と１６の下流側の変位が互いに
離間するように動作し、ドライブコイル２３によりこれ
とは逆方向に測定管１５と１６を振動させている状態の
ときは、これ等の変位は逆の関係になるように動作す
る。
【０００７】つまり、測定管１５と１６とを各々独立運
動としてみれば、軸Ｘ−Ｘ´を中心として互いに逆方向
に捩じれ運動を起こす。このため測定管１５と１６は上
流側と下流側で互いに逆方向に相互変位し、位置検出セ
ンサ２１、２２はこれ等の測定管１５と１６の相互変位
を検出してケ−ブル２５を介して出力する。
動としてみれば、軸Ｘ−Ｘ´を中心として互いに逆方向
に捩じれ運動を起こす。このため測定管１５と１６は上
流側と下流側で互いに逆方向に相互変位し、位置検出セ
ンサ２１、２２はこれ等の測定管１５と１６の相互変位
を検出してケ−ブル２５を介して出力する。
【０００８】図６は図５に示すセンサユニットと接続さ
れる変換器の構成を示すブロック図である。ドライブ回
路２６はセンサユニットのドライブコイル２３を駆動す
る矩形波の駆動信号Ｖd0を出力し測定管１５、１６を振
動させる。これにより、位置検出センサ２１、２２から
変位信号Ｖd1、Ｖd2がそれぞれ低域フイルタ２７、２８
に出力される。
れる変換器の構成を示すブロック図である。ドライブ回
路２６はセンサユニットのドライブコイル２３を駆動す
る矩形波の駆動信号Ｖd0を出力し測定管１５、１６を振
動させる。これにより、位置検出センサ２１、２２から
変位信号Ｖd1、Ｖd2がそれぞれ低域フイルタ２７、２８
に出力される。
【０００９】変位信号Ｖd1、Ｖd2は低域フイルタ２７、
２８で低域濾波されて濾波信号Ｖd3、Ｖd4としてコンパ
レ−タ２９、３０に出力される。濾波信号Ｖd3はコンパ
レ−タ２９で負の基準電圧と比較され、濾波信号Ｖd4は
コンパレ−タ３０で正の基準電圧と比較され、それぞれ
比較信号Ｖd5、Ｖd6として時間積分回路３１に出力され
る。
２８で低域濾波されて濾波信号Ｖd3、Ｖd4としてコンパ
レ−タ２９、３０に出力される。濾波信号Ｖd3はコンパ
レ−タ２９で負の基準電圧と比較され、濾波信号Ｖd4は
コンパレ−タ３０で正の基準電圧と比較され、それぞれ
比較信号Ｖd5、Ｖd6として時間積分回路３１に出力され
る。
【００１０】また、変位信号Ｖd2は低域フイルタ３２と
コンパレ−タ３３を介して位相信号Ｖd7として時間積分
回路３１に出力される。時間積分回路３１は、これ等の
比較信号Ｖd5とＶd6との時間差を積分すると共にその位
相が位相信号Ｖd7によって判別される。この出力はサン
プルホ−ルド回路３４、低域フイルタ３５、出力増幅器
３６を介して出力端３７に質量流量Ｑm を出力する。一
方、駆動信号Ｖd0の振幅は低域フイルタ３２の出力を振
幅検出回路３８を介してドライブ回路２６に帰還するこ
とにより一定に保持されている。
コンパレ−タ３３を介して位相信号Ｖd7として時間積分
回路３１に出力される。時間積分回路３１は、これ等の
比較信号Ｖd5とＶd6との時間差を積分すると共にその位
相が位相信号Ｖd7によって判別される。この出力はサン
プルホ−ルド回路３４、低域フイルタ３５、出力増幅器
３６を介して出力端３７に質量流量Ｑm を出力する。一
方、駆動信号Ｖd0の振幅は低域フイルタ３２の出力を振
幅検出回路３８を介してドライブ回路２６に帰還するこ
とにより一定に保持されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような従来の質量流量計は、配管振動などの低周波振動
が配管１０に加わるとこの振動が位置検出センサ２１、
２２に混入するが、これ等の低周波振動に基づく低周波
ノイズは低域フイルタ２７、２８では減衰されずにコン
パレ−タ２９、３０に入り、これが時間差に影響を及ぼ
し、ひいては精度低下の原因となる。
ような従来の質量流量計は、配管振動などの低周波振動
が配管１０に加わるとこの振動が位置検出センサ２１、
２２に混入するが、これ等の低周波振動に基づく低周波
ノイズは低域フイルタ２７、２８では減衰されずにコン
パレ−タ２９、３０に入り、これが時間差に影響を及ぼ
し、ひいては精度低下の原因となる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するために、測定流体が流れる測定管に固定されて
この測定管を駆動手段により振動させ測定流体によって
生じる測定管の変位を少なくとも２個の変位センサで変
位信号として検出しこの変位信号をタイミング発生回路
から出力されるタイミング信号に基づいて同期整流して
質量流量信号として出力するコリオリ式質量流量計にお
いて、タイミング信号に同期しかつ先の変位信号と大き
さが等しい補償信号を発生させる補償信号発生手段と、
この補償信号と先の変位信号との偏差を演算して偏差信
号を出力する偏差演算手段と、先の変位信号にこの偏差
信号を代数加算した基準信号を出力する加算手段とを具
備し、この基準信号によりタイミング発生回路を制御し
てノイズの影響を除去するようにしたものである。
解決するために、測定流体が流れる測定管に固定されて
この測定管を駆動手段により振動させ測定流体によって
生じる測定管の変位を少なくとも２個の変位センサで変
位信号として検出しこの変位信号をタイミング発生回路
から出力されるタイミング信号に基づいて同期整流して
質量流量信号として出力するコリオリ式質量流量計にお
いて、タイミング信号に同期しかつ先の変位信号と大き
さが等しい補償信号を発生させる補償信号発生手段と、
この補償信号と先の変位信号との偏差を演算して偏差信
号を出力する偏差演算手段と、先の変位信号にこの偏差
信号を代数加算した基準信号を出力する加算手段とを具
備し、この基準信号によりタイミング発生回路を制御し
てノイズの影響を除去するようにしたものである。
【００１３】
【作 用】測定流体が流れる測定管を駆動手段により振
動させた状態で測定流体を測定流体に流すことによって
生じる測定管の変位を少なくとも２個の変位センサで変
位信号として検出する。補償信号発生手段はこの変位セ
ンサから出力される変位信号を同期整流するタイミング
信号に同期すると共にこの変位信号と大きさが等しい補
償信号を発生させる。
動させた状態で測定流体を測定流体に流すことによって
生じる測定管の変位を少なくとも２個の変位センサで変
位信号として検出する。補償信号発生手段はこの変位セ
ンサから出力される変位信号を同期整流するタイミング
信号に同期すると共にこの変位信号と大きさが等しい補
償信号を発生させる。
【００１４】偏差演算手段はこの補償信号と先の変位信
号との偏差を演算して偏差信号を出力する。加算手段は
先の変位信号にこの偏差信号を代数加算した基準信号を
出力する。そして、この基準信号により先のタイミング
発生回路を制御することにより管路に接続される配管か
ら混入される低周波のノイズの影響が除去される。
号との偏差を演算して偏差信号を出力する。加算手段は
先の変位信号にこの偏差信号を代数加算した基準信号を
出力する。そして、この基準信号により先のタイミング
発生回路を制御することにより管路に接続される配管か
ら混入される低周波のノイズの影響が除去される。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示すブロック
図である。なお、図５、図６に示す従来のコリオリ式質
量流量計と同一の機能を有する部分には同一の符号を付
して適宜にその説明を省略する。
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示すブロック
図である。なお、図５、図６に示す従来のコリオリ式質
量流量計と同一の機能を有する部分には同一の符号を付
して適宜にその説明を省略する。
【００１６】本実施例では、Ｕ字状の測定管１５、１６
の湾曲部の中央に位置検出センサ４０が固定されてい
る。４１はドライブ回路であり、ここから出力される駆
動信号によりドライブコイル２３を駆動する。ドライブ
コイル２３が駆動されることにより測定管１５、１６が
所定の振動数で相互に離間、或いは近接するように振動
されている。
の湾曲部の中央に位置検出センサ４０が固定されてい
る。４１はドライブ回路であり、ここから出力される駆
動信号によりドライブコイル２３を駆動する。ドライブ
コイル２３が駆動されることにより測定管１５、１６が
所定の振動数で相互に離間、或いは近接するように振動
されている。
【００１７】測定流体が測定管１５、１６に流されると
測定流量に対応するコリオリの力がこれ等の測定管に作
用して測定管の相互の変位が位置検出センサ２１、２
２、４０で検出され、それぞれ変位信号Ｖd7、Ｖd8、Ｖ
d9として出力される。変位信号Ｖd7、Ｖd8、Ｖd9は、そ
れぞれ信号変換回路４２、４３、４４に入力され電圧信
号Ｖd7´、Ｖd8´、Ｖd9´に変換される。
測定流量に対応するコリオリの力がこれ等の測定管に作
用して測定管の相互の変位が位置検出センサ２１、２
２、４０で検出され、それぞれ変位信号Ｖd7、Ｖd8、Ｖ
d9として出力される。変位信号Ｖd7、Ｖd8、Ｖd9は、そ
れぞれ信号変換回路４２、４３、４４に入力され電圧信
号Ｖd7´、Ｖd8´、Ｖd9´に変換される。
【００１８】電圧信号Ｖd7´、Ｖd8´は偏差演算回路４
５で偏差が演算されて偏差信号ＶＤとして同期整流回路
４６に出力される。また、制御回路４７には電圧信号Ｖ
d9´と正弦波発生回路４８から出力される正弦波信号Ｓ
Ｓとが入力されこれ等の信号を処理して低周波ノイズの
影響を受けない基準信号ＶＲとしてタイミング信号発生
回路４９に出力する。この制御回路４７の詳細について
は図２において詳述する。
５で偏差が演算されて偏差信号ＶＤとして同期整流回路
４６に出力される。また、制御回路４７には電圧信号Ｖ
d9´と正弦波発生回路４８から出力される正弦波信号Ｓ
Ｓとが入力されこれ等の信号を処理して低周波ノイズの
影響を受けない基準信号ＶＲとしてタイミング信号発生
回路４９に出力する。この制御回路４７の詳細について
は図２において詳述する。
【００１９】タイミング信号発生回路４９は基準信号Ｖ
Ｒと同一周波数で同一位相の０゜位相タイミング信号Ｖ
（０）と、この位相から９０゜ずれた９０゜位相タイミ
ング信号Ｖ（９０）を発生させる。
Ｒと同一周波数で同一位相の０゜位相タイミング信号Ｖ
（０）と、この位相から９０゜ずれた９０゜位相タイミ
ング信号Ｖ（９０）を発生させる。
【００２０】同期整流回路４６はこの９０゜位相タイミ
ング信号Ｖ（９０）をレファレンスとして同期整流され
質量流量に関連する電圧信号Ｍｑとしてアナログ／デジ
タル変換器５０に出力される。アナログ／デジタル変換
器５０はこの電圧信号Ｍｑをデジタルの電圧信号ＭＱに
変換してマイクロコンピュ−タ５１に出力する。また、
周波数／電圧変換回路５２は、基準信号ＶＲと同一周波
数で同一位相の０゜位相タイミング信号Ｖ（０）を電圧
信号に変換し、さらにこの電圧信号はアナログ／デジタ
ル変換器５３でデジタルの基準信号ＤＲに変換されてマ
イクロコンピュ−タ５１に出力される。この基準信号Ｄ
Ｒは低周波ノイズの影響を受けず信号処理の基準とされ
る。
ング信号Ｖ（９０）をレファレンスとして同期整流され
質量流量に関連する電圧信号Ｍｑとしてアナログ／デジ
タル変換器５０に出力される。アナログ／デジタル変換
器５０はこの電圧信号Ｍｑをデジタルの電圧信号ＭＱに
変換してマイクロコンピュ−タ５１に出力する。また、
周波数／電圧変換回路５２は、基準信号ＶＲと同一周波
数で同一位相の０゜位相タイミング信号Ｖ（０）を電圧
信号に変換し、さらにこの電圧信号はアナログ／デジタ
ル変換器５３でデジタルの基準信号ＤＲに変換されてマ
イクロコンピュ−タ５１に出力される。この基準信号Ｄ
Ｒは低周波ノイズの影響を受けず信号処理の基準とされ
る。
【００２１】同期整流回路５４は０゜位相タイミング信
号Ｖ（０）をレフアレンスとして電圧信号Ｖd8´を同期
整流して位相弁別して直流信号に変換する。この直流信
号はアナログ／デジタル変換器５５でデジタルの振幅信
号ＡＲに変換されてマイクロコンピュ−タ５１に出力さ
れる。
号Ｖ（０）をレフアレンスとして電圧信号Ｖd8´を同期
整流して位相弁別して直流信号に変換する。この直流信
号はアナログ／デジタル変換器５５でデジタルの振幅信
号ＡＲに変換されてマイクロコンピュ−タ５１に出力さ
れる。
【００２２】マイクロコンピュ−タ５１は基準信号ＤＲ
をベ−スとして信号処理をするが、電圧信号ＭＱは質量
流量に関連した信号であり振幅変動を受けるので、この
電圧信号ＭＱを振幅信号ＡＲで割り算して振幅変動の影
響を受けない質量流量信号として出力端５６に出力す
る。
をベ−スとして信号処理をするが、電圧信号ＭＱは質量
流量に関連した信号であり振幅変動を受けるので、この
電圧信号ＭＱを振幅信号ＡＲで割り算して振幅変動の影
響を受けない質量流量信号として出力端５６に出力す
る。
【００２３】次に、本実施例の要部である制御回路４７
の構成について関連する回路と共に図２を用いて説明す
る。制御回路４７から出力される基準信号ＶＲは増幅器
５７で増幅されて補償信号発生回路５８に出力される。
補償信号発生回路５８にはまた正弦波信号発生回路４８
から正弦波信号ＳＳが入力され、補償信号発生回路５８
はこれ等の信号を乗算してその大きさが電圧信号Ｖd9´
と等しい正弦波の補償信号ＣＳとして出力する。この補
償信号ＣＳはタイミング信号Ｖ（０）に同期している。
の構成について関連する回路と共に図２を用いて説明す
る。制御回路４７から出力される基準信号ＶＲは増幅器
５７で増幅されて補償信号発生回路５８に出力される。
補償信号発生回路５８にはまた正弦波信号発生回路４８
から正弦波信号ＳＳが入力され、補償信号発生回路５８
はこれ等の信号を乗算してその大きさが電圧信号Ｖd9´
と等しい正弦波の補償信号ＣＳとして出力する。この補
償信号ＣＳはタイミング信号Ｖ（０）に同期している。
【００２４】偏差演算回路５９はこの補償信号ＣＳと電
圧信号Ｖd9´との偏差を演算して偏差信号ＤＳとして加
算回路６０に出力する。加算回路６０は電圧信号Ｖd9´
と偏差信号ＤＳとの代数加算を実行して基準信号ＶＲと
してタイミング信号発生回路４９に出力する。タイミン
グ信号発生回路４９は基準信号ＶＲをベ−スとしてタイ
ミング信号Ｖ（０）とタイミング信号Ｖ（９０）を発生
させる。
圧信号Ｖd9´との偏差を演算して偏差信号ＤＳとして加
算回路６０に出力する。加算回路６０は電圧信号Ｖd9´
と偏差信号ＤＳとの代数加算を実行して基準信号ＶＲと
してタイミング信号発生回路４９に出力する。タイミン
グ信号発生回路４９は基準信号ＶＲをベ−スとしてタイ
ミング信号Ｖ（０）とタイミング信号Ｖ（９０）を発生
させる。
【００２５】次に、図３に示す波形図を用いて図２に示
す回路の動作に付いて説明する。図３（ａ）に示す電圧
信号Ｖd9´には本来の測定管１５、１６の変位に対応す
る正弦波信号の他に配管の振動に基づく低周波ノイズＮ
1が重畳されている。
す回路の動作に付いて説明する。図３（ａ）に示す電圧
信号Ｖd9´には本来の測定管１５、１６の変位に対応す
る正弦波信号の他に配管の振動に基づく低周波ノイズＮ
1が重畳されている。
【００２６】一方、正弦波発生回路４８からはノイズを
含まない図３（ｂ）に示すような正弦波信号ＳＳが入力
され、図３（ｅ）に示す基準信号ＶＲとこの正弦波信号
ＳＳとが補償信号発生回路５８で電圧信号Ｖd9´（図３
（ａ））の振幅に対応するように乗算されて図３（ｃ）
に示すような補償信号ＣＳとして出力される。この補償
信号ＣＳの中に含まれるノイズＮ2 は非常に小さい。
含まない図３（ｂ）に示すような正弦波信号ＳＳが入力
され、図３（ｅ）に示す基準信号ＶＲとこの正弦波信号
ＳＳとが補償信号発生回路５８で電圧信号Ｖd9´（図３
（ａ））の振幅に対応するように乗算されて図３（ｃ）
に示すような補償信号ＣＳとして出力される。この補償
信号ＣＳの中に含まれるノイズＮ2 は非常に小さい。
【００２７】偏差演算回路５９は、これ等の電圧信号Ｖ
d9´（図３（ａ））と補償信号ＣＳ（図３（ｃ））との
偏差を演算するが、この偏差信号ＤＳは図３（ｄ）に示
すように低周波ノイズを含む信号として抽出される。従
って、加算回路６０で電圧信号Ｖd9´と偏差信号ＤＳと
の代数加算を実行することにより図３（ｅ）に示すよう
にノイズを含まない正弦波の基準信号ＶＲを得ることが
できる。
d9´（図３（ａ））と補償信号ＣＳ（図３（ｃ））との
偏差を演算するが、この偏差信号ＤＳは図３（ｄ）に示
すように低周波ノイズを含む信号として抽出される。従
って、加算回路６０で電圧信号Ｖd9´と偏差信号ＤＳと
の代数加算を実行することにより図３（ｅ）に示すよう
にノイズを含まない正弦波の基準信号ＶＲを得ることが
できる。
【００２８】図４は本発明の他の実施例の構成を示すブ
ロック図である。図１に示す実施例では測定管１５、１
６の変位を３ケ所で検出したが、この実施例では２ケ所
で行う構成とした例を示したものである。この実施例で
は、位置検出センサ２１と２２との２個を用いて図１に
示す実施例と同一の目的を実現する。図１と同一の機能
を持つ構成要素には同一の符号を付して適宜に説明は省
略する。
ロック図である。図１に示す実施例では測定管１５、１
６の変位を３ケ所で検出したが、この実施例では２ケ所
で行う構成とした例を示したものである。この実施例で
は、位置検出センサ２１と２２との２個を用いて図１に
示す実施例と同一の目的を実現する。図１と同一の機能
を持つ構成要素には同一の符号を付して適宜に説明は省
略する。
【００２９】位置検出センサ２１と２２から出力された
電圧信号Ｖd7´とＶd8´との偏差信号ＶＤは図１の場合
と同様にして信号処理されてマイクロコンピュ−タ５１
に出力される。電圧信号Ｖd7´とＶd8´は加算回路６１
で加算されて加算信号ＡＤとされ、この加算信号ＡＤが
基準信号ＶＲと振幅信号ＡＲを作るための基礎とされ
る。このように構成しても図１に示す実施例と同様に動
作する。
電圧信号Ｖd7´とＶd8´との偏差信号ＶＤは図１の場合
と同様にして信号処理されてマイクロコンピュ−タ５１
に出力される。電圧信号Ｖd7´とＶd8´は加算回路６１
で加算されて加算信号ＡＤとされ、この加算信号ＡＤが
基準信号ＶＲと振幅信号ＡＲを作るための基礎とされ
る。このように構成しても図１に示す実施例と同様に動
作する。
【００３０】
【発明の効果】以下、実施例により具体的に説明したよ
うに本発明によれば、ノイズを含まない基準信号を用い
てタイミング発生回路を制御するように構成したので、
変位信号の中に配管の振動などによって発生する低周波
のノイズが混入していてもこの影響を受けないタイミン
グ信号を得ることができ、ノイズに強い質量流量計を実
現することができる。
うに本発明によれば、ノイズを含まない基準信号を用い
てタイミング発生回路を制御するように構成したので、
変位信号の中に配管の振動などによって発生する低周波
のノイズが混入していてもこの影響を受けないタイミン
グ信号を得ることができ、ノイズに強い質量流量計を実
現することができる。
【図１】本発明の１実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】図１に示す実施例の要部構成を示すブロック図
である。
である。
【図３】図２に示実施例の動作を説明する波形図であ
る。
る。
【図４】本発明の他の実施例の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図５】従来のコリオリ式質量流量計のセンサ部分の構
成を示す構成図である。
成を示す構成図である。
【図６】図５に示すコリオリ式質量流量計の変換器の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
１０ 配管 １５、１６ 測定管 ２１、２２、４０ 位置検出センサ ２３ ドライブコイル ２６、４１ ドライブ回路 ２７、２８、３２ 低域フイルタ ３１ 時間積分回路 ４２、４３、４４ 信号変換回路 ４５ 偏差演算回路 ４７ 制御回路 ４８ 正弦波発生回路 ４９ タイミング信号発生回路 ５１ マイクロコンピュ−タ ５８ 補償信号発生回路 ５９ 偏差演算回路 ６０、６１ 加算回路
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−280013（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−120122（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−136718（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−73119（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−57920（ＪＰ，Ａ) 特表 平６−508930（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/84
Claims (1)
- 【請求項１】測定流体が流れる測定管に固定されてこの
測定管を駆動手段により振動させ前記測定流体によって
生じる前記測定管の変位を少なくとも２個の変位センサ
で変位信号として検出しこの変位信号をタイミング発生
回路から出力されるタイミング信号に基づいて同期整流
して質量流量信号として出力するコリオリ式質量流量計
において、前記タイミング信号に同期しかつ前記変位信
号と大きさが等しい補償信号を発生させる補償信号発生
手段と、この補償信号と前記変位信号との偏差を演算し
て偏差信号を出力する偏差演算手段と、前記変位信号に
この偏差信号を代数加算した基準信号を出力する加算手
段とを具備し、前記基準信号により前記タイミング発生
回路を制御してノイズの影響を除去することを特徴とす
るコリオリ式質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21751291A JP2924342B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | コリオリ式質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21751291A JP2924342B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | コリオリ式質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552630A JPH0552630A (ja) | 1993-03-02 |
| JP2924342B2 true JP2924342B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=16705395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21751291A Expired - Lifetime JP2924342B2 (ja) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | コリオリ式質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2924342B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698783A1 (de) * | 1994-08-16 | 1996-02-28 | Endress + Hauser Flowtec AG | Auswerte-Elektronik eines Coriolis-Massedurchflussaufnehmers |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP21751291A patent/JP2924342B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0552630A (ja) | 1993-03-02 |
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