JP2917645B2 - Manufacturing method of copper clad laminate - Google Patents

Manufacturing method of copper clad laminate

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JP2917645B2
JP2917645B2 JP4022540A JP2254092A JP2917645B2 JP 2917645 B2 JP2917645 B2 JP 2917645B2 JP 4022540 A JP4022540 A JP 4022540A JP 2254092 A JP2254092 A JP 2254092A JP 2917645 B2 JP2917645 B2 JP 2917645B2
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clad laminate
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板に用い
られる銅張積層板の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a copper-clad laminate used for a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、電子機器の小型化、高密度化が進
むにつれて、使用される電子部品は従来のリード付部品
からチップ部品に移行してきており、そのためプリント
配線板への実装方式も表面実装方式が主流になりつつあ
る。これに伴い、プリント配線板として用いられる銅張
積層板に対する種々の要求も厳しくなっている。すなわ
ち、チップ部品をプリント配線板に表面実装する場合、
その接続信頼性の点から熱膨張係数の整合が問題にな
る。ところがプリント配線板として一般に広く用いられ
ているガラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板などの繊維
強化プラスチック系の基板の熱膨張係数は、チップ部品
のそれに比べてかなり大きい。そのためにチップ部品を
表面実装した場合、実用に耐える接続信頼性を確保する
ことができない。チップ部品との接続信頼性を向上させ
るためには、よりチップ部品に近い熱膨張係数の基板、
すなわち低熱膨張係数を有する基板が必要になってく
る。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become smaller and higher in density, electronic components used have been shifting from conventional leaded components to chip components. The mounting method is becoming mainstream. Accordingly, various requirements for a copper-clad laminate used as a printed wiring board have become strict. In other words, when chip components are surface-mounted on a printed wiring board,
From the viewpoint of connection reliability, matching of the thermal expansion coefficient becomes a problem. However, the thermal expansion coefficient of a fiber-reinforced plastic substrate such as a glass cloth base epoxy resin copper-clad laminate generally widely used as a printed wiring board is considerably larger than that of a chip component. Therefore, when chip components are surface-mounted, it is not possible to secure connection reliability that can withstand practical use. In order to improve the connection reliability with chip components, a substrate with a coefficient of thermal expansion closer to that of chip components,
That is, a substrate having a low coefficient of thermal expansion is required.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】熱膨張係数の低い基板
材料としては、上記の有機系基板とは異なったアルミナ
や窒化アルミニウムなどのセラミック基板、インバーや
42合金などの低熱膨張金属をコアとして用いた金属コ
ア基板が利用されている。ところがこれらについてみる
と、セラミック基板は非常に硬質なため有機系基板と同
様なドリル加工や切断加工などの機械加工ができない、
大型の基板ができない、回路加工や多層化の工程が煩雑
でコスト高になるなどの欠点がある。また、低熱膨張金
属を芯にした金属コア基板は、重量が重く軽量化に対応
できない、スルーホール形成時に金属芯の穴内に絶縁被
覆を施す必要があるなどの欠点がある。したがって従来
の有機系基板で熱膨張係数の低い基板の開発が望まれて
いる。低熱膨張の有機系基板としては以前から芳香族ポ
リアミド繊維や石英繊維などの低熱膨張基材を用いたも
のが開発されているが、機械加工性に難点があり実用化
には至っていない。
As the substrate material having a low coefficient of thermal expansion, a ceramic substrate different from the above-mentioned organic substrate such as alumina or aluminum nitride, or a low thermal expansion metal such as Invar or 42 alloy is used as a core. Used metal core substrate. However, looking at these, the ceramic substrate is so hard that it cannot be machined, such as drilling or cutting, like organic substrates.
There are drawbacks such as the inability to form a large-sized substrate, complicated circuit processing and multi-layering steps, and increased costs. Further, a metal core substrate having a low-thermal-expansion metal as a core has disadvantages such as being heavy and unable to be reduced in weight, and having to cover the inside of the metal core with an insulating coating when forming a through hole. Therefore, development of a conventional organic substrate having a low coefficient of thermal expansion is desired. As an organic substrate having a low thermal expansion, a substrate using a low thermal expansion base material such as an aromatic polyamide fiber or a quartz fiber has been developed, but it has not been put into practical use due to difficulty in machinability.

【0004】一方、本発明者らはセラミックと有機系基
板を複合化することによってこのような要求に対応する
ことを考え、銅はくとガラス布基材エポキシ樹脂などの
有機系基板との間にセラミック溶射層を設けた基板を開
発し、既に開示した(特開昭62−152742
報)。この基板は熱膨張係数の低いセラミック層の存在
により、面内の熱膨張係数が従来のガラス布基材エポキ
シ樹脂積層板などの有機系基板に比べて低くなり、実装
するチップ部品との接続信頼性の向上に有効である。と
ころが最近ではチップ部品の薄型化や高密度化がさらに
進んできており、チップ部品の熱膨張係数はより低くな
る傾向にある。そのため、基板に対する低熱膨張化の要
求もさらに厳しくなってきている。したがって、上記の
基板にもさらに低熱膨張化の要求が強くなってきてい
る。このような要求に対して、上記のように溶射により
形成したセラミック層と従来のガラス布基板エポキシ樹
脂などの積層板を複合化しても、従来のガラス布基材エ
ポキシ樹脂の熱膨張係数がチップ部品のそれに比べて非
常に高いために基板全体の熱膨張係数をセラミック層の
存在によって低く抑えるのに限界があることがわかっ
た。
On the other hand, the present inventors have considered that such a demand can be met by compounding a ceramic and an organic substrate, and have considered that copper foil and an organic substrate such as a glass cloth base epoxy resin can be used. We developed a substrate having a ceramic thermal sprayed layer, already disclosed (JP 62-152742 official <br/> paper) to. Due to the presence of a ceramic layer with a low coefficient of thermal expansion, this substrate has a lower in-plane coefficient of thermal expansion than conventional organic substrates such as glass-cloth-based epoxy resin laminates, and the reliability of connection with chip components to be mounted is low. It is effective for improving the performance. However, recently, chip components have been further reduced in thickness and density, and the thermal expansion coefficient of chip components tends to be lower. For this reason, the demand for lower thermal expansion of the substrate is becoming more severe. Therefore, there is an increasing demand for lower thermal expansion of the above-mentioned substrates. To meet such demands, even if the ceramic layer formed by spraying as described above and a laminated board such as a conventional glass cloth substrate epoxy resin are combined, the thermal expansion coefficient of the conventional glass cloth It has been found that the coefficient of thermal expansion of the entire substrate is limited by the presence of the ceramic layer because it is so high as compared with that of the component.

【0005】本発明は、上記した問題点を解決し、有機
系基板をベースにして従来の銅張積層板と同様な取り扱
いが可能で、しかも熱膨張係数が十分に低く、チップ部
品を表面実装した場合、その接続信頼性に優れる銅張積
層板の製造方法を提供するものである。
The present invention solves the above-mentioned problems, and can handle the same as a conventional copper-clad laminate based on an organic substrate, and has a sufficiently low coefficient of thermal expansion. In this case, a method of manufacturing a copper-clad laminate excellent in connection reliability is provided.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、銅はくの片面
にセラミックを溶射してセラミック層を形成し、該セラ
ミック層と接するようにプリプレグを積層して熱圧成形
する銅張積層板の製造方法において、該プリプレグと
てSiO2、Al23 及びMgOの含有量がそれぞれ、
60重量%以上、20重量%以上及び15重量%以下
で、かつ、これら3成分の合計が97重量%以上である
ガラス繊維基材に、無機質充填剤を20重量%以上含有
する熱硬化性樹脂ワニスを含浸、乾燥させたものを用い
ることを特徴とする
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a copper-clad laminate formed by thermally spraying ceramic on one side of a copper foil to form a ceramic layer, laminating a prepreg so as to be in contact with the ceramic layer, and hot pressing. in the method of manufacturing, SiO 2 Te <br/> and the prepreg, Al 2 O 3 and MgO content, respectively,
20% by weight or more of an inorganic filler is contained in a glass fiber base material of 60% by weight or more, 20% by weight or more and 15% by weight or less, and the total of these three components is 97% by weight or more.
Impregnated and dried thermosetting resin varnish
It is characterized by that .

【0007】セラミック層は銅はくの片面にプラズマ溶
射やガス溶射によりセラミック層を溶射することにより
形成する。溶射するセラミックはアルミナ、チタニア、
ジルコニア、マグネシア、ムライト、スピネル、コージ
ェライト、ステアタイト、フォルステライト、チタン酸
アルミニウム等の電気絶縁性のセラミックを用いること
ができるが、その中でも熱膨張係数の低いコージェライ
トが低熱膨張化の点から好適である。また、コージェラ
イトはセラミックの中では比較的硬度が低く、これを用
いると基板のドリル加工などの機械加工性をさほど損な
うことがないという特長もある。溶射によって形成する
セラミック層の厚さは、本発明の範囲を限定するもので
はないが、25〜300μmの範囲が好ましい。溶射セ
ラミック層の厚さが薄いと基板の低熱膨張化への効果が
十分ではないためチップ部品との接続信頼性向上への効
果が少なくなり、厚いとドリル加工性などの機械加工性
が低下するためである。
The ceramic layer is formed by spraying the ceramic layer on one side of the copper foil by plasma spraying or gas spraying. The ceramic to be sprayed is alumina, titania,
Electrically insulating ceramics such as zirconia, magnesia, mullite, spinel, cordierite, steatite, forsterite, and aluminum titanate can be used. It is suitable. Cordierite has relatively low hardness among ceramics, and has the advantage of not impairing the machinability, such as drilling, of a substrate. The thickness of the ceramic layer formed by thermal spraying does not limit the scope of the present invention, but is preferably in the range of 25 to 300 μm. If the thickness of the thermal sprayed ceramic layer is small, the effect on lowering the thermal expansion of the substrate is not sufficient, so the effect on the improvement of the connection reliability with the chip component is reduced. That's why.

【0008】また、プリプレグの繊維としてガラス繊維
を用い、その成分をSiO2、Al23、MgOの含有
量がそれぞれ60重量%以上、20重量%以上、15重
量%以下で、かつ、これら3成分の合計が97重量%以
上と規定したのは、この範囲の成分のガラス繊維が他の
ガラス繊維に比べて熱膨張係数が低く、しかも機械加工
性に優れているためである。すなわち、SiO2の含有
量が60重量%より少ない場合や、Al23の含有量が
20重量%より少ない場合、あるいはMgOの含有量が
15重量%を超えた場合は、ガラス繊維の熱膨張係数が
十分に低くならないために基板の低熱膨張化への効果が
少なくなる。また、ガラス繊維がSiO2またはAl2
3の1成分からなる場合は、熱膨張係数は低くなるが、
加工性が悪くなるために基板に用いた場合、そのドリル
加工性などの機械加工性を著しく損なうことになる。従
って、本発明の成分を有するガラス繊維を用いることに
よって基板の低熱膨張化と機械加工性の保持を両立でき
るのである。このような組成のガラス繊維としては例え
ばSiO2の含有量が64.3重量%、Al23の含有
量が24.8重量%及びMgOの含有量が10.3重量
%からなるSガラス繊維(またはTガラス繊維)が市販
されており、好適に使用することができる。このガラス
繊維の熱膨張係数は、2.4×10-6/℃である。ちな
みに一般の銅張積層板に広く使われているEガラス繊維
の熱膨張係数は、4.5×10-6/℃であり、そのSi
2、Al23、MgOのそれぞれの含有量は、例えば
54.3重量%、15重量%、4.7重量%である。
Further, glass fiber is used as the fiber of the prepreg, and its components are SiO 2 , Al 2 O 3 , and MgO whose contents are 60% by weight or more, 20% by weight or more and 15% by weight or less, respectively. The reason why the total of the three components is specified to be 97% by weight or more is that the glass fiber of the component in this range has a lower coefficient of thermal expansion than other glass fibers and is excellent in machinability. That is, when the content of SiO 2 is less than 60% by weight, when the content of Al 2 O 3 is less than 20% by weight, or when the content of MgO exceeds 15% by weight, Since the expansion coefficient does not become sufficiently low, the effect of reducing the thermal expansion of the substrate is reduced. The glass fiber is made of SiO 2 or Al 2 O.
In the case of one component of 3, the coefficient of thermal expansion is low,
When used for a substrate due to poor workability, mechanical workability such as drill workability is significantly impaired. Therefore, by using the glass fiber having the component of the present invention, it is possible to achieve both low thermal expansion of the substrate and retention of machinability. As glass fibers having such a composition, for example, S glass having a SiO 2 content of 64.3% by weight, an Al 2 O 3 content of 24.8% by weight, and a MgO content of 10.3% by weight Fibers (or T-glass fibers) are commercially available and can be suitably used. The thermal expansion coefficient of this glass fiber is 2.4 × 10 −6 / ° C. The thermal expansion coefficient of E glass fiber, which is widely used in general copper-clad laminates, is 4.5 × 10 -6 / ° C.
The respective contents of O 2 , Al 2 O 3 , and MgO are, for example, 54.3% by weight, 15% by weight, and 4.7% by weight.

【0009】次に、このガラス繊維に含浸させる熱硬化
性樹脂ワニスに混合する無機質充填剤について述べる。
無機質充填剤としては種々の用途に広く用いられている
シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、マグネシ
ア、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、ムライト、
スピネル、コージェライト、ジルコン、カルシアなどの
セラミックやガラスの粉末、チタン酸カリウム、ホウ酸
アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、アルミナなど
のウィスカあるいはガラス繊維、シリカ繊維などの短繊
維を用いることができる。これらの中では、熱膨張係数
が約0.5×10-6/℃と比較的低く、しかも安価で入
手しやすい溶融シリカを用いることが好適である。その
熱硬化性樹脂ワニスに対する混合量は、該ワニス中に2
0重量%以上含有させるようにする。20重量%より少
ないと基板の熱膨張係数を低くする効果が少ないためで
ある。
Next, the inorganic filler mixed with the thermosetting resin varnish impregnated into the glass fiber will be described.
As an inorganic filler, silica, alumina, titania, zirconia, magnesia, calcium carbonate, aluminum hydroxide, mullite, which are widely used for various applications,
Ceramic or glass powders such as spinel, cordierite, zircon, and calcia, whiskers such as potassium titanate, aluminum borate, silicon carbide, silicon nitride, and alumina, and short fibers such as glass fibers and silica fibers can be used. Among these, it is preferable to use fused silica which has a relatively low coefficient of thermal expansion of about 0.5 × 10 −6 / ° C. and is inexpensive and easily available. The mixing amount of the thermosetting resin varnish is 2% in the varnish.
The content should be 0% by weight or more. If the content is less than 20% by weight, the effect of lowering the thermal expansion coefficient of the substrate is small.

【0010】熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂、フェノール樹脂、ビニルエステル樹脂、
シリコーン樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹
脂などが用いられるが、銅張積層板として広く用いられ
るエポキシ樹脂、またはポリイミド樹脂が適している。
As the thermosetting resin, epoxy resin, polyimide resin, phenol resin, vinyl ester resin,
A silicone resin, a melamine resin, an unsaturated polyester resin, or the like is used, and an epoxy resin or a polyimide resin widely used as a copper-clad laminate is suitable.

【0011】[0011]

【作用】溶射によって銅はくに形成されたセラミック層
は、プリプレグとの熱圧成形時にプリプレグの樹脂と強
固に接着し、一体化する。このようにして得られるセラ
ミック層と有機系基板が複合化された基板の面内の熱膨
張係数は、複合則より次の数式1から計算することがで
き、測定値もほぼ一致している。
The ceramic layer formed on the copper foil by thermal spraying adheres firmly to the resin of the prepreg at the time of hot pressing with the prepreg, and is integrated. The in-plane coefficient of thermal expansion of the substrate obtained by combining the ceramic layer and the organic substrate obtained in this manner can be calculated from the following equation 1 according to the composite rule, and the measured values are almost the same.

【0012】[0012]

【数式1】 α=(ECCαC+EMMαM)/(ECC+EMM) α :複合体の熱膨張係数 αC :セラミック層の熱膨張係数 αM :有機系基板の熱膨張係数 EC :セラミック層の弾性係数 EM :有機系基板の弾性係数 VC :セラミック層の体積分率 VM :有機系基板の体積分率[Equation 1] α = (E C V C α C + E M V M α M) / (E C V C + E M V M) α: thermal expansion coefficient of the composite alpha C: thermal expansion coefficient of the ceramic layer alpha M : thermal expansion coefficient of the organic substrate E C: elastic modulus of the ceramic layer E M: elastic modulus of the organic substrate V C: volume fraction of the ceramic layer V M: the volume fraction of the organic substrate

【0013】上の式からも明らかなように有機系基板に
比べてセラミック層の熱膨張係数が低いためにこれらを
複合した基板の熱膨張係数は、有機系基板のそれに比べ
て低くなる。また、上の式をみると、さらに基板の熱膨
張係数を低くするには有機系基板の熱膨張係数を低くす
るのが有効である。
As is apparent from the above equation, the thermal expansion coefficient of the ceramic layer is lower than that of the organic substrate, and the thermal expansion coefficient of the substrate obtained by combining them is lower than that of the organic substrate. In view of the above equation, it is effective to lower the thermal expansion coefficient of the organic substrate in order to further lower the thermal expansion coefficient of the substrate.

【0014】有機系基板の熱膨張係数を低くするには、
その構成成分である樹脂と繊維基材の熱膨張係数を低く
する必要がある。まず繊維基材についてみると、通常の
積層板に用いられているEガラス繊維よりも熱膨張係数
の低い繊維基材としては、本発明で用いる成分範囲の例
えばSガラス繊維の他にSiO2を主成分とする石英ガ
ラス繊維、Al23を主成分としたアルミナ繊維、ある
いは芳香族ポリアミド繊維などがある。これらの低熱膨
張基材を用いると有機系基板の熱膨張係数を低くするこ
とができる。しかし、これらの中で石英ガラスやアルミ
ナ繊維は非常に硬質なため、極めて加工性が悪く、実用
化が難しい。また、芳香族ポリアミド繊維は、樹脂との
親和性が乏しい、加工性が悪いなどの欠点を有し、広く
用いられるには至っていない。このようなことから本発
明の成分比のガラス繊維が加工性と低熱膨張係数の両立
という観点から最適なのである。
To lower the coefficient of thermal expansion of an organic substrate,
It is necessary to lower the thermal expansion coefficient of the resin and the fiber base material as the constituent components. First, regarding the fiber base material, as the fiber base material having a lower coefficient of thermal expansion than the E glass fiber used for the ordinary laminate, SiO 2 in addition to the component range used in the present invention, for example, S glass fiber, is used. Examples thereof include quartz glass fiber whose main component is alumina, alumina fiber whose main component is Al 2 O 3 , and aromatic polyamide fiber. By using these low thermal expansion base materials, the thermal expansion coefficient of the organic substrate can be reduced. However, among these, quartz glass and alumina fibers are very hard, and therefore have extremely poor workability and are difficult to put into practical use. Further, aromatic polyamide fibers have drawbacks such as poor affinity for resins and poor workability, and have not been widely used. Thus, the glass fiber having the component ratio of the present invention is optimal from the viewpoint of achieving both workability and a low coefficient of thermal expansion.

【0015】さらにプリプレグの熱硬化性樹脂に無機質
充填剤を混合すると有機系基板の熱膨張係数をさらに低
くすることができる。有機系基板の熱膨張係数は、その
構成成分である繊維と樹脂の含有率によって決まり、熱
膨張係数の低い繊維の含有率が高い程、また熱膨張係数
の高い樹脂の含有率が低い程、低くなる。さらに樹脂の
熱膨張係数が低くなれば基板の熱膨張係数は低くなる。
したがって、樹脂に樹脂と比べて格段に低熱膨張係数の
無機質充填剤を混合すると、樹脂系の熱膨張係数は低く
なる。ゆえに無機質充填剤を混合した樹脂を用いること
によって、有機系基板の熱膨張係数をさらに低くするこ
とができるのである。
Further, when an inorganic filler is mixed with the thermosetting resin of the prepreg, the thermal expansion coefficient of the organic substrate can be further reduced. The coefficient of thermal expansion of the organic substrate is determined by the content of the fiber and resin that are its constituent components, the higher the content of the fiber having a lower coefficient of thermal expansion, the lower the content of the resin having a higher coefficient of thermal expansion, Lower. Further, when the coefficient of thermal expansion of the resin decreases, the coefficient of thermal expansion of the substrate also decreases.
Therefore, if an inorganic filler having a significantly lower coefficient of thermal expansion than the resin is mixed with the resin, the coefficient of thermal expansion of the resin system becomes lower. Therefore, by using a resin mixed with an inorganic filler, the coefficient of thermal expansion of the organic substrate can be further reduced.

【0016】以上のように有機系基板において、その表
面に溶射によって形成したセラミック層を設け、さらに
プリプレグとしてある特定の成分からなるガラス繊維に
無機質充填剤を混合した樹脂を含浸したものを用いるこ
とにより、基板の面内の熱膨張係数を従来になく低くす
ることができるのである。また、このようにして得られ
た基板は、セラミック層が溶射によって形成されたもの
であるため、多孔質であり、そのために焼結体と比べて
機械加工性に優れている。さらに繊維基材も従来、低熱
膨張基材として検討されていた石英ガラス繊維や芳香族
ポリアミド繊維と異なって機械加工性も良好である。そ
のため、従来のガラス布基材エポキシ樹脂積層板などと
同様の工程でプリント配線板の加工が可能である。
As described above, in the organic substrate, a ceramic layer formed by thermal spraying is provided on the surface, and a prepreg obtained by impregnating a glass fiber made of a specific component with a resin mixed with an inorganic filler is used. Accordingly, the coefficient of thermal expansion in the plane of the substrate can be made lower than ever before. Further, the substrate obtained in this manner is porous since the ceramic layer is formed by thermal spraying, and is therefore superior in machinability as compared with a sintered body. Further, the fiber base material also has good machinability, unlike quartz glass fibers and aromatic polyamide fibers which have been conventionally studied as low thermal expansion base materials. Therefore, it is possible to process the printed wiring board in the same process as that of the conventional glass cloth base epoxy resin laminate or the like.

【0017】[0017]

【実施例】次に、本発明の実施例を説明する。 実施例1 電解銅はくの粗化面にプラズマ溶射機によりコージェラ
イトを溶射して、厚さ100μmのコージェライト層を
形成し、片面にコージェライト層を有する銅はくを得
た。次にSiO2の64.3重量%、Al23の24.
8重量%及びMgO10.3重量%を含むSガラス繊維
クロス(日東紡製)にエポキシ樹脂ワニスを含浸し、乾
燥して樹脂含有率42重量%のプリプレグを得た。この
ようにして作製したプリプレクとセラミック層を有する
銅はくを用いて図1に示す構成の6層板(板厚1.2m
m)を作製した。この6層板の面内の熱膨張係数を測定
した結果、8.2×10-6/℃であった。図において、
1は銅はく、2はコージェライト層及び3はプリプレグ
である。
Next, embodiments of the present invention will be described. Example 1 Cordierite was sprayed on a roughened surface of electrolytic copper foil by a plasma spraying machine to form a cordierite layer having a thickness of 100 μm, and a copper foil having a cordierite layer on one side was obtained. Next, 64.3% by weight of SiO 2 and 24.3% of Al 2 O 3 .
An S glass fiber cloth (manufactured by Nitto Bo) containing 8% by weight and 10.3% by weight of MgO was impregnated with an epoxy resin varnish and dried to obtain a prepreg having a resin content of 42% by weight. A six-layer plate (with a thickness of 1.2 m) having the structure shown in FIG.
m) was prepared. As a result of measuring the in-plane thermal expansion coefficient of this six-layer plate, it was 8.2 × 10 −6 / ° C. In the figure,
1 is a copper foil, 2 is a cordierite layer, and 3 is a prepreg.

【0018】実施例2 エポキシ樹脂ワニスとして、溶融シリカ粉末を固形分比
で50重量%混合して撹拌し、均一に分散させたものを
用いた以外は実施例1と同様にしてガラス繊維含有率5
8重量%のプリプレグを得た。このプリプレグと実施例
1と同じセラミック層を有する銅はくを用いて図2に示
す構成の6層板(板厚1.2mm)を作製した。この6
層板の面内の熱膨張係数を測定したところ、6.2×1
-6/℃であった。図において、1は銅はく、2はコー
ジェライト層及び3はプリプレグである。
Example 2 A glass fiber content was prepared in the same manner as in Example 1 except that an epoxy resin varnish was prepared by mixing and stirring and uniformly dispersing 50% by weight of a fused silica powder at a solid content ratio. 5
8% by weight of prepreg was obtained. Using this prepreg and a copper foil having the same ceramic layer as in Example 1, a six-layer plate (plate thickness 1.2 mm) having the configuration shown in FIG. 2 was produced. This 6
When the in-plane coefficient of thermal expansion of the layer plate was measured, it was found that 6.2 × 1
0 -6 / ° C. In the figure, 1 is a copper foil, 2 is a cordierite layer and 3 is a prepreg.

【0019】比較例 実施例と比較するために、セラミック層のない銅はくを
用いて、無機質充填剤なしで基材にEガラス繊維クロス
(SiO2の54.3重量%、Al23の15.0重量
%、MgOの4.7重量%及びCaOの23.0重量%
を含む)を用いたプリプレグを使ったもの(比較例
1)、実施例と同じSガラス繊維クロスを使ったもの
(比較例2)、実施例と同様にセラミック層を設けた銅
はくを用い、プリプレグは無機質充填剤なしでEガラス
繊維クロスを用いたもの(比較例3)及びセラミック層
のない銅はくを用いて、実施例2と同様に溶融シリカ粉
末を混合した熱硬化性樹脂ワニスとSガラス繊維クロス
とを用いたプリプレグを使ったもの(比較例4)につい
て、それぞれに厚さ1.2mmの6層板を作製して、そ
の面内の熱膨張係数を測定した。その結果を実施例と比
較して表1に示す。
Comparative Example For comparison with the example, an E glass fiber cloth (54.3% by weight of SiO 2 , Al 2 O 3 15.0% by weight, 4.7% by weight of MgO and 23.0% by weight of CaO
(Comparative Example 1), a prepreg using the same S glass fiber cloth as in the example (Comparative Example 2), and a copper foil provided with a ceramic layer as in the example. A prepreg using an E glass fiber cloth without an inorganic filler (Comparative Example 3) and a thermosetting resin varnish mixed with a fused silica powder as in Example 2 using a copper foil without a ceramic layer For a prepreg using Comparative Example 4 and S glass fiber cloth (Comparative Example 4), a 6-layer plate having a thickness of 1.2 mm was produced, and the in-plane thermal expansion coefficient was measured. The results are shown in Table 1 in comparison with the examples.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】表1から、実施例の6層板は比較例の6層
板より熱膨張係数が低いことは明らかである。
From Table 1, it is clear that the six-layer plate of the example has a lower coefficient of thermal expansion than the six-layer plate of the comparative example.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明によれば、従来の銅張積層板と同
様に取扱うことが出来て、しかも熱膨張係数が低く、チ
ップ部品との接続信頼性に優れた銅張積層板を容易にか
つ安価に製造することが出来る。
According to the present invention, a copper-clad laminate that can be handled in the same manner as a conventional copper-clad laminate, has a low coefficient of thermal expansion, and has excellent connection reliability with chip components can be easily obtained. It can be manufactured at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例における銅張積層板の積層構成
を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a laminated structure of a copper-clad laminate in an example of the present invention.

【図2】本発明の実施例における銅張積層板の積層構成
を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a laminated configuration of a copper-clad laminate in an example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 銅はく 2 コージェライト層 3 プリプレグ 1 Copper foil 2 Cordierite layer 3 Prepreg

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塚西 憲次 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化 成工業株式会社 下館工場内 (56)参考文献 特開 平2−253940(JP,A) 特公 昭62−56679(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B32B 15/04 B32B 17/04 H05K 3/38 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Kenji Tsukanishi 1500 Ogawa Oji, Shimodate City, Ibaraki Pref. Hitachi Chemical Co., Ltd. Shimodate Plant (56) Reference JP-A-2-253940 62-56679 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B32B 15/04 B32B 17/04 H05K 3/38

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 銅はくの片面にセラミックを溶射してセ
ラミック層を形成し、該セラミック層と接するようにプ
リプレグを積層して熱圧成形する銅張積層板の製造方法
において、該プリプレグとしてSiO2、Al23及び
MgOの含有量がそれぞれ、60重量%以上、20重量
%以上及び15重量%以下で、かつ、これら3成分の合
計が97重量%以上であるガラス繊維基材に、無機質充
填剤を20重量%以上含有する熱硬化性樹脂ワニスを含
浸、乾燥させたものを用いることを特徴とする銅張積層
板の製造方法。
1. A method for producing a copper-clad laminate, wherein a ceramic layer is formed by spraying ceramic on one side of a copper foil, a prepreg is laminated so as to be in contact with the ceramic layer, and hot-pressed. The content of SiO 2 , Al 2 O 3, and MgO is 60% by weight or more, 20% by weight or more and 15% by weight or less, and the total of these three components is 97% by weight or more. , Mineral charge
A method for producing a copper-clad laminate, characterized by using a product obtained by impregnating and drying a thermosetting resin varnish containing 20% by weight or more of a filler .
【請求項2】 セラミック層のセラミックがコージェラ
イトを主体とするものである請求項1記載の銅張積層板
の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the ceramic of the ceramic layer is cordiera.
The method for producing a copper-clad laminate according to claim 1, wherein the method mainly comprises a site .
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