JP2916286B2 - 粒状材料を制御可能に供給する装置 - Google Patents
粒状材料を制御可能に供給する装置Info
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- B65G53/00—Conveying materials in bulk through troughs, pipes or tubes by floating the materials or by flow of gas, liquid or foam
- B65G53/04—Conveying materials in bulk pneumatically through pipes or tubes; Air slides
- B65G53/24—Gas suction systems
- B65G53/26—Gas suction systems operating with fluidisation of the materials
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B1/00—Packaging fluent solid material, e.g. powders, granular or loose fibrous material, loose masses of small articles, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B1/30—Devices or methods for controlling or determining the quantity or quality or the material fed or filled
- B65B1/36—Devices or methods for controlling or determining the quantity or quality or the material fed or filled by volumetric devices or methods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
- B01F35/714—Feed mechanisms for feeding predetermined amounts
- B01F35/7141—Feed mechanisms for feeding predetermined amounts using measuring chambers moving between a loading and unloading position, e.g. reciprocating feed frames
- B01F35/71411—Feed mechanisms for feeding predetermined amounts using measuring chambers moving between a loading and unloading position, e.g. reciprocating feed frames rotating or oscillating about an axis
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粒状材料を制御可能に
供給する装置及び方法に関する。本発明は、特に、結晶
成長炉内へのシリコン材料の補給に使用するのに適して
いる。
供給する装置及び方法に関する。本発明は、特に、結晶
成長炉内へのシリコン材料の補給に使用するのに適して
いる。
【０００２】
【従来の技術】粒状材料を更に加工するための機械に、
所望の供給速度で粒状材料を搬送する従来技術による種
々の方法及び供給装置が知られている。このような供給
装置の或る形式のものは、一定又は可変の供給速度で粒
状材料を搬送する供給ベルトを備えている。この種のフ
ィーダ（供給装置）における供給速度の制御は、供給ベ
ルトの速度を制御することにより行われている。しかし
ながら、一定で正確な供給速度が要求される適用例にベ
ルトフィーダを使用することには幾つかの問題がある。
このようなフィーダの性能に影響を及ぼす種々のファク
タには、ベルトを伸長又は収縮させるときの磨耗及び温
度の影響が含まれる。また、ベルトには可撓性のある材
料を使用しなければならず、従って利用できる材料は制
限される。また、供給速度の精度はベルト上に材料を堆
積する方法に大きく依存するため、供給速度の精度に関
する問題もある。更に、搬送される粒状材料がこぼれる
こともある。
所望の供給速度で粒状材料を搬送する従来技術による種
々の方法及び供給装置が知られている。このような供給
装置の或る形式のものは、一定又は可変の供給速度で粒
状材料を搬送する供給ベルトを備えている。この種のフ
ィーダ（供給装置）における供給速度の制御は、供給ベ
ルトの速度を制御することにより行われている。しかし
ながら、一定で正確な供給速度が要求される適用例にベ
ルトフィーダを使用することには幾つかの問題がある。
このようなフィーダの性能に影響を及ぼす種々のファク
タには、ベルトを伸長又は収縮させるときの磨耗及び温
度の影響が含まれる。また、ベルトには可撓性のある材
料を使用しなければならず、従って利用できる材料は制
限される。また、供給速度の精度はベルト上に材料を堆
積する方法に大きく依存するため、供給速度の精度に関
する問題もある。更に、搬送される粒状材料がこぼれる
こともある。
【０００３】他の既知の形式のフィーダには、回転供給
ドラムが用いられている。このようなフィーダの一例と
してBoudwin の米国特許第1,221,136 号に開示された供
給ドラムがあり、この例では、供給装置が回転可能な供
給ドラムを備えていて、該供給ドラム内には持上げベー
ンが配置されている。また、Holthoffの米国特許第1,55
3,613 号には、粉砕機のような機械に材料を搬送する回
転可能なフィーダの構造が開示されている。回転ドラム
フィーダにおいては、材料の供給速度は、ドラムの回転
速度を変えることにより制御される。回転ドラム構造を
用いると、ベルトフィーダよりも幾つかの利点があり、
特に、剛性のあるドラム構造には多種類の適当な材料を
使用できること、及びベルトに要求されるよりも機械的
な調節の厳格度が小さくて済むこと等の利点がある。
ドラムが用いられている。このようなフィーダの一例と
してBoudwin の米国特許第1,221,136 号に開示された供
給ドラムがあり、この例では、供給装置が回転可能な供
給ドラムを備えていて、該供給ドラム内には持上げベー
ンが配置されている。また、Holthoffの米国特許第1,55
3,613 号には、粉砕機のような機械に材料を搬送する回
転可能なフィーダの構造が開示されている。回転ドラム
フィーダにおいては、材料の供給速度は、ドラムの回転
速度を変えることにより制御される。回転ドラム構造を
用いると、ベルトフィーダよりも幾つかの利点があり、
特に、剛性のあるドラム構造には多種類の適当な材料を
使用できること、及びベルトに要求されるよりも機械的
な調節の厳格度が小さくて済むこと等の利点がある。
【０００４】一方、回転ドラム形式のフィーダには、粒
状材料を持ち上げて回転ドラムから出口手段に送るの
に、持上げベーン、スパイラルスコープ、ヘリカルリブ
等の種々の機械部品が必要になる。回転ドラムの持上げ
ベーン、ヘリカルリブ及び他の部品は、磨耗し易く従っ
てメインテナンスが必要である。従って、当業界におい
ては、供給精度が優れておりかつ簡単でメインテナンス
が容易な構造をもつ供給装置が要求されている。
状材料を持ち上げて回転ドラムから出口手段に送るの
に、持上げベーン、スパイラルスコープ、ヘリカルリブ
等の種々の機械部品が必要になる。回転ドラムの持上げ
ベーン、ヘリカルリブ及び他の部品は、磨耗し易く従っ
てメインテナンスが必要である。従って、当業界におい
ては、供給精度が優れておりかつ簡単でメインテナンス
が容易な構造をもつ供給装置が要求されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、構造
が簡単で最少の機械部品で構成される粒状材料の制御可
能な供給装置を提供することにある。本発明の他の目的
は、簡単かつ安価に製造できかつメインテナンスが容易
なドラム構造を提供することにある。
が簡単で最少の機械部品で構成される粒状材料の制御可
能な供給装置を提供することにある。本発明の他の目的
は、簡単かつ安価に製造できかつメインテナンスが容易
なドラム構造を提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、容易に操作でき、容
易に制御でき、かつ供給速度の広範囲の制御が可能な供
給装置を提供することにある。本発明の更に他の目的
は、一定の材料供給速度を得ることができ、機械部品の
摩擦が小さく、従って磨耗が小さくてメインテナンスが
容易な供給装置の構造を提供することにある。
易に制御でき、かつ供給速度の広範囲の制御が可能な供
給装置を提供することにある。本発明の更に他の目的
は、一定の材料供給速度を得ることができ、機械部品の
摩擦が小さく、従って磨耗が小さくてメインテナンスが
容易な供給装置の構造を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記利点は、次のような
構成の本発明による供給装置を用いることにより達成さ
れる。すなわち、本発明の供給装置は、水平軸線に対し
鋭角をなして傾斜した軸線の回りで回転できるように取
り付けられたドラムを有しており、該ドラムが、底壁
と、該底壁から直立した環状壁とを備えている。好まし
い実施例においては、少なくとも１つのキャビティが設
けられていて、該キャビティの少なくとも一部が底壁の
内面に形成されている。キャビティは、その一端が底壁
のほぼ外周部から延びていて、その他端が底壁の中央部
に向いている。キャビティは、その両端部のうちの一方
の端部が少なくとも１つの出口手段と連通している。ま
た、粒状材料をドラムのキャビティ内に供給する手段を
有している。
構成の本発明による供給装置を用いることにより達成さ
れる。すなわち、本発明の供給装置は、水平軸線に対し
鋭角をなして傾斜した軸線の回りで回転できるように取
り付けられたドラムを有しており、該ドラムが、底壁
と、該底壁から直立した環状壁とを備えている。好まし
い実施例においては、少なくとも１つのキャビティが設
けられていて、該キャビティの少なくとも一部が底壁の
内面に形成されている。キャビティは、その一端が底壁
のほぼ外周部から延びていて、その他端が底壁の中央部
に向いている。キャビティは、その両端部のうちの一方
の端部が少なくとも１つの出口手段と連通している。ま
た、粒状材料をドラムのキャビティ内に供給する手段を
有している。
【０００８】好ましい実施例においては、キャビティが
水平に対して最低位置にあるときにキャビティ内に粒状
材料を供給する手段を有しており、該供給手段は、キャ
ビティの前記出口手段（該出口手段は、全体としてドラ
ムの中央部に隣接して配置するのが好ましい）から離れ
ている部分に粒状材料を注ぐことができる。この構成に
より、実質的に充填されたキャビティが上方位置まで回
転された位置にドラムが回転されるときに、粒状材料
は、重力によって出口手段（該出口手段は、ドラムの底
壁に設けた孔によって簡単に構成されている）から流出
する。
水平に対して最低位置にあるときにキャビティ内に粒状
材料を供給する手段を有しており、該供給手段は、キャ
ビティの前記出口手段（該出口手段は、全体としてドラ
ムの中央部に隣接して配置するのが好ましい）から離れ
ている部分に粒状材料を注ぐことができる。この構成に
より、実質的に充填されたキャビティが上方位置まで回
転された位置にドラムが回転されるときに、粒状材料
は、重力によって出口手段（該出口手段は、ドラムの底
壁に設けた孔によって簡単に構成されている）から流出
する。
【０００９】キャビティ内の粒状材料のレベルが所定レ
ベルに到達するとき、キャビティへの粒状材料の流入を
阻止する手段が設けられている。また、傾斜軸線の回り
でドラムを回転する手段及びドラムの回転速度を制御す
る手段も設けられている。概略的に説明すると、本発明
の供給装置は次のように作動する。ドラムが回転すると
き、ドラムが第１角度距離にわたって回転する間に、供
給手段から供給される粒状材料で１つ以上のキャビティ
が充填される。キャビティは、ドラムが第２角度距離に
わたって回転する間、粒状材料が重力により出口手段を
通って排出されて空になる。出口手段を通って排出され
る粒状材料の供給速度は、ドラムの回転速度にほぼ比例
する。
ベルに到達するとき、キャビティへの粒状材料の流入を
阻止する手段が設けられている。また、傾斜軸線の回り
でドラムを回転する手段及びドラムの回転速度を制御す
る手段も設けられている。概略的に説明すると、本発明
の供給装置は次のように作動する。ドラムが回転すると
き、ドラムが第１角度距離にわたって回転する間に、供
給手段から供給される粒状材料で１つ以上のキャビティ
が充填される。キャビティは、ドラムが第２角度距離に
わたって回転する間、粒状材料が重力により出口手段を
通って排出されて空になる。出口手段を通って排出され
る粒状材料の供給速度は、ドラムの回転速度にほぼ比例
する。
【００１０】本発明の供給装置は、制御可能な既知の供
給速度で粒状材料を供給することを要する種々の適用例
に使用できるものであるが、結晶成長炉にシリコン材料
を補給する装置に適用するのが特に適している。
給速度で粒状材料を供給することを要する種々の適用例
に使用できるものであるが、結晶成長炉にシリコン材料
を補給する装置に適用するのが特に適している。
【００１１】
【実施例】以下、添付図面に示す１つの好ましい実施例
に関連して本発明を詳細に説明する。図１〜図９には、
粒状材料を制御可能に供給する本発明の装置の好ましい
一実施例が示されている。図１に最も良く示すように、
この供給装置は、水平に対して傾斜した軸線の回りで回
転できるように取り付けられたドラム１０を有してい
る。好ましい実施例においては、前記軸線の傾斜角度
は、水平Ａに対して約４５°であるが、約３０〜６０°
の範囲の種々の傾斜角度を選択することができる。ドラ
ム１０は、底壁１２及び該底壁１２から直立している環
状の側壁１４を備えている。図２及び図３に最も良く示
すように、本発明の好ましい実施例においては、ドラム
１０の底壁１２の実質的に内面には、複数の同一キャビ
ティ１１が設けられている。図示の実施例においては、
ドラム１０の周囲に６個のキャビティ１１が等間隔に配
置されている。
に関連して本発明を詳細に説明する。図１〜図９には、
粒状材料を制御可能に供給する本発明の装置の好ましい
一実施例が示されている。図１に最も良く示すように、
この供給装置は、水平に対して傾斜した軸線の回りで回
転できるように取り付けられたドラム１０を有してい
る。好ましい実施例においては、前記軸線の傾斜角度
は、水平Ａに対して約４５°であるが、約３０〜６０°
の範囲の種々の傾斜角度を選択することができる。ドラ
ム１０は、底壁１２及び該底壁１２から直立している環
状の側壁１４を備えている。図２及び図３に最も良く示
すように、本発明の好ましい実施例においては、ドラム
１０の底壁１２の実質的に内面には、複数の同一キャビ
ティ１１が設けられている。図示の実施例においては、
ドラム１０の周囲に６個のキャビティ１１が等間隔に配
置されている。
【００１２】各キャビティ１１は第１部分１３を備えて
おり、該第１部分１３は、その一部が側壁１４の内面に
形成されており、かつドラム１０の周囲と実質的に一致
する方向で、ドラム１０の底壁１２の内面内に延入して
いる。各キャビティ１１の第２部分１５は、その一端が
第１部分１３から底壁１２の中心に向って延びており、
かつ第１部分１３に関して全体的に横方向（横向き）に
配置されている。第２部分１５の他方の自由端は、ドラ
ム１０の底壁１２に形成された孔１７と連通している。
図示の好ましい実施例においては、キャビティ１１の第
１部分１３の容積は、第２部分１５の容積よりも大き
い。好ましい実施例においては、各キャビティ１１に
は、粒状材料を排出させるための別の出口手段が設けら
れている。しかしながら、ドラム１０を、図示のような
中央に配置された手段以外の手段で支持しかつ回転させ
る場合には、各キャビティ１１に別の孔を設ける代わり
に、ドラム１０の中央部分に、全てのキャビティ１１と
連通する単一の共通出口手段を設けることもできる。
おり、該第１部分１３は、その一部が側壁１４の内面に
形成されており、かつドラム１０の周囲と実質的に一致
する方向で、ドラム１０の底壁１２の内面内に延入して
いる。各キャビティ１１の第２部分１５は、その一端が
第１部分１３から底壁１２の中心に向って延びており、
かつ第１部分１３に関して全体的に横方向（横向き）に
配置されている。第２部分１５の他方の自由端は、ドラ
ム１０の底壁１２に形成された孔１７と連通している。
図示の好ましい実施例においては、キャビティ１１の第
１部分１３の容積は、第２部分１５の容積よりも大き
い。好ましい実施例においては、各キャビティ１１に
は、粒状材料を排出させるための別の出口手段が設けら
れている。しかしながら、ドラム１０を、図示のような
中央に配置された手段以外の手段で支持しかつ回転させ
る場合には、各キャビティ１１に別の孔を設ける代わり
に、ドラム１０の中央部分に、全てのキャビティ１１と
連通する単一の共通出口手段を設けることもできる。
【００１３】粒状材料を持ち上げて出口手段に指向させ
るための複数のキャビティ１１をドラム１０の底壁１２
に設けることにより、粒状材料の滑らかで規則正しい供
給を可能にしかつ供給速度の精度を向上させることがで
きる。粒状材料は、供給チューブ２０を介してドラム１
０に供給される。供給チューブ２０は、キャビティ１１
（好ましくは、キャビティ１１の上記第１部分１３）が
水平に対して最低位置にあるときに粒状材料が任意のキ
ャビティ１１に供給されるように、ドラム１０の底壁１
２に対して配置される。
るための複数のキャビティ１１をドラム１０の底壁１２
に設けることにより、粒状材料の滑らかで規則正しい供
給を可能にしかつ供給速度の精度を向上させることがで
きる。粒状材料は、供給チューブ２０を介してドラム１
０に供給される。供給チューブ２０は、キャビティ１１
（好ましくは、キャビティ１１の上記第１部分１３）が
水平に対して最低位置にあるときに粒状材料が任意のキ
ャビティ１１に供給されるように、ドラム１０の底壁１
２に対して配置される。
【００１４】キャビティ１１には、他の種々の持上げ形
状を用いることができる。また、ドラム１０の底壁１２
には他の形状のキャビティを設けることができる。例え
ば、排出孔は、ドラム１０の中央に隣接する位置の代わ
りに、ドラムの底壁１２の周囲に隣接するキャビティ１
１の部分に配置することができる。そのように構成した
場合には、供給チューブ２０は、キャビティ１１が図示
の実施例のように最低位置にあるときではなく、水平に
対して実質的に最高位置にあるときに各キャビティ１１
に供給できるように配置され、粒状材料を、ドラム１０
のほぼ中央部分に向いた各キャビティ１１の部分に指向
させる。次に、粒状材料は、それぞれのキャビティ１１
が水平に対して最低位置に向かって回転するときに、重
力により各キャビティの出口へと流れる。
状を用いることができる。また、ドラム１０の底壁１２
には他の形状のキャビティを設けることができる。例え
ば、排出孔は、ドラム１０の中央に隣接する位置の代わ
りに、ドラムの底壁１２の周囲に隣接するキャビティ１
１の部分に配置することができる。そのように構成した
場合には、供給チューブ２０は、キャビティ１１が図示
の実施例のように最低位置にあるときではなく、水平に
対して実質的に最高位置にあるときに各キャビティ１１
に供給できるように配置され、粒状材料を、ドラム１０
のほぼ中央部分に向いた各キャビティ１１の部分に指向
させる。次に、粒状材料は、それぞれのキャビティ１１
が水平に対して最低位置に向かって回転するときに、重
力により各キャビティの出口へと流れる。
【００１５】本発明の供給装置には、粒状材料が供給チ
ューブ２０から、充填されるキャビティへと流れること
を阻止する手段が設けられている。これは、供給チュー
ブ２０の端部２２を、キャビティ１１の頂部の上方に所
定距離（すなわち、２つの特定の実施例においては、1/
4 インチ（約６mm) 程度) だけ隔てて終端させ、キャビ
ティ１１上の粒状材料のレベルが所定レベルに到達した
ときに、供給チューブ２０からの粒状材料の移動が、前
に堆積している粒状材料によって阻止されかつ遮断され
るようにすることにより達成される。
ューブ２０から、充填されるキャビティへと流れること
を阻止する手段が設けられている。これは、供給チュー
ブ２０の端部２２を、キャビティ１１の頂部の上方に所
定距離（すなわち、２つの特定の実施例においては、1/
4 インチ（約６mm) 程度) だけ隔てて終端させ、キャビ
ティ１１上の粒状材料のレベルが所定レベルに到達した
ときに、供給チューブ２０からの粒状材料の移動が、前
に堆積している粒状材料によって阻止されかつ遮断され
るようにすることにより達成される。
【００１６】供給チューブ２０の直径、及び供給チュー
ブ２０により供給される材料の量に関連する他の全ての
パラメータは、材料がキャビティ１１に供給される量に
関する制限ファクタを構成しないように選択される。す
なわち、材料の所望の最大供給速度に対しては、供給チ
ューブ２０がこの最大供給速度で材料を供給でき、この
最大供給速度が、ドラム１０の予期される最高回転速度
でのキャビティ１１の意図した最大キャパシティまで各
キャビティ１１を充填するのに充分な供給速度となるよ
うにする。低供給速度に相当する低いドラム回転速度の
場合には、供給チューブ２０の出口端の閉塞により、ド
ラム１０への粒状材料の過剰の供給が防止される。この
ようにして得られる供給速度は、実質的に、ドラム１０
の回転速度及びキャビティ１１のサイズ及び数（すなわ
ち、制御が容易な変数）のみの関数である。これは、材
料を供給チューブから移動ベルト上に供給する前述のベ
ルト式フィーダに比べ優れた利点を構成する。この方法
においては、供給速度は、ベルト速度だけでなく、ベル
トと供給チューブの端部との間の距離によっても変化す
るものである。すなわち、変数は、粒状材料の物理的特
性に基づいて制限された有効限界範囲をもつものであ
り、幾つかの条件下で最適化しかつ制御するのは困難で
ある。
ブ２０により供給される材料の量に関連する他の全ての
パラメータは、材料がキャビティ１１に供給される量に
関する制限ファクタを構成しないように選択される。す
なわち、材料の所望の最大供給速度に対しては、供給チ
ューブ２０がこの最大供給速度で材料を供給でき、この
最大供給速度が、ドラム１０の予期される最高回転速度
でのキャビティ１１の意図した最大キャパシティまで各
キャビティ１１を充填するのに充分な供給速度となるよ
うにする。低供給速度に相当する低いドラム回転速度の
場合には、供給チューブ２０の出口端の閉塞により、ド
ラム１０への粒状材料の過剰の供給が防止される。この
ようにして得られる供給速度は、実質的に、ドラム１０
の回転速度及びキャビティ１１のサイズ及び数（すなわ
ち、制御が容易な変数）のみの関数である。これは、材
料を供給チューブから移動ベルト上に供給する前述のベ
ルト式フィーダに比べ優れた利点を構成する。この方法
においては、供給速度は、ベルト速度だけでなく、ベル
トと供給チューブの端部との間の距離によっても変化す
るものである。すなわち、変数は、粒状材料の物理的特
性に基づいて制限された有効限界範囲をもつものであ
り、幾つかの条件下で最適化しかつ制御するのは困難で
ある。
【００１７】ドラム１０はシャフト１９に回転可能に取
り付けられており、該シャフト１９は、回転可能に支持
された真空シール手段２４を介して、ドラム１０を所定
の回転速度で回転させる駆動手段２６に連結されてい
る。駆動手段２６は、モータ制御ユニット２６からの信
号により制御される可変速電気モータを備えている。図
１２には、モータプーリ４０と、ドラムプーリ４２と、
ベルト４１とを備えた動力伝達手段が詳細に示されてい
る。
り付けられており、該シャフト１９は、回転可能に支持
された真空シール手段２４を介して、ドラム１０を所定
の回転速度で回転させる駆動手段２６に連結されてい
る。駆動手段２６は、モータ制御ユニット２６からの信
号により制御される可変速電気モータを備えている。図
１２には、モータプーリ４０と、ドラムプーリ４２と、
ベルト４１とを備えた動力伝達手段が詳細に示されてい
る。
【００１８】更に、本発明の供給装置は、ドラム１０を
取り囲んでいる漏斗２３を有している。漏斗２３の大き
な部分２１は、シャフト１９の回りでドラム１０と同心
状に取り付けられており、漏斗２３の頂部は手段２７に
より、底部は手段２９によりハウジング３０内に支持さ
れている。ハウジング３０の開口を通ってドラム１０内
に延入している供給チューブ２０は、水平方向及び垂直
方向に調節可能に取り付けられた端部（自由端）２２を
有している。ドラム１０の底壁１２に形成されたキャビ
ティ１１の上方における供給チューブ２０の自由端２２
の位置は、等間隔に配置された３本のばね付勢ボルト２
８の１本又はそれ以上の操作により調節することができ
る。回転ドラム１０の底壁１２の孔１７から排出される
粒状材料は、漏斗２３内に落下する。漏斗２３に供給さ
れる粒状材料の流れを排出口３６に指向させる手段３４
が設けられている。排出口３６は、水平に対して最低位
置にある漏斗２３の大きな部分２１の一部と連通するよ
うに配置されている。
取り囲んでいる漏斗２３を有している。漏斗２３の大き
な部分２１は、シャフト１９の回りでドラム１０と同心
状に取り付けられており、漏斗２３の頂部は手段２７に
より、底部は手段２９によりハウジング３０内に支持さ
れている。ハウジング３０の開口を通ってドラム１０内
に延入している供給チューブ２０は、水平方向及び垂直
方向に調節可能に取り付けられた端部（自由端）２２を
有している。ドラム１０の底壁１２に形成されたキャビ
ティ１１の上方における供給チューブ２０の自由端２２
の位置は、等間隔に配置された３本のばね付勢ボルト２
８の１本又はそれ以上の操作により調節することができ
る。回転ドラム１０の底壁１２の孔１７から排出される
粒状材料は、漏斗２３内に落下する。漏斗２３に供給さ
れる粒状材料の流れを排出口３６に指向させる手段３４
が設けられている。排出口３６は、水平に対して最低位
置にある漏斗２３の大きな部分２１の一部と連通するよ
うに配置されている。
【００１９】また、キャビティ１１の第２部分１５が、
供給チューブ２０から供給される粒状材料によって殆ど
充填されないようにして、キャビティ１１の第１部分１
３を粒状材料で確実に充填させる手段が設けられてい
る。これは、好ましい実施例においては、シャフト１９
の回りに取り付けられていて、キャビティ１１の第１部
分１３の少なくとも一部と第２部分１５の全部とを覆う
ことができる寸法を有している円形プレート２５を設け
ることにより達成される。
供給チューブ２０から供給される粒状材料によって殆ど
充填されないようにして、キャビティ１１の第１部分１
３を粒状材料で確実に充填させる手段が設けられてい
る。これは、好ましい実施例においては、シャフト１９
の回りに取り付けられていて、キャビティ１１の第１部
分１３の少なくとも一部と第２部分１５の全部とを覆う
ことができる寸法を有している円形プレート２５を設け
ることにより達成される。
【００２０】本発明による供給装置の作動が、図４〜図
６に最も良く示されている。これらの図面は、回転ドラ
ム１０が反時計回り方向（ｃｃｗ）に回転するときの、
水平Ａに対する３つの異なる角度位置にある回転ドラム
１０を示すものである。図４において、番号１１Ａで示
すキャビティは水平に対して最低位置にあり、供給チュ
ーブ２０から供給される粒状材料で充填されている。こ
のキャビティ１１Ａの第１部分１３には、図示のように
粒状材料が充填されているけれども、第２部分１５は空
になっている。ドラム１０のこの角度位置においては、
番号１１Ｂで示すキャビティ（該キャビティ１１Ｂは、
キャビティ１１Ａよりも水平に対して高い位置にありか
つキャビティ１１Ａから反時計回り方向に隔たったとこ
ろに位置している）の第１部分１３は、その一部が空に
なっており、ここに入っていた粒状材料はこのキャビテ
ィ１１Ｂの第２部分１５内に移動している。
６に最も良く示されている。これらの図面は、回転ドラ
ム１０が反時計回り方向（ｃｃｗ）に回転するときの、
水平Ａに対する３つの異なる角度位置にある回転ドラム
１０を示すものである。図４において、番号１１Ａで示
すキャビティは水平に対して最低位置にあり、供給チュ
ーブ２０から供給される粒状材料で充填されている。こ
のキャビティ１１Ａの第１部分１３には、図示のように
粒状材料が充填されているけれども、第２部分１５は空
になっている。ドラム１０のこの角度位置においては、
番号１１Ｂで示すキャビティ（該キャビティ１１Ｂは、
キャビティ１１Ａよりも水平に対して高い位置にありか
つキャビティ１１Ａから反時計回り方向に隔たったとこ
ろに位置している）の第１部分１３は、その一部が空に
なっており、ここに入っていた粒状材料はこのキャビテ
ィ１１Ｂの第２部分１５内に移動している。
【００２１】図５においては、キャビティ１１Ｃが水平
に対して最低位置にあり、該キャビティ１１Ｃの第１部
分１３が粒状材料で所定レベルまで充填されている。一
方、キャビティ１１Ａにおいては、粒状材料の一部が第
１部分１３からキャビティの第２部分１５内に移動して
いる。水平に対するドラム１０のこの角度位置において
は、キャビティ１１Ｂ内の粒状材料は、重力により、該
キャビティ１１Ｂの第２部分１５からその端部の孔１７
内に（及び該孔１７を通って）落下し始め、ドラム１０
から排出される。
に対して最低位置にあり、該キャビティ１１Ｃの第１部
分１３が粒状材料で所定レベルまで充填されている。一
方、キャビティ１１Ａにおいては、粒状材料の一部が第
１部分１３からキャビティの第２部分１５内に移動して
いる。水平に対するドラム１０のこの角度位置において
は、キャビティ１１Ｂ内の粒状材料は、重力により、該
キャビティ１１Ｂの第２部分１５からその端部の孔１７
内に（及び該孔１７を通って）落下し始め、ドラム１０
から排出される。
【００２２】図６においては、キャビティ１１Ｂ内の粒
状材料はほぼ完全に排出される。一方、キャビティ１１
Ｄは今、最低位置を占めており、供給チューブ２０から
粒状材料が供給されている。キャビティ１１の所定のサ
イズ及び形状について、各キャビティ１１と連通してい
る孔１７を通って排出される粒状材料の供給速度は、ド
ラム１０の回転速度、円形プレート２５がキャビティ１
１の一部を覆う度合い、及び水平に対するドラム１０の
角度によって実質的に制御される。図７〜図９には、円
形プレート２５の重要な機能がより明瞭に示されてい
る。粒状材料は、ドラム１０の反時計回り方向の前方側
の約半分まで実際に乗り上がり、粒状材料の連続的にな
だれ落ちる「ヒル」を形成する。円形プレート２５は、
粒状材料がこのヒルから第２部分１５内に直接落下し、
孔１７を通って排出されることを防止する。このため、
キャビティ１１の第１部分１３内の粒状材料及びヒルの
頂部の上に出る極く僅かの第２部分１５内の粒状材料の
みが、ドラム１０の孔１７に運ばれる。
状材料はほぼ完全に排出される。一方、キャビティ１１
Ｄは今、最低位置を占めており、供給チューブ２０から
粒状材料が供給されている。キャビティ１１の所定のサ
イズ及び形状について、各キャビティ１１と連通してい
る孔１７を通って排出される粒状材料の供給速度は、ド
ラム１０の回転速度、円形プレート２５がキャビティ１
１の一部を覆う度合い、及び水平に対するドラム１０の
角度によって実質的に制御される。図７〜図９には、円
形プレート２５の重要な機能がより明瞭に示されてい
る。粒状材料は、ドラム１０の反時計回り方向の前方側
の約半分まで実際に乗り上がり、粒状材料の連続的にな
だれ落ちる「ヒル」を形成する。円形プレート２５は、
粒状材料がこのヒルから第２部分１５内に直接落下し、
孔１７を通って排出されることを防止する。このため、
キャビティ１１の第１部分１３内の粒状材料及びヒルの
頂部の上に出る極く僅かの第２部分１５内の粒状材料の
みが、ドラム１０の孔１７に運ばれる。
【００２３】好ましい実施例においては、反復可能な供
給速度は２５〜５００g/分の範囲内にある。ドラム１０
のこの構造及びドラム１０が回転する度毎に各キャビテ
ィ１１が完全に空にされるという事実により、粒状材料
の凝離（segregation)が防止される。この基本的設計に
より、種々のサイズの粒状材料の供給を、キャビティ１
１及び孔１７の寸法及び形状によってのみ制限させるこ
とが可能になる。
給速度は２５〜５００g/分の範囲内にある。ドラム１０
のこの構造及びドラム１０が回転する度毎に各キャビテ
ィ１１が完全に空にされるという事実により、粒状材料
の凝離（segregation)が防止される。この基本的設計に
より、種々のサイズの粒状材料の供給を、キャビティ１
１及び孔１７の寸法及び形状によってのみ制限させるこ
とが可能になる。
【００２４】図１０は、本発明の供給装置の特に適した
一適用例としての、シリコン結晶成長炉用のシリコンフ
ィーダ機構を示すものである。シリコンフィーダ機構
は、結晶の成長後に、使用される粒状材料を最初に充填
すなわち補給するため、シリコン結晶成長炉のるつぼ内
に既知の制御可能な供給速度で粒状シリコン材料を供給
するのに使用される。シリコンフィーダ機構は、結晶が
成長している間に、粒状材料を連続的にるつぼに供給す
るのに使用することもできる。本発明の供給装置は、シ
リコン材料の汚染を最小限にして、制御可能で正確な供
給が行えるものである。
一適用例としての、シリコン結晶成長炉用のシリコンフ
ィーダ機構を示すものである。シリコンフィーダ機構
は、結晶の成長後に、使用される粒状材料を最初に充填
すなわち補給するため、シリコン結晶成長炉のるつぼ内
に既知の制御可能な供給速度で粒状シリコン材料を供給
するのに使用される。シリコンフィーダ機構は、結晶が
成長している間に、粒状材料を連続的にるつぼに供給す
るのに使用することもできる。本発明の供給装置は、シ
リコン材料の汚染を最小限にして、制御可能で正確な供
給が行えるものである。
【００２５】図１０に示す装置において、シリコン材料
は、シリコン補充ポート１０１を通って貯蔵容器１００
内に供給される。貯蔵容器１００は、アルゴン／真空連
結部入口１０２と、貯蔵容器１００内のシリコン材料内
容物の視覚検査を行うための覗きポート１０３とを有し
ている。貯蔵容器１００の出口１０４は、切離し手段１
０６を介して供給チューブハウジング１１２に連結され
ている。該供給チューブハウジング１１２は、図１〜図
９の説明に関連して上述した構造的特徴を備えている制
御供給装置１１４の一部を構成している。供給チューブ
２０を収容している供給チューブハウジング１１２は、
制御供給装置１１４の傾斜した回転ドラムにシリコン材
料を供給する。ドラムから排出されるシリコン材料の供
給速度は、ドラム駆動手段１１０による傾斜ドラムの回
転速度によって制御される。ドラム駆動手段１１０の回
転速度は、るつぼの条件に基づいて選択される。シリコ
ンの全重量及び溶融速度（melt-down rate) のような所
定のパラメータ、及び温度や可視表示(visual indicati
ons)のようなリアルタイムのパラメータは、一般に考慮
されているものである。シリコン結晶成長炉１４０から
コンピュータユニット（図示せず）に送られるこの情報
に基づいてコンピュータユニットにより適当な供給速度
が選択され、その出力信号がドラム駆動手段１１０の電
子制御装置の入力に送られる。
は、シリコン補充ポート１０１を通って貯蔵容器１００
内に供給される。貯蔵容器１００は、アルゴン／真空連
結部入口１０２と、貯蔵容器１００内のシリコン材料内
容物の視覚検査を行うための覗きポート１０３とを有し
ている。貯蔵容器１００の出口１０４は、切離し手段１
０６を介して供給チューブハウジング１１２に連結され
ている。該供給チューブハウジング１１２は、図１〜図
９の説明に関連して上述した構造的特徴を備えている制
御供給装置１１４の一部を構成している。供給チューブ
２０を収容している供給チューブハウジング１１２は、
制御供給装置１１４の傾斜した回転ドラムにシリコン材
料を供給する。ドラムから排出されるシリコン材料の供
給速度は、ドラム駆動手段１１０による傾斜ドラムの回
転速度によって制御される。ドラム駆動手段１１０の回
転速度は、るつぼの条件に基づいて選択される。シリコ
ンの全重量及び溶融速度（melt-down rate) のような所
定のパラメータ、及び温度や可視表示(visual indicati
ons)のようなリアルタイムのパラメータは、一般に考慮
されているものである。シリコン結晶成長炉１４０から
コンピュータユニット（図示せず）に送られるこの情報
に基づいてコンピュータユニットにより適当な供給速度
が選択され、その出力信号がドラム駆動手段１１０の電
子制御装置の入力に送られる。
【００２６】傾斜ドラム、該傾斜ドラムに関連する供給
チューブ、収集漏斗及びモータ駆動装置は、シリコン材
料の予定しかつ制御できる供給速度を許容するように設
計されている。この適用例においては、シリコンの供給
速度を炉の材料溶融速度能力と一致させなくてはならな
いため、シリコン供給速度は非常に重要である。また、
るつぼに供給されるシリコン材料の全量を計算するに
は、既知の供給速度が必要になる。
チューブ、収集漏斗及びモータ駆動装置は、シリコン材
料の予定しかつ制御できる供給速度を許容するように設
計されている。この適用例においては、シリコンの供給
速度を炉の材料溶融速度能力と一致させなくてはならな
いため、シリコン供給速度は非常に重要である。また、
るつぼに供給されるシリコン材料の全量を計算するに
は、既知の供給速度が必要になる。
【００２７】制御供給装置１１４から排出されるシリコ
ン材料は、排出チューブ１３４を収容している排出ハウ
ジング１１３を介して、所定速度で注入手段１１６に供
給される。図１１には、この注入手段１１６がより詳細
に示してある。注入手段１１６は、炉１４０内に伸長し
てるつぼ内にシリコン材料を供給できる収縮可能なイン
ジェクタチューブ１１７を備えている。また、注入手段
１１６は、排出チューブ１３４の排出端１３１が延入す
るハウジング１３０を備えている。このハウジング１３
０の内部で、インジェクタチューブ１１７は、伸長位置
（この伸長位置において、インジェクタチューブ１１７
の排出先端部１２１が炉１４０内に配置される）と、収
縮位置（この収縮位置において、インジェクタチューブ
１１７はハウジング１３０内に配置される）との間を移
動することができる。インジェクタチューブ１１７は、
インジェクタチューブ支持手段１３２と駆動トラックレ
ール１２３とによってハウジング１３０内に移動可能に
支持される。互いに間隔を隔てて配置された２つのチェ
ーン支持スプロケット１２２、１２４の間で、駆動チェ
ーン１２５が延びている。駆動チェーン１２５が駆動ト
ラックレール１２３に従って走行し、インジェクタチュ
ーブ支持手段１３２のインジェクタチューブ１１７を引
っ張る。図１０に示すように、注入手段１１６は更に、
インジェクタチューブ１１７の駆動手段１１９と、該駆
動手段１１９を制御する電子制御装置１１５とを備えて
いる。注入手段１１６の両端部には、アルゴン／真空連
結部入口１２８、１３３が設けられている。また、注入
手段１１６と炉１４０との間には真空遮断弁１１８が設
けられている。好ましい実施例においては、注入手段１
１６の電子制御手段１１５は、インジェクタチューブ１
１７が排出チューブ１３４に関して特別な位置に位置し
ているときにのみ、コンピュータ制御によりドラムの回
転を開始させるように設計されている。この特別な位置
においては、排出チューブ１３４からシリコン材料を受
け入れるための、インジェクタチューブ１１７の入口１
２６が、排出チューブ１３４の出口開口１３１と整合し
ている。この電子式位置インターロック装置は、モータ
制御ユニット（ドラム駆動手段）１１０への不意の供給
速度入力制御により、シリコン材料がハウジング１３０
内にこぼれることを防止する。
ン材料は、排出チューブ１３４を収容している排出ハウ
ジング１１３を介して、所定速度で注入手段１１６に供
給される。図１１には、この注入手段１１６がより詳細
に示してある。注入手段１１６は、炉１４０内に伸長し
てるつぼ内にシリコン材料を供給できる収縮可能なイン
ジェクタチューブ１１７を備えている。また、注入手段
１１６は、排出チューブ１３４の排出端１３１が延入す
るハウジング１３０を備えている。このハウジング１３
０の内部で、インジェクタチューブ１１７は、伸長位置
（この伸長位置において、インジェクタチューブ１１７
の排出先端部１２１が炉１４０内に配置される）と、収
縮位置（この収縮位置において、インジェクタチューブ
１１７はハウジング１３０内に配置される）との間を移
動することができる。インジェクタチューブ１１７は、
インジェクタチューブ支持手段１３２と駆動トラックレ
ール１２３とによってハウジング１３０内に移動可能に
支持される。互いに間隔を隔てて配置された２つのチェ
ーン支持スプロケット１２２、１２４の間で、駆動チェ
ーン１２５が延びている。駆動チェーン１２５が駆動ト
ラックレール１２３に従って走行し、インジェクタチュ
ーブ支持手段１３２のインジェクタチューブ１１７を引
っ張る。図１０に示すように、注入手段１１６は更に、
インジェクタチューブ１１７の駆動手段１１９と、該駆
動手段１１９を制御する電子制御装置１１５とを備えて
いる。注入手段１１６の両端部には、アルゴン／真空連
結部入口１２８、１３３が設けられている。また、注入
手段１１６と炉１４０との間には真空遮断弁１１８が設
けられている。好ましい実施例においては、注入手段１
１６の電子制御手段１１５は、インジェクタチューブ１
１７が排出チューブ１３４に関して特別な位置に位置し
ているときにのみ、コンピュータ制御によりドラムの回
転を開始させるように設計されている。この特別な位置
においては、排出チューブ１３４からシリコン材料を受
け入れるための、インジェクタチューブ１１７の入口１
２６が、排出チューブ１３４の出口開口１３１と整合し
ている。この電子式位置インターロック装置は、モータ
制御ユニット（ドラム駆動手段）１１０への不意の供給
速度入力制御により、シリコン材料がハウジング１３０
内にこぼれることを防止する。
【００２８】この特別な適用例においては、シリコン材
料と接触するすべての材料は、シリコンの取扱いに相容
性がありかつシリコン材料を汚染しないものでなくては
ならない。そのような材料として、貯蔵タンクのコーテ
ィングにはテフゼル（tefzel) 、分配チューブ及びドラ
ムにはテフロン、漏斗及び供給チューブには石英を用い
ることができる。種々のハウジング及び内部部品の設計
のサイズ決めを行うことにより、多くのシリコン取扱い
部品用の構造材料として将来シリコンを使用できるよう
になる。
料と接触するすべての材料は、シリコンの取扱いに相容
性がありかつシリコン材料を汚染しないものでなくては
ならない。そのような材料として、貯蔵タンクのコーテ
ィングにはテフゼル（tefzel) 、分配チューブ及びドラ
ムにはテフロン、漏斗及び供給チューブには石英を用い
ることができる。種々のハウジング及び内部部品の設計
のサイズ決めを行うことにより、多くのシリコン取扱い
部品用の構造材料として将来シリコンを使用できるよう
になる。
【００２９】
【発明の効果】結晶成長炉に材料を制御供給する本発明
の供給装置は、正確な供給速度が得られ、材料がこぼれ
ないようにでき、かつ、メインテナンスが殆ど不要で種
々の剛性材料で作ることができる非常に簡単なドラム構
造を使用できること等の理由から、非常に有効なもので
ある。
の供給装置は、正確な供給速度が得られ、材料がこぼれ
ないようにでき、かつ、メインテナンスが殆ど不要で種
々の剛性材料で作ることができる非常に簡単なドラム構
造を使用できること等の理由から、非常に有効なもので
ある。
【００３０】以上、特定の実施例に関連して本発明の原
理を説明したが、当業者には種々の変更が可能であり、
かつそのような変更は本発明の範囲に含まれるものであ
ることを理解すべきである。
理を説明したが、当業者には種々の変更が可能であり、
かつそのような変更は本発明の範囲に含まれるものであ
ることを理解すべきである。
【図１】本発明による供給装置の一実施例を示す断面図
である。
である。
【図２】本発明による供給装置の回転供給ドラムの上部
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】図１の供給装置の回転供給ドラムを３−３′線
方向から見た平面図である。
方向から見た平面図である。
【図４】供給ドラムの作動を説明するための、第１の回
転位置にある供給ドラムを示す図面である。
転位置にある供給ドラムを示す図面である。
【図５】供給ドラムの作動を説明するための、第２の回
転位置にある供給ドラムを示す図面である。
転位置にある供給ドラムを示す図面である。
【図６】供給ドラムの作動を説明するための、第３の回
転位置にある供給ドラムを示す図面である。
転位置にある供給ドラムを示す図面である。
【図７】円形プレートの機能を示す斜視図である。
【図８】円形プレートの機能を示す平面図である。
【図９】円形プレートの機能を示す側面図である。
【図１０】図１に示す本発明の供給装置を組み込んだ結
晶成長炉用のシリコン補給装置を示す図面である。
晶成長炉用のシリコン補給装置を示す図面である。
【図１１】図１０の装置の注入装置をより詳細に示す図
面である。
面である。
【図１２】駆動手段と回転ドラムとの間の動力伝達手段
をより詳細に示す図面である。
をより詳細に示す図面である。
１０ ドラム １１ キャビティ １３ キャビティの第１部分 １５ キャビティの第２部分 １７ 孔 ２０ 供給チューブ ２１ 漏斗の大きな部分 ２２ 供給チューブの端部 ２３ 漏斗 ２４ 真空シール手段 ２５ 円形プレート ２６ 駆動手段 ２８ ばね付勢ボルト ３０ ハウジング ３４ 指向手段 ３６ 排出口 ４０、４２ プーリ １００ 貯蔵容器 １０１ シリコン補充ポート １０２ アルゴン／真空連結部入口 １０６ 切離し手段 １１０ ドラム駆動手段 １１２ 供給チューブハウジング １１３ 排出ハウジング １１４ 制御供給装置 １１５ 電子制御装置 １１６ 注入装置 １１７ インジェクタチューブ １１８ 真空遮断弁 １１９ 駆動手段 １２５ 駆動チェーン １２８ アルゴン／真空連結部入口 １３０ ハウジング １３３ アルゴン／真空連結部入口 １３４ 排出チューブ
Claims (6)
- 【請求項１】 粒状材料を制御可能に供給する装置にお
いて、水平軸線に対し鋭角をなして傾斜した軸線の回り
で回転できるように取り付けられたドラムを有してお
り、該ドラムが、内面、外周部及び中央部を備えた底壁
と、該底壁から直立した環状壁とを有し、少なくとも１
つのキャビティを備え、該キャビティの少なくとも一部
が前記底壁の内面に形成されており、前記キャビティ
は、その一端が前記底壁のほぼ外周部から延びていて、
その他端が前記底壁の中央部に向いており、前記キャビ
ティは、前記両端部のうちの一方の端部が少なくとも１
つの出口手段と連通しており、前記粒状材料を前記少な
くとも１つのキャビティ内に供給する手段を有してお
り、該供給手段が前記粒状材料の出口ポートを備えてお
り、前記供給手段は、前記出口手段を備えている方の前
記キャビティの端部が、同じキャビティの反対側の端部
より上方の水平面に対して持ち上げられた状態の回転位
置に前記キャビティが位置しているときにのみ、前記出
口ポートが前記粒状材料を前記キャビティ内に指向させ
るように、前記ドラムに対して配置されており、また、
前記供給手段は、その出口端部が受け入れキャビティの
前記出口手段が設けられている側とは反対側の受け入れ
キャビティの部分に粒状材料を注ぐことができるように
も配置されており、前記キャビティより上方の前記粒状
材料のレベルが所定レベルに到達すると、前記キャビテ
ィへの前記粒状材料の流入を阻止する手段と、前記ドラ
ムを前記傾斜軸線の回りで回転させる手段と、前記ドラ
ムの回転速度を制御する手段とを更に有しており、これ
により、前記ドラムが回転するとき、前記キャビティの
前記出口手段が前記キャビティの既に充填された部分の
上方に配置されているとき、前記ドラムがその回転の第
１角度部分にわたって回転する間に、前記少なくとも１
つのキャビティが、前記供給手段から供給される前記粒
状材料で充填され、前記キャビティの前記出口手段が前
記キャビティの前記充填された部分の下方に配置されて
いるとき、前記ドラムがその回転の第２角度部分にわた
って回転する間に、前記少なくとも１つの出口手段を通
して前記粒状材料が重力により排出されて前記少なくと
も１つのキャビティが空にされ、前記出口手段を通して
排出される前記材料の供給速度が前記ドラムの回転速度
により制御されることを特徴とする粒状材料を制御可能
に供給する装置。 - 【請求項２】 実質的に前記底壁には複数のキャビティ
が設けられており、これらのキャビティが前記底壁の周
囲に沿って等間隔を隔てて配置されており、前記キャビ
ティの各々が、少なくとも実質的に前記底壁の周囲に沿
って延びている第１部分と、一端が前記第１部分から延
びていて他端が前記底壁の中央部に向いておりかつ前記
第１部分に対して横方向に配置された第２部分とを備え
ていることを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 前記ドラムには円形プレートが設けられ
ており、該円形プレートが、実質的に前記キャビティの
前記第１部分の少なくとも一部及び前記第２部分の全て
を覆っていて、前記キャビティが最低位置にある間は、
前記供給手段から供給される前記粒状材料が前記キャビ
ティの前記第２部分内に移動しないように構成したこと
を特徴とする請求項２に記載の装置。 - 【請求項４】 前記ドラムが３０〜６０°の間の角度で
傾斜していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか
１項に記載の装置。 - 【請求項５】 前記粒状材料を供給する手段が供給チュ
ーブを備えており、前記粒状材料の流入阻止手段は、前
記キャビティ内の前記粒状材料が所定レベルに到達する
と、前記キャビティ内への前記粒状材料の流れを遮断で
きる距離だけ前記キャビティより上方に配置された、前
記供給チューブの自由端を備えていることを特徴とする
請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。 - 【請求項６】 前記粒状材料が、水平面に対して最低位
置にあるキャビティの前記第１部分のみに供給されるこ
とを特徴とする請求項２に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US499583 | 1983-05-31 | ||
| US07/499,583 US5016683A (en) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | Apparatus for controllably feeding a particulate material |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05301622A JPH05301622A (ja) | 1993-11-16 |
| JP2916286B2 true JP2916286B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=23985831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3061989A Expired - Fee Related JP2916286B2 (ja) | 1990-03-27 | 1991-03-26 | 粒状材料を制御可能に供給する装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5016683A (ja) |
| EP (1) | EP0449215B1 (ja) |
| JP (1) | JP2916286B2 (ja) |
| KR (1) | KR920005708A (ja) |
| DE (1) | DE69123865T2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5387380A (en) * | 1989-12-08 | 1995-02-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Three-dimensional printing techniques |
| US5204055A (en) * | 1989-12-08 | 1993-04-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Three-dimensional printing techniques |
| JP3478406B2 (ja) * | 1992-09-09 | 2003-12-15 | アルベマール・コーポレーシヨン | 粒状物質の供給装置 |
| US5775402A (en) * | 1995-10-31 | 1998-07-07 | Massachusetts Institute Of Technology | Enhancement of thermal properties of tooling made by solid free form fabrication techniques |
| US5814161A (en) * | 1992-11-30 | 1998-09-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Ceramic mold finishing techniques for removing powder |
| US6146567A (en) * | 1993-02-18 | 2000-11-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Three dimensional printing methods |
| US5660621A (en) * | 1995-12-29 | 1997-08-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Binder composition for use in three dimensional printing |
| DE10104069A1 (de) | 2001-01-29 | 2002-08-01 | Iwk Verpackungstechnik Gmbh | Tubenfüllmaschine |
| US8021483B2 (en) * | 2002-02-20 | 2011-09-20 | Hemlock Semiconductor Corporation | Flowable chips and methods for the preparation and use of same, and apparatus for use in the methods |
| SE0203667L (sv) * | 2002-12-12 | 2004-06-13 | Eurocomp Ab | Matningsanordning |
| KR100704314B1 (ko) * | 2006-12-11 | 2007-04-09 | 주식회사 신대특수재료 | 내열성이 우수한 초 고굴절 광학수지 조성물 및 이를이용한 광학렌즈의 제조방법 |
| TW201012978A (en) * | 2008-08-27 | 2010-04-01 | Bp Corp North America Inc | Apparatus and method of use for a casting system with independent melting and solidification |
| KR101349273B1 (ko) | 2012-01-20 | 2014-01-13 | 주식회사 케이오씨솔루션 | 티오에폭시계 광학재료의 제조방법과 그 중합성 조성물 |
| US10834807B1 (en) * | 2016-04-01 | 2020-11-10 | Elemental Scientific, Inc. | ICP torch assembly with retractable injector |
| CN112225628A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-15 | 重庆航天工业有限公司 | 一种桥塞火药的自动浇注组件及装置 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1553613A (en) * | 1925-09-15 | Feeder | ||
| US1221136A (en) * | 1916-08-28 | 1917-04-03 | Gen Engineering Co | Feeding-drum. |
| US1284700A (en) * | 1917-12-05 | 1918-11-12 | Mine & Smelter Supply Company | Rotary drum-feeder. |
| US1399124A (en) * | 1917-12-05 | 1921-12-06 | Mine & Smelter Supply Company | Feeder |
| DE528868C (de) * | 1930-04-12 | 1931-07-07 | Polte Fa | Vorrichtung zum masshaltigen Abteilen von Schuettgut |
| US2015164A (en) * | 1930-05-07 | 1935-09-24 | Fmc Corp | Method and apparatus for filling granular material into moving containers |
| US2998335A (en) * | 1956-02-04 | 1961-08-29 | Telefunken Gmbh | Method and apparatusfor growing single crystals from molten bodies |
| US2962363A (en) * | 1957-07-09 | 1960-11-29 | Pacific Semiconductors Inc | Crystal pulling apparatus and method |
| GB885146A (en) * | 1958-01-06 | 1961-12-20 | Inland Steel Co | Solids flow control device |
| NL237834A (ja) * | 1958-04-09 | |||
| US3377003A (en) * | 1967-01-04 | 1968-04-09 | Sonoco Products Co | Dispensing container |
| US4249988A (en) * | 1978-03-15 | 1981-02-10 | Western Electric Company, Inc. | Growing crystals from a melt by controlling additions of material thereto |
| DE2925679A1 (de) * | 1979-06-26 | 1981-01-22 | Heliotronic Gmbh | Verfahren zur herstellung von siliciumstaeben |
| US4454096A (en) * | 1981-06-15 | 1984-06-12 | Siltec Corporation | Crystal growth furnace recharge |
| CA1261715A (en) * | 1984-07-06 | 1989-09-26 | General Signal Corporation | Apparatus and process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique |
| US4661324A (en) * | 1985-02-15 | 1987-04-28 | Mobil Solar Energy Corporation | Apparatus for replenishing a melt |
| FR2592064B1 (fr) * | 1985-12-23 | 1988-02-12 | Elf Aquitaine | Dispositif pour former un bain d'un materiau semi-conducteur fondu afin d'y faire croitre un element cristallin |
| DE3737051A1 (de) * | 1987-10-31 | 1989-05-11 | Leybold Ag | Vorrichtung fuer die kontinuierliche zufuhr von schmelzgut |
-
1990
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-
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