JP2906816B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JP2906816B2 JP2906816B2 JP8363092A JP8363092A JP2906816B2 JP 2906816 B2 JP2906816 B2 JP 2906816B2 JP 8363092 A JP8363092 A JP 8363092A JP 8363092 A JP8363092 A JP 8363092A JP 2906816 B2 JP2906816 B2 JP 2906816B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- oscillator
- output
- row
- amplifiers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ装置に関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の金属蒸気レーザ装置のＭＯ
ＰＡ（Master Oscillator Power amplifier ）システム
を示すもので、４列配置されている。図において、１〜
４は出力４Ｗの発振器、５ａ〜５ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ
〜７ｃ、８ａ〜８ｃは発振器１〜４からのレーザ光を増
巾し、それぞれ引き出し能力 100Ｗを有する増巾器で、
増巾システムにより複数台設置する。次に動作について
説明する。図２において、各発振器１〜４の出力を後段
に接続した各増巾器５ａ〜５ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ〜７
ｃ、８ａ〜８ｃにより増巾し、出力は各列とも304Ｗで
ある。したがって、４列の合計出力は、304×4＝1,216
Ｗである。ここで、発振器１が故障すると、第１列目の
出力が零になるので、合計出力が304Ｗ減って 912Ｗに
低下する。
ＰＡ（Master Oscillator Power amplifier ）システム
を示すもので、４列配置されている。図において、１〜
４は出力４Ｗの発振器、５ａ〜５ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ
〜７ｃ、８ａ〜８ｃは発振器１〜４からのレーザ光を増
巾し、それぞれ引き出し能力 100Ｗを有する増巾器で、
増巾システムにより複数台設置する。次に動作について
説明する。図２において、各発振器１〜４の出力を後段
に接続した各増巾器５ａ〜５ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ〜７
ｃ、８ａ〜８ｃにより増巾し、出力は各列とも304Ｗで
ある。したがって、４列の合計出力は、304×4＝1,216
Ｗである。ここで、発振器１が故障すると、第１列目の
出力が零になるので、合計出力が304Ｗ減って 912Ｗに
低下する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の金属蒸気レーザ
装置は上記のように構成されているので、複数列の発振
器出力を増巾している場合、発振器が故障するとその列
の出力がすべて零になるので、全体の出力低下分が大き
くなるという問題点があった。
装置は上記のように構成されているので、複数列の発振
器出力を増巾している場合、発振器が故障するとその列
の出力がすべて零になるので、全体の出力低下分が大き
くなるという問題点があった。
【０００４】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、２台の発振器の出力を各列の増
巾器に均等に配分して、全体の出力低下を少なくするよ
うにしたレーザ装置を提供する。
ためになされたもので、２台の発振器の出力を各列の増
巾器に均等に配分して、全体の出力低下を少なくするよ
うにしたレーザ装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る金属蒸気
レーザ装置は、パルス状の第１のレーザビームを発振す
る第１の発振器、パルス状の第２のレーザビームを発振
する第２の発振器、第１のレーザビームを全反射する第
１の全反射器、この第１の全反射器で全反射した第１の
レーザビームと第２のレーザビームとを合成し、第３の
レーザビームとして出力する合成器、Ｎ列配列した所定
の引き出し能力を有する増巾器、１列目から（Ｎ−１）
列目までの上記各増巾器と対応して順次配置され、上記
第３のレーザビームを１／Ｎずつ１列目から（Ｎ−１）
列目までの上記各増巾器に均等に分配する（Ｎ−１）個
のビームスプリッタ、このビームスプリッタの（Ｎ−
１）個の次に配置した上記増巾器と対応して配置され、
（Ｎ−１）個目の上記ビームスプリッタを通過した上記
第３のビームを全反射する第２の全反射器を備えたもの
である。
レーザ装置は、パルス状の第１のレーザビームを発振す
る第１の発振器、パルス状の第２のレーザビームを発振
する第２の発振器、第１のレーザビームを全反射する第
１の全反射器、この第１の全反射器で全反射した第１の
レーザビームと第２のレーザビームとを合成し、第３の
レーザビームとして出力する合成器、Ｎ列配列した所定
の引き出し能力を有する増巾器、１列目から（Ｎ−１）
列目までの上記各増巾器と対応して順次配置され、上記
第３のレーザビームを１／Ｎずつ１列目から（Ｎ−１）
列目までの上記各増巾器に均等に分配する（Ｎ−１）個
のビームスプリッタ、このビームスプリッタの（Ｎ−
１）個の次に配置した上記増巾器と対応して配置され、
（Ｎ−１）個目の上記ビームスプリッタを通過した上記
第３のビームを全反射する第２の全反射器を備えたもの
である。
【０００６】
【作用】この発明のレーザ装置は、２台の発振器の出力
を合成し、Ｎ列の増巾器に均等に分配するので、１台の
発振器が故障して増巾器の入力が半分になっても、各列
の増巾器に発振器の出力が入力されるため、合計出力の
低下を発振器１台の出力分だけにできる。
を合成し、Ｎ列の増巾器に均等に分配するので、１台の
発振器が故障して増巾器の入力が半分になっても、各列
の増巾器に発振器の出力が入力されるため、合計出力の
低下を発振器１台の出力分だけにできる。
【０００７】
【実施例】実施例１． 以下、この発明の一実施例を図について説明する。図１
において、１、２、１ａ、２ａ、５ａ〜５ｃ、６ａ〜６
ｃ、７ａ〜７ｃ、及び８ａ〜８ｃは図２と同じなので説
明は省略する。９は発振器１の出力である第１のレーザ
ビーム１ａを全反射する第１の全反射器、１０は第１の
全反射器９で全反射した第１のレーザビーム１ａと、発
振器２の出力である第２のレーザビーム２ａとを合成
し、第３のレーザビーム１０ａとする合成器、１１〜１
３は各列の増巾器５ａ〜５ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ〜７ｃ
と対応して配置したビームスプリッタで、第３のレーザ
ビーム１０ａを１／４ずつ各列の増巾器５ａ〜５ｃ、６
ａ〜６ｃ、７ａ〜７ｃに均等に分配する。１４は増巾器
８ａ〜８ｃと対応して配置した第２の全反射器で、ビー
ムスプリッタ１１〜１３を通過した第３のレーザビーム
１０ａの残りの１／４を全反射して増巾器８ａの入力と
して供給する。以上のように、発振器２台に対し増巾器
を４列（増巾器列Ｎ＝４）３段に配置した場合を示して
いる。なお、図２の従来の技術の場合と同様、発振器出
力は各４Ｗ、増巾器は各１００Ｗの引き出し能力を有す
るものとして説明する。
において、１、２、１ａ、２ａ、５ａ〜５ｃ、６ａ〜６
ｃ、７ａ〜７ｃ、及び８ａ〜８ｃは図２と同じなので説
明は省略する。９は発振器１の出力である第１のレーザ
ビーム１ａを全反射する第１の全反射器、１０は第１の
全反射器９で全反射した第１のレーザビーム１ａと、発
振器２の出力である第２のレーザビーム２ａとを合成
し、第３のレーザビーム１０ａとする合成器、１１〜１
３は各列の増巾器５ａ〜５ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ〜７ｃ
と対応して配置したビームスプリッタで、第３のレーザ
ビーム１０ａを１／４ずつ各列の増巾器５ａ〜５ｃ、６
ａ〜６ｃ、７ａ〜７ｃに均等に分配する。１４は増巾器
８ａ〜８ｃと対応して配置した第２の全反射器で、ビー
ムスプリッタ１１〜１３を通過した第３のレーザビーム
１０ａの残りの１／４を全反射して増巾器８ａの入力と
して供給する。以上のように、発振器２台に対し増巾器
を４列（増巾器列Ｎ＝４）３段に配置した場合を示して
いる。なお、図２の従来の技術の場合と同様、発振器出
力は各４Ｗ、増巾器は各１００Ｗの引き出し能力を有す
るものとして説明する。
【０００８】上記構成において、各列の増巾器５ａ〜５
ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ〜７ｃ、８ａ〜８ｃのラインは、
増巾量（出力−入力）が飽和状態にあって、出力は入力
の増加（又は減少）分だけ増加（又は減少）する。増巾
器１ライン当たりの出力は、増巾器１台の増巾量×段数
＋発振器合計出力／Ｎとなるので、本実施例の場合は
（１００×３＋８／４）Ｗ、即ち３０２Ｗとなり、全体
の出力は１２０８Ｗとなる。 ここで、もし発振器１、２
の一方が故障して増巾器ラインへの入力が１／２になっ
た場合、増巾器１ライン当たりの出力は、（１００×３
＋４／４）Ｗ、即ち３０１Ｗとなり、全体の出力は１２
０４Ｗとなるので、発振器１台が故障しても全体で４Ｗ
低下するだけである。
ｃ、６ａ〜６ｃ、７ａ〜７ｃ、８ａ〜８ｃのラインは、
増巾量（出力−入力）が飽和状態にあって、出力は入力
の増加（又は減少）分だけ増加（又は減少）する。増巾
器１ライン当たりの出力は、増巾器１台の増巾量×段数
＋発振器合計出力／Ｎとなるので、本実施例の場合は
（１００×３＋８／４）Ｗ、即ち３０２Ｗとなり、全体
の出力は１２０８Ｗとなる。 ここで、もし発振器１、２
の一方が故障して増巾器ラインへの入力が１／２になっ
た場合、増巾器１ライン当たりの出力は、（１００×３
＋４／４）Ｗ、即ち３０１Ｗとなり、全体の出力は１２
０４Ｗとなるので、発振器１台が故障しても全体で４Ｗ
低下するだけである。
【０００９】
【００１０】上記実施例は金属蒸気レーザ装置について
説明したが、増巾器の増巾量（出力−入力）が飽和状態
（入力の増分だけ出力が増える）であれば、色素レー
ザ、エキシマレーザ、炭酸ガスレーザ等にも適用でき
る。なお、飽和状態は増巾器の長さ及び励起エネルギー
が所定値以上であれば、作ることができる。
説明したが、増巾器の増巾量（出力−入力）が飽和状態
（入力の増分だけ出力が増える）であれば、色素レー
ザ、エキシマレーザ、炭酸ガスレーザ等にも適用でき
る。なお、飽和状態は増巾器の長さ及び励起エネルギー
が所定値以上であれば、作ることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、２台
の発振器のうち１台が故障しても全体の出力が半減する
ことなく、１台の発振器の出力分のみの低減に抑えるこ
とができる。
の発振器のうち１台が故障しても全体の出力が半減する
ことなく、１台の発振器の出力分のみの低減に抑えるこ
とができる。
【図１】この発明の一実施例を示すレーザの構成図。
【図２】従来の金属蒸気レーザ装置の構成図。
１、２ 発振器 ５ａ、５ｂ、５ｃ 増巾器 ６ａ、６ｂ、６ｃ 増巾器 ７ａ、７ｂ、７ｃ 増巾器 ８ａ、８ｂ、８ｃ 増巾器 ９ 第１の全反射器 10 合成器 11、12、13 ビームスプリッタ 14 第２の全反射器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/23 H01S 3/02 H01S 3/097 H01S 3/10
Claims (1)
- 【請求項１】 パルス状の第１のレーザビームを発振す
る第１の発振器、パルス状の第２のレーザービームを発
振する第２の発振器、上記第１のレーザビームを全反射
する第１の全反射器、この第１の全反射器で全反射した
上記第１のレーザビームと上記第２のレーザビームとを
合成し、第３のレーザビームとして出力する合成器、Ｎ
列配列した所定の引き出し能力を有する増巾器、１列目
から（Ｎ−１）列目までの上記各増巾器と対応して順次
配置され、上記第３のレーザビームを1/N ずつ１列目か
ら（Ｎ−１）列目までの上記各増巾器に均等に分配する
（Ｎ−１）個のビームスプリッタ、このビームスプリッ
タの（Ｎ−１）個の次に配置した上記増巾器と対応して
配置され、（Ｎ−１）個目の上記ビームスプリッタを通
過した上記第３のビームを全反射する第２の全反射器を
備えたレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8363092A JP2906816B2 (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8363092A JP2906816B2 (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05283781A JPH05283781A (ja) | 1993-10-29 |
| JP2906816B2 true JP2906816B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=13807793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8363092A Expired - Lifetime JP2906816B2 (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906816B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4963149B2 (ja) * | 2001-09-19 | 2012-06-27 | ギガフォトン株式会社 | 光源装置及びそれを用いた露光装置 |
| JP5414556B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2014-02-12 | 三菱電機株式会社 | Ｃｏ２ガスレーザ装置 |
| JP5474891B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2014-04-16 | ギガフォトン株式会社 | 光源装置及びそれを用いた露光装置 |
-
1992
- 1992-04-06 JP JP8363092A patent/JP2906816B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05283781A (ja) | 1993-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Martinez | Design of high-power ultrashort pulse amplifiers by expansion and recompression | |
| JP5507841B2 (ja) | 高ピークおよび高平均のパワーを伴う光パルス増幅器 | |
| US4323857A (en) | Catalac free electron laser | |
| US4200846A (en) | Efficient laser amplifier using sequential pulses of different wavelengths | |
| US5926494A (en) | Laser systems with improved performance and reduced parasitics and method | |
| US9620928B2 (en) | Continuous wave or ultrafast lasers | |
| US6646796B2 (en) | Wide band erbium-doped fiber amplifier (EDFA) | |
| US4280109A (en) | Efficient frequency converter utilizing higher order Stokes-Raman scattering | |
| US20180123314A1 (en) | Lookthrough Compression Arrangement | |
| ES2010899A6 (es) | Sistema amplificador optico con conjugacion de fase en cuatro pasadas y metodo de funcionamiento. | |
| US3691483A (en) | Phased array laser source | |
| WO1991011043A1 (en) | Laser plasma x-ray source | |
| JP2906816B2 (ja) | レーザ装置 | |
| US5021742A (en) | Laser amplifier | |
| US8582611B2 (en) | Frequency-tripled fiber-MOPA | |
| US5172263A (en) | Multi-pass laser amplifier system | |
| JPH09107141A (ja) | 光増幅装置 | |
| JP3091027B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH04144177A (ja) | 光ファイバ増幅器 | |
| JP2940050B2 (ja) | レーザー装置 | |
| JPH06275922A (ja) | 多波長光源 | |
| JP3258714B2 (ja) | レーザー増幅システム | |
| JP2673510B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPH01179910A (ja) | パルス多重光学系 | |
| JPH06169122A (ja) | 光ファイバ増幅装置 |