JP2902743B2 - Ｘ線の透過状態表示方法 - Google Patents
Ｘ線の透過状態表示方法Info
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- JP2902743B2 JP2902743B2 JP18429890A JP18429890A JP2902743B2 JP 2902743 B2 JP2902743 B2 JP 2902743B2 JP 18429890 A JP18429890 A JP 18429890A JP 18429890 A JP18429890 A JP 18429890A JP 2902743 B2 JP2902743 B2 JP 2902743B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、試料にＸ線を照射した場合にＸ線が試料
表面からどれだけの深さまで到達しているかを表示する
方法に関する。
表面からどれだけの深さまで到達しているかを表示する
方法に関する。
［従来の技術］ 試料にＸ線を照射してＸ線分析を行う場合に、試料表
面からどれだけの深さまでＸ線が到達しているかを知り
たい場合がある。この場合、従来は、所定の計算式に基
づいて作業者がＸ線の透過強度を計算していた。
面からどれだけの深さまでＸ線が到達しているかを知り
たい場合がある。この場合、従来は、所定の計算式に基
づいて作業者がＸ線の透過強度を計算していた。
［発明が解決しようとする課題］ このように作業者がＸ線の透過状態を計算するのは、
手間と時間がかかり、不便である。
手間と時間がかかり、不便である。
そこで、この発明の目的は、Ｘ線の透過状態を表示装
置上に表示することのできるＸ線の透過状態表示方法を
提供することである。
置上に表示することのできるＸ線の透過状態表示方法を
提供することである。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明に係るＸ線の
透過状態表示方法は、 試料にＸ線を照射した場合の試料表面からの透過距離
とその位置でのＸ線強度との関係を計算する段階と、 前記Ｘ線強度が所定の最小値に等しくなるときの前記
透過距離をＸ線到達距離と定める段階と、 前記Ｘ線到達距離を表示装置上に数値で表示すると共
に、試料表面から前記Ｘ線到達距離までのＸ線透過状態
を前記表示装置上に視覚的に表示する段階とを有するこ
とを特徴としている。
透過状態表示方法は、 試料にＸ線を照射した場合の試料表面からの透過距離
とその位置でのＸ線強度との関係を計算する段階と、 前記Ｘ線強度が所定の最小値に等しくなるときの前記
透過距離をＸ線到達距離と定める段階と、 前記Ｘ線到達距離を表示装置上に数値で表示すると共
に、試料表面から前記Ｘ線到達距離までのＸ線透過状態
を前記表示装置上に視覚的に表示する段階とを有するこ
とを特徴としている。
試料表面にＸ線を照射した場合に、試料表面から透過
距離ｘのところのＸ線強度Ｉは、入射Ｘ線の強度I0を用
いて次のように表すことができる。
距離ｘのところのＸ線強度Ｉは、入射Ｘ線の強度I0を用
いて次のように表すことができる。
Ｉ＝I0exp（−μρｘ） …（１） ここで、μ：試料の質量吸収係数 ρ：試料の密度 また、特性Ｘ線を使用した場合は、入射Ｘ線強度I0は
次のように表すことができる。
次のように表すことができる。
I0＝Ki（Ｖ−V0）ｎ …（２） ここで、K:比例定数 i:X線管の管電流 V:X線管の管電圧 V0:ターゲットの励起電圧 n:管電圧に関係する定数 したがって、まず、使用するＸ線管の種類とその動作
条件を定めると、式（２）より入射Ｘ線強度I0を計算す
ることができる。さらに、試料を定めると、式（１）に
より試料表面から透過距離ｘのところのＸ線強度Ｉを計
算することができる。
条件を定めると、式（２）より入射Ｘ線強度I0を計算す
ることができる。さらに、試料を定めると、式（１）に
より試料表面から透過距離ｘのところのＸ線強度Ｉを計
算することができる。
ところで、上記式（１）から分かるように、試料表面
からの距離ｘが大きくなっていてもＸ線強度Ｉがゼロに
なることはなく、限りなくゼロに近づくだけである。そ
こで、所定の最小値を定めて、Ｘ線強度がこの最小値に
等しくなるときの距離ｘをもってＸ線到達距離と定める
のが実用的である。
からの距離ｘが大きくなっていてもＸ線強度Ｉがゼロに
なることはなく、限りなくゼロに近づくだけである。そ
こで、所定の最小値を定めて、Ｘ線強度がこの最小値に
等しくなるときの距離ｘをもってＸ線到達距離と定める
のが実用的である。
試料表面からＸ線到達距離までのＸ線透過状態を表示
装置上に視覚的に表示する方法としては各種の方法があ
る。例えば、縦軸に試料表面からの距離をとって、試料
表面からＸ線到達距離までの部分をカラー表示すると
か、さらにＸ線強度に応じて色分けをしたりや濃度差を
つけたりすることができる。
装置上に視覚的に表示する方法としては各種の方法があ
る。例えば、縦軸に試料表面からの距離をとって、試料
表面からＸ線到達距離までの部分をカラー表示すると
か、さらにＸ線強度に応じて色分けをしたりや濃度差を
つけたりすることができる。
［作用］ まず、コンピュータにＸ線管のデータ（ターゲット材
質、管電流、管電圧など）と試料のデータ（材質、質量
吸収係数、密度など）とを入力する。コンピュータで
は、上述のような所定の計算式に基づいて、試料表面か
らの透過距離とその位置でのＸ線強度との関係を計算す
る。そして、Ｘ線強度が所定の最小値に等しくなるとき
の透過距離を求めて、これをＸ線到達距離とする。この
Ｘ線到達距離をCRTなどの表示装置上に数値で表示す
る。同時に、この表示装置上で、試料表面からＸ線到達
距離に至るまでの部分を他の部分と明瞭に区別できるよ
うに視覚的に表示する。
質、管電流、管電圧など）と試料のデータ（材質、質量
吸収係数、密度など）とを入力する。コンピュータで
は、上述のような所定の計算式に基づいて、試料表面か
らの透過距離とその位置でのＸ線強度との関係を計算す
る。そして、Ｘ線強度が所定の最小値に等しくなるとき
の透過距離を求めて、これをＸ線到達距離とする。この
Ｘ線到達距離をCRTなどの表示装置上に数値で表示す
る。同時に、この表示装置上で、試料表面からＸ線到達
距離に至るまでの部分を他の部分と明瞭に区別できるよ
うに視覚的に表示する。
［実施例］ 次に、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。
第１図は、この発明の方法によりＸ線透過状態をCRT
上に表示した一例である。この表示図の右半分では、試
料にSiを使い、Ｘ線管の管電流を30mA、管電圧を35kVと
したときに、Ｘ線到達距離が100μｍであることを、ま
ず数値で示している。さらに、この表示図の左半分で
は、縦軸に試料表面からのＸ線透過距離をとって、Ｘ線
透過状態を透過表示図形10で視覚的に表示している。こ
の透過表示図形10は、その横幅が各透過距離でのＸ線強
度に比例している。図形10の先端11がＸ線到達距離に相
当する。この図形10を見れば、試料表面から深くなるに
つれてＸ線がどの程度透過しているのかを視覚的に容易
に認識できる。カラーディスプレイを利用すれば、透過
表示図形10を鮮やかな色彩で表示できる。
上に表示した一例である。この表示図の右半分では、試
料にSiを使い、Ｘ線管の管電流を30mA、管電圧を35kVと
したときに、Ｘ線到達距離が100μｍであることを、ま
ず数値で示している。さらに、この表示図の左半分で
は、縦軸に試料表面からのＸ線透過距離をとって、Ｘ線
透過状態を透過表示図形10で視覚的に表示している。こ
の透過表示図形10は、その横幅が各透過距離でのＸ線強
度に比例している。図形10の先端11がＸ線到達距離に相
当する。この図形10を見れば、試料表面から深くなるに
つれてＸ線がどの程度透過しているのかを視覚的に容易
に認識できる。カラーディスプレイを利用すれば、透過
表示図形10を鮮やかな色彩で表示できる。
第２図は、透過表示図形の変更例である。この例で
は、透過表示図形12の横幅は透過距離に依存せず一定と
して、この代わりに、色彩の濃度を変化させてある。す
なわち、Ｘ線強度の高い部分を濃く、低い部分を薄く表
示してある。図形12の下端13がＸ線到達距離である。
は、透過表示図形12の横幅は透過距離に依存せず一定と
して、この代わりに、色彩の濃度を変化させてある。す
なわち、Ｘ線強度の高い部分を濃く、低い部分を薄く表
示してある。図形12の下端13がＸ線到達距離である。
第３図は、Si試料にＸ線を照射した場合のＸ線強度の
減衰率（I/I0）を表したグラフである。横軸に試料表面
からの距離ｘ、縦軸に減衰率（I/I0）をとってある。減
衰の程度は照射Ｘ線の波長によって異なる。このグラフ
では、Ｘ線管のターゲットにMo、Cu、Crを用いて、それ
ぞれのＫα線をSiに照射した場合の減衰率を示してい
る。
減衰率（I/I0）を表したグラフである。横軸に試料表面
からの距離ｘ、縦軸に減衰率（I/I0）をとってある。減
衰の程度は照射Ｘ線の波長によって異なる。このグラフ
では、Ｘ線管のターゲットにMo、Cu、Crを用いて、それ
ぞれのＫα線をSiに照射した場合の減衰率を示してい
る。
この発明の透過状態表示方法は、多結晶材料、単結晶
材料、多層膜材料などに使用できる。なお、単結晶材料
の場合は、結晶の方向性を考慮した質量吸収係数を用い
ることが必要である。多層膜材料の場合は、透過距離に
応じて材質が変化するので透過距離に応じて質量吸収係
数を変更することが必要である。
材料、多層膜材料などに使用できる。なお、単結晶材料
の場合は、結晶の方向性を考慮した質量吸収係数を用い
ることが必要である。多層膜材料の場合は、透過距離に
応じて材質が変化するので透過距離に応じて質量吸収係
数を変更することが必要である。
透過表示図形の形状やＸ線強度表示態様は上述のもの
に限定されず、各種の変更例が可能である。
に限定されず、各種の変更例が可能である。
［発明の効果］ 以上説明したようにこの発明は、透過距離とＸ線強度
との関係を計算して、Ｘ線到達距離を求め、これらを視
覚的に表示するようにしたので、試料へのＸ線透過状態
を把握するのに、大変便利で、しかも分かりやすい。
との関係を計算して、Ｘ線到達距離を求め、これらを視
覚的に表示するようにしたので、試料へのＸ線透過状態
を把握するのに、大変便利で、しかも分かりやすい。
第１図はこの発明の方法によるCRT表示の一例を示した
図、 第２図は透過表示図形の変更例を示す図、 第３図はＸ線強度の減衰率と透過距離との関係を示すグ
ラフである。 10……透過表示図形
図、 第２図は透過表示図形の変更例を示す図、 第３図はＸ線強度の減衰率と透過距離との関係を示すグ
ラフである。 10……透過表示図形
Claims (1)
- 【請求項１】試料にＸ線を照射した場合の試料表面から
の透過距離とその位置でのＸ線強度との関係を計算する
段階と、 前記Ｘ線強度が所定の最小値に等しくなるときの前記透
過距離をＸ線到達距離と定める段階と、 前記Ｘ線到達距離を表示装置上に数値で表示すると共
に、試料表面から前記Ｘ線到達距離までのＸ線透過状態
を前記表示装置上に視覚的に表示する段階とを有するこ
とを特徴とするＸ線の透過状態表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18429890A JP2902743B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | Ｘ線の透過状態表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18429890A JP2902743B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | Ｘ線の透過状態表示方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472555A JPH0472555A (ja) | 1992-03-06 |
| JP2902743B2 true JP2902743B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=16150888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18429890A Expired - Fee Related JP2902743B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | Ｘ線の透過状態表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2902743B2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP18429890A patent/JP2902743B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0472555A (ja) | 1992-03-06 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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