JP2902618B2 - Gas discharge display panel and method of manufacturing the same - Google Patents

Gas discharge display panel and method of manufacturing the same

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JP2902618B2
JP2902618B2 JP16050297A JP16050297A JP2902618B2 JP 2902618 B2 JP2902618 B2 JP 2902618B2 JP 16050297 A JP16050297 A JP 16050297A JP 16050297 A JP16050297 A JP 16050297A JP 2902618 B2 JP2902618 B2 JP 2902618B2
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discharge display
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、放電セル内にお
ける放電生成によって生じた放電光を利用して表示を行
うガス放電表示パネル及びその製造方法に係り、特に、
製造過程や動作中に発生する不純ガスを除去するための
ゲッター材を備えたガス放電表示パネル及びその製造方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas discharge display panel for performing display by using discharge light generated by discharge generation in a discharge cell, and a method of manufacturing the same.
The present invention relates to a gas discharge display panel provided with a getter material for removing an impurity gas generated during a manufacturing process or operation, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5に示すように、従来のガス放電表示
パネル50は、一面に帯状の陰極52を複数本並設したガラ
ス等の絶縁材からなる背面基板54と、一面に帯状の透明
陽極56を複数本並設したガラス等の透明絶縁材よりなる
前面基板58とを、上記陰極52と透明陽極56とが所定の間
隙を隔てて略直交するように対向配置し、両基板周縁を
封着材60を介して気密封止して外囲器62となし、該外囲
器62の内部空間に希ガス等の放電ガスを封入してなる。
上記内部空間は、前面基板58及び背面基板54の対向面に
格子状に形成された前面側バリアリブ64及び背面側バリ
アリブ66を介して均等に区切られ、陰極52と透明陽極56
との交差部分毎に放電セル68がドット・マトリクス状に
多数形成される。また、前面側バリアリブ64の頂面に
は、スペーサ70が所定の間隔をおいて形成されており、
その結果、前面側バリアリブ64と背面側バリアリブ66と
の間には、スペーサ70の高さに相当する幅を備えた隙間
72が形成され、各放電セル68は、この隙間72を介して連
通されている。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a conventional gas discharge display panel 50 has a back substrate 54 made of an insulating material such as glass having a plurality of strip-shaped cathodes 52 arranged on one side, and a strip-shaped transparent board formed on one side. A front substrate 58 made of a transparent insulating material such as glass in which a plurality of anodes 56 are juxtaposed, and the cathode 52 and the transparent anode 56 are opposed to each other so as to be substantially orthogonal to each other with a predetermined gap therebetween. It is hermetically sealed via a sealing material 60 to form an envelope 62, and a discharge gas such as a rare gas is sealed in the internal space of the envelope 62.
The internal space is equally divided via a front-side barrier rib 64 and a rear-side barrier rib 66 formed in a lattice on the facing surface of the front substrate 58 and the rear substrate 54, and the cathode 52 and the transparent anode 56 are separated.
A large number of discharge cells 68 are formed in a dot matrix at each intersection with. On the top surface of the front side barrier rib 64, spacers 70 are formed at predetermined intervals,
As a result, a gap having a width corresponding to the height of the spacer 70 is provided between the front side barrier rib 64 and the rear side barrier rib 66.
72 are formed, and the respective discharge cells 68 communicate with each other via the gap 72.

【0003】しかして、上記透明陽極56と陰極52間に選
択的に電圧を印加することにより、所望の放電セル68に
おいて放電が生成され、該放電に基づく放電光が透明陽
極56及び前面基板58を透過して外部に放射される。この
結果、表示面としての前面基板58に任意の文字や図形等
が表示される。
By selectively applying a voltage between the transparent anode 56 and the cathode 52, a discharge is generated in a desired discharge cell 68, and discharge light based on the discharge is generated by the transparent anode 56 and the front substrate 58. And is radiated to the outside. As a result, arbitrary characters, figures, and the like are displayed on the front substrate 58 as a display surface.

【0004】ところで、ガス放電表示パネル50の製造過
程や動作時には、ガス放電表示パネル50を構成する部材
(背面基板54、前面基板58、陰極52、透明陽極56等)の
素材中に含まれる不純物等から不純ガス(二酸化炭素、
酸素、窒素等)が放出される。この不純ガスが蓄積し、
放電ガスに混入することにより、放電ガスの成分、圧力
が変化し、放電特性の悪化をもたらすことから、ゲッタ
ー材を用いて不純ガスを吸着除去することが行われてい
る。
During the manufacturing process and operation of the gas discharge display panel 50, impurities contained in the material of the members (the back substrate 54, the front substrate 58, the cathode 52, the transparent anode 56, etc.) constituting the gas discharge display panel 50 are used. And other impure gases (carbon dioxide,
Oxygen, nitrogen, etc.) are released. This impurity gas accumulates,
When mixed with a discharge gas, the components and pressure of the discharge gas change, resulting in deterioration of discharge characteristics. Therefore, an impurity gas is adsorbed and removed using a getter material.

【0005】図5に示す従来のガス放電表示パネル50に
あっては、背面基板54の外面上に、該背面基板54に設け
た貫通孔74を介して上記外囲器62の内部空間と連通する
ゲッター材収納部76を形成し、該ゲッター材収納部76内
にリングゲッター78を収納している。このゲッター材収
納部76は、ガス放電表示パネル50の製造過程で使用され
た排気管を利用したものであり、内部にリングゲッター
78を収納したガラス製の排気管の一端を上記貫通孔74を
覆うように背面基板54の外面54a上に接続した後、外囲
器62及び排気管の一端を400〜450℃の温度で加熱
しつつ真空排気を行ってガス放電表示パネル50の構成部
材を脱気して不純ガスを放出させた後、該排気管を通じ
て外囲器62内に放電ガスを封入し、然る後、排気管の中
途部を封じ切ることにより形成することができるもので
ある。
In the conventional gas discharge display panel 50 shown in FIG. 5, on the outer surface of the rear substrate 54, the through hole 74 formed in the rear substrate 54 communicates with the internal space of the envelope 62. A getter material storage section 76 is formed, and a ring getter 78 is stored in the getter material storage section 76. The getter material storage section 76 utilizes an exhaust pipe used in the process of manufacturing the gas discharge display panel 50, and has a ring getter inside.
After connecting one end of a glass exhaust pipe containing 78 to the outer surface 54a of the back substrate 54 so as to cover the through hole 74, the envelope 62 and one end of the exhaust pipe are heated at a temperature of 400 to 450 ° C. After evacuating the components of the gas discharge display panel 50 to release the impure gas, the discharge gas is sealed in the envelope 62 through the exhaust pipe, and then the exhaust pipe is exhausted. Can be formed by sealing off the middle part of

【0006】上記リングゲッター78は、金属リング80の
上方を開口して内部にゲッター材としてのバリウム82を
被着させたものであり、該リングゲッター78を高周波コ
イル84により千数百度の高温で加熱し、バリウム粒子を
放射させることにより外囲器62内の不純ガスの吸着除去
を行っていた。
The ring getter 78 has an opening above the metal ring 80 and a barium 82 as a getter material adhered to the inside thereof. The ring getter 78 is heated by a high frequency coil 84 at a high temperature of several hundred degrees. By heating and emitting barium particles, the impurity gas in the envelope 62 was adsorbed and removed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のガス放電表示パネル50にあっては、リングゲッター
78を千数百度の高温で加熱するための特別な工程が必要
であり、また、リングゲッター78加熱時の高温によって
外囲器62が変形することを防止するため、外囲器62とリ
ングゲッター78との離間距離を大きく確保しなければな
らないと共に、リングゲッター78自体が比較的大きな固
体形状と成されていることから、これを収納するゲッタ
ー材収納部76も大きく確保する必要があった。そのた
め、上記の如く排気管を利用してゲッター材収納部76を
形成する場合には、排気のために必要とされる径や長さ
以上に、大径且つ長尺な排気管を特別に用意しなければ
ならなかった。
However, in the above-mentioned conventional gas discharge display panel 50, a ring getter is provided.
A special process is required to heat the 78 at a high temperature of several hundred degrees, and the envelope 62 and the ring getter 78 are used to prevent the envelope 62 from being deformed by the high temperature at the time of heating the ring getter 78. The distance between the ring getter 78 and the ring getter 78 itself must be relatively large, and since the ring getter 78 itself has a relatively large solid shape, it is necessary to ensure a large getter material storage part 76 for storing the ring getter 78. Therefore, when forming the getter material accommodating portion 76 using the exhaust pipe as described above, a specially prepared large-diameter and long exhaust pipe having a diameter or length greater than that required for exhaust is provided. I had to.

【0008】この発明は、上記従来例の問題点に鑑みて
なされたものであり、その目的とするところは、ゲッタ
ー材の高温加熱工程が不要であり、また、ゲッター材収
納部を小さくすることができるガス放電表示パネル及び
その製造方法を実現することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object to eliminate the need for a high-temperature heating step of the getter material and to reduce the size of the getter material storage section. And a method of manufacturing the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るガス放電表示パネルは、一面に帯状
の電極を複数本並設した絶縁材よりなる背面基板と、一
面に帯状の透明電極を複数本並設した透明絶縁材よりな
る前面基板とを、各基板の電極が所定の間隙を隔てて交
差するように対向配置すると共に、両基板の周縁を気密
封止して外囲器となし、該外囲器内に放電ガスを封入し
てなるガス放電表示パネルにおいて、上記外囲器と連通
するゲッター材収納部を形成すると共に、該ゲッター材
収納部内に、無機物にアジ化バリウム溶液を含浸せしめ
て構成したゲッター材を封入したことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a gas discharge display panel according to the present invention comprises: a back substrate made of an insulating material having a plurality of strip electrodes arranged on one surface; A front substrate made of a transparent insulating material in which a plurality of transparent electrodes are arranged side by side is arranged so that the electrodes of each substrate intersect with a predetermined gap therebetween, and the outer edges of both substrates are hermetically sealed. In a gas discharge display panel in which a discharge gas is sealed in the envelope, a getter material accommodating portion communicating with the envelope is formed, and the getter material accommodating portion is provided with an inorganic material in the getter material accommodating portion. A getter material configured by impregnating with a barium chloride solution is enclosed.

【0010】また、本発明に係るガス放電表示パネルの
製造方法は、一面に帯状の電極を複数本並設した絶縁材
よりなる背面基板と、一面に帯状の透明電極を複数本並
設した透明絶縁材よりなる前面基板とを、各基板の電極
が所定の間隙を隔てて交差するように対向配置すると共
に、両基板の周縁を気密封止して外囲器となし、さら
に、該外囲器と連通するゲッター材収納部を上記外囲器
に封着した後、無機物にアジ化バリウム溶液を含浸せし
めて構成したゲッター材を上記ゲッター材収納部内に封
入し、その後、上記外囲器を加熱すると共に真空排気し
た後、放電ガスを外囲器内に封入したことを特徴とす
る。
Further, in the method of manufacturing a gas discharge display panel according to the present invention, there is provided a back substrate made of an insulating material having a plurality of strip electrodes arranged on one surface, and a transparent substrate having a plurality of strip transparent electrodes arranged on one surface. A front substrate made of an insulating material is disposed so as to face each other so that the electrodes of each substrate intersect with a predetermined gap therebetween, and the periphery of both substrates is hermetically sealed to form an envelope. After sealing the getter material accommodating portion communicating with the vessel to the envelope, a getter material configured by impregnating the inorganic substance with a barium azide solution is sealed in the getter material accommodating portion, and then the envelope is sealed. After heating and evacuating, the discharge gas is sealed in an envelope.

【0011】さらに、本発明に係る他のガス放電表示パ
ネルの製造方法は、一面に帯状の電極を複数本並設した
絶縁材よりなる背面基板と、一面に帯状の透明電極を複
数本並設した透明絶縁材よりなる前面基板とを、各基板
の電極が所定の間隙を隔てて交差するように対向配置す
ると共に、両基板の周縁を気密封止して外囲器となし、
さらに、該外囲器と連通し、その内部に無機物を収納し
て成るゲッター材収納部を上記外囲器に封着した後、上
記ゲッター材収納部内にアジ化バリウム溶液を注入し、
上記無機物にアジ化バリウム溶液を含浸せしめてゲッタ
ー材を構成し、その後、上記外囲器を加熱すると共に真
空排気した後、放電ガスを外囲器内に封入したことを特
徴とする。
Further, another method of manufacturing a gas discharge display panel according to the present invention is characterized in that a back substrate made of an insulating material having a plurality of band-shaped electrodes arranged on one surface and a plurality of band-shaped transparent electrodes arranged on one surface. And a front substrate made of a transparent insulating material, and disposed opposite each other so that the electrodes of each substrate intersect with a predetermined gap therebetween, and hermetically seal the periphery of both substrates to form an envelope.
Furthermore, after sealing the getter material accommodating portion which communicates with the envelope and accommodates an inorganic substance therein to the envelope, a barium azide solution is injected into the getter material accommodating portion,
The inorganic material is impregnated with a barium azide solution to form a getter material. After that, the envelope is heated and evacuated, and then a discharge gas is sealed in the envelope.

【0012】尚、上記無機物としては、例えば、活性ア
ルミナ又はガラスウールが望ましい。
As the inorganic substance, for example, activated alumina or glass wool is desirable.

【0013】アジ化バリウム(Ba(N32)は粉末状
であるが、水或いはエタノールに簡単に溶けるため溶液
化し易いものである。本発明のガス放電表示パネルにあ
っては、無機物にアジ化バリウム溶液を含浸せしめて構
成したゲッター材を用いており、このアジ化バリウムは
比較的低い温度でも化学吸着作用を奏するものであるこ
とから、ゲッター材を高温加熱することなく、不純ガス
を吸着することができる。また、液体であるアジ化バリ
ウム溶液を無機物に含浸せしめることでゲッター材を構
成することができるため、アジ化バリウム溶液を含浸す
る無機物の大きさを小さくすることにより、容易に小さ
なゲッター材を形成することができ、従って、該ゲッタ
ー材を収納するためのゲッター材収納部も小さくするこ
とが可能となる。
Barium azide (Ba (N 3 ) 2 ) is in the form of powder, but is easily dissolved in water or ethanol, so that it is easy to form a solution. In the gas discharge display panel of the present invention, a getter material formed by impregnating an inorganic substance with a barium azide solution is used, and the barium azide exhibits a chemisorption effect even at a relatively low temperature. Therefore, the impurity gas can be adsorbed without heating the getter material at a high temperature. In addition, since the getter material can be formed by impregnating the inorganic substance with a liquid barium azide solution, a small getter material can be easily formed by reducing the size of the inorganic substance impregnated with the barium azide solution. Therefore, the getter material storage portion for storing the getter material can be reduced in size.

【0014】[0014]

【発明の実施の態様】以下に、この発明に係るガス放電
表示パネル及びその製造方法を、図1乃至図3に基づい
て説明する。図1は、本発明に係るガス放電表示パネル
10を示す概略断面図、図2及び図3は、ガス放電表示パ
ネルの製造過程を示す概略断面図である。このガス放電
表示パネル10は、平板ガラス等の絶縁材よりなる背面基
板12と、同じく平板ガラス等の透明絶縁材よりなる前面
基板14とを、所定の間隙を隔てて対向配置し、両基板周
縁を低融点ガラス等の封着材16を介して気密封止して外
囲器18を形成し、該外囲器18の内部空間にNe,Ar,
He,Xe等の希ガスを主体とした放電ガスを封入する
ことを基本構成としている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a gas discharge display panel according to the present invention and a method for manufacturing the same will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a gas discharge display panel according to the present invention.
2 and 3 are schematic cross-sectional views showing a process of manufacturing a gas discharge display panel. This gas discharge display panel 10 has a rear substrate 12 made of an insulating material such as a flat glass and a front substrate 14 also made of a transparent insulating material such as a flat glass opposed to each other with a predetermined gap therebetween. Is hermetically sealed via a sealing material 16 such as a low-melting glass to form an envelope 18, and Ne, Ar,
The basic configuration is to fill a discharge gas mainly composed of a rare gas such as He or Xe.

【0015】背面基板12の対向面12aには、銀・パラジ
ウム(Ag・Pd)等よりなる帯状の陰極20が複数本並
設されている。また、この背面基板12の対向面12aに
は、背面側バリアリブ22が形成されている。この背面側
バリアリブ22は、低融点ガラスを印刷・焼成等して形成
され、各陰極20間を仕切る複数の第1の隔壁22aと、各
陰極20を所定の長さ毎に区切る複数の第2の隔壁22bと
を有する格子形状を備えている。
A plurality of strip-shaped cathodes 20 made of silver, palladium (Ag, Pd) or the like are arranged on the opposite surface 12a of the rear substrate 12. In addition, a rear side barrier rib 22 is formed on the opposite surface 12a of the rear substrate 12. The rear-side barrier ribs 22 are formed by printing and baking low-melting-point glass, etc., and a plurality of first partition walls 22a that partition between the cathodes 20 and a plurality of second partition walls 22 that separate the cathodes 20 by a predetermined length. And a partition 22b.

【0016】前面基板14の対向面14aには、NESA膜
(SnO2)やITO膜(In23・SnO2)等の透明
導電膜よりなる帯状の透明陽極24が被着形成されてい
る。なお、図1に現れていないが、実際には複数本の透
明陽極24が前面基板14の対向面14a上に並設されてい
る。前面基板14の対向面14aには、さらに前面側バリア
リブ26が配置されている。この前面側バリアリブ26は、
上記背面側バリアリブ22と同様に、低融点ガラスを印刷
・焼成等して形成され、各透明陽極24間を仕切る複数の
第1の隔壁26aと、各透明陽極24を所定の長さ毎に区切
る複数の第2の隔壁26bとを有する格子形状を備えてい
る。また、前面側バリアリブ26の第1の隔壁26aと第2
の隔壁26bとの交点部分の端面には、ガラス等の絶縁材
よりなるスペーサ28が突設されている。
A band-shaped transparent anode 24 made of a transparent conductive film such as a NESA film (SnO 2 ) or an ITO film (In 2 O 3 .SnO 2 ) is formed on the facing surface 14 a of the front substrate 14. . Although not shown in FIG. 1, a plurality of transparent anodes 24 are actually arranged in parallel on the facing surface 14a of the front substrate 14. On the opposite surface 14a of the front substrate 14, a front-side barrier rib 26 is further arranged. This front side barrier rib 26 is
Similarly to the back side barrier ribs 22, the first partition walls 26a are formed by printing and baking low-melting-point glass to partition between the transparent anodes 24, and partition the transparent anodes 24 into predetermined lengths. It has a lattice shape having a plurality of second partition walls 26b. The first partition 26a of the front side barrier rib 26 and the second
A spacer 28 made of an insulating material such as glass is protruded from the end face of the intersection with the partition wall 26b.

【0017】上記背面基板12と前面基板14とは、各基板
の陰極20及び透明陽極24が所定の間隙を隔てて略直交す
るよう対向配置されており、両電極の交差部分毎に、背
面側バリアリブ22及び前面側バリアリブ26によって囲繞
された放電セル30が、ドット・マトリクス状に多数形成
される。なお、上記スペーサ28の端面が背面側バリアリ
ブ20の端面に当接しているため、両バリアリブ20,26間
にはスペーサ28の高さに相当する隙間32が形成されてお
り、各放電セル30はこの隙間32を介して連通されてい
る。
The rear substrate 12 and the front substrate 14 are arranged so that the cathode 20 and the transparent anode 24 of each substrate are substantially orthogonal to each other with a predetermined gap therebetween. A large number of discharge cells 30 surrounded by the barrier ribs 22 and the front-side barrier ribs 26 are formed in a dot matrix. Since the end face of the spacer 28 is in contact with the end face of the rear barrier rib 20, a gap 32 corresponding to the height of the spacer 28 is formed between the barrier ribs 20 and 26. The connection is made through the gap 32.

【0018】而して、図示しない電源より、上記透明陽
極24−陰極20間に放電開始電圧以上の直流電圧を印加す
ると、放電セル30内における上記透明陽極24と陰極20と
の間で放電が生成し、所定の発光色を有する光が、透明
陽極24及び前面基板14を透過して外部に放射される。こ
の電圧印加を、図示しない制御・駆動回路を介して選択
的に実行することにより、所望の放電セル30において放
電発光を生成させ、前面基板14の表示面14bに任意の文
字や図形を表示することができる。なお、放電に際して
は、上記隙間32を通じて、各放電セル30間のイオンの流
通が確保されるようになっている。
When a DC voltage equal to or higher than the discharge starting voltage is applied between the transparent anode 24 and the cathode 20 from a power source (not shown), discharge occurs between the transparent anode 24 and the cathode 20 in the discharge cell 30. The generated light having a predetermined emission color is transmitted to the outside through the transparent anode 24 and the front substrate 14. By selectively executing this voltage application via a control / drive circuit (not shown), discharge light emission is generated in a desired discharge cell 30, and an arbitrary character or figure is displayed on the display surface 14b of the front substrate 14. be able to. At the time of discharge, the flow of ions between the discharge cells 30 is ensured through the gap 32.

【0019】図1において、34は、後述する排気管を利
用して形成したゲッター材収納部であり、該ゲッター材
収納部34は、背面基板の外面12b上に、該背面基板12に
形成した貫通孔36を覆うように形成されており、上記貫
通孔36を介して外囲器18の内部空間と連通している。該
ゲッター材収納部34内には、ゲッター材38及び該ゲッタ
ー材38が外囲器内に侵入するのを防止するため、ガラス
ウールより成るストッパ40が封入されている。
In FIG. 1, reference numeral 34 denotes a getter material storage portion formed by using an exhaust pipe described later. The getter material storage portion 34 is formed on the rear substrate 12 on the outer surface 12b of the rear substrate. It is formed so as to cover the through hole 36 and communicates with the internal space of the envelope 18 via the through hole 36. A getter material 38 and a stopper 40 made of glass wool are sealed in the getter material storage part 34 to prevent the getter material 38 from entering the envelope.

【0020】上記ゲッター材38は、無機物としての活性
アルミナにアジ化バリウム溶液を含浸せしめて構成した
ものであり、ガス放電表示パネル10の製造過程や動作時
にガス放電表示パネル10を構成する部材(背面基板12、
前面基板14、陰極20、透明陽極24等)の素材中に含まれ
る不純物等から放出される不純ガス(二酸化炭素、酸
素、窒素等)を吸着除去するものである。アジ化バリウ
ム(Ba(N32)は粉末状であるが、水或いはエタノ
ールに簡単に溶けるため溶液化し易く、しかも、比較的
低い温度でも化学吸着作用を奏するものである。また、
活性アルミナは、その多孔質構造によって250m2
gの比表面積を有しており、200〜700℃程度の加
熱で気孔内に物理的に吸着しているガス成分や水分を放
出して活性化し、物理吸着作用を発揮するものである。
The getter material 38 is formed by impregnating an activated alumina as an inorganic substance with a barium azide solution, and is a member (a component constituting the gas discharge display panel 10 during the manufacturing process and operation of the gas discharge display panel 10). Rear substrate 12,
This is to adsorb and remove impurity gases (carbon dioxide, oxygen, nitrogen, etc.) released from impurities and the like contained in the material of the front substrate 14, the cathode 20, the transparent anode 24, and the like. Barium azide (Ba (N 3 ) 2 ) is in a powder form, but is easily dissolved in water or ethanol, so that it can be easily formed into a solution, and exhibits a chemical adsorption action even at a relatively low temperature. Also,
Activated alumina, due to its porous structure, is 250 m 2 /
It has a specific surface area of g and is activated by releasing a gas component or moisture physically adsorbed in the pores by heating at about 200 to 700 ° C. to exert a physical adsorption action.

【0021】図2及び図3に基づいて、上記ガス放電表
示パネル10の製造方法を説明する。先ず、上記背面基板
12の陰極20と前面基板14の透明陽極24とが略直交する状
態で、背面側バリアリブ22の端面と前面側バリアリブ26
のスペーサ28の端面とを当接させると共に、上記背面基
板12の貫通孔36上にストッパ40を配置した後、上記貫通
孔36、ストッパ40を覆うように排気管42を被せる。次
に、約450℃の温度で加熱しつつ、低融点ガラス等の
封着材16を介して、両基板周縁を気密封止して外囲器18
を形成すると共に、排気管42の一端を背面基板12の外面
12b上に封着する。
A method for manufacturing the gas discharge display panel 10 will be described with reference to FIGS. First, the back substrate
In a state where the cathode 20 of FIG. 12 and the transparent anode 24 of the front substrate 14 are substantially perpendicular to each other, the end face of the rear-side barrier rib 22 and the front-side barrier rib 26
After the stopper 40 is disposed on the through hole 36 of the rear substrate 12, the exhaust pipe 42 is covered so as to cover the through hole 36 and the stopper 40. Next, while being heated at a temperature of about 450 ° C., the peripheral edges of both substrates are hermetically sealed via a sealing material 16 such as low-melting glass to form an envelope 18.
And one end of the exhaust pipe 42 is connected to the outer surface of the rear substrate 12.
Seal on 12b.

【0022】そして、粒状の活性アルミナを、粉末状の
アジ化バリウム(Ba(N32)を水或いはエタノール
で溶かしたアジ化バリウム溶液中に浸すことにより構成
したゲッター材38を乾燥させた後、上記排気管42の他端
から排気管42内へ封入し、ストッパ40上へ載置するので
ある(図2)。アジ化バリウムは、空気中においては約
219℃の温度で発火し、分解してしまうため、上記ゲ
ッター材38は、排気管42を背面基板12の外面12b上へ封
着した後に封入する必要がある。
Then, the getter material 38 constituted by immersing the granular activated alumina in a barium azide solution obtained by dissolving powdered barium azide (Ba (N 3 ) 2 ) in water or ethanol was dried. After that, the other end of the exhaust pipe 42 is sealed in the exhaust pipe 42 and placed on the stopper 40 (FIG. 2). Since barium azide ignites and decomposes at a temperature of about 219 ° C. in air, the getter material 38 needs to be sealed after sealing the exhaust pipe 42 onto the outer surface 12 b of the rear substrate 12. is there.

【0023】尚、背面基板12の貫通孔36上にストッパ40
を配置し、更に、該ストッパ40上に粒状の活性アルミナ
を載置した後、上記貫通孔36、ストッパ40及び活性アル
ミナを覆うように排気管42を被せて該排気管42を背面基
板12の外面12b上に封着後、アジ化バリウム溶液を排気
管42の他端から排気管42内に注入して活性アルミナに含
浸せしめることによりゲッター材38を構成するようにし
ても良い。このとき、注入したアジ化バリウム溶液の一
部が上記活性アルミナに含浸しない場合があっても、活
性アルミナに含浸されなかったアジ化バリウム溶液は、
ガラスウールで構成したストッパ40に吸収されるため、
アジ化バリウム溶液が貫通孔36を通って外囲器18内に侵
入することはない。尚、図示は省略するが、ストッパ40
上に載置された活性アルミナの位置と、貫通孔36の位置
とが重ならないように配置すれば、活性アルミナに含浸
されなかったアジ化バリウム溶液が、貫通孔36を通って
外囲器18内に侵入することを、より一層防止することが
できる。
The stopper 40 is provided on the through hole 36 of the rear substrate 12.
Further, after the granular activated alumina is placed on the stopper 40, the exhaust pipe 42 is covered so as to cover the through hole 36, the stopper 40 and the activated alumina, and the exhaust pipe 42 is After sealing on the outer surface 12b, the getter material 38 may be formed by injecting a barium azide solution into the exhaust pipe 42 from the other end of the exhaust pipe 42 and impregnating the activated alumina. At this time, even if a part of the injected barium azide solution does not impregnate the activated alumina, the barium azide solution not impregnated into the activated alumina is
Because it is absorbed by the stopper 40 made of glass wool,
The barium azide solution does not enter the envelope 18 through the through hole 36. Although not shown, the stopper 40
If the position of the activated alumina placed thereon and the position of the through hole 36 are arranged so as not to overlap with each other, the barium azide solution not impregnated in the activated alumina passes through the through hole 36 and the envelope 18 passes. Intrusion into the inside can be further prevented.

【0024】上記方法で、ゲッター材38を排気管42内に
封入後、上記排気管42の他端を図示しない真空排気装置
に接続し、外囲器18及び排気管42の一端を400〜45
0℃の温度で加熱しつつ真空排気を行うことにより、ガ
ス放電表示パネル10の構成部材を脱気して不純ガスを放
出させた後、該排気管42を通じて外囲器18内に放電ガス
を封入する。然る後、排気管42の中途部を図3に示す如
く、バーナー44で加熱溶融させて封じ切ることによっ
て、排気管42はゲッター材収納部34と成され、図1に示
すガス放電表示パネル10が製造されるのである。尚、上
記のように、外囲器18及び排気管42の一端を400〜4
50℃の温度で加熱しても、これと並行して行われる真
空排気によって排気管内は略真空状態と成されることか
ら、アジ化バリウムが発火して分解することはない。
After the getter material 38 is sealed in the exhaust pipe 42 by the above method, the other end of the exhaust pipe 42 is connected to a vacuum exhaust device (not shown), and one end of the envelope 18 and one end of the exhaust pipe 42 are connected to 400 to 45.
By performing vacuum evacuation while heating at a temperature of 0 ° C., the constituent members of the gas discharge display panel 10 are evacuated to release impurity gas, and then the discharge gas is discharged into the envelope 18 through the exhaust pipe 42. Encapsulate. Thereafter, as shown in FIG. 3, the exhaust pipe 42 is heated and melted by a burner 44 and sealed off, thereby forming the getter material accommodating section 34, as shown in FIG. 3, and the gas discharge display panel shown in FIG. Ten are manufactured. As described above, one end of the envelope 18 and the exhaust pipe 42 are
Even when heating is performed at a temperature of 50 ° C., since the inside of the exhaust pipe is made substantially vacuum by the vacuum exhaust performed in parallel with this, barium azide does not ignite and decompose.

【0025】而して、ガス放電表示パネル10の構成部材
から放出された不純ガスは、ゲッター材38を構成する活
性アルミナに含浸せしめたアジ化バリウムの化学吸着作
用によって吸着除去することができる。また、上記の通
り、外囲器18及び排気管42の一端を400〜450℃の
温度で加熱するので、ゲッター材38を構成する活性アル
ミナも、気孔内の水分やガス成分を放出して活性化し、
該活性アルミナの物理吸着作用によっても不純ガスを吸
着除去することができるようになっている。
The impure gas released from the constituent members of the gas discharge display panel 10 can be adsorbed and removed by the chemical adsorption of barium azide impregnated in the activated alumina constituting the getter material 38. Further, as described above, since one end of the envelope 18 and one end of the exhaust pipe 42 are heated at a temperature of 400 to 450 ° C., the activated alumina forming the getter material 38 also releases water and gas components in the pores to activate the activated alumina. And
Impurity gas can be adsorbed and removed also by the physical adsorption action of the activated alumina.

【0026】図4は、本発明に係る他のガス放電表示パ
ネル10を示すものである。このガス放電表示パネル10に
あっては、背面基板12に形成した貫通孔36を覆うよう
に、該背面基板12の上方にガラス板46を配置すると共
に、該ガラス板46の周縁と背面基板12とを低融点ガラス
等の封着材16で気密封止することによりゲッター材収納
部34を形成している。該ゲッター材収納部34内には、無
機物としてのガラスウールにアジ化バリウム溶液を含浸
せしめて構成したゲッター材38が収納されている。ま
た、ゲッター材収納部34のガラス板46には貫通孔48が形
成されており、さらにガラス板46の外面46a上には、上
記貫通孔48を覆う残存排気管部50が配置されている。
尚、図4において、52は、ゲッター材38が移動するのを
防止するためのストッパである。
FIG. 4 shows another gas discharge display panel 10 according to the present invention. In the gas discharge display panel 10, a glass plate 46 is disposed above the rear substrate 12 so as to cover the through hole 36 formed in the rear substrate 12, and the periphery of the glass plate 46 and the rear substrate 12 Are sealed with a sealing material 16 such as a low-melting glass to form a getter material storage section 34. In the getter material storage part 34, a getter material 38 configured by impregnating glass wool as an inorganic substance with a barium azide solution is stored. Further, a through hole 48 is formed in the glass plate 46 of the getter material accommodating portion 34, and a residual exhaust pipe portion 50 that covers the through hole 48 is disposed on the outer surface 46 a of the glass plate 46.
In FIG. 4, reference numeral 52 denotes a stopper for preventing the getter material 38 from moving.

【0027】このガス放電表示パネル10は、以下の方法
で製造される。すなわち、背面基板12の陰極20と前面基
板14の透明陽極24とが略直交する状態で、背面側バリア
リブ22の端面と前面側バリアリブ26のスペーサ28の端面
とを当接させる。そして、上記背面基板12の外面上にガ
ラス等の絶縁材よりなるストッパ52を突設形成すると共
に、ガラスウールを配置する。また、背面基板12の貫通
孔36を覆うように、該背面基板12の上方にガラス板46を
配置すると共に、該ガラス板46に形成された貫通孔48を
覆うように排気管を被せる。次に、約450℃の温度で
加熱しつつ、低融点ガラス等の封着材16を介して、両基
板周縁を気密封止して外囲器18を形成すると共に、ガラ
ス板46の周縁と背面基板12とを気密封止してゲッター材
収納部34を形成し、さらに、排気管をガラス板46の外面
46a上に封着する。
The gas discharge display panel 10 is manufactured by the following method. That is, in a state where the cathode 20 of the rear substrate 12 and the transparent anode 24 of the front substrate 14 are substantially orthogonal, the end surface of the rear barrier rib 22 and the end surface of the spacer 28 of the front barrier rib 26 are brought into contact with each other. Then, a stopper 52 made of an insulating material such as glass is formed on the outer surface of the rear substrate 12 so as to protrude, and glass wool is arranged. Further, a glass plate 46 is arranged above the rear substrate 12 so as to cover the through hole 36 of the rear substrate 12, and an exhaust pipe is covered so as to cover the through hole 48 formed in the glass plate 46. Next, while being heated at a temperature of about 450 ° C., the periphery of both substrates is hermetically sealed through a sealing material 16 such as low-melting glass to form an envelope 18, and the periphery of the glass plate 46 is formed. The back substrate 12 is hermetically sealed to form a getter material storage section 34, and the exhaust pipe is further connected to the outer surface of the glass plate 46.
Seal on 46a.

【0028】その後、排気管の他端からアジ化バリウム
溶液をゲッター材収納部34内に注入し、アジ化バリウム
溶液を上記ガラスウールに含浸せしめることにより、ゲ
ッター材38を構成する。尚、ガラスウールは、背面基板
12の貫通孔36と重ならない位置に配置されていることか
ら、注入したアジ化バリウム溶液の一部が上記ガラスウ
ールに含浸しない場合があっても、含浸されなかったア
ジ化バリウム溶液が貫通孔36を通って外囲器18内に侵入
することが防止される。、
Thereafter, a getter material 38 is formed by injecting a barium azide solution from the other end of the exhaust pipe into the getter material storage 34 and impregnating the glass wool with the barium azide solution. The glass wool is on the back substrate
Since the glass wool is partially impregnated with a part of the injected barium azide solution, the barium azide solution that has not been impregnated has a through hole because it is arranged at a position that does not overlap with the through holes 36 of the twelve holes. Intrusion into envelope 18 through 36 is prevented. ,

【0029】上記ゲッター材38の乾燥後、排気管の他端
を真空排気装置に接続し、外囲器18、ゲッター材収納部
34及び排気管の一端を400〜450℃の温度で加熱し
つつ真空排気を行うことにより、ガス放電表示パネル10
の構成部材を脱気して不純ガスを放出させた後、排気管
及びゲッター材収納部34を通じて外囲器18内に放電ガス
を封入する。然る後、排気管の中途部をバーナーで加熱
溶融させて封じ切り、残存排気管部50と成すことによっ
て、図4に示すガス放電表示パネル10が製造されるので
ある。
After the getter material 38 is dried, the other end of the exhaust pipe is connected to a vacuum exhaust device, and the envelope 18 and the getter material storage section are connected.
34 and one end of the exhaust pipe are evacuated while being heated at a temperature of 400 to 450 ° C., so that the gas discharge display panel 10
After the constituent members are degassed to release the impure gas, the discharge gas is sealed in the envelope 18 through the exhaust pipe and the getter material accommodating section. Thereafter, the gas discharge display panel 10 shown in FIG. 4 is manufactured by heating and melting the middle part of the exhaust pipe with a burner and sealing it to form a residual exhaust pipe part 50.

【0030】而して、ガス放電表示パネル10の構成部材
から放出された不純ガスは、ゲッター材38を構成するガ
ラスウールに含浸せしめたアジ化バリウムの化学吸着作
用によって吸着除去することができるのである。
The impurity gas released from the constituent members of the gas discharge display panel 10 can be adsorbed and removed by the chemical adsorption of barium azide impregnated in the glass wool constituting the getter material 38. is there.

【0031】本発明のガス放電表示パネル10にあって
は、無機物である活性アルミナやガラスウールにアジ化
バリウム溶液を含浸せしめて構成したゲッター材38を用
いていることから、該ゲッター材自身を高温加熱するこ
となく不純ガスの吸着除去を行うことができる。また、
液体であるアジ化バリウム溶液を活性アルミナやガラス
ウールに含浸せしめることでゲッター材38を構成するこ
とができるので、アジ化バリウム溶液を含浸する活性ア
ルミナやガラスウールの大きさを小さくすれば、小さな
ゲッター材を形成することができ、これを収納するゲッ
ター材収納部34も小さくすることが可能となる。従っ
て、排気管42を利用してゲッター材収納部34を形成する
場合にも、排気のために必要とされる最小限の径や長さ
を備えた排気管を使用することができ、図5に示した従
来のガス放電表示パネルにように、大径且つ長尺な排気
管を特別に用意する必要がない。
In the gas discharge display panel 10 of the present invention, since the getter material 38 which is obtained by impregnating inorganic alumina or glass wool with a barium azide solution is used, the getter material itself is used. The impurity gas can be removed by adsorption without heating at a high temperature. Also,
Since the getter material 38 can be formed by impregnating the activated alumina or glass wool with a liquid barium azide solution, if the size of the activated alumina or glass wool impregnated with the barium azide solution is reduced, a small size is obtained. A getter material can be formed, and the getter material storage section 34 for storing the getter material can be made smaller. Therefore, even when the getter material accommodating portion 34 is formed using the exhaust pipe 42, an exhaust pipe having the minimum diameter and length required for exhaust can be used. It is not necessary to specially prepare a large-diameter and long exhaust pipe unlike the conventional gas discharge display panel shown in FIG.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明に係るガス放電表示パネルにあっ
ては、比較的低い温度でも化学吸着作用を奏するアジ化
バリウムの溶液を無機物に含浸せしめて構成したゲッタ
ー材を用いたことから、ゲッター材を高温加熱すること
なく、不純ガスを吸着することができる。また、液体で
あるアジ化バリウム溶液を無機物に含浸せしめることで
ゲッター材を構成することができるため、アジ化バリウ
ム溶液を含浸する無機物の大きさを小さくすることによ
り、小さなゲッター材を形成することができ、該ゲッタ
ー材を収納するゲッター材収納部も小さくすることが可
能となる。
According to the gas discharge display panel of the present invention, since the getter material constituted by impregnating an inorganic substance with a barium azide solution exhibiting a chemical adsorption function even at a relatively low temperature is used, the getter material is used. Impurity gas can be adsorbed without heating the material to a high temperature. Also, since a getter material can be formed by impregnating an inorganic substance with a liquid barium azide solution, a small getter material can be formed by reducing the size of the inorganic substance impregnated with the barium azide solution. It is also possible to reduce the size of the getter material storage section for storing the getter material.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るガス放電表示パネルの実施の形態
を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a gas discharge display panel according to the present invention.

【図2】上記ガス放電表示パネルの製造過程を示す概略
断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a manufacturing process of the gas discharge display panel.

【図3】上記ガス放電表示パネルの製造過程を示す概略
断面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a manufacturing process of the gas discharge display panel.

【図4】本発明に係るガス放電表示パネルの他の実施の
形態を示す概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing another embodiment of the gas discharge display panel according to the present invention.

【図5】従来のガス放電表示パネルを示す概略断面図で
ある。
FIG. 5 is a schematic sectional view showing a conventional gas discharge display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ガス放電表示パネル 12 背面基板 12a 背面基板の対向面 12b 背面基板の外面 14 前面基板 14a 前面基板の対向面 16 封着材 18 外囲器 20 陰極 22 背面側バリアリブ 24 透明陽極 26 前面側バリアリブ 28 スペーサ 30 放電セル 32 隙間 34 ゲッター材収納部 36 貫通孔 38 ゲッター材 40 ストッパ 42 排気管 44 バーナー 46 ガラス板 48 貫通孔 50 残存排気管部 52 ストッパ 10 Gas discharge display panel 12 Rear substrate 12a Rear substrate facing surface 12b Rear substrate outer surface 14 Front substrate 14a Front substrate facing surface 16 Sealing material 18 Envelope 20 Cathode 22 Rear barrier rib 24 Transparent anode 26 Front barrier rib 28 Spacer 30 Discharge cell 32 Gap 34 Getter material storage 36 Through hole 38 Getter material 40 Stopper 42 Exhaust pipe 44 Burner 46 Glass plate 48 Through hole 50 Remaining exhaust pipe 52 Stopper

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01J 17/24 H01J 11/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01J 17/24 H01J 11/02

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一面に帯状の電極を複数本並設した絶縁
材よりなる背面基板と、一面に帯状の透明電極を複数本
並設した透明絶縁材よりなる前面基板とを、各基板の電
極が所定の間隙を隔てて交差するように対向配置すると
共に、両基板の周縁を気密封止して外囲器となし、該外
囲器内に放電ガスを封入してなるガス放電表示パネルに
おいて、上記外囲器と連通するゲッター材収納部を形成
すると共に、該ゲッター材収納部内に、無機物にアジ化
バリウム溶液を含浸せしめて構成したゲッター材を封入
したことを特徴とするガス放電表示パネル。
1. A back substrate made of an insulating material having a plurality of strip-shaped electrodes arranged on one surface thereof, and a front substrate formed of a transparent insulating material having a plurality of strip-shaped transparent electrodes arranged on one surface thereof. Are arranged so as to intersect with a predetermined gap therebetween, and the outer edges of both substrates are hermetically sealed to form an envelope, and a discharge gas is sealed in the envelope. A gas discharge display panel, wherein a getter material accommodating portion communicating with the envelope is formed, and a getter material formed by impregnating an inorganic substance with a barium azide solution is sealed in the getter material accommodating portion. .
【請求項2】 上記無機物が、活性アルミナ又はガラス
ウールであることを特徴とする請求項1に記載のガス放
電表示パネル。
2. The gas discharge display panel according to claim 1, wherein the inorganic substance is activated alumina or glass wool.
【請求項3】 一面に帯状の電極を複数本並設した絶縁
材よりなる背面基板と、一面に帯状の透明電極を複数本
並設した透明絶縁材よりなる前面基板とを、各基板の電
極が所定の間隙を隔てて交差するように対向配置すると
共に、両基板の周縁を気密封止して外囲器となし、さら
に、該外囲器と連通するゲッター材収納部を上記外囲器
に封着した後、無機物にアジ化バリウム溶液を含浸せし
めて構成したゲッター材を上記ゲッター材収納部内に封
入し、その後、上記外囲器を加熱すると共に真空排気し
た後、放電ガスを外囲器内に封入したことを特徴とする
ガス放電表示パネルの製造方法。
3. A back substrate made of an insulating material having a plurality of band-shaped electrodes arranged on one surface thereof, and a front substrate formed of a transparent insulating material having a plurality of band-shaped transparent electrodes arranged on one surface. Are arranged facing each other so as to intersect with a predetermined gap therebetween, and the peripheral edges of both substrates are hermetically sealed to form an envelope. Further, the getter material accommodating portion communicating with the envelope is provided in the envelope. After sealing, a getter material formed by impregnating an inorganic substance with a barium azide solution is sealed in the getter material storage section, and then the envelope is heated and evacuated, and then the discharge gas is surrounded. A method for manufacturing a gas discharge display panel, wherein the gas discharge display panel is sealed in a container.
【請求項4】 一面に帯状の電極を複数本並設した絶縁
材よりなる背面基板と、一面に帯状の透明電極を複数本
並設した透明絶縁材よりなる前面基板とを、各基板の電
極が所定の間隙を隔てて交差するように対向配置すると
共に、両基板の周縁を気密封止して外囲器となし、さら
に、該外囲器と連通し、その内部に無機物を収納して成
るゲッター材収納部を上記外囲器に封着した後、上記ゲ
ッター材収納部内にアジ化バリウム溶液を注入し、上記
無機物にアジ化バリウム溶液を含浸せしめてゲッター材
を構成し、その後、上記外囲器を加熱すると共に真空排
気した後、放電ガスを外囲器内に封入したことを特徴と
するガス放電表示パネルの製造方法。
4. A back substrate made of an insulating material having a plurality of band-shaped electrodes arranged on one surface thereof and a front substrate formed of a transparent insulating material having a plurality of band-shaped transparent electrodes arranged on one surface. Are arranged to face each other so as to intersect with a predetermined gap therebetween, and the outer edges of both substrates are hermetically sealed to form an envelope, and further communicate with the envelope to store an inorganic substance therein. After sealing the getter material accommodating section to the envelope, a barium azide solution is injected into the getter material accommodating section, and the inorganic substance is impregnated with the barium azide solution to form a getter material. A method for manufacturing a gas discharge display panel, wherein a discharge gas is sealed in an envelope after heating and evacuating the envelope.
【請求項5】 上記無機物が、活性アルミナ又はガラス
ウールであることを特徴とする請求項3又は4に記載の
ガス放電表示パネルの製造方法。
5. The method according to claim 3, wherein the inorganic substance is activated alumina or glass wool.
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