JPH0754914Y2 - Field emission emitter light emitting device - Google Patents

Field emission emitter light emitting device

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JPH0754914Y2
JPH0754914Y2 JP1992000058U JP5892U JPH0754914Y2 JP H0754914 Y2 JPH0754914 Y2 JP H0754914Y2 JP 1992000058 U JP1992000058 U JP 1992000058U JP 5892 U JP5892 U JP 5892U JP H0754914 Y2 JPH0754914 Y2 JP H0754914Y2
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field emission
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bulk
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辰雄 山浦
行雄 小川
三喜男 横山
武 利根川
剛宏 新山
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は電界放射エミッタ発光素
子に係り、特にコーン形状のエミッタと該エミッタの近
傍に設けたゲートを有する電界放出素子を電子源として
利用した電界放射エミッタ発光素子(以下FEDと略称
する。)に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission emitter light emitting element, and more particularly to a field emission emitter light emitting element using a field emission element having a cone-shaped emitter and a gate provided in the vicinity of the emitter as an electron source. It is abbreviated as FED.).

【0002】[0002]

【従来の技術】図6は、電界放出素子を用いた従来の蛍
光表示管100の一例を示す断面図である。この蛍光表
示管100の外囲器101は、対面するカソード基板1
02とアノード基板103をスペーサ104を介して封
着した構造となっている。カソード基板102の内面に
は電界放出素子が設けられ、これに対面するようにアノ
ード基板103の内面には蛍光体層を備えた表示部とし
てのアノード電極が設けられている。上記の構造におい
て、電界放出素子とアノード電極は可能な限り接近させ
てあり、その間隔は例えば0.2mm程度となってい
る。このため、スペーサ104の厚さは一般に1mm以
下に設定され、この蛍光表示管100は薄形の表示素子
となっている。ところが、従来のゲッター105は、図
中に示すように環状の開口した金属容器内にBa−Al
等のゲッター材料を充填した飛散形のゲッターで、その
厚さは数mm程度になっている。このため、従来はゲッ
ター105を外囲器101内に配設することができず、
図6に示すように外囲器101のカソード基板102の
裏面に箱形のゲッター室106を設けて外囲器101内
と排気孔107で導通させ、このゲッター室106内に
ゲッター105を設けていた。そして、外囲器101及
びゲッター室106内の空気は、ゲッター室106に設
けられた排気孔108及び排気管109を介して排気さ
れ、その後排気管109を封止することによって外囲器
101内は高真空雰囲気に保持される。そして、前記ゲ
ッター105はボンバーターで高周波加熱され、ゲッタ
ー材料はゲッター室106の内面に蒸着してゲッター膜
110を形成する。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is a sectional view showing an example of a conventional fluorescent display tube 100 using a field emission device. The envelope 101 of the fluorescent display tube 100 includes a cathode substrate 1 facing each other.
02 and the anode substrate 103 are sealed together via a spacer 104. A field emission device is provided on the inner surface of the cathode substrate 102, and an anode electrode as a display unit having a phosphor layer is provided on the inner surface of the anode substrate 103 so as to face the field emission device. In the above structure, the field emission device and the anode electrode are as close to each other as possible, and the distance between them is, for example, about 0.2 mm. Therefore, the thickness of the spacer 104 is generally set to 1 mm or less, and the fluorescent display tube 100 is a thin display element. However, in the conventional getter 105, as shown in the figure, Ba-Al is placed in an annular metal container having an opening.
The getter material is a scattering type getter filled with a getter material such as, and has a thickness of about several mm. Therefore, conventionally, the getter 105 cannot be arranged in the envelope 101,
As shown in FIG. 6, a box-shaped getter chamber 106 is provided on the back surface of the cathode substrate 102 of the envelope 101, and the inside of the envelope 101 is electrically connected to the exhaust hole 107, and the getter 105 is provided in the getter chamber 106. It was Then, the air in the envelope 101 and the getter chamber 106 is exhausted through the exhaust hole 108 and the exhaust pipe 109 provided in the getter chamber 106, and then the exhaust pipe 109 is sealed so that the inside of the envelope 101 is closed. Are maintained in a high vacuum atmosphere. Then, the getter 105 is heated at high frequency by a bomber, and the getter material is deposited on the inner surface of the getter chamber 106 to form a getter film 110.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】前述した従来のFED
によれば次のような問題点があった。 (1)薄形の外囲器の外側にゲッター室を設けなければ
ならない。しかもゲッターとゲッター室の内面との間に
ある程度の距離がないと、ゲッター膜の蒸着面積が小さ
くなって吸着効率が悪化する。このため、ゲッター室の
寸法を大きくとらなけらばならない。 (2)飛散形のBa−Alゲッターは、高周波加熱装置
で850℃位の高温に加熱されてBa金属のみを飛散さ
せる。従って、ゲッターと基板が接近していると外囲器
に熱が伝わり、部分的熱膨張が起って外囲器にクラック
が生じてしまう。
[Problems to be Solved by the Invention] The above-mentioned conventional FED
According to him, there were the following problems. (1) The getter chamber must be provided outside the thin envelope. Moreover, if there is no distance between the getter and the inner surface of the getter chamber, the vapor deposition area of the getter film becomes small and the adsorption efficiency deteriorates. For this reason, the size of the getter chamber must be large. (2) The scattered Ba-Al getter is heated to a high temperature of about 850 ° C. by a high-frequency heating device to scatter only Ba metal. Therefore, when the getter and the substrate are close to each other, heat is transferred to the envelope, and partial thermal expansion occurs to cause cracks in the envelope.

【0004】本考案は、ゲッター室を不要として薄形で
あるというFEDの特長を生かすことができ、従来ゲッ
ター膜を形成するために行なわれていた高温加熱による
悪影響をとりのぞいた蛍光表示管を提供することを目的
としている。
The present invention makes it possible to take advantage of the thinness of the FED by eliminating the need for a getter chamber, and to eliminate the adverse effects of high temperature heating conventionally performed to form a getter film. It is intended to be provided.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本考案の電界放射エミッ
タ発光素子は、所定間隔をおいて対面するバックプレー
トとフェイスプレートの周囲が封着されてなる方形の外
囲器と、前記バックプレートの内面に設けられたコーン
形状のエミッタとゲートを有する電界放出素子と、前記
フェイスプレートの内面に設けられた蛍光体層を有する
アノードとを備えた電界放射エミッタ発光素子におい
て、前記外囲器の隅部に、前記電界放出素子と前記アノ
ードが収納された空間に連通する凹部を設け、該凹部の
内部に表面活性形のバルクゲッターを保持させたことを
特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION A field emission emitter light emitting device of the present invention comprises a back plate facing each other at a predetermined distance and a rectangular envelope formed by sealing the periphery of a face plate, and the back plate. In a field emission emitter light-emitting device having a field emission device having a cone-shaped emitter and a gate provided on the inner surface and an anode having a phosphor layer provided on the inner surface of the face plate, a corner of the envelope is provided. A concave portion communicating with the space in which the field emission device and the anode are accommodated is provided in the portion, and a surface-active bulk getter is held inside the concave portion.

【0006】また、本考案によれば、前記電界放射エミ
ッタ発光素子において、前記表面活性形のバルクゲッタ
ーをZr−Ni粉末を主体としたものとしてもよい。
According to the present invention, in the field emission emitter light emitting device, the surface-active bulk getter may be mainly composed of Zr-Ni powder.

【0007】[0007]

【0008】[0008]

【作用】外囲器の内部に固定された表面活性形のバルク
ゲッターは比較的低温の加熱で表面が活性化してゲッタ
ー作用を有する。このバルクゲッターは外囲器内の表示
部に接近しているため、ゲッター効果は有効に働く。
The surface-active bulk getter fixed inside the envelope has a getter function because the surface is activated by heating at a relatively low temperature. Since this bulk getter is close to the display part inside the envelope, the getter effect works effectively.

【0009】[0009]

【実施例】図1〜図3によって第1実施例を説明する。
本実施例で用いられるゲッターは、従来の飛散形のゲッ
ターではなく、表面活性形のバルク形のゲッター(バル
クゲッター)である。本実施例による表面活性形のバル
クゲッター1(以下、単にバルクゲッター1と略称す
る。)は、Zr−Niの粉末を材厚0.1〜0.2mm
の正方形又はリボン状に成形したものである。このバル
クゲッター1は、真空に引いた状態で200〜400℃
程度に加熱することによって表面が活性化されてゲッタ
ー機能が得られる。
EXAMPLE A first example will be described with reference to FIGS.
The getter used in this example is not a conventional scattered getter but a surface-active bulk getter (bulk getter). The surface active type bulk getter 1 according to the present embodiment (hereinafter simply referred to as bulk getter 1) is made of Zr-Ni powder having a material thickness of 0.1 to 0.2 mm.
Is formed into a square shape or a ribbon shape. The bulk getter 1 has a vacuum of 200 to 400 ° C.
By heating to a certain degree, the surface is activated and a getter function is obtained.

【0010】さて、図1〜3に示すように、本実施例の
蛍光表示管2はFEDであり、所定間隔をおいて対向す
るフェースプレート3とバックプレート4をサイドシー
ル5を介して一体に固着した外囲器6を有している。図
示はしないが、バックプレート4の内面には、カソード
配線・コーン形状のエミッタ・絶縁層・ゲート等からな
る電界放出素子が形成されている。図示はしないが、フ
ェースプレート3の内面には、アノード配線・陽極導体
・蛍光体層等からなるアノードが形成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the fluorescent display tube 2 of this embodiment is an FED, and a face plate 3 and a back plate 4 facing each other at a predetermined interval are integrally formed with a side seal 5 therebetween. It has a fixed envelope 6. Although not shown, on the inner surface of the back plate 4, a field emission device including a cathode wiring, a cone-shaped emitter, an insulating layer, a gate, etc. is formed. Although not shown, on the inner surface of the face plate 3, an anode including an anode wiring, an anode conductor, a phosphor layer, and the like is formed.

【0011】前記バックプレート4及びフェースプレー
ト3を封着しているサイドシール5は、低融点ガラスを
主成分とするガラス接着材からなり、所定厚さの枠状の
パターンに形成されている。その四隅には、前記バルク
ゲッター1に合せた形状で外囲器6の内部空間に連通し
たゲッター室7が形成されており、その内部には前述し
た板状のバルクゲッター1が収納・保持されている。バ
ルクゲッター1の厚さは、ゲッター室7の高さよりも小
さく、バルクゲッター1の表面は外囲器6内の空間に露
出している。即ち、本実施例においては、このゲッター
室7が、バルクゲッター1を外囲器6内の所定位置に収
納する凹部となっている。
The side seal 5 for sealing the back plate 4 and the face plate 3 is made of a glass adhesive material having a low melting point glass as a main component and is formed in a frame-shaped pattern having a predetermined thickness. At the four corners, a getter chamber 7 is formed in a shape matching the bulk getter 1 and communicating with the internal space of the envelope 6, and the plate-shaped bulk getter 1 described above is stored and held therein. ing. The thickness of the bulk getter 1 is smaller than the height of the getter chamber 7, and the surface of the bulk getter 1 is exposed in the space inside the envelope 6. That is, in this embodiment, the getter chamber 7 is a recess for accommodating the bulk getter 1 at a predetermined position in the envelope 6.

【0012】次に、製造工程について説明すると、スク
リーン印刷の手法を用い、バックプレート4に前述した
パターン及び所定の厚さでサイドシール5を印刷する。
ゲッター室7にバルクゲッター1を収め、フェースプレ
ート3を重ねる。そして、これを焼成してバックプレー
ト4とフェイスプレート3を封着し、外囲器6を構成す
る。
Next, the manufacturing process will be described. The side seal 5 is printed on the back plate 4 with the above-described pattern and a predetermined thickness by using a screen printing method.
The bulk getter 1 is placed in the getter chamber 7, and the face plate 3 is overlaid. Then, this is fired to seal the back plate 4 and the face plate 3 to form the envelope 6.

【0013】次に、バックプレート4に設けた排気孔8
から外囲器6内を排気して真空にし、蓋材9によって排
気孔8を封止する。この排気工程において、排気効率を
良くするために外囲器6を周囲から250〜350℃の
温度で加熱する。この加熱により、前記バルクゲッター
1の表面が活性化され、ゲッター作用が増大する。
Next, the exhaust hole 8 provided in the back plate 4
Then, the inside of the envelope 6 is evacuated to a vacuum, and the exhaust hole 8 is sealed by the lid member 9. In this exhaust step, the envelope 6 is heated from the surroundings at a temperature of 250 to 350 ° C. in order to improve the exhaust efficiency. By this heating, the surface of the bulk getter 1 is activated and the getter action is increased.

【0014】なお、ゲッター材料としては、前述したZ
r−Ni粉末の他、Ta,Ti,Th,Nb,Ce等が
利用でき、これら材料を板状にしたものを用いてもよ
い。
As the getter material, the above-mentioned Z
In addition to r-Ni powder, Ta, Ti, Th, Nb, Ce and the like can be used, and a plate-shaped material of these materials may be used.

【0015】図4によって第2実施例を説明する。この
実施例では、厚さ0.1mmのバルクゲッター1の取付
けるゲッター室10を、感光性ガラスからなるスペーサ
11を用いて構成している。感光性ガラスからなるスペ
ーサ11は、厚さ0.2mmの四角い枠状の部材であ
る。その四隅には、フォトリソグラフィの手法を用いて
ゲッター室10となる凹部が形成されている。ゲッター
室10の形状・構造・寸法等は第1実施例のゲッター室
7とほぼ同じであり、即ちバルクゲッター1よりも一回
り大きいゲッター室10は外囲器12内に連通してい
る。
A second embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, the getter chamber 10 in which the bulk getter 1 having a thickness of 0.1 mm is mounted is configured by using the spacer 11 made of photosensitive glass. The spacer 11 made of photosensitive glass is a square frame-shaped member having a thickness of 0.2 mm. At the four corners, recesses to be the getter chambers 10 are formed by using a photolithography technique. The shape, structure, dimensions, etc. of the getter chamber 10 are almost the same as those of the getter chamber 7 of the first embodiment, that is, the getter chamber 10 which is slightly larger than the bulk getter 1 communicates with the inside of the envelope 12.

【0016】バックプレート13上に接着ガラスを介し
て固定された前記スペーサ11のまわりには、シールガ
ラス14が設けられている。またスペーサ11の上面に
も固定用の接着ガラス15が設けられている。そして、
前記ゲッター室10内にはバルクゲッター1が収納さ
れ、バックプレート13に対面してフェイスプレートが
封着されて外囲器12が構成される。外囲器12の排気
・封止工程と、バルクゲッター1の活性化は第1実施例
と同じである。
A seal glass 14 is provided around the spacer 11 fixed on the back plate 13 via an adhesive glass. An adhesive glass 15 for fixing is also provided on the upper surface of the spacer 11. And
The bulk getter 1 is housed in the getter chamber 10, and the face plate is sealed to face the back plate 13 to form the envelope 12. The steps of exhausting / sealing the envelope 12 and activating the bulk getter 1 are the same as in the first embodiment.

【0017】以上説明した各実施例では、バルクゲッタ
ー1を収納する凹部として外囲器6,12内の空間に連
通するゲッター室7,10を外囲器6,12内に設け
た。このようなゲッター室を外囲器内に設けた構造とし
ては、以上のほか図5に示すように、外囲器を構成する
基板20にゲッター室21となる凹部を設けてバルクゲ
ッター1を収納し、孔付きの蓋22で該バルクゲッター
1をゲッター室21内に保持するようにしてもよい。
In each of the embodiments described above, the getter chambers 7 and 10 communicating with the spaces inside the envelopes 6 and 12 are provided in the envelopes 6 and 12 as recesses for accommodating the bulk getter 1. As a structure in which such a getter chamber is provided in the envelope, as shown in FIG. 5 in addition to the above, the substrate 20 constituting the envelope is provided with a recess serving as the getter chamber 21 to accommodate the bulk getter 1. However, the bulk getter 1 may be held in the getter chamber 21 by a lid 22 having a hole.

【0018】また、例えばガラス接着材を取り付け手段
としてバルクゲッターを外囲器内の要所、即ち凹部内に
直接固定するようにしてもよい。
Alternatively, the bulk getter may be directly fixed to a key portion in the envelope, that is, to the recess by using a glass adhesive as a mounting means.

【0019】[0019]

【考案の効果】本考案の蛍光表示管は、外囲器の内部に
バルクゲッターを直接固定した構造なので、次のような
効果を有している。 (1)真空中で200〜400℃程度の温度に加熱する
だけでバルクゲッターを活性化させることができる。こ
のため、従来のような高周波加熱装置が不要になり、ゲ
ッターフラッシュ工程も省略でき、ゲッターの活性化を
排気工程で同時に行うことができる。
The fluorescent display of the present invention has the following effects because the bulk getter is directly fixed inside the envelope. (1) The bulk getter can be activated only by heating to a temperature of about 200 to 400 ° C. in vacuum. Therefore, the conventional high-frequency heating device becomes unnecessary, the getter flash step can be omitted, and the getter can be activated at the same time in the exhaust step.

【0020】(2)FEDにおいて独立した外部ゲッタ
ー室を設ける必要がなくなり、薄形の蛍光表示管の作製
が可能となる。
(2) It is not necessary to provide an independent external getter chamber in the FED, and a thin fluorescent display tube can be manufactured.

【0021】(3)従来のような飛散形のゲッターを支
持するための部材や、高周波加熱が可能な金属容器等が
不要になり、構造が簡略化される。
(3) The structure for simplifying the structure is eliminated by eliminating the need for a conventional member for supporting the scattered getter, a metal container capable of high-frequency heating, and the like.

【0022】(4)バルクゲッターが表示部に近接して
いるため、ゲッター効果が有効に働く。
(4) Since the bulk getter is close to the display section, the getter effect works effectively.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施例の一部を切欠いた正面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front view of a first embodiment.

【図2】図1のA部を拡大した斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG.

【図3】第1実施例の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the first embodiment.

【図4】第2実施例の断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a second embodiment.

【図5】他の実施例の要部拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a main part of another embodiment.

【図6】従来の蛍光表示管の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a conventional fluorescent display tube.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 表面活性形のバルクゲッター(バルクゲッター) 2 蛍光表示管 6,12 外囲器 7,21 取付け手段としてのゲッター室 1 surface active type bulk getter (bulk getter) 2 fluorescent display tube 6,12 envelope 7,21 getter chamber as mounting means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 横山 三喜男 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)考案者 利根川 武 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)考案者 新山 剛宏 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (56)参考文献 特開 昭61−218055(JP,A) 実開 昭55−95249(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Creator Mikio Yokoyama 629 Futaba Electronics Co., Ltd., Mobara City, Chiba Prefecture (72) Creator Takeshi Tonegawa 629 Oshiba Oshiba, Mobara City, Chiba (72) Company Inventor Takehiro Niiyama 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba In Futaba Electronics Co., Ltd.

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 所定間隔をおいて対面するバックプレー
トとフェイスプレートの周囲が封着されてなる方形の外
囲器と、前記バックプレートの内面に設けられたコーン
形状のエミッタとゲートを有する電界放出素子と、前記
フェイスプレートの内面に設けられた蛍光体層を有する
アノードとを備えた電界放射エミッタ発光素子におい
て、 前記外囲器の隅部に、前記電界放出素子と前記アノード
が収納された空間に連通する凹部を設け、該凹部の内部
に表面活性形のバルクゲッターを保持させたこと を特徴
とする電界放射エミッタ発光素子。
1. Backplays that face each other at a predetermined interval.
The outside of the rectangle with the periphery of the box and face plate sealed
Envelope and cone provided on the inner surface of the back plate
A field emission device having a shaped emitter and a gate;
Has a phosphor layer provided on the inner surface of the face plate
Field emission emitter light emitting device with anode
The field emission device and the anode at the corner of the envelope.
The inside of the recess is provided with a recess communicating with the space in which
A field emission emitter light-emitting device, characterized in that a surface-active bulk getter is held on .
【請求項2】 前記表面活性形の前記バルクゲッターが
Zr−Ni粉末を主体としている請求項1記載の電界放
射エミッタ発光素子。
2. The field emission emitter light emitting device according to claim 1, wherein the surface-active bulk getter is mainly composed of Zr—Ni powder.
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