JP2894007B2 - Flat package type semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents

Flat package type semiconductor device and manufacturing method thereof

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JP2894007B2
JP2894007B2 JP15365691A JP15365691A JP2894007B2 JP 2894007 B2 JP2894007 B2 JP 2894007B2 JP 15365691 A JP15365691 A JP 15365691A JP 15365691 A JP15365691 A JP 15365691A JP 2894007 B2 JP2894007 B2 JP 2894007B2
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Japan
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lead
capacitor
chip
connection pad
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孝 稲葉
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Nippon Electric Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はコンデンサを搭載したフ
ラットパッケージ型半導体装置とその製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat package type semiconductor device having a capacitor and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】高速論理回路用のLSIでは消費電力が
大きく、回路動作のスイッチング毎に供給電源系にノイ
ズが誘発され、しばしば回路が誤動作する。
2. Description of the Related Art An LSI for a high-speed logic circuit consumes a large amount of power, and noise is induced in a power supply system every time circuit operation is switched, and the circuit often malfunctions.

【0003】この電源系に発生するノイズを吸収し、誤
動作を防止するためパッケージ上のICチップの近傍に
コンデンサを搭載したフラットパッケージ型半導体装置
が知られている。
There is known a flat package type semiconductor device in which a capacitor is mounted near an IC chip on a package in order to absorb noise generated in the power supply system and prevent malfunction.

【0004】従来のフラットパッケージ型半導体装置に
ついて、その製造方法に沿て説明する。
A conventional flat package type semiconductor device will be described along a method of manufacturing the same.

【0005】図10に示すように、ICチップを搭載す
るキャビティー11、キャビティー11の周囲に配置さ
れたコンデンサ接続パッド12−1,12−2および周
辺部に配置された外部リード電極13を有するセラミッ
ク基板1に、リードフレームのリードを取り付け、キャ
ビティー11に図示しないICチップを搭載し、ICチ
ップの電極パッドとキャビティー11の周辺に形成され
たパッドとをボンディング接続し、キャップ3をかぶせ
て封止する。
As shown in FIG. 10, a cavity 11 for mounting an IC chip, capacitor connection pads 12-1 and 12-2 disposed around the cavity 11, and external lead electrodes 13 disposed around the periphery are formed. A lead of a lead frame is attached to the ceramic substrate 1 having the IC chip (not shown) mounted in the cavity 11, and an electrode pad of the IC chip is bonded to a pad formed around the cavity 11 by bonding. Cover and seal.

【0006】次に、コンデンサ接続パッド12−1,1
2−2にはんだクリームをのせ、その上にチップコンデ
ンサ4をのせた状態で加熱しはんだクリームを溶融し、
コンデンサ電極41−1,41−2とコンデンサ接続パ
ッド12−1,12−2とをそれぞれ接続する。
Next, the capacitor connection pads 12-1 and 12-1
2-2. Place solder cream on top and heat with chip capacitor 4 placed on top to melt solder cream.
The capacitor electrodes 41-1 and 41-2 are connected to the capacitor connection pads 12-1 and 12-2, respectively.

【0007】次に、図11に示すように、リード22を
フレーム21から切り離す。
Next, as shown in FIG. 11, the leads 22 are separated from the frame 21.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】この従来のフラットパ
ッケージ型半導体装置では、コンデンサ接続パッドには
んだクリームを載せ、その上にコンデンサを載せた後、
加熱してはんだクリームを溶融させて、コンデンサ電極
とコンデンサ接続パッドを接続する際に、はんだが飛散
してリード上に付着しリード間が短絡して不良となると
いう問題点があった。
In this conventional flat package type semiconductor device, a solder cream is placed on a capacitor connection pad, and a capacitor is placed on the solder cream.
When the solder cream is melted by heating to connect the capacitor electrode and the capacitor connection pad, there is a problem that the solder is scattered and adheres to the leads, and the leads are short-circuited, resulting in a defect.

【0009】また、図11に示したように、リードをフ
レームから切離してから電気的試験を行ない、その後に
ユーザに引渡すのが本来であるが、多ピン化に伴ないリ
ードが細くなりリード間隔も狭くなってくると、運搬作
業中に変形し易く、外形不良や短絡不良が発生するの
で、それをできるだけ避ける意味で図10に示したよう
にフレームを残したままの状態で取引きしなければなら
ない事態も発生してくる。ICチップの特性チェックは
行なうにしても信頼性の低下は免れない。
Also, as shown in FIG. 11, an electrical test is performed after the lead is separated from the frame, and then the lead is handed over to the user. When the diameter of the frame becomes narrow, it is easily deformed during the transporting operation, and an external shape defect or a short-circuit defect occurs. Therefore, in order to avoid the defect as much as possible, it is necessary to trade with the frame left as shown in FIG. Some things have to be done. Even if the characteristics of the IC chip are checked, the reliability is inevitably reduced.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明のフラットパッケ
ージ型半導体装置は、ICチップを搭載するキャビティ
ー、前記キャビティーの周囲に配置されたコンデンサ接
続パッドおよび周辺部に配置された外部リード電極を有
するセラミック基板と、前記キャビティーに搭載され前
記キャビティー周辺に形成されたパッドに接続されたI
Cチップと、前記キャビティーを覆って封止されたキャ
ップと、前記コンデンサ接続パッドに接続されたコンデ
ンサと、前記外部リード電極に接合されたリードと、前
記リードに貼り付けられた絶縁フィルム又は絶縁テープ
とを有するというものである。又、本発明のフラットパ
ッケージ型半導体装置の製造方法は、ICチップを搭載
するキャビティー、前記キャビティーの周辺に配置され
たコンデンサ接続パッドおよび周辺部に配置された外部
リード電極とを有するセラミック基板の前記外部リード
電極にリードフレームのリードを接合する工程と、前記
キャビティーにICチップを搭載する工程と、前記キャ
ビティー部にキャップをかぶせて封止する工程と、前記
セラミック基板に対応する穴を有する絶縁フィルムを前
記リードに貼り付ける工程と、前記コンデンサ接続パッ
ドにはんだクリームを介してコンデンサを載せたのち加
熱して前記コンデンサの電極と前記コンデンサ接続パッ
ドとを接続する工程とを有するというものである。
According to the present invention, there is provided a flat package type semiconductor device comprising a cavity for mounting an IC chip, a capacitor connection pad disposed around the cavity, and an external lead electrode disposed around the periphery. Having a ceramic substrate and an I connected to a pad mounted on the cavity and formed around the cavity.
A C chip, a cap sealed over the cavity, a capacitor connected to the capacitor connection pad, a lead bonded to the external lead electrode, and an insulating film or insulating material attached to the lead And a tape. Further, a method of manufacturing a flat package type semiconductor device according to the present invention is directed to a ceramic substrate having a cavity for mounting an IC chip, a capacitor connection pad disposed around the cavity, and an external lead electrode disposed around the periphery. Bonding a lead of a lead frame to the external lead electrode, mounting an IC chip in the cavity, covering the cavity with a cap, and sealing a hole corresponding to the ceramic substrate. A step of attaching an insulating film having the following to the lead, and a step of placing a capacitor on the capacitor connection pad via a solder cream and then heating to connect the electrode of the capacitor to the capacitor connection pad. It is.

【0011】[0011]

【実施例】本発明の第1の実施例においては、図1を参
照すると、従来の技術と全く同様に、パッケージ1の外
部リード電極にリードフレーム2のリード22を接合
し、キャビティー11に図示しないICチップを搭載
し、ボンディングを行ない、キャップ3をかぶせて封止
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In a first embodiment of the present invention, referring to FIG. 1, a lead 22 of a lead frame 2 is joined to an external lead electrode of a package 1, and An IC chip (not shown) is mounted, bonded, covered with a cap 3, and sealed.

【0012】次に、図2に示すように、絶縁フィルム5
aをリードフレーム2に貼り付ける。
Next, as shown in FIG.
a is attached to the lead frame 2.

【0013】絶縁5aフィルムは厚さ100μmのほぼ
正方形のポリイミドフィルムであり、中央部に正方形の
穴51aが設けられている。穴51aの大きさはセラミ
ック基板1とほぼ同じ程度である。又、外辺に沿って切
れ目55aが設けられている。すなわち、絶縁フィルム
本体52aと絶縁性外枠53aとが連結片54aで連結
されている。絶縁フィルム5aをリードフレーム2に貼
り付けるには、例えば約150℃で熱圧着を行なうか、
適当な粘着材を用いればよい。
The insulating 5a film is an approximately square polyimide film having a thickness of 100 μm, and has a square hole 51a at the center. The size of the hole 51a is substantially the same as that of the ceramic substrate 1. Also, a cut 55a is provided along the outer side. That is, the insulating film main body 52a and the insulating outer frame 53a are connected by the connecting piece 54a. In order to attach the insulating film 5a to the lead frame 2, for example, thermocompression bonding is performed at about 150 ° C.
An appropriate adhesive may be used.

【0014】次に、コンデンサ接続パッド12−1,1
2−2にはんだクリームをのせ、その上にチップコンデ
ンサ4を置いて加熱することによりコンデンサの電極4
1−1,41−2をコンデンサ接続パッド12−1,1
2−2にはんだ接合する。この工程ではんだクリームが
飛散してもリード表面の大部分は絶縁フィルムで覆われ
ているので短絡不良とならない。
Next, the capacitor connection pads 12-1, 1
2-2. A solder cream is placed on the chip 2-2, and the chip capacitor 4 is placed on the solder cream.
1-1 and 41-2 are connected to the capacitor connection pads 12-1 and 1
2-2 is soldered. Even if the solder cream is scattered in this step, most of the lead surface is covered with the insulating film, so that a short circuit does not occur.

【0015】次に、図3に示すように、切れ目の位置で
連結片54aおよびリード22を切断する。この切断加
工時に絶縁フィルム52aで保持されているのでリード
のピッチが不揃いとなるのを防ぐことができる。
Next, as shown in FIG. 3, the connecting piece 54a and the lead 22 are cut at the cut position. Since it is held by the insulating film 52a at the time of this cutting process, it is possible to prevent the lead pitch from becoming uneven.

【0016】絶縁フィルム52aは電気特性のチェック
前、実装前あるいは実装後のいずれの段階で除去しても
よい。あるいは実装後に残したままでもよい。
The insulating film 52a may be removed at any stage before checking electrical characteristics, before mounting, or after mounting. Alternatively, it may be left after mounting.

【0017】次に、第2の実施例について説明すると、
図4に示すように、絶縁フィルム本体52aに連結片6
1aで連結された絶縁テープ6aを設けておく。次に、
図5に示すように、フレームから切離す。
Next, a second embodiment will be described.
As shown in FIG. 4, the connecting piece 6 is attached to the insulating film main body 52a.
An insulating tape 6a connected by 1a is provided. next,
As shown in FIG. 5, separate from the frame.

【0018】電気的特性のチェック前に絶縁フィルム5
bを除去し、絶縁テープ6aを残しておくことができ
る。この場合、絶縁テープ6aは実装後も残しておくこ
とができる。従って、第1の実施例に比べると、リード
のピッチが不揃いとなるのを一層確実に防止することが
できる。
Before checking the electrical characteristics, the insulating film 5
b can be removed and the insulating tape 6a can be left. In this case, the insulating tape 6a can be left after mounting. Therefore, compared to the first embodiment, it is possible to more reliably prevent the lead pitch from being uneven.

【0019】次に、第3の実施例について説明すると、
図6に示すように、リードのフレーム側上に幅広の切れ
目56aを有する絶縁フィルム5cを用い、図7に示す
ようにリードの長さを短くする。第1の実施例より、リ
ードの長さが短いものに適用できる。
Next, a third embodiment will be described.
As shown in FIG. 6, an insulating film 5c having a wide cut 56a is used on the frame side of the lead, and the length of the lead is shortened as shown in FIG. As compared with the first embodiment, the present invention can be applied to the case where the lead length is short.

【0020】次に、第4の実施例について説明すると、
図8に示すように、幅広の切れ目56bの隣りに絶縁テ
ープ6bを設けた絶縁フィルム5dを使用し、図9に示
すように、リードを短く切断する。第2の実施例よりリ
ードの短いものに適用できる。
Next, a fourth embodiment will be described.
As shown in FIG. 8, the lead is cut short using an insulating film 5d provided with an insulating tape 6b next to the wide cut 56b, as shown in FIG. The present invention can be applied to a device having a shorter lead than that of the second embodiment.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、ICチッ
プを搭載するセラミック基板に接合したリードフレーム
上にポリイミドなどから成る絶縁フィルムを形成してい
ることにより、コンデンサ接続パッド上に、チップコン
デンサをはんだ接続する際にはんだが飛散し、リード間
が短絡するのを防ぐことができる。また絶縁フィルムの
一部にリード切断のための切れ目が入っているので絶縁
フィルムをリードフレームに接着した状態でリード切断
できるので、リード切断時にリードのピッチがふぞろい
になってリード間が短絡するのを防げるため、歩留り及
び信頼性を向上できるという効果を有する。
As described above, the present invention provides a chip capacitor on a capacitor connection pad by forming an insulating film made of polyimide or the like on a lead frame bonded to a ceramic substrate on which an IC chip is mounted. Can be prevented from being scattered at the time of solder connection and short-circuiting between leads. In addition, since a part of the insulating film has a cut for cutting the lead, the lead can be cut with the insulating film adhered to the lead frame. This has the effect of improving yield and reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の説明に使用する平面図
である。
FIG. 1 is a plan view used for explaining a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例の説明に使用する平面図
である。
FIG. 2 is a plan view used for explaining the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施例の説明に使用する平面図
である。
FIG. 3 is a plan view used for explaining the first embodiment of the present invention.

【図4】第2の実施例の説明に使用する平面図である。FIG. 4 is a plan view used for explaining a second embodiment.

【図5】第2の実施例の説明に使用する平面図である。FIG. 5 is a plan view used for describing a second embodiment.

【図6】第3の実施例の説明に使用する平面図である。FIG. 6 is a plan view used for describing a third embodiment.

【図7】第3の実施例の説明に使用する平面図である。FIG. 7 is a plan view used for describing a third embodiment.

【図8】第4の実施例の説明に使用する平面図である。FIG. 8 is a plan view used for describing a fourth embodiment.

【図9】第4の実施例の説明に使用する平面図である。FIG. 9 is a plan view used for explaining a fourth embodiment.

【図10】従来の技術の説明に使用する平面図である。FIG. 10 is a plan view used for explaining a conventional technique.

【図11】従来の技術の説明に使用する平面図である。FIG. 11 is a plan view used for explaining a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミック基板 11 キャビティー 12−1,12−2 コンデンサ接続電極 13 外部リード電極 2 リードフレーム 21 フレーム 22 リード 3 キャップ 4 チップコンデンサ 5a〜5d 絶縁フィルム 51a〜51d 穴 52a〜52d 絶縁フィルム本体 53a〜53d 絶縁フィルム外枠 54a〜54d 連結片 55a〜55d 切れ目 56a,56b 幅広の切れ目 6a,6b 絶縁テープ 61a,61b 連結片 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic substrate 11 Cavity 12-1 and 12-2 Capacitor connection electrode 13 External lead electrode 2 Lead frame 21 Frame 22 Lead 3 Cap 4 Chip capacitor 5a-5d Insulation film 51a-51d Hole 52a-52d Insulation film main body 53a-53d Insulating film outer frame 54a-54d Connecting piece 55a-55d Cut 56a, 56b Wide cut 6a, 6b Insulating tape 61a, 61b Connecting piece

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ICチップを搭載するキャビティー、前
記キャビティーの周囲に配置されたコンデンサ接続パッ
ドおよび周辺部に配置された外部リード電極を有するセ
ラミック基板と、前記キャビティーに搭載され前記キャ
ビティー周辺に形成されたパッドに接続されたICチッ
プと、前記キャビティーを覆って封止されたキャップ
と、前記コンデンサ接続パッドに接続されたコンデンサ
と、前記外部リード電極に接合されたリードと、前記リ
ードに貼り付けられた絶縁フィルム又は絶縁テープとを
有することを特徴とするフラットパッケージ型半導体装
置。
1. A ceramic substrate having a cavity for mounting an IC chip, a capacitor connection pad disposed around the cavity, and an external lead electrode disposed on the periphery, and the cavity mounted on the cavity. An IC chip connected to pads formed in the periphery, a cap sealed to cover the cavity, a capacitor connected to the capacitor connection pad, and a lead bonded to the external lead electrode; A flat package type semiconductor device comprising an insulating film or an insulating tape attached to a lead.
【請求項2】 ICチップを搭載するキャビティー、前
記キャビティーの周辺に配置されたコンデンサ接続パッ
ドおよび周辺部に配置された外部リード電極とを有する
セラミック基板の前記外部リード電極にリードフレーム
のリードを接合する工程と、前記キャビティーにICチ
ップを搭載する工程と、前記キャビティー部にキャップ
をかぶせて封止する工程と、前記セラミック基板に対応
する穴を有する絶縁フィルムを前記リードに貼り付ける
工程と、前記コンデンサ接続パッドにはんだクリームを
介してコンデンサを載せたのち加熱して前記コンデンサ
の電極と前記コンデンサ接続パッドとを接続する工程と
を有することを特徴とするフラットパッケージ型半導体
装置の製造方法。
2. A lead frame lead to the external lead electrode of a ceramic substrate having a cavity on which an IC chip is mounted, a capacitor connection pad disposed around the cavity, and an external lead electrode disposed around the periphery. Bonding, mounting an IC chip in the cavity, covering the cavity with a cap, and attaching an insulating film having a hole corresponding to the ceramic substrate to the lead. Manufacturing a flat package type semiconductor device, comprising the steps of: placing a capacitor on the capacitor connection pad via a solder cream, and then heating to connect the electrode of the capacitor to the capacitor connection pad. Method.
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