JP2893612B2 - Hollow observation device - Google Patents
Hollow observation deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は、観測対象の表面に存在するマークや傷な
どの窪みを観測するための窪み観測装置に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dent observation device for observing a dent such as a mark or a scratch present on the surface of an observation target.
＜従来の技術＞ 例えば表面実装タイプのIC部品は、第６図に示すよう
な形態であって、合成樹脂製のパッケージ部２の両側面
より複数のリード３が突出している。各リード３には固
有のピン番号が割り当てられ、このうち第１番目のリー
ド（以下、「第１リード」という）3aを識別できるよう
にパッケージ部２の上面に所定のマーク４が付してあ
る。<Prior Art> For example, a surface mount type IC component has a form as shown in FIG. 6, in which a plurality of leads 3 protrude from both side surfaces of a package portion 2 made of synthetic resin. A unique pin number is assigned to each lead 3, and a predetermined mark 4 is attached to the upper surface of the package portion 2 so that the first lead (hereinafter, referred to as "first lead") 3a can be identified. is there.
このマーク４は、平面形状が円形の窪みであって、こ
の窪みの底面は、第７図（１）に示す如く、光を正反射
させる平坦な鏡面か、或いは第７図（２）に示す如く、
光を正反射させる円曲する鏡面となっている。パッケー
ジ部２を樹脂成形するための金型は、その型内面に前記
マーク４を刻設するための突部が設けてあり、この突部
の表面を研磨することによりマーク４の表面（窪みの底
面）を滑らかな鏡面に形成する。なお図中、５は部品番
号などが印字された印字部である。The mark 4 is a hollow having a circular planar shape, and the bottom surface of the hollow is a flat mirror surface for regular reflection of light as shown in FIG. 7 (1), or is shown in FIG. 7 (2). as,
It has a curved mirror surface that specularly reflects light. A mold for resin-molding the package portion 2 has a protrusion for engraving the mark 4 on the inner surface of the mold. The surface of the mark 4 is polished by polishing the surface of the protrusion. (Bottom surface) to form a smooth mirror surface. In the drawing, reference numeral 5 denotes a printing unit on which a part number and the like are printed.
上記構成を備えた複数の部品１を、帯状テープ６上に
向きを揃えて一定間隔毎に固定したものを、基板の組立
てラインなどへ供給する。この帯状テープ６は、第６図
および第８図に示す如く、上シート７と下シート８とを
重ね合わせた構成のものであり、上シート７には部品１
の各固定位置に貫通孔９を設け、下シート８には上面に
接着剤塗布面10を形成して、各貫通孔９に接着剤塗布面
10を露出させ、その塗布面10の接着力にて部品１の下面
を固定している。A plurality of the components 1 having the above-described configuration, which are fixed on the belt-shaped tape 6 at regular intervals and aligned, are supplied to a board assembly line or the like. As shown in FIGS. 6 and 8, the band-shaped tape 6 has a configuration in which an upper sheet 7 and a lower sheet 8 are overlapped.
The lower sheet 8 is provided with a through-hole 9 at its fixed position, and the lower sheet 8 is provided with an adhesive application surface 10 on the upper surface.
10 is exposed, and the lower surface of the component 1 is fixed by the adhesive force of the application surface 10.
＜発明が解決しようとする問題点＞ しかしながら各部品１を帯状テープ６上に装着する
際、誤った向きに部品１が装着されると、帯状テープ６
から部品１を取り出して基板上に自動実装する場合、適
正な実装が行われず、回路の動作不良を招くなどの虞が
ある。<Problems to be Solved by the Invention> However, when each component 1 is mounted on the belt-shaped tape 6, if the component 1 is mounted in an incorrect direction,
When the component 1 is taken out from the device and automatically mounted on the board, proper mounting is not performed, and there is a possibility that a malfunction of a circuit may be caused.
そこで帯状テープ６から部品１を取り出す前に、部品
１の向きが適正か否かを検査することが必要となる。こ
の種の検査を自動化するのに、従来は、マーク４の表面
が鏡面であることに着目し、部品１の表面へ光を照射
し、マーク４からの正反射光を検出することによりマー
ク４の位置、すなわち部品１の向きを判別することが試
みられている。Therefore, before taking out the component 1 from the belt-shaped tape 6, it is necessary to inspect whether the orientation of the component 1 is proper or not. Conventionally, in order to automate this type of inspection, attention has been paid to the fact that the surface of the mark 4 is a mirror surface, the surface of the component 1 is irradiated with light, and the specular reflection light from the mark 4 is detected. , That is, the orientation of the component 1 has been attempted.
ところが前記金型の研磨状態にむらがあると、マーク
４の鏡面状態がばらつくため、正反射光の光量は常に一
定にならない。また帯状テープ６上に各部品１を常に同
じ水平状態で支持できないため、正反射光の向きが一定
せず、それを確実に検出するのが容易でない。このため
部品１の向きを自動的に検査する装置を実用化するのが
困難であるとされていた。However, if the polishing state of the mold is uneven, the mirror surface state of the mark 4 varies, so that the amount of specularly reflected light is not always constant. In addition, since the components 1 cannot always be supported on the belt-shaped tape 6 in the same horizontal state, the direction of the regular reflection light is not constant, and it is not easy to reliably detect the direction. For this reason, it has been said that it is difficult to put a device for automatically inspecting the orientation of the component 1 into practical use.
この発明は、上記問題に着目してなされたもので、観
測対象の表面に存在するマークや傷などの窪みを確実に
観測し得る窪み観測装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problem, and has as its object to provide a dent observation device capable of reliably observing a dent such as a mark or a scratch present on the surface of an observation target.
＜問題点を解決するための手段＞ この発明は、観測対象の表面に存在する窪みを所定の
観測位置で観測するための窪み観測装置であって、観測
位置のほぼ真上に位置して観測対象の全体を垂直方向よ
り照明するための第１の照明装置と、観測位置の斜め上
方に位置して観測対象の表面に向けて斜め下方へ照明光
を投射する第２の照明装置と、観測位置の真上に位置し
て観測対象に向けて垂直方向への視野が設定される撮像
装置とで構成されている。そして第1,第２の各照明装置
は、第２の照明装置の照明光による観測対象の表面の明
るさが、第１の照明装置の照明光による観測対象の表面
の明るさより十分に大きくなるよう、照明強度または観
測位置からの距離が設定される。<Means for Solving the Problems> The present invention relates to a dent observation device for observing a dent existing on the surface of an observation target at a predetermined observation position, wherein the dent observation device is located almost directly above the observation position. A first illuminator for illuminating the entire object from the vertical direction, a second illuminator located diagonally above the observation position and projecting illumination light obliquely downward toward the surface of the observation target, and observation. And an imaging device that is positioned right above the position and sets a visual field in the vertical direction toward the observation target. In each of the first and second illumination devices, the brightness of the surface of the observation target by the illumination light of the second illumination device is sufficiently larger than the brightness of the surface of the observation target by the illumination light of the first illumination device. Thus, the illumination intensity or the distance from the observation position is set.
＜作用＞ 第１の照明装置の照明下で第２の照明装置の照明光が
観測対象の表面に対し斜め上方より照射されると、窪み
の位置では常に窪みの段差に起因して第２の照明装置の
照明光が当たらない暗部が生ずることになる。この暗部
を画像上で検出することにより窪みの存在位置を判別で
きる。<Operation> When the illumination light of the second illumination device is illuminated from obliquely above the surface of the observation target under the illumination of the first illumination device, the second position is always generated due to the step of the depression at the position of the depression. There will be dark areas where the illumination light of the illumination device does not fall. By detecting this dark part on the image, the position of the depression can be determined.
＜実施例＞ 第１図および第２図は、この発明が実施された部品検
査装置の外観を示している。<Embodiment> Figs. 1 and 2 show the appearance of a component inspection apparatus in which the present invention is implemented.
この部品検査装置は、第６図に示す形態の部品１の検
査対象としており、帯状テープ６上の各部品１の向きが
適正か否か、各部品１が欠落していないか否か、各部品
１が所定の固定位置から位置ずれしていないか否か、各
部品１の印字が良好か否か、各部品１の各リード３が変
形していないか否かなどを同時に検査する。This component inspection apparatus is an inspection target of the component 1 in the form shown in FIG. 6, and determines whether the orientation of each component 1 on the strip-shaped tape 6 is appropriate, whether each component 1 is missing, and At the same time, it is checked whether the component 1 is displaced from a predetermined fixed position, whether the printing of each component 1 is good, whether each lead 3 of each component 1 is deformed, and the like.
検査対象の各部品１は、帯状テープ６上に一定間隔毎
に前記した接着剤塗布面10にて固定されている。この帯
状テープ６は両端縁に送り動作用の孔11が所定ピッチで
設けてあり、この孔11に図示しない送り機構を連繋して
帯状テープ６を順送りして、各部品１を所定の観測位置
（検査位置）へ順次導くものである。The parts 1 to be inspected are fixed on the tape 6 at regular intervals on the adhesive-coated surface 10 described above. The strip-shaped tape 6 has holes 11 for feeding operation provided at both ends at a predetermined pitch, and a feeding mechanism (not shown) is connected to the holes 11 to sequentially feed the strip-shaped tape 6 so that each component 1 is positioned at a predetermined observation position. (Inspection position).
部品検査装置は、光源21,第１の照明装置22,第２の照
明装置23,撮像装置24,画像処理装置25などを構成として
含んでいる。The component inspection device includes a light source 21, a first lighting device 22, a second lighting device 23, an imaging device 24, an image processing device 25, and the like as components.
前記光源21にはハロゲンランプなどが用いられ、この
光源21と第1,第２の各照明装置22,23とを光ファイバ26,
27を介して光学的に結合する。A halogen lamp or the like is used as the light source 21, and the light source 21 and the first and second lighting devices 22 and 23 are connected to an optical fiber 26,
Optically coupled via 27.
第１の照明装置22は、観測位置のほぼ真上に位置し、
部品１の全体を垂直方向より照明する。この実施例で
は、第１の照明装置22として、前記光ファイバ26と光学
的に結合された複数本の光ファイバを円陣に配置して成
るリング光源が用いられる。このリング光源より成る第
１の照明装置22は撮像装置24を中心としてその外周に位
置させ、部品１に対し均一な照明を施すものである。The first lighting device 22 is located almost directly above the observation position,
The whole part 1 is illuminated from the vertical direction. In this embodiment, a ring light source having a plurality of optical fibers optically coupled to the optical fiber 26 arranged in a circle is used as the first lighting device 22. The first illuminating device 22 composed of the ring light source is located at the outer periphery of the image pickup device 24 as a center, and irradiates the component 1 uniformly.
第２の照明装置23は、観測位置の斜め上方に位置し、
部品１の表面に向けて斜め下方へ照明光を投射する。こ
の実施例では、第２の照明装置23として、前記光ファイ
バ27と光学的に結合された１本の光ファイバ或いは束ね
られた複数本の光ファイバより成るスポット光源が用い
られている。このスポット光源より成る第２の照明装置
23は観測位置の側方に位置させ、部品１に向けて所定の
角度θでスポット照明を施すものである。The second lighting device 23 is located diagonally above the observation position,
The illumination light is projected obliquely downward toward the surface of the component 1. In this embodiment, a spot light source composed of one optical fiber optically coupled to the optical fiber 27 or a plurality of bundled optical fibers is used as the second lighting device 23. Second illumination device comprising the spot light source
Numeral 23 denotes a portion positioned at the side of the observation position, and performs spot illumination toward the component 1 at a predetermined angle θ.
第1,第２の各照明装置22,23は、第２の照明装置23の
照明光による部品１表面の明るさ（照度）が、第１の照
明装置22の照明光による部品１表面の明るさ（照度）よ
り２〜数倍程度高くなるよう、それぞれの照明強度また
は観測位置からの距離が設定される。Each of the first and second lighting devices 22 and 23 has the brightness (illuminance) of the surface of the component 1 due to the illumination light of the second lighting device 23, and the brightness of the surface of the component 1 due to the illumination light of the first lighting device 22. The illumination intensity or the distance from the observation position is set so as to be about two to several times higher than the illumination (illuminance).
前記部品１は、合成樹脂製のパッケージ部２の外周に
複数本のリード３を突出させた構造のもので、パッケー
ジ部２の上面には第１リードを確認するための窪み形状
のマーク４と、必要な部品情報が白色で表された印字部
５とが設けられている。またパッケージ部２の外周縁に
は斜めの傾斜面で構成される縁取り部12が設けられる。
このパッケージ部２の表面では投射された照明光は乱反
射するが、マーク４については金属であるリード部３と
同様に照明光は正反射する。The component 1 has a structure in which a plurality of leads 3 protrude from the outer periphery of a package portion 2 made of a synthetic resin. On the upper surface of the package portion 2, a mark 4 having a recessed shape for confirming the first lead is provided. And a printing unit 5 in which necessary component information is represented in white. An outer peripheral edge of the package portion 2 is provided with a rim portion 12 composed of an inclined surface.
The projected illumination light is irregularly reflected on the surface of the package portion 2, but the mark 4 is specularly reflected in the mark 4 in the same manner as the metal lead portion 3.
撮像装置24は、観測位置の真上に位置し、部品１に向
けて垂直方向に視野が設定される。撮像装置24で得た画
像の映像信号は画像処理装置25に送られ、２値化処理
後、その２値画像に対し後記するウィンドウW1〜W6を設
定するなどして複数の項目の部品検査が実施される。な
お図中、28は２値画像などを表示するためのモニタテレ
ビである。The imaging device 24 is located directly above the observation position, and has a field of view set vertically toward the component 1. Video signal of the image obtained by the imaging device 24 is sent to the image processing apparatus 25, after the binarization processing, part of a plurality of items, for example, by setting the window W 1 to W-6 to be described later to the binary image An inspection is performed. In the figure, reference numeral 28 denotes a monitor television for displaying a binary image or the like.
上記構成の部品検査装置において、いま第1,第２の各
照明装置22,23により検査対象の部品１に照明光が同時
に投射されたとき、第３図に示すように、第１の照明装
置22の照明光Ａはパッケージ部２の表面では乱反射し、
リード部３の表面では正反射する。また第２の照明装置
23の照明光Ｂがマーク４の位置に達するとき、窪みの段
差に起因して照明光Ｂが当たらない暗部13が生ずること
になる。In the component inspection apparatus having the above-described configuration, when illumination light is simultaneously projected on the component 1 to be inspected by the first and second illumination devices 22 and 23, as shown in FIG. The illumination light A of 22 is irregularly reflected on the surface of the package part 2,
The light is specularly reflected on the surface of the lead portion 3. Also, a second lighting device
When the 23 illuminating light B reaches the position of the mark 4, a dark portion 13 to which the illuminating light B does not hit occurs due to the step of the depression.
第４図は、このような照明下で撮像装置24で得られた
濃淡画像の明るさの分布を、部品１の各部と対応させて
示してある。同図によれば、リード部３が最も明るく、
ついで印字部５が明るく、ついでパッケージ部２の上面
とマーク４の暗部13以外の領域が明るい。マーク４の暗
部13とパッケージ部２の縁取り部12とは最も暗い画像と
なる。FIG. 4 shows the distribution of the brightness of the grayscale image obtained by the imaging device 24 under such illumination, in association with each part of the component 1. According to the figure, the lead portion 3 is the brightest,
Next, the printing section 5 is bright, and then the upper surface of the package section 2 and the area other than the dark section 13 of the mark 4 are bright. The dark portion 13 of the mark 4 and the rim 12 of the package 2 are the darkest images.
この濃淡画像に対しレベルの異なる複数の２値化しき
い値TH1〜TH4が設定されるもので、第５図（１）〜
（４）が各２値化しきい値TH1〜TH4で２値化したときの
適正部品についての２値画像を示している。It is understood that the gray image binarization plurality of different levels with respect to the threshold TH 1 to TH 4 is set, 5 (1) -
(4) shows a binary image of the proper components when binarized by the binary threshold value TH 1 to TH 4.
第５図中、斜線が黒画素の画像領域を、その他が白画
素の画像領域を、それぞれ示している。In FIG. 5, hatched lines indicate image areas of black pixels, and others indicate image areas of white pixels.
第５図（１）中、13′はマーク４の暗部13に、12′は
パッケージ部２の縁取り部12に相当し、これら画像領域
13′,12′のみが黒画素となる。In FIG. 5 (1), 13 'corresponds to the dark portion 13 of the mark 4, and 12' corresponds to the rim 12 of the package portion 2.
Only 13 'and 12' are black pixels.
第５図（２）中、２′はパッケージ部２、５′は印字
部５に相当し、パッケージ部の画像領域２′が黒画素、
印字部の画像領域５′が白画素となる。In FIG. 5 (2), reference numeral 2 'denotes a package portion 2, 5' corresponds to a printing portion 5, and an image area 2 'of the package portion has black pixels.
The image area 5 'of the printing section becomes a white pixel.
第５図（３）中、２′はパッケージ部２であり、画像
領域２′のすべてが黒画素となる。In FIG. 5 (3), reference numeral 2 'denotes a package portion 2, and the entire image area 2' is a black pixel.
第５図（４）中、３′がリード部３であり、この画像
領域３′のみが白画素、他の画像領域１′が黒画素とな
る。In FIG. 5 (4), 3 'is a lead portion 3, and only this image area 3' is a white pixel, and the other image area 1 'is a black pixel.
まず第５図（１）に示す２値画像に対し、暗部の画像
領域13′を含む大きさのウィンドウW1を設定してそのウ
ィンドウW1内の黒画素数を計数し、その計数値が所定の
しきい値（ゼロに近い値）より大きいか否かによりマー
ク４の有無、すなわち部品１の向きが適正か否かを判別
する。ついで同じ２値画像に対し、縁取り部の画像領域
12′を含む大きさのウィンドウW2を設定してそのウィン
ドウW2内の黒画素数を計数することにより部品１が欠落
していないか否かを判別する。To first binary image shown in FIG. 5 (1), counting the number of black pixels within the window W 1 sets the window W 1 of the size including the dark portion of the image region 13 ', is the count value It is determined whether or not the mark 4 is present, that is, whether or not the orientation of the component 1 is appropriate, based on whether or not the value is larger than a predetermined threshold value (a value close to zero). Then, for the same binary image, the image area of the border
Set the window W 2 sizes, including 12 'and determines whether the component 1 is not missing by counting the number of black pixels within the window W 2.
つぎに第５図（２）に示す２値画像に対し、印字部の
画像領域５′を含む大きさのウィンドウW3を設定してそ
のウィンドウW3内の黒画素数（白画素数）を計数するこ
とにより印字状態が良好か否かや印字が欠落していない
か否かを判別する。Next to the binary image shown in FIG. 5 (2), the size including an image area 5 'of the printing unit window W 3 by setting the number of black pixels within the window W 3 (the number of white pixels) By counting, it is determined whether or not the printing condition is good and whether or not printing is missing.
つぎに第５図（３）に示す２値画像に対し、パッケー
ジ部２の画像領域２′の外周にウィンドウW4を設定して
そのウィンドウW4内の黒画素数を計数することにより部
品１が位置ずれしていないか否かを判別する。Next to the binary image shown in FIG. 5 (3), parts by counting the number of black pixels within the window W 4 by setting the window W 4 on the outer periphery of the image area 2 of the package 2 '1 It is determined whether or not is displaced.
つぎに第５図（４）に示す２値画像に対し、両側のリ
ード部３の画像領域３′上にラインウィンドウW5,W6を
設定して各画像領域３′のピッチを計測することにより
リード部３が変形していないか否かを判別する。Next to the binary image shown in FIG. 5 (4), to measure the pitch of 'each image region 3 by setting the line window W 5, W 6 on' the image area 3 on both sides of the lead part 3 It is determined whether or not the lead portion 3 is deformed.
なお上記のウィンドウ設定方法は一例であって、その
他のウィンドウ設定方法によっても部品検査が可能であ
ることは勿論である。また部品の検査項目は上記に限ら
ず、例えばパッケージ部２の欠けなどの検査も検査項目
に加えることもできる。Note that the above-described window setting method is merely an example, and it goes without saying that component inspection can be performed by other window setting methods. Inspection items for components are not limited to those described above. For example, inspection such as chipping of the package unit 2 can be added to the inspection items.
＜発明の効果＞ この発明は上記の如く、第１の照明装置と第２の照明
装置とを用い、第１の照明装置の照明下で第２の照明装
置の照明光を観測対象の表面に対し斜め上方より照射す
るようにしたから、観測対象に窪みが存在しておれば、
その窪みの位置に暗部が生じて窪みの存在を容易かつ確
実に判別できる。またこの発明の窪み観測装置を部品検
査装置に実施するとき、窪みの検出以外に、部品の欠
落，部品の位置ずれ，印字不良，リード部の変形なども
同時に検査できるという利点がある。<Effect of the Invention> As described above, the present invention uses the first illumination device and the second illumination device, and applies the illumination light of the second illumination device to the surface of the observation target under the illumination of the first illumination device. On the other hand, since the irradiation was performed diagonally from above, if there was a depression in the observation target,
A dark portion is generated at the position of the depression, and the presence of the depression can be easily and reliably determined. Further, when the dent observation device of the present invention is applied to a component inspection device, there is an advantage that, in addition to the detection of a dent, a missing component, a component displacement, a printing defect, a deformation of a lead portion, and the like can be simultaneously inspected.
第１図はこの発明が実施された部品検査装置の外観図、
第２図は部品検査装置の正面図、第３図は部品に対する
照明状態を示す説明図、第４図は部品の濃淡画像の明る
さ分布を示す説明図、第５図はレベルの異なる２値化し
きい値で２値化したときの各２値画像を示す説明図、第
６図は検査対象の部品を示す斜面図、第７図はマークの
形状を示す断面図、第８図は帯状テープの構造を示す断
面図である。 １……部品、４……マーク 21……光源、22……第１の照明装置 23……第２の照明装置、24……撮像装置FIG. 1 is an external view of a component inspection apparatus according to the present invention,
FIG. 2 is a front view of the component inspection apparatus, FIG. 3 is an explanatory diagram showing an illumination state for the component, FIG. 4 is an explanatory diagram showing a brightness distribution of a grayscale image of the component, and FIG. FIG. 6 is an explanatory view showing each binary image when binarized by a threshold value, FIG. 6 is a perspective view showing a part to be inspected, FIG. 7 is a cross-sectional view showing the shape of a mark, and FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Part 4 ... Mark 21 ... Light source 22 ... First lighting device 23 ... Second lighting device 24 ... Imaging device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−229317（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−147607（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-63-229317 (JP, A) JP-A-58-147607 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01B 11/00-11/30
Claims (1)
測位置で観測するための窪み観測装置であって、 観測位置のほぼ真上に位置して観測対象の全体を垂直方
向より照明するための第１の照明装置と、 観測位置の斜め上方に位置して観測対象の表面に向けて
斜め下方へ照明光を投射する第２の照明装置と、 観測位置の真上に位置して観測対象に向けて垂直方向へ
視野が設定される撮像装置とから成り、 第1,第２の各照明装置は、第２の照明装置の照明光によ
る観測対象の表面の明るさが、第１の照明装置の照明光
による観測対象の表面の明るさより十分に大きくなるよ
う、照明強度または観測位置からの距離が設定されて成
る窪み観測装置。1. A dent observation device for observing a dent present on the surface of an observation target at a predetermined observation position, wherein the dent observation device is positioned almost directly above the observation position and illuminates the entire observation target from a vertical direction. A first lighting device for obliquely projecting illumination light obliquely downward toward the surface of the observation target positioned obliquely above the observation position, and observing the observation position immediately above the observation position An imaging device whose field of view is set in the vertical direction toward the object, wherein each of the first and second illumination devices has a brightness of the surface of the observation target by the illumination light of the second illumination device, which is equal to the first. A pit observation device in which the illumination intensity or the distance from the observation position is set so as to be sufficiently larger than the brightness of the surface of the observation target by the illumination light of the illumination device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188633A JP2893612B2 (en) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | Hollow observation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2188633A JP2893612B2 (en) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | Hollow observation device |
Publications (2)
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| JPH0474915A JPH0474915A (en) | 1992-03-10 |
| JP2893612B2 true JP2893612B2 (en) | 1999-05-24 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2188633A Expired - Fee Related JP2893612B2 (en) | 1990-07-17 | 1990-07-17 | Hollow observation device |
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