JP2881517B2 - クライオポンプ再生制御装置 - Google Patents
クライオポンプ再生制御装置Info
- Publication number
- JP2881517B2 JP2881517B2 JP15592691A JP15592691A JP2881517B2 JP 2881517 B2 JP2881517 B2 JP 2881517B2 JP 15592691 A JP15592691 A JP 15592691A JP 15592691 A JP15592691 A JP 15592691A JP 2881517 B2 JP2881517 B2 JP 2881517B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- temperature
- vacuum
- introduction
- regeneration gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクライオポンプを再生制
御する際に用いられる制御装置に関する。
御する際に用いられる制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、クライオポンプを再生状態（再
び気体を吸着できる状態にすること）する際には、再生
ガスを用いてガス吸着面を加熱し吸着ガスを排気してク
ライオポンプの再生を行っている。従来、クライオポン
プを再生する際には再生ガスとして室温（又は加熱され
た）の窒素又はアルゴン等のガス（乾燥ガス）をクライ
オポンプに導入してガス吸着面を急熱する。この際、ガ
ス吸着面から、例えば、水素、炭化水素、酸素が放出さ
れる。そして、これら放出気体（ガス）は再生ガスとと
もにクライオポンプから排出され、クライオポンプを再
生状態としている。
び気体を吸着できる状態にすること）する際には、再生
ガスを用いてガス吸着面を加熱し吸着ガスを排気してク
ライオポンプの再生を行っている。従来、クライオポン
プを再生する際には再生ガスとして室温（又は加熱され
た）の窒素又はアルゴン等のガス（乾燥ガス）をクライ
オポンプに導入してガス吸着面を急熱する。この際、ガ
ス吸着面から、例えば、水素、炭化水素、酸素が放出さ
れる。そして、これら放出気体（ガス）は再生ガスとと
もにクライオポンプから排出され、クライオポンプを再
生状態としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来、
クライオポンプを再生する際には、単に再生ガスをクラ
イオポンプに導入してガス吸着面を加熱しているだけで
あるので、ガス吸着面から種々のガスが放出されること
になり、この結果、例えば、水素又は炭化水素と酸素が
クライオポンプ中で同時に存在して、これらのガスが爆
発的に化合することがある。特に、クライオポンプ側
に、例えば、絶縁フィラメント型真空計が配置されてい
る場合には、爆発を引き起こす可能性が極めて高い。さ
らに、ガス吸着面に燐が吸着されている場合には酸素の
存在によって自然発火又は爆発の恐れが極めて大きい。
いずれにしても、従来のクライオポンプ再生において
は、クライオポンプ自体が破壊される危険性が高く、さ
らに、真空容器をも破壊される場合があり、安全面で問
題点が多い。本発明の目的は安全にクライオポンプの再
生を行うことのできる再生制御装置を提供することにあ
る。
クライオポンプを再生する際には、単に再生ガスをクラ
イオポンプに導入してガス吸着面を加熱しているだけで
あるので、ガス吸着面から種々のガスが放出されること
になり、この結果、例えば、水素又は炭化水素と酸素が
クライオポンプ中で同時に存在して、これらのガスが爆
発的に化合することがある。特に、クライオポンプ側
に、例えば、絶縁フィラメント型真空計が配置されてい
る場合には、爆発を引き起こす可能性が極めて高い。さ
らに、ガス吸着面に燐が吸着されている場合には酸素の
存在によって自然発火又は爆発の恐れが極めて大きい。
いずれにしても、従来のクライオポンプ再生において
は、クライオポンプ自体が破壊される危険性が高く、さ
らに、真空容器をも破壊される場合があり、安全面で問
題点が多い。本発明の目的は安全にクライオポンプの再
生を行うことのできる再生制御装置を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、クライ
オポンプと、前記クライオポンプに連結され該クライオ
ポンプを排気するためのポンプ手段と、前記クライオポ
ンプに連結され再生ガスを導入するための導入手段とを
有するクライオポンプ装置において、前記クライオポン
プの真空度が予め定められた設定真空度になると前記導
入手段を制御して前記再生ガスを前記クライオポンプに
導入するとともに前記クライオポンプの温度が予め定め
られた設定温度になると前記ポンプ手段を制御して前記
クライオポンプを排気する制御手段を有し、該制御手段
は前記クライオポンプの放出ガス温度に応じて前記設定
温度を順次変化させるようにしたことを特徴とするクラ
イオポンプ再生制御装置が得られる。ここでは、前記制
御手段には、前記クライオポンプの真空度を計測する第
１の計測手段と、前記クライオポンプの温度を計測する
第２の計測手段とが備えられており、前記制御手段は、
動作開始信号に応答して前記導入手段を制御して前記再
生ガスを前記クライオポンプに導入する第１の手段と、
前記第２の計測手段による計測温度が予め設定された設
定温度になった際前記導入手段を制御して前記クライオ
ポンプへの前記再生ガスの導入を停止し前記ポンプ手段
を駆動制御する第２の手段と、予め定められた真空度が
設定真空度として設定され、前記第１の計測手段による
計測真空度が前記設定真空度になった際前記ポンプ手段
を停止して前記導入手段を駆動制御し前記クライオポン
プに前記再生ガスを導入する第３の手段と、前記設定温
度として第１乃至第Ｎ（Ｎは２以上の整数）の設定温度
を順次前記第２の手段に設定する設定手段とを有してい
る。さらに、第３の手段は、ポンプ手段駆動後予め定め
られた時間が経過すると前記ポンプ手段を停止して前記
導入手段を駆動制御し前記クライオポンプに前記再生ガ
スを導入するようにしてもよい。
オポンプと、前記クライオポンプに連結され該クライオ
ポンプを排気するためのポンプ手段と、前記クライオポ
ンプに連結され再生ガスを導入するための導入手段とを
有するクライオポンプ装置において、前記クライオポン
プの真空度が予め定められた設定真空度になると前記導
入手段を制御して前記再生ガスを前記クライオポンプに
導入するとともに前記クライオポンプの温度が予め定め
られた設定温度になると前記ポンプ手段を制御して前記
クライオポンプを排気する制御手段を有し、該制御手段
は前記クライオポンプの放出ガス温度に応じて前記設定
温度を順次変化させるようにしたことを特徴とするクラ
イオポンプ再生制御装置が得られる。ここでは、前記制
御手段には、前記クライオポンプの真空度を計測する第
１の計測手段と、前記クライオポンプの温度を計測する
第２の計測手段とが備えられており、前記制御手段は、
動作開始信号に応答して前記導入手段を制御して前記再
生ガスを前記クライオポンプに導入する第１の手段と、
前記第２の計測手段による計測温度が予め設定された設
定温度になった際前記導入手段を制御して前記クライオ
ポンプへの前記再生ガスの導入を停止し前記ポンプ手段
を駆動制御する第２の手段と、予め定められた真空度が
設定真空度として設定され、前記第１の計測手段による
計測真空度が前記設定真空度になった際前記ポンプ手段
を停止して前記導入手段を駆動制御し前記クライオポン
プに前記再生ガスを導入する第３の手段と、前記設定温
度として第１乃至第Ｎ（Ｎは２以上の整数）の設定温度
を順次前記第２の手段に設定する設定手段とを有してい
る。さらに、第３の手段は、ポンプ手段駆動後予め定め
られた時間が経過すると前記ポンプ手段を停止して前記
導入手段を駆動制御し前記クライオポンプに前記再生ガ
スを導入するようにしてもよい。
【０００５】
【作用】本発明では動作開始信号に応答してまずクライ
オポンプに再生ガスを導入する。その後、クライオポン
プが第１の設定温度に達すると再生ガスの導入を停止し
てクライオポンプを排気する。そして、クライオポンプ
が所定の真空度に達すると、排気を停止して、再び再生
ガスをクライオポンプに導入する。そして、今度は第２
の設定温度に達すると、再生ガスの導入を停止してクラ
イオポンプを排気する。そして、クライオポンプが所定
の真空度に達すると、排気を停止して、再生ガスをクラ
イオポンプに導入する。このようにして、順次設定温度
を変えて、その都度、再生ガスの導入排気を行っている
から、つまり、設定温度によってガス吸着面から放出さ
れるガスが異なるから、その都度、クライオポンプを排
気することによってクライオポンプ中で種々のガスが混
合されることがなく、その結果、クライオポンプの再生
を安全に行うことができる。
オポンプに再生ガスを導入する。その後、クライオポン
プが第１の設定温度に達すると再生ガスの導入を停止し
てクライオポンプを排気する。そして、クライオポンプ
が所定の真空度に達すると、排気を停止して、再び再生
ガスをクライオポンプに導入する。そして、今度は第２
の設定温度に達すると、再生ガスの導入を停止してクラ
イオポンプを排気する。そして、クライオポンプが所定
の真空度に達すると、排気を停止して、再生ガスをクラ
イオポンプに導入する。このようにして、順次設定温度
を変えて、その都度、再生ガスの導入排気を行っている
から、つまり、設定温度によってガス吸着面から放出さ
れるガスが異なるから、その都度、クライオポンプを排
気することによってクライオポンプ中で種々のガスが混
合されることがなく、その結果、クライオポンプの再生
を安全に行うことができる。
【０００６】
【実施例】以下本発明について実施例によって説明す
る。図１を参照して、クライオポンプ１１には真空容器
１２が連結されている。バルブ体１１ａの開駆動によっ
てクライオポンプ１１は真空容器１２に連通され、バル
ブ体１１ａの閉駆動によってクライオポンプ１１は真空
容器１２から実質的に分離される。クライオポンプ１１
には第１のバルブ１３を介して再生ガス導入管１４が接
続され、クライオポンプ１１には第２のバルブ１５を介
してポンプ１６が排気路１７によって接続されている。
さらに、クライオポンプ１１にはリリーフ弁１８を介し
てリリーフ管１９が連結されている。第２のバルブ１５
とポンプとの間において排気路１７には真空計（例え
ば、熱線フィラメント型真空計）２０が連結され、クラ
イオポンプ１１には温度検出器２１が備えられている。
そして、真空計２０でクライオポンプ１１の真空度が計
測真空度として計測され、温度検出器２１でクライオポ
ンプ１１の温度が計測温度として計測される。第１及び
第２のバルブ１３及び１５、ポンプ１６、真空計２０、
及び温度検出器２１には制御装置２２が接続されてお
り、制御装置２２は後述するように計測温度及び計測真
空度に応じて第１及び第２のバルブ１３及び１５とポン
プ１６とを制御する。
る。図１を参照して、クライオポンプ１１には真空容器
１２が連結されている。バルブ体１１ａの開駆動によっ
てクライオポンプ１１は真空容器１２に連通され、バル
ブ体１１ａの閉駆動によってクライオポンプ１１は真空
容器１２から実質的に分離される。クライオポンプ１１
には第１のバルブ１３を介して再生ガス導入管１４が接
続され、クライオポンプ１１には第２のバルブ１５を介
してポンプ１６が排気路１７によって接続されている。
さらに、クライオポンプ１１にはリリーフ弁１８を介し
てリリーフ管１９が連結されている。第２のバルブ１５
とポンプとの間において排気路１７には真空計（例え
ば、熱線フィラメント型真空計）２０が連結され、クラ
イオポンプ１１には温度検出器２１が備えられている。
そして、真空計２０でクライオポンプ１１の真空度が計
測真空度として計測され、温度検出器２１でクライオポ
ンプ１１の温度が計測温度として計測される。第１及び
第２のバルブ１３及び１５、ポンプ１６、真空計２０、
及び温度検出器２１には制御装置２２が接続されてお
り、制御装置２２は後述するように計測温度及び計測真
空度に応じて第１及び第２のバルブ１３及び１５とポン
プ１６とを制御する。
【０００７】図２も参照して、クライオポンプ１１を再
生する際には、まず、バルブ体１１ａを閉駆動してクラ
イオポンプ１１と真空容器１２とを遮断する。その後、
制御装置２２に再生開始信号が与えられる。制御装置２
２は再生開始信号に応答して第１のバルブ１３を開き、
再生ガス導入管１４から再生ガス（例えば、窒素ガス）
を連続してクライオポンプ１１中に導入する。この際、
リリーフ弁１８が開かれ、リリーフ管１９を通って再生
ガスが流出する。つまり、再生ガスは再生ガス導入管１
４からクライオポンプ１１に導入され、リリーフ管１９
から導出されることになる。そして、この再生ガスは予
め設定された時間導入される。
生する際には、まず、バルブ体１１ａを閉駆動してクラ
イオポンプ１１と真空容器１２とを遮断する。その後、
制御装置２２に再生開始信号が与えられる。制御装置２
２は再生開始信号に応答して第１のバルブ１３を開き、
再生ガス導入管１４から再生ガス（例えば、窒素ガス）
を連続してクライオポンプ１１中に導入する。この際、
リリーフ弁１８が開かれ、リリーフ管１９を通って再生
ガスが流出する。つまり、再生ガスは再生ガス導入管１
４からクライオポンプ１１に導入され、リリーフ管１９
から導出されることになる。そして、この再生ガスは予
め設定された時間導入される。
【０００８】再生ガス導入後、クライオポンプ１１内の
温度は急激に上昇する。クライオポンプ１１内温度は温
度検出器２１で計測される。制御装置２２では計測温度
（クライオヘッド温度）が予め設定された第１の設定温
度（一種のガスが凝縮又は吸着する温度より若干高い温
度）となると、第１のバルブ１３を閉じて再生ガスのク
ライオポンプ１１内への導入を停止する。排気開始後、
図２に示すように温度上昇が抑えられ、クライオポンプ
１１はほぼ一定の温度となる。これによって、例えば、
クライオポンプ１１から水素が放出される。そして、制
御装置２２は第２のバルブ１５を開くとともにポンプ１
６によりクライオポンプ１１内を排気（粗引き）する。
つまり、水素（再生ガスを含む）を排気する。
温度は急激に上昇する。クライオポンプ１１内温度は温
度検出器２１で計測される。制御装置２２では計測温度
（クライオヘッド温度）が予め設定された第１の設定温
度（一種のガスが凝縮又は吸着する温度より若干高い温
度）となると、第１のバルブ１３を閉じて再生ガスのク
ライオポンプ１１内への導入を停止する。排気開始後、
図２に示すように温度上昇が抑えられ、クライオポンプ
１１はほぼ一定の温度となる。これによって、例えば、
クライオポンプ１１から水素が放出される。そして、制
御装置２２は第２のバルブ１５を開くとともにポンプ１
６によりクライオポンプ１１内を排気（粗引き）する。
つまり、水素（再生ガスを含む）を排気する。
【０００９】排気の結果、クライオポンプ１１の真空度
が所定の真空度（第１の真空度）になると、つまり、計
測真空度が第１の真空度になると、制御装置２２は第２
のバルブ１５を閉じる。その後、制御装置２２は第１の
バルブ１３を開き、再生ガス導入管１４から再生ガスを
連続してクライオポンプ１１中に導入する。この際、リ
リーフ弁１８が開かれ、リリーフ管１９を通って再生ガ
スが流出する。そして、温度検出器２１の計測温度が第
２の設定温度（第２の設定温度＞第１の設定温度）にな
ると、制御装置２２は再び第１のバルブ１３を閉じて再
生ガスのクライオポンプ１１内への導入を停止する。排
気開始後、図２に示すように温度上昇が抑えられ、クラ
イオポンプ１１はほぼ一定の温度となる。これによっ
て、例えば、クライオポンプ１１から酸素が放出され
る。制御装置２２は第２のバルブ１５を開くとともにポ
ンプ１６によりクライオポンプ１１内を排気（粗引き）
する。つまり、酸素（再生ガスを含む）を排気する。
が所定の真空度（第１の真空度）になると、つまり、計
測真空度が第１の真空度になると、制御装置２２は第２
のバルブ１５を閉じる。その後、制御装置２２は第１の
バルブ１３を開き、再生ガス導入管１４から再生ガスを
連続してクライオポンプ１１中に導入する。この際、リ
リーフ弁１８が開かれ、リリーフ管１９を通って再生ガ
スが流出する。そして、温度検出器２１の計測温度が第
２の設定温度（第２の設定温度＞第１の設定温度）にな
ると、制御装置２２は再び第１のバルブ１３を閉じて再
生ガスのクライオポンプ１１内への導入を停止する。排
気開始後、図２に示すように温度上昇が抑えられ、クラ
イオポンプ１１はほぼ一定の温度となる。これによっ
て、例えば、クライオポンプ１１から酸素が放出され
る。制御装置２２は第２のバルブ１５を開くとともにポ
ンプ１６によりクライオポンプ１１内を排気（粗引き）
する。つまり、酸素（再生ガスを含む）を排気する。
【００１０】排気の結果、クライオポンプ１１の真空度
が所定の真空度（第２の真空度）になると、制御装置２
２は再び第２のバルブ１５を閉じる。その後、制御装置
２２は三たび第１のバルブ１３を開き、再生ガス導入管
１４から再生ガスを連続してクライオポンプ１１中に導
入する。この際、リリーフ弁１８が開かれ、リリーフ管
１９を通って再生ガスが流出する。そして、温度検出器
２１の計測温度が第３の設定温度（第３の設定温度＞第
２の設定温度）になると、制御装置２２は第１のバルブ
１３を閉じて再生ガスのクライオポンプ１１内への導入
を停止する。排気開始後、図２に示すように温度上昇が
抑えられ、クライオポンプ１１はほぼ一定の温度とな
る。これによって、例えば、クライオポンプ１１から炭
化水素が放出される。制御装置２２は第２のバルブ１５
を開くとともにポンプ１６によりクライオポンプ１１内
を排気（粗引き）する。つまり、炭化水素（再生ガスを
含む）を排気する。
が所定の真空度（第２の真空度）になると、制御装置２
２は再び第２のバルブ１５を閉じる。その後、制御装置
２２は三たび第１のバルブ１３を開き、再生ガス導入管
１４から再生ガスを連続してクライオポンプ１１中に導
入する。この際、リリーフ弁１８が開かれ、リリーフ管
１９を通って再生ガスが流出する。そして、温度検出器
２１の計測温度が第３の設定温度（第３の設定温度＞第
２の設定温度）になると、制御装置２２は第１のバルブ
１３を閉じて再生ガスのクライオポンプ１１内への導入
を停止する。排気開始後、図２に示すように温度上昇が
抑えられ、クライオポンプ１１はほぼ一定の温度とな
る。これによって、例えば、クライオポンプ１１から炭
化水素が放出される。制御装置２２は第２のバルブ１５
を開くとともにポンプ１６によりクライオポンプ１１内
を排気（粗引き）する。つまり、炭化水素（再生ガスを
含む）を排気する。
【００１１】このようにして、順次再生ガスの導入排気
をクライオポンプが第Ｎの設定温度となるまで繰り返
す。このようにして、クライオポンプに凝縮して吸着さ
れたガスを単一ガス毎に放出・排気を行うから、複数の
ガスが同時に混合されることがなく、爆発等の事故を防
止することができる。
をクライオポンプが第Ｎの設定温度となるまで繰り返
す。このようにして、クライオポンプに凝縮して吸着さ
れたガスを単一ガス毎に放出・排気を行うから、複数の
ガスが同時に混合されることがなく、爆発等の事故を防
止することができる。
【００１２】なお、図２では再生ガス導入後、設定温度
に達した際、直ちに排気を行うことなく所定の時間放置
した後、排気するステップが含まれているが、このよう
な放置時間を設定しても吸着ガスの排出には何等問題は
ない。さらに、上述の実施例では、真空計２０で計測さ
れる真空度が設定真空度に達した際、排気を停止するよ
うにしたが、排気開始後、所定設定時間経過すると、排
気を停止するようにしてもよい。
に達した際、直ちに排気を行うことなく所定の時間放置
した後、排気するステップが含まれているが、このよう
な放置時間を設定しても吸着ガスの排出には何等問題は
ない。さらに、上述の実施例では、真空計２０で計測さ
れる真空度が設定真空度に達した際、排気を停止するよ
うにしたが、排気開始後、所定設定時間経過すると、排
気を停止するようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明ではクライ
オポンプの設定温度を順次変えて、その都度、再生ガス
の導入排気を行う。つまり、設定温度によってクライオ
ポンプの吸着面から放出されるガスを異ならせているか
ら、単一のガスが放出される都度、クライオポンプを排
気することによってクライオポンプ中で種々のガスが混
合されることがなく、その結果、クライオポンプの再生
を安全に行うことができるという効果がある。
オポンプの設定温度を順次変えて、その都度、再生ガス
の導入排気を行う。つまり、設定温度によってクライオ
ポンプの吸着面から放出されるガスを異ならせているか
ら、単一のガスが放出される都度、クライオポンプを排
気することによってクライオポンプ中で種々のガスが混
合されることがなく、その結果、クライオポンプの再生
を安全に行うことができるという効果がある。
【図１】本発明にクライオポンプ再生制御装置の一実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【図２】図１に示すクライオポンプ再生制御装置におけ
る再生制御の一実施例を説明するための図である。
る再生制御の一実施例を説明するための図である。
【符号の説明】 １１ クライオポンプ １２ 真空容器 １３ 第１のバルブ １４ 再生ガス導入管 １５ 第２のバルブ １６ ポンプ １７ 排気路 １８ リリーフ弁 １９ リリーフ管 ２０ 真空計 ２１ 温度検出器 ２２ 制御装置
Claims (3)
- 【請求項１】 クライオポンプと、前記クライオポンプ
に連結され該クライオポンプを排気するためのポンプ手
段と、前記クライオポンプに連結され再生ガスを導入す
るための導入手段とを有するクライオポンプ装置におい
て、前記クライオポンプの真空度が予め定められた設定
真空度になると前記導入手段を制御して前記再生ガスを
前記クライオポンプに導入するとともに前記クライオポ
ンプの温度が予め定められた設定温度になると前記ポン
プ手段を制御して前記クライオポンプを排気する制御手
段を有し、該制御手段は前記クライオポンプの放出ガス
温度に応じて前記設定温度を順次変化させるようにした
ことを特徴とするクライオポンプ再生制御装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載されたクライオポンプ再
生制御装置において、前記制御手段には、前記クライオ
ポンプの真空度を計測する第１の計測手段と、前記クラ
イオポンプの温度を計測する第２の計測手段とが備えら
れており、前記制御手段は、動作開始信号に応答して前
記導入手段を制御して前記再生ガスを前記クライオポン
プに導入する第１の手段と、前記第２の計測手段による
計測温度が予め設定された設定温度になった際前記導入
手段を制御して前記クライオポンプへの前記再生ガスの
導入を停止し前記ポンプ手段を駆動制御する第２の手段
と、予め定められた真空度が設定真空度として設定さ
れ、前記第１の計測手段による計測真空度が前記設定真
空度になった際前記ポンプ手段を停止して前記導入手段
を駆動制御し前記クライオポンプに前記再生ガスを導入
する第３の手段と、前記設定温度として第１乃至第Ｎ
（Ｎは２以上の整数）の設定温度を順次前記第２の手段
に設定する設定手段とを有することを特徴とするクライ
オポンプ再生制御装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載されたクライオポンプ再
生制御装置において、前記制御手段には、前記クライオ
ポンプの温度を計測する第２の計測手段が備えられてお
り、前記制御手段は、動作開始信号に応答して前記導入
手段を制御して前記再生ガスを前記クライオポンプに導
入する第１の手段と、前記第２の計測手段による計測温
度が予め設定された設定温度になった際前記導入手段を
制御して前記クライオポンプへの前記再生ガスの導入を
停止し前記ポンプ手段を駆動制御する第２の手段と、前
記ポンプ手段駆動後予め設定された時間が経過すると前
記ポンプ手段を停止して前記導入手段を駆動制御し前記
クライオポンプに前記再生ガスを導入する第３の手段
と、前記設定温度として第１乃至第Ｎ（Ｎは２以上の整
数）の設定温度を順次前記第２の手段に設定する設定手
段とを有することを特徴とするクライオポンプ再生制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15592691A JP2881517B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | クライオポンプ再生制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15592691A JP2881517B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | クライオポンプ再生制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04353273A JPH04353273A (ja) | 1992-12-08 |
| JP2881517B2 true JP2881517B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=15616535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15592691A Expired - Fee Related JP2881517B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | クライオポンプ再生制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881517B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4554628B2 (ja) * | 2007-03-02 | 2010-09-29 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの再生処理方法 |
| JP5963459B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの修理方法 |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP15592691A patent/JP2881517B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04353273A (ja) | 1992-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4892566A (en) | Pressure swing adsorption process and system | |
| US5647891A (en) | Method and apparatus for heated, pressure-swing high pressure air dehydration | |
| JP2881517B2 (ja) | クライオポンプ再生制御装置 | |
| EP0314299B1 (en) | Method of and apparatus for treating waste gas from semiconductor manufacturing process | |
| KR20030092091A (ko) | 공정 가스의 생성 방법 및 생성 장치 | |
| JPH11343972A (ja) | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 | |
| JPS6211886B2 (ja) | ||
| JPH0252428A (ja) | 処理装置 | |
| JPS6369525A (ja) | 炭酸ガス除去装置に於ける再生時直後の残留ガスの排出方法 | |
| JP2674970B2 (ja) | クライオポンプの再生装置およびその方法 | |
| EP0880903B2 (en) | Method for treating the atmosphere contained in enclosed spaces | |
| JP3570732B2 (ja) | 塩素ガスの濃縮方法および装置 | |
| JP7261926B1 (ja) | 圧力変動吸着装置及び方法 | |
| CA2121312A1 (en) | Adsorption process to produce 99+% oxygen from air | |
| JP2819104B2 (ja) | 吸収式冷凍機内のｎｏガス除去方法 | |
| JP2004228602A5 (ja) | ||
| JPH09280174A (ja) | クライオポンプ再生方法 | |
| JPS5791719A (en) | Adsorbing device for exhaust gas | |
| JPH0868380A (ja) | クライオポンプの再生方法 | |
| JP3195982B2 (ja) | 温度差再生式のガス吸着分離装置及び方法 | |
| JP3025279B2 (ja) | 気体分離装置 | |
| JPH05277323A (ja) | 断熱容器 | |
| JPH0731825A (ja) | 気体分離装置 | |
| JPH04161221A (ja) | ＮＯｘの吸着除去方法及びその装置 | |
| JP2994075B2 (ja) | クライオポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981224 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090205 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100205 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110205 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |