JP2881089B2 - バーンイン装置 - Google Patents
バーンイン装置Info
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- JP2881089B2 JP2881089B2 JP5075585A JP7558593A JP2881089B2 JP 2881089 B2 JP2881089 B2 JP 2881089B2 JP 5075585 A JP5075585 A JP 5075585A JP 7558593 A JP7558593 A JP 7558593A JP 2881089 B2 JP2881089 B2 JP 2881089B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣの製造及び検査
時に使用されるバーンイン装置に関し、特にバーンイン
炉を収容したバーンイン室の構造に関するものである。
時に使用されるバーンイン装置に関し、特にバーンイン
炉を収容したバーンイン室の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のバーンイン装置の一例を示
す断面図、図５は図４の装置内部の概略の平面図であ
る。図において、１はバーンイン室で、床２、壁３、天
井４及び屋根５等により構成されている。６はバーンイ
ン室１内の床２上に設置されている複数台のバーンイン
炉であり、このバーンイン炉６は、炉本体７、扉８、波
形を供給するドライバ９、炉本体７内を高温に加熱する
ヒータ１０、炉排気口１１及び炉吸気口１２を有してい
る。また、炉排気口１１には炉排気ファン１１ａが、炉
吸気口１２には炉吸気ファン１２ａがそれぞれ設けられ
ている。
す断面図、図５は図４の装置内部の概略の平面図であ
る。図において、１はバーンイン室で、床２、壁３、天
井４及び屋根５等により構成されている。６はバーンイ
ン室１内の床２上に設置されている複数台のバーンイン
炉であり、このバーンイン炉６は、炉本体７、扉８、波
形を供給するドライバ９、炉本体７内を高温に加熱する
ヒータ１０、炉排気口１１及び炉吸気口１２を有してい
る。また、炉排気口１１には炉排気ファン１１ａが、炉
吸気口１２には炉吸気ファン１２ａがそれぞれ設けられ
ている。
【０００３】１３はバーンイン室１の天井４に取り付け
られている空調機、１４はバーンイン炉６の炉本体７内
に収容されているバーンインボードであり、このバーン
インボード１４には、図６に示すように、ＩＣデバイス
１５を搭載するためのＩＣソケット１６が複数設けられ
ている。
られている空調機、１４はバーンイン炉６の炉本体７内
に収容されているバーンインボードであり、このバーン
インボード１４には、図６に示すように、ＩＣデバイス
１５を搭載するためのＩＣソケット１６が複数設けられ
ている。
【０００４】次に、動作について説明する。まず、ＩＣ
デバイス１５をＩＣソケット１６に挿入し、バーンイン
ボード１４を常温状態の炉本体７内に投入する。この
後、ヒータ１０、炉排気ファン１１ａ及び炉吸気ファン
１２ａを制御して、炉本体７内を一定時間恒温状態に保
つ。このとき、ドライバ９によりバーンインに必要な電
気信号を発生し供給する。バーンイン完了後には、炉排
気ファン１１ａ及び炉吸気ファン１２ａにより炉本体７
内の温度を常温まで下げる。
デバイス１５をＩＣソケット１６に挿入し、バーンイン
ボード１４を常温状態の炉本体７内に投入する。この
後、ヒータ１０、炉排気ファン１１ａ及び炉吸気ファン
１２ａを制御して、炉本体７内を一定時間恒温状態に保
つ。このとき、ドライバ９によりバーンインに必要な電
気信号を発生し供給する。バーンイン完了後には、炉排
気ファン１１ａ及び炉吸気ファン１２ａにより炉本体７
内の温度を常温まで下げる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のバーンイン装置においては、バーンイン中の炉
本体７の壁部からの輻射熱、ドライバ９からの放熱、及
びバーンイン中やバーンイン完了時の炉本体７からの排
気の熱により、バーンイン室１の室温が上昇するので、
炉本体７内の昇温のための電力を供給する一方で、バー
ンイン室１内の温度を下げるための強力な冷房用電力が
必要であり、特に夏場での電気代がかかりバーンインコ
ストが高くなってしまうという問題点があった。また、
バーンイン完了時、完了台数が重なると、排気熱により
バーンイン室１の室温がさらに高くなり、吸気で炉本体
７内の温度を下げることから、炉本体７内が常温に達す
るまでの時間が長くなり、バーンイン炉６の稼働率が落
ちるという問題点もあった。特に、夏場には、室温が４
０℃に達する等、作業エリアの温度，湿度等の管理が十
分にできない。
た従来のバーンイン装置においては、バーンイン中の炉
本体７の壁部からの輻射熱、ドライバ９からの放熱、及
びバーンイン中やバーンイン完了時の炉本体７からの排
気の熱により、バーンイン室１の室温が上昇するので、
炉本体７内の昇温のための電力を供給する一方で、バー
ンイン室１内の温度を下げるための強力な冷房用電力が
必要であり、特に夏場での電気代がかかりバーンインコ
ストが高くなってしまうという問題点があった。また、
バーンイン完了時、完了台数が重なると、排気熱により
バーンイン室１の室温がさらに高くなり、吸気で炉本体
７内の温度を下げることから、炉本体７内が常温に達す
るまでの時間が長くなり、バーンイン炉６の稼働率が落
ちるという問題点もあった。特に、夏場には、室温が４
０℃に達する等、作業エリアの温度，湿度等の管理が十
分にできない。
【０００６】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、バーンイン室
の作業エリアの効率を良くし、温度上昇を防止して、省
エネを図るとともにコストを低減することができ、また
バーンイン炉の稼働率を向上させることができるバーン
イン装置を得ることを目的とする。
ることを課題としてなされたものであり、バーンイン室
の作業エリアの効率を良くし、温度上昇を防止して、省
エネを図るとともにコストを低減することができ、また
バーンイン炉の稼働率を向上させることができるバーン
イン装置を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るバ
ーンイン装置は、バーンイン室内を仕切壁により作業エ
リア及びダートゾーンに分け、扉が作業エリア内に臨む
ようにバーンイン炉をバーンイン室内に設置し、作業エ
リアの環境をダートゾーンとは別に管理するようにした
ものである。
ーンイン装置は、バーンイン室内を仕切壁により作業エ
リア及びダートゾーンに分け、扉が作業エリア内に臨む
ようにバーンイン炉をバーンイン室内に設置し、作業エ
リアの環境をダートゾーンとは別に管理するようにした
ものである。
【０００８】請求項２の発明に係るバーンイン装置は、
バーンイン炉の炉吸気口にバーンイン室外の空気を導入
する吸気ダクトを接続したものである。
バーンイン炉の炉吸気口にバーンイン室外の空気を導入
する吸気ダクトを接続したものである。
【０００９】請求項３の発明に係るバーンイン装置は、
作業エリア内の気圧をダートゾーン内の気圧よりも高く
したものである。
作業エリア内の気圧をダートゾーン内の気圧よりも高く
したものである。
【００１０】請求項４の発明に係るバーンイン装置は、
ダートゾーン内の換気構造を、床下空間からバーンイン
室外の空気を取り込み、屋根から排気するようにしたも
のである。
ダートゾーン内の換気構造を、床下空間からバーンイン
室外の空気を取り込み、屋根から排気するようにしたも
のである。
【００１１】請求項５の発明に係るバーンイン装置は、
一端部がバーンイン室外に開口し他端部が分岐されて複
数台のバーンイン炉の炉吸気口に接続されている吸気ダ
クトにより、バーンイン炉内に外気を導入するようにし
たものである。
一端部がバーンイン室外に開口し他端部が分岐されて複
数台のバーンイン炉の炉吸気口に接続されている吸気ダ
クトにより、バーンイン炉内に外気を導入するようにし
たものである。
【００１２】
【作用】請求項１の発明においては、バーンイン室内を
作業エリアとダートゾーンとに分けることにより、作業
エリアの環境をダートゾーンの環境と異なるものとし、
作業環境を改善する。
作業エリアとダートゾーンとに分けることにより、作業
エリアの環境をダートゾーンの環境と異なるものとし、
作業環境を改善する。
【００１３】請求項２の発明においては、吸気ダクトを
用いてバーンイン炉内に外気を導入することにより、バ
ーンイン炉内の温度を効率良く低下させる。
用いてバーンイン炉内に外気を導入することにより、バ
ーンイン炉内の温度を効率良く低下させる。
【００１４】請求項３の発明においては、作業エリア内
の気圧をダートゾーン内の気圧よりも高く設定すること
で、ダートゾーンから作業エリア内へのダストの侵入を
防止する。
の気圧をダートゾーン内の気圧よりも高く設定すること
で、ダートゾーンから作業エリア内へのダストの侵入を
防止する。
【００１５】請求項４の発明においては、ダートゾーン
の床下空間からバーンイン室外の空気を取り込み、その
空気をダートゾーンの屋根から排気することにより、ダ
ートゾーン内の温度を効率良く低下させる。
の床下空間からバーンイン室外の空気を取り込み、その
空気をダートゾーンの屋根から排気することにより、ダ
ートゾーン内の温度を効率良く低下させる。
【００１６】請求項５の発明においては、吸気ダクトの
一端部から導入した外気を複数台のバーンイン炉に分配
して供給することにより、各バーンイン炉の降温，恒温
性能のばらつきを抑える。
一端部から導入した外気を複数台のバーンイン炉に分配
して供給することにより、各バーンイン炉の降温，恒温
性能のばらつきを抑える。
【００１７】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例１．図１は請求項１ないし請求項４の発明の一実
施例によるバーンイン装置の断面図、図２は図１の装置
内部の概略の平面図であり、図４ないし図６と同一又は
相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
る。 実施例１．図１は請求項１ないし請求項４の発明の一実
施例によるバーンイン装置の断面図、図２は図１の装置
内部の概略の平面図であり、図４ないし図６と同一又は
相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００１８】図において、２１はバーンイン室で、床２
２、壁２３及び屋根２４等により構成されている。ま
た、バーンイン室２１内には、複数台のバーンイン炉６
が設置されている。２５はバーンイン室２１内を中央の
作業エリア２６と周囲のダートゾーン２７とに分けてい
る仕切壁であり、各バーンイン炉６の扉８は、それぞれ
作業エリア２６内に臨んでいる。
２、壁２３及び屋根２４等により構成されている。ま
た、バーンイン室２１内には、複数台のバーンイン炉６
が設置されている。２５はバーンイン室２１内を中央の
作業エリア２６と周囲のダートゾーン２７とに分けてい
る仕切壁であり、各バーンイン炉６の扉８は、それぞれ
作業エリア２６内に臨んでいる。
【００１９】２８はバーンイン室２１外の空気をバーン
イン室２１の床下空間２９に送風する複数の床下空調機
であり、それぞれ床下吸気ファン２８ａ及びフィルタ２
８ｂを有している。また、ダートゾーン２７の床２２は
グレーチングからなっており、床下空間の空気をダート
ゾーン２７へ導くための通気孔２２ａが多数設けられて
いる。
イン室２１の床下空間２９に送風する複数の床下空調機
であり、それぞれ床下吸気ファン２８ａ及びフィルタ２
８ｂを有している。また、ダートゾーン２７の床２２は
グレーチングからなっており、床下空間の空気をダート
ゾーン２７へ導くための通気孔２２ａが多数設けられて
いる。
【００２０】２９は仕切壁２５の天井部に設けられてい
る作業エリア空調機、３０はバーンイン室２１の屋根２
４に設けられているダートゾーン排気ファン、３１はバ
ーンイン室２１外の空気を各炉吸気口１２に導く吸気ダ
クト、３２は吸気ダクト３１の端部に取り付けられてい
るエアフィルタである。
る作業エリア空調機、３０はバーンイン室２１の屋根２
４に設けられているダートゾーン排気ファン、３１はバ
ーンイン室２１外の空気を各炉吸気口１２に導く吸気ダ
クト、３２は吸気ダクト３１の端部に取り付けられてい
るエアフィルタである。
【００２１】次に、動作について説明する。この実施例
１の装置は、バーンイン室２１内が仕切壁２５により作
業エリア２６とダートゾーン２７とに分けられているの
で、バーンイン炉６の運転中に発生する炉本体７の壁部
からの輻射熱、ドライバ９からの放熱、及びバーンイン
中やバーンイン完了時の炉本体７からの排気の熱により
温度上昇するのは、主にダートゾーン２７であり、作業
エリア２６内は作業エリア空調機２９により作業に適し
た温度に保たれる。
１の装置は、バーンイン室２１内が仕切壁２５により作
業エリア２６とダートゾーン２７とに分けられているの
で、バーンイン炉６の運転中に発生する炉本体７の壁部
からの輻射熱、ドライバ９からの放熱、及びバーンイン
中やバーンイン完了時の炉本体７からの排気の熱により
温度上昇するのは、主にダートゾーン２７であり、作業
エリア２６内は作業エリア空調機２９により作業に適し
た温度に保たれる。
【００２２】また、床下空調機２８により取り込まれた
外気が、通気孔２２ａを通してダートゾーン２７内に導
かれ、ダートゾーン排気ファン３０から排出されるの
で、ダートゾーン２７内の熱も効率良くバーンイン室２
１外へ放出される。さらに、炉本体７内には、吸気ダク
ト３１を通った外気が導入されるので、バーンイン完了
時には、完了台数に拘わりなく、炉本体７内の温度が効
率よく下げられ、短時間で常温になる。このため、バー
ンイン炉６の稼働率が向上する。
外気が、通気孔２２ａを通してダートゾーン２７内に導
かれ、ダートゾーン排気ファン３０から排出されるの
で、ダートゾーン２７内の熱も効率良くバーンイン室２
１外へ放出される。さらに、炉本体７内には、吸気ダク
ト３１を通った外気が導入されるので、バーンイン完了
時には、完了台数に拘わりなく、炉本体７内の温度が効
率よく下げられ、短時間で常温になる。このため、バー
ンイン炉６の稼働率が向上する。
【００２３】さらにまた、炉本体７に外気を導入する吸
気ダクト３１の端部にエアフィルタ３２を取り付けたの
で、炉本体７内のクリーン度を維持することができる。
気ダクト３１の端部にエアフィルタ３２を取り付けたの
で、炉本体７内のクリーン度を維持することができる。
【００２４】このように、全部のバーンイン炉６の扉８
面を作業エリア２６内に配置するとともに、それ以外の
面をダートゾーン２７内に配置し、かつ炉本体７内には
外気を導入することにより、温度，湿度，空気の清浄度
の管理基準を分けることができ、この結果省エネを図
り、バーンイン装置の運転コストを抑えることができ
る。例えば、ダートゾーン２７は温度（３５℃以下）だ
けを管理するのに対して、作業エリア２６は温度，湿
度，清浄度を管理すると、作業環境の管理ゾーンが床面
積比で約１／３に狭くなり、冷房用電力費等のコストが
下がることになる。
面を作業エリア２６内に配置するとともに、それ以外の
面をダートゾーン２７内に配置し、かつ炉本体７内には
外気を導入することにより、温度，湿度，空気の清浄度
の管理基準を分けることができ、この結果省エネを図
り、バーンイン装置の運転コストを抑えることができ
る。例えば、ダートゾーン２７は温度（３５℃以下）だ
けを管理するのに対して、作業エリア２６は温度，湿
度，清浄度を管理すると、作業環境の管理ゾーンが床面
積比で約１／３に狭くなり、冷房用電力費等のコストが
下がることになる。
【００２５】なお、上記実施例１では、ダートゾーン２
７への外気の取込口に床下空調機２８を取り付けたが、
冬期は床下空調機２８を運転しないこともあるので、床
下空調機２８の運転を省略することも可能である。
７への外気の取込口に床下空調機２８を取り付けたが、
冬期は床下空調機２８を運転しないこともあるので、床
下空調機２８の運転を省略することも可能である。
【００２６】また、作業エリア２６内の気圧をダートゾ
ーン２７内の気圧よりも高く保持することにより、ダー
トゾーン２７から作業エリア２６へのダストの侵入をさ
らに防止することができ、作業エリア２６の空気の清浄
度を高めることができる。
ーン２７内の気圧よりも高く保持することにより、ダー
トゾーン２７から作業エリア２６へのダストの侵入をさ
らに防止することができ、作業エリア２６の空気の清浄
度を高めることができる。
【００２７】実施例２．次に、図３は請求項５の発明の
一実施例によるバーンイン装置の内部を示す概略の平面
図である。図において、３３は一端部がバーンイン室２
１外に開口し他端部が分岐されて複数台（ここでは３
台）のバーンイン炉６の炉吸気口１２に接続されている
吸気ダクトである。
一実施例によるバーンイン装置の内部を示す概略の平面
図である。図において、３３は一端部がバーンイン室２
１外に開口し他端部が分岐されて複数台（ここでは３
台）のバーンイン炉６の炉吸気口１２に接続されている
吸気ダクトである。
【００２８】このようなバーンイン装置では、吸気ダク
ト３３の一端部から集合吸気した外気を複数台のバーン
イン炉６に分配して供給することにより、各バーンイン
炉６の降温，恒温性能のばらつきを抑えることができ
る。
ト３３の一端部から集合吸気した外気を複数台のバーン
イン炉６に分配して供給することにより、各バーンイン
炉６の降温，恒温性能のばらつきを抑えることができ
る。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
バーンイン装置は、バーンイン室内を仕切壁により作業
エリア及びダートゾーンに分け、扉が作業エリア内に臨
むようにバーンイン炉をバーンイン室内に設置し、作業
エリアの環境をダートゾーンとは別に管理するようにし
たので、作業エリアの温度上昇を効率良く防止して、作
業環境を改善することができ、かつ省エネを図るととも
に作業エリアの冷房用電力費を節減することができるな
どの効果を奏する。
バーンイン装置は、バーンイン室内を仕切壁により作業
エリア及びダートゾーンに分け、扉が作業エリア内に臨
むようにバーンイン炉をバーンイン室内に設置し、作業
エリアの環境をダートゾーンとは別に管理するようにし
たので、作業エリアの温度上昇を効率良く防止して、作
業環境を改善することができ、かつ省エネを図るととも
に作業エリアの冷房用電力費を節減することができるな
どの効果を奏する。
【００３０】また、請求項２の発明のバーンイン装置
は、バーンイン炉の炉吸気口にバーンイン室外の空気を
導入する吸気ダクトを接続したので、上記請求項１の発
明と同様の効果に加えて、バーンイン炉内の温度を効率
良く低下させることができ、バーンイン炉の稼働率を向
上させることができるという効果を奏する。
は、バーンイン炉の炉吸気口にバーンイン室外の空気を
導入する吸気ダクトを接続したので、上記請求項１の発
明と同様の効果に加えて、バーンイン炉内の温度を効率
良く低下させることができ、バーンイン炉の稼働率を向
上させることができるという効果を奏する。
【００３１】さらに、請求項３の発明のバーンイン装置
は、作業エリア内の気圧をダートゾーン内の気圧よりも
高くしたので、上記請求項１の発明と同様の効果に加え
て、ダートゾーンから作業エリア内へのダストの侵入を
防止することができ、作業エリア内の清浄度を高めるこ
とができるという効果を奏する。
は、作業エリア内の気圧をダートゾーン内の気圧よりも
高くしたので、上記請求項１の発明と同様の効果に加え
て、ダートゾーンから作業エリア内へのダストの侵入を
防止することができ、作業エリア内の清浄度を高めるこ
とができるという効果を奏する。
【００３２】さらにまた、請求項４の発明のバーンイン
装置は、ダートゾーンの床下空間からバーンイン室外の
空気を取り込み、その空気をダートゾーンの屋根から排
気するようにしたので、上記請求項１の発明と同様の効
果に加えて、ダートゾーン内の温度を効率良く低下させ
ることができ、バーンイン炉の稼働率を向上させること
ができるという効果を奏する。
装置は、ダートゾーンの床下空間からバーンイン室外の
空気を取り込み、その空気をダートゾーンの屋根から排
気するようにしたので、上記請求項１の発明と同様の効
果に加えて、ダートゾーン内の温度を効率良く低下させ
ることができ、バーンイン炉の稼働率を向上させること
ができるという効果を奏する。
【００３３】また、請求項５の発明のバーンイン装置
は、一端部がバーンイン室外に開口し他端部が分岐され
て複数台のバーンイン炉の炉吸気口に接続されている吸
気ダクトにより、バーンイン炉内に外気を導入するよう
にしたので、上記請求項２の発明と同様の効果に加え
て、各バーンイン炉の降温，恒温性能のばらつきを抑え
ることができるという効果を奏する。
は、一端部がバーンイン室外に開口し他端部が分岐され
て複数台のバーンイン炉の炉吸気口に接続されている吸
気ダクトにより、バーンイン炉内に外気を導入するよう
にしたので、上記請求項２の発明と同様の効果に加え
て、各バーンイン炉の降温，恒温性能のばらつきを抑え
ることができるという効果を奏する。
【図１】請求項１ないし請求項４の発明の一実施例によ
るバーンイン装置の断面図である。
るバーンイン装置の断面図である。
【図２】図１の装置内部の概略の平面図である。
【図３】請求項５の発明の一実施例によるバーンイン装
置の内部を示す概略の平面図である。
置の内部を示す概略の平面図である。
【図４】従来のバーンイン装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図５】図４の装置内部の概略の平面図である。
【図６】図４のバーンインボードを示す斜視図である。
６ バーンイン炉 ８ 扉 １２ 炉吸気口 ２１ バーンイン室 ２４ 屋根 ２５ 仕切壁 ２６ 作業エリア ２７ ダートゾーン ２９ 床下空間 ３１ 吸気ダクト ３３ 吸気ダクト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−22569（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−147067（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−40877（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−226454（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−332588（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−82429（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−142875（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−41782（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−79839（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−31230（ＪＰ，Ｕ) 特公 平４−54962（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 G01R 31/26 H01L 21/02 H01L 21/326
Claims (5)
- 【請求項１】 バーンイン室と、このバーンイン室内を
作業エリア及びダートゾーンに分ける仕切壁と、扉が上
記作業エリア内に臨むように上記バーンイン室内に設置
されているバーンイン炉とを備え、上記作業エリアの環
境が上記ダートゾーンとは別に管理されるようになって
いることを特徴とするバーンイン装置。 - 【請求項２】 バーンイン室と、このバーンイン室内を
作業エリア及びダートゾーンに分ける仕切壁と、扉が上
記作業エリア内に臨むように上記バーンイン室内に設置
されているバーンイン炉と、このバーンイン炉の炉吸気
口に上記バーンイン室外の空気を導入する吸気ダクトと
を備え、上記作業エリアの環境が上記ダートゾーンとは
別に管理されるようになっていることを特徴とするバー
ンイン装置。 - 【請求項３】 バーンイン室と、このバーンイン室内を
作業エリア及びダートゾーンに分ける仕切壁と、扉が上
記作業エリア内に臨むように上記バーンイン室内に設置
されているバーンイン炉とを備え、上記作業エリアの環
境が上記ダートゾーンとは別に管理されるようになって
いるとともに、上記作業エリア内の気圧が上記ダートゾ
ーン内の気圧よりも高くなっていることを特徴とするバ
ーンイン装置。 - 【請求項４】 バーンイン室と、このバーンイン室内を
作業エリア及びダートゾーンに分ける仕切壁と、扉が上
記作業エリア内に臨むように上記バーンイン室内に設置
されているバーンイン炉とを備え、上記作業エリアの環
境が上記ダートゾーンとは別に管理されるようになって
おり、かつ上記ダートゾーンは、床下空間から上記バー
ンイン室外の空気を取り込み、屋根から排気するように
なっていることを特徴とするバーンイン装置。 - 【請求項５】 バーンイン室と、このバーンイン室内を
作業エリア及びダートゾーンに分ける仕切壁と、扉が上
記作業エリア内に臨むように上記バーンイン室内に設置
されている複数台のバーンイン炉と、一端部が上記バー
ンイン室外に開口し他端部が分岐されて複数台のバーン
イン炉の炉吸気口に接続されている吸気ダクトとを備
え、上記作業エリアの環境が上記ダートゾーンとは別に
管理されるようになっていることを特徴とするバーンイ
ン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075585A JP2881089B2 (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | バーンイン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5075585A JP2881089B2 (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | バーンイン装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06291168A JPH06291168A (ja) | 1994-10-18 |
| JP2881089B2 true JP2881089B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=13580426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5075585A Expired - Fee Related JP2881089B2 (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | バーンイン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2881089B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-01 JP JP5075585A patent/JP2881089B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH06291168A (ja) | 1994-10-18 |
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