JP2879220B2 - Ultrasonic motor drive circuit - Google Patents

Ultrasonic motor drive circuit

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Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、超音波モータを安定駆動させるための駆
動回路に関する。
The present invention relates to a drive circuit for stably driving an ultrasonic motor.

「従来の技術」 圧電セラミックなどの圧電素子をステータに貼着し、
このステータに弾性振動を励起させてロータを回転させ
る超音波モータが知られている。
"Conventional technology" A piezoelectric element such as piezoelectric ceramic is attached to the stator,
An ultrasonic motor that excites the stator with elastic vibration to rotate the rotor is known.

第9図はこの種のモータの駆動体11と回転体12とを簡
略的に示したもので、円形のステータ13の後面には薄板
状の圧電素子14が貼着され、その前面には周囲に沿って
放射状となったスリットが形成されている。
FIG. 9 schematically shows a driving body 11 and a rotating body 12 of this type of motor. A thin plate-shaped piezoelectric element 14 is adhered to a rear surface of a circular stator 13 and a peripheral surface is attached to a front surface thereof. Are formed along the slit.

このステータ13と圧電素子14が駆動体11としてその前
面に振動進行波λを発生する。
The stator 13 and the piezoelectric element 14 serve as the driving body 11 to generate a traveling vibration wave λ on the front surface thereof.

回転体12は円形のロータ15にスライダ16を貼着したも
ので、スライダ16を上記ステータ13に圧接する。この回
転体12は駆動体11の振動によって駆動され振動進行波方
向とは反対に回転する。
The rotating body 12 is formed by attaching a slider 16 to a circular rotor 15, and presses the slider 16 against the stator 13. The rotating body 12 is driven by the vibration of the driving body 11 and rotates in the direction opposite to the traveling wave direction.

第10図は駆動体11の拡大背面図で、図示する如く圧電
素子14は分極され、この分極に対して3つの電極14a、1
4b、14cが設けられている。これら電極14a、14bに対し
ては90゜の位相差をもった2系統の高周波電圧Va、Vbを
与えるようになっている。具体例を述べれば、Va=Vsin
(ωt)、Vb=Vcos(ωt)として印加する。なお、各
電極14a〜14cに対してはステータ13を他方の共通電極
(例えば、アース電極)として給電回路に接続する。
FIG. 10 is an enlarged rear view of the driving body 11, in which the piezoelectric element 14 is polarized as shown in FIG.
4b and 14c are provided. To these electrodes 14a and 14b, two high-frequency voltages Va and Vb having a phase difference of 90 ° are applied. To give a specific example, Va = Vsin
(Ωt), Vb = Vcos (ωt). The stator 13 is connected to the power supply circuit as the other common electrode (for example, a ground electrode) for each of the electrodes 14a to 14c.

また、上記のように印加する給電々圧(高周波電圧)
Va、Vbは、20〜300ボルトを必要とするため、カメラや
ビデオカメラなど小形機器の駆動源として使用する場合
には電池電圧を昇圧して交流電圧を出力するインバータ
などの駆動回路が使用されている。
In addition, the feed pressure (high-frequency voltage) applied as described above
Since Va and Vb require 20 to 300 volts, when used as a drive source for small devices such as cameras and video cameras, a drive circuit such as an inverter that boosts the battery voltage and outputs an AC voltage is used. ing.

第11図は上記した駆動回路の一例である。 FIG. 11 shows an example of the drive circuit described above.

この駆動回路では、スイッチ17a、17bを交互に、ま
た、スイッチ18a、18bを交互に開閉して、一方の昇圧ト
ランス19より給電々圧Vaを、他方の昇圧トランス20より
給電々圧Vbを各々出力させる。この駆動回路では、電池
電源21の直流電圧(例えば、3〜12ボルト)が20〜300
ボルトの交流電圧に変換され、圧電素子14の電極14a、1
4bに加えられる。なお、実装回路ではスイッチ17a、17
b、18a、18bを半導体スイッチとして、制御回路によっ
て予め定めた動作条件にしたがってON、OFFを繰り返す
構成としてあり、上記給電々圧Va、Vbが設定された駆動
周波数fsで出力する。
In this drive circuit, the switches 17a and 17b are alternately opened and closed, and the switches 18a and 18b are alternately opened and closed to supply the supply voltage Va from one boost transformer 19 and the supply voltage Vb from the other transformer 20 respectively. Output. In this drive circuit, the DC voltage (for example, 3 to 12 volts) of the battery power supply 21 is 20 to 300 volts.
The voltage is converted to an AC voltage of volts, and the electrodes 14a, 14
Added to 4b. The switches 17a, 17
The semiconductor switches b, 18a, and 18b are configured as semiconductor switches, and are repeatedly turned ON and OFF in accordance with operating conditions predetermined by a control circuit. The power supply pressures Va and Vb are output at a set driving frequency fs.

「発明が解決しようとする課題」 上記した超音波モータは駆動体11特有の共振周波数fm
と反共振周波数fnとを有しており、多くの場合、共振周
波数fmより僅かに高い周波数fs(反共振周波数fnより低
い)の給電々圧Va、Vbで駆動させる構成となっている。
"Problems to be Solved by the Invention" The above-described ultrasonic motor has a resonance frequency fm unique to the driving body 11.
And an anti-resonance frequency fn, and in many cases, are driven by power supply pressures Va and Vb at a frequency fs slightly higher than the resonance frequency fm (lower than the anti-resonance frequency fn).

第12図は周波数fをパラメータとして表わした駆動体
11のインピーダンス特性曲線Aであり、第13図は同様に
周波数fをパラメータとして表わした駆動体11の振幅特
性曲線Bである。
FIG. 12 shows a driving body expressing frequency f as a parameter.
11 is an impedance characteristic curve A, and FIG. 13 is an amplitude characteristic curve B of the driver 11 similarly expressing the frequency f as a parameter.

これらの特性曲線A、Bより分かる如く、共振周波数
fmに近づくほど振幅レベルが高くなることから、この共
振周波数fmより僅かに高い周波数が駆動周波数fsとして
設定される。
As can be seen from these characteristic curves A and B, the resonance frequency
Since the amplitude level increases as the frequency approaches fm, a frequency slightly higher than the resonance frequency fm is set as the drive frequency fs.

また、周波数fdは共振周波数fmより高い領域で最初に
最も低レベルとなる振幅特性の周波数である。
Further, the frequency fd is a frequency having an amplitude characteristic which becomes the lowest level first in a region higher than the resonance frequency fm.

なお、駆動周波数fsが共振周波数fmより低くなると、
駆動性能が極端に悪くなることは広く知られている通り
である。
When the driving frequency fs becomes lower than the resonance frequency fm,
It is widely known that the driving performance becomes extremely poor.

ところで、超音波モータは負荷の大小によって、ま
た、周囲温度の変化や組立上の誤差などの外部的な諸条
件によって共振周波数fmが変動する。例えば、共振周波
数fmが低い方向に変動すると、駆動周波数fsが振幅特性
上Δfsのように移り、この結果、振幅変化Doが生ずるよ
うになり、超音波モータの駆動性能(トルク、回転数な
ど)が低下する。
By the way, the resonance frequency fm of the ultrasonic motor fluctuates depending on the size of the load and external conditions such as a change in ambient temperature and an error in assembly. For example, when the resonance frequency fm fluctuates in a lower direction, the drive frequency fs shifts like Δfs on the amplitude characteristic, and as a result, an amplitude change Do occurs, and the drive performance (torque, rotation speed, etc.) of the ultrasonic motor Decrease.

このような問題を解決するため、共振周波数fmの変動
を抑制する回路など様々な手段構成が提案されている
が、回路部品が多く構成が複雑化した駆動回路となるな
ど、実施化に適当となるものが数少ない。
In order to solve such a problem, various means configurations such as a circuit that suppresses the fluctuation of the resonance frequency fm have been proposed. However, it is suitable for implementation such as a drive circuit having many circuit components and a complicated configuration. There are few things.

本発明は上記した実情にかんがみ、共振周波数fmの変
動にかかわらず超音波モータの安定駆動が可能な駆動回
路を開発することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to develop a drive circuit capable of stably driving an ultrasonic motor irrespective of a change in a resonance frequency fm.

「課題を解決するための手段」 上記目的を達成するため、本発明では、昇圧トランス
の出力電圧により給電して超音波モータを駆動させる駆
動回路において、上記モータの駆動体が有する静電容量
と上記昇圧トランスの出力コイルのインダクタンスとに
よって生ずる並列共振周波数fn1が、上記モータの共振
周波数fmと、この共振周波数fmより高い領域でこのモー
タの振幅特性が最初に最も低レベルとなる周波数fdとの
間となるように回路構成し、かつ、上記周波数fmとfdと
の範囲内に定めるべく、上記出力電圧の周波数を設定し
たことを特徴とする超音波モータの駆動回路を提案す
る。
"Means for Solving the Problems" In order to achieve the above object, according to the present invention, in a driving circuit for driving an ultrasonic motor by supplying power from an output voltage of a step-up transformer, the capacitance of a driving body of the motor and The parallel resonance frequency fn 1 generated by the inductance of the output coil of the step-up transformer is the resonance frequency fm of the motor, and the frequency fd at which the amplitude characteristic of the motor becomes the lowest level first in a region higher than the resonance frequency fm. The present invention proposes a drive circuit for an ultrasonic motor, wherein the circuit is configured so as to fall within the range and the frequency of the output voltage is set so as to be set within the range of the frequencies fm and fd.

「作用」 上記したように、昇圧トランスと超音波モータとによ
って生ずる並列共振周波数fn1を所定の条件にしたがっ
て定めることにより、共振周波数fmを越えた直後の周波
数帯域での振幅特性をレベル変動の少ないものに改善す
ることができる。
"Effect" as described above, by determining the parallel resonance frequency fn 1 caused by the step-up transformer and the ultrasonic motor according to a predetermined condition, the amplitude characteristic level variation in the frequency band immediately beyond the resonance frequency fm Can be improved to less.

この結果、上記した周波数fmとfdとの範囲内に駆動周
波数fsを定めることにより、共振周波数fmの変動による
超音波モータのトルクや回転数などの変化が極めて少な
くなる。
As a result, by setting the drive frequency fs within the range between the above-mentioned frequencies fm and fd, changes in the torque and the number of revolutions of the ultrasonic motor due to the fluctuation of the resonance frequency fm are extremely reduced.

また、昇圧トランスの出力電圧の周波数(駆動周波数
fs)は、共振周波数fmと、この共振周波数fmより高い領
域で最初に最も低レベルとなる振幅特性点の周波数fdと
の間に設定することができ、駆動周波数fsの設定が余裕
をもって行ない得て、回路設計や調整作業に有利とな
る。
Also, the frequency of the output voltage of the step-up transformer (drive frequency
fs) can be set between the resonance frequency fm and the frequency fd of the amplitude characteristic point which becomes the lowest level first in a region higher than the resonance frequency fm, and the drive frequency fs can be set with a margin. This is advantageous for circuit design and adjustment work.

「実施例」 次に、本発明の実施例について図面に沿って説明す
る。
"Example" Next, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は超音波モータの駆動体11を示す簡略図である
が、この駆動体11の一方の電極14aについて電気的に表
わすと第2図に示した等価回路となる。他方の電極14b
についても同様である。
FIG. 1 is a simplified diagram showing the driving body 11 of the ultrasonic motor. When one electrode 14a of the driving body 11 is electrically expressed, the equivalent circuit shown in FIG. 2 is obtained. The other electrode 14b
The same applies to.

この等価回路のRa、Ca、Laは圧電素子14の抵抗、静電
容量及びインダクタンスで、Coは圧電素子14とステータ
13の間などに生ずる静電容量である。なお、Co≫Caの関
係となる。このことから、超音波モータが駆動されると
きには、第3図に示すような回路構成となり、昇圧トラ
ンス19の二次コイル19sが有するインダクタンスL2と、
駆動体11が有する静電容量C1との並列共振が発生するこ
とになる。ただし、静電容量C1=Co+Caである。
In this equivalent circuit, Ra, Ca, and La are the resistance, capacitance, and inductance of the piezoelectric element 14, and Co is the piezoelectric element 14 and the stator.
It is the capacitance that occurs between 13 and so on. Note that the relationship is Co≫Ca. Therefore, when the ultrasonic motor is driven, the third becomes the circuit configuration as shown in FIG., The inductance L 2 of the secondary coil 19s of the step-up transformer 19 has,
Parallel resonance to the capacitance C 1 of driver 11 has will occur. Here, the capacitance C 1 = Co + Ca.

この点については、昇圧トランス20(第11図参照)と
駆動回路11に関しても同じ関係となる。
In this regard, the same relationship holds for the step-up transformer 20 (see FIG. 11) and the drive circuit 11.

この並列共振の周波数fn1を、超音波モータの共振周
波数fmより高く、かつ、共振周波数fmより高い領域で振
幅特性が最初に最も低レベルとなる周波数fdより低く選
ぶと、第4図に示すインピーダンス特性となり、また、
振幅特性が第5図に示すように現われる。
FIG. 4 shows that the frequency fn 1 of the parallel resonance is selected to be higher than the resonance frequency fm of the ultrasonic motor and lower than the frequency fd at which the amplitude characteristic first becomes the lowest level in a region higher than the resonance frequency fm. It becomes impedance characteristic,
The amplitude characteristic appears as shown in FIG.

すなわち、周波数fm、fdの間における振幅特性が第5
図より分かるように、比較的にレベル変化の少ない特性
となる。
That is, the amplitude characteristic between the frequencies fm and fd is the fifth
As can be seen from the figure, the characteristics have relatively little level change.

したがって、昇圧トランスから出力させる給電々圧V
a、Vbの周波数、つまり、駆動周波数fsを図示するよう
に設定すれば、共振周波数fmが変動にしたがってΔfsの
ように移り、振幅特性の変化をD1程度に抑えることがで
きる。
Therefore, the feed voltage V output from the step-up transformer
a, the frequency of Vb, that is, by setting as illustrated driving frequency fs, moves to the resonance frequency fm is Δfs accordance variation, it is possible to suppress a change in the amplitude characteristic in the order D 1.

このようにして、負荷の大小、周囲温度の変化、超音
波モータの組立て誤差などに原因して共振周波数fmが変
動した場合にも、振幅特性の改善によって超音波モータ
の安定した運転が可能になる。
In this way, even if the resonance frequency fm fluctuates due to the size of the load, changes in the ambient temperature, or errors in assembling the ultrasonic motor, stable operation of the ultrasonic motor can be achieved by improving the amplitude characteristics. Become.

並列共振周波数fn1を周波数fdより高く選んだ場合に
は、第6図に示すインピーダンス特性となり、この結
果、振幅特性が第7図に示すようにレベル変化の大きい
ものとなる。
If the selected higher than the frequency fd of the parallel resonance frequency fn 1 becomes the impedance characteristic shown in FIG. 6, as a result, becomes amplitude characteristics is large in level change as shown in Figure 7.

この場合、共振周波数fmの変動によって駆動周波数が
Δfsのように移り、振幅特性のレベル変化がD2のように
大きくなる。このため、並列共振周波数fn1について
は、fm<fn1<fdの条件にしたがって設定する必要があ
る。
In this case, the driving frequency by variation of the resonance frequency fm is shifted as? Fs, the level change in the amplitude characteristic increases as D 2. Therefore, for the parallel resonance frequency fn 1, it is necessary to set according to the conditions of fm <fn 1 <fd.

並列共振周波数fn1の式によって求めることができる。The parallel resonance frequency fn 1 is Can be obtained by the following equation.

なお、駆動体11の静電容量C1は予め算出されており、
インダクタンスL2は二次コイルの巻数によって決めるこ
とができる。
Incidentally, the capacitance C 1 of the driver 11 is calculated in advance,
Inductance L 2 can be determined by the number of turns of the secondary coil.

既在の昇圧トランス22、23を使って並列共振周波数fn
1を設定するときには、第8図に示した如く、各昇圧ト
ランス22、23の出力側にインダクタンスを可変できるコ
イル24、25を接続する構成としてもよい。
Using the existing step-up transformers 22 and 23, the parallel resonance frequency fn
When 1 is set, as shown in FIG. 8, coils 24 and 25 whose inductance can be varied may be connected to the output side of each of the step-up transformers 22 and 23.

「発明の効果」 上記した通り、本発明に係る駆動回路は、並列共振周
波数fn1が、超音波モータの共振周波数fmと、この共振
周波数fmより高い領域でこのモータの振幅特性が最も低
レベルとなる周波数fdとの間となるように構成すること
によって、共振周波数fmを越えた直後の周波数帯域をレ
ベル変動の少ないモータの振幅特性に改善すると共に、
駆動周波数fsを上記した周波数fmとfdとの間に定めたこ
とから、負荷の状態や周囲温度の変化、或いは、モータ
組立てのときの誤差などによる外部的な諸条件によって
共振周波数fmが変動したとしても、超音波モータのトル
ク、回転数などの駆動性能を低下させることなく安定し
た運転が可能になる。
[Effects of the Invention] As described above, in the drive circuit according to the present invention, the parallel resonance frequency fn 1 is equal to the resonance frequency fm of the ultrasonic motor, and the amplitude characteristic of the motor has the lowest level in a region higher than the resonance frequency fm. The frequency band immediately after the resonance frequency fm is exceeded by improving the frequency characteristic of the motor with little level fluctuation by configuring so as to be between the frequency fd that becomes
Since the drive frequency fs was set between the above-mentioned frequencies fm and fd, the resonance frequency fm fluctuated due to external conditions such as changes in load conditions and ambient temperature, or errors in assembling the motor. However, stable operation can be performed without lowering the driving performance such as the torque and the number of revolutions of the ultrasonic motor.

その上、運転状態で超音波モータの無効電流を低く抑
えることができるので、モータによる消費電力が軽減さ
れると言う有利さがある。
In addition, since the reactive current of the ultrasonic motor can be kept low in the operating state, there is an advantage that power consumption by the motor is reduced.

また、駆動周波数fsは振幅特性のレベル変化の少ない
周波数帯域内で任意に設定することができるため、駆動
回路の設計、調整などが簡単となる。
Further, since the drive frequency fs can be arbitrarily set within a frequency band where the level change of the amplitude characteristic is small, the design and adjustment of the drive circuit are simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は超音波モータの駆動体を示す簡略図、第2図は
当該駆動体の等価回路を示す図、第3図は上記等価回路
と昇圧トランスとの接続を示す回路図、第4図及び第5
図は本発明の実施例を示すインピーダンス特性と振幅特
性とを示す図、第6図は並列共振周波数fn1を周波数fd
より高い位置に設定したときのインピーダンス特性を示
す図、第7図は第6図のインピーダンス特性によって現
われる振幅特性を示す図、第8図は本発明の他の実施例
を示す簡略的な駆動回路図、第9図は超音波モータの簡
略図、第10図は駆動体の拡大背面図、第11図は駆動回路
の従来例を示す回路図、第12図及び第13図は超音波モー
タ自体のインピーダンス特性と振幅特性を示す図であ
る。 11……駆動体 12……回転体 13……ステータ 14……圧電素子 14a、14b、14c……電極 15……ロータ 16……スライダ 19、20、22、23……昇圧トランス 24、25……コイル
1 is a simplified diagram showing a driving body of an ultrasonic motor, FIG. 2 is a diagram showing an equivalent circuit of the driving body, FIG. 3 is a circuit diagram showing a connection between the equivalent circuit and a step-up transformer, and FIG. And the fifth
Figure figure showing the impedance characteristic and the amplitude characteristic of an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a parallel resonance frequency fn 1 frequency fd
FIG. 7 is a diagram showing impedance characteristics when set to a higher position, FIG. 7 is a diagram showing amplitude characteristics appearing by the impedance characteristics of FIG. 6, and FIG. 8 is a simplified drive circuit showing another embodiment of the present invention. Fig. 9, Fig. 9 is a simplified diagram of an ultrasonic motor, Fig. 10 is an enlarged rear view of a driving body, Fig. 11 is a circuit diagram showing a conventional example of a driving circuit, Figs. 12 and 13 are ultrasonic motors themselves. FIG. 3 is a diagram showing impedance characteristics and amplitude characteristics of the present invention. 11 ... Driver 12 ... Rotator 13 ... Stator 14 ... Piezoelectric elements 14a, 14b, 14c ... Electrode 15 ... Rotor 16 ... Slider 19, 20, 22, 23 ... Step-up transformer 24, 25 ... …coil

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−178775(JP,A) 特開 昭63−202278(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H02N 2/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-63-178775 (JP, A) JP-A-63-202278 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H02N 2/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】昇圧トランスの出力電圧により給電して超
音波モータを駆動させる駆動回路において、上記モータ
の駆動体が有する静電容量と上記昇圧トランスの出力コ
イルのインダクタンスとによって生ずる並列共振周波数
fn1が、上記モータの共振周波数fmと、この共振周波数f
mより高い領域でこのモータの振幅特性が最初に最も低
レベルとなる周波数fdとの間となるように回路構成し、
かつ、上記周波数fmとfdとの範囲内に定めるべく、上記
出力電圧の周波数を設定したことを特徴とする超音波モ
ータの駆動回路。
1. A drive circuit for driving an ultrasonic motor by supplying power with an output voltage of a step-up transformer, wherein a parallel resonance frequency generated by a capacitance of a driver of the motor and an inductance of an output coil of the step-up transformer.
fn 1 is the resonance frequency fm of the motor and the resonance frequency f
The circuit is configured so that the amplitude characteristic of this motor is initially at the lowest frequency fd in the region higher than m,
And a driving circuit for the ultrasonic motor, wherein the frequency of the output voltage is set so as to be set within the range between the frequencies fm and fd.
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WO2023095545A1 (en) 2021-11-24 2023-06-01 キヤノン株式会社 Vibration-type drive device, vibration-type actuator control device, and equipment

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