JP3131520B2 - Ultrasonic motor drive circuit - Google Patents

Ultrasonic motor drive circuit

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JP3131520B2
JP3131520B2 JP05035730A JP3573093A JP3131520B2 JP 3131520 B2 JP3131520 B2 JP 3131520B2 JP 05035730 A JP05035730 A JP 05035730A JP 3573093 A JP3573093 A JP 3573093A JP 3131520 B2 JP3131520 B2 JP 3131520B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータ駆動回
路、詳しくは、超音波モータの最適駆動を行う超音波モ
ータ駆動回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor driving circuit, and more particularly to an ultrasonic motor driving circuit for optimally driving an ultrasonic motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、超音波モータの駆動回路は種々提
案されていて、たとえば、特開昭59−204477号
公報には、超音波モータに配設されたモニタ電極からの
出力信号(モニタ信号)の電圧値が超音波モータの振動
体の共振周波数で最大となることを利用して、該モニタ
信号の電圧値をモニタし、この電圧値に基づいて該共振
周波数、または、同共振周波数よりもやや高周波の領域
で超音波モータを駆動する技術手段が開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various driving circuits for ultrasonic motors have been proposed. For example, Japanese Unexamined Patent Publication No. Sho 59-204477 discloses an output signal (monitor signal) from a monitor electrode provided in an ultrasonic motor. The voltage value of the monitor signal is monitored by utilizing the fact that the voltage value of ()) becomes maximum at the resonance frequency of the vibrating body of the ultrasonic motor, and based on the voltage value, the resonance frequency or the resonance frequency is calculated. Technical means for driving an ultrasonic motor in a slightly high-frequency region are disclosed.

【0003】また、特開昭61−251490号公報に
は、上記モニタ信号の、駆動電圧に対する位相が共振周
波数付近で大きく変化することを利用して、該モニタ信
号の上記駆動電圧に対する位相差をモニタし、該位相差
に基づいて共振周波数、または、該共振周波数よりもや
や高周波の領域で超音波モータを駆動する技術手段が開
示されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-251490 discloses that the phase difference of the monitor signal with respect to the drive voltage is determined by utilizing the fact that the phase of the monitor signal with respect to the drive voltage greatly changes near the resonance frequency. There is disclosed a technical means for monitoring and driving an ultrasonic motor in a resonance frequency or a region slightly higher than the resonance frequency based on the phase difference.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記特開昭
59−204477号公報および特開昭61−2514
90号公報に示される技術手段は、超音波モータに特別
にモニタ電極を配設する必要があり、製作上、手間がか
かると共にコストの増大を招くことになり好ましくな
い。
However, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 59-204477 and 61-2514 describe the above.
The technical means disclosed in Japanese Patent Publication No. 90 requires an extra arrangement of a monitor electrode in the ultrasonic motor, which is not preferable because it takes time and effort to manufacture and increases the cost.

【0005】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、特別なモニタ電極を配設することなく、最適
駆動周波数を追尾可能な超音波モータ駆動回路を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor driving circuit capable of tracking an optimum driving frequency without providing a special monitor electrode.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明による超音波モータ駆動回路は、誘導性素子
流れる電流をスイッチングする際に発生する誘導起電力
に基づいて交流信号を発生し、該交流信号を駆動信号と
して超音波モータの電気ー機械エネルギー変換素子の電
に印加することにより、超音波モータを駆動する超音
波モータ駆動回路において、上記駆動信号を入力として
スレッショルド電圧と比較することでハイとローからな
る矩形波を出力する波形整形回路と上記駆動信号のゼ
ロ電位からの電圧立ち上がり開始点と上記波形整形回路
の出力矩形波のハイ,ロー信号反転点との間に表れる時
間差であるところの位相差を検出する位相差検出手段
と、上記位相差検出手段の出力に基づいて上記駆動信号
の周波数を制御する周波数制御手段とを具備したことを
特徴とする
In order to achieve the above object, an ultrasonic motor drive circuit according to the present invention comprises an inductive element .
An AC signal is generated based on an induced electromotive force generated when switching a flowing current, and the AC signal is used as a drive signal.
And electrodeposition electric over mechanical energy conversion element of the ultrasonic motor
By applying the electrode, in the ultrasonic motor drive circuit for driving the ultrasonic motor, as an input the driving signal
By comparing with the threshold voltage,
A waveform shaping circuit for outputting a rectangular wave that, the drive signal peptidase
Start point of voltage rise from potential b and waveform shaping circuit
Appears between the high and low signal inversion points of the output square wave
A phase difference detecting means for detecting a phase difference where is between difference, by comprising a frequency control means for controlling the frequency of the drive signal <br/> based on the output of the phase difference detecting means
Features .

【0007】[0007]

【作 用】本発明においては、上記駆動信号を入力とし
てスレッショルド電圧と比較することでハイとローから
なる矩形波を波形整形回路で出力し、上記駆動信号のゼ
ロ電位からの電圧立ち上がり開始点と上記波形整形回路
の出力矩形波のハイ,ロー信号反転点との間に表れる時
間差であるところの位相差を位相差検出手段で検出し、
この位相差検出手段の出力に基づいて、上記駆動信号の
周波数を周波数制御手段で制御する。
[Operation] In the present invention, the above-mentioned drive signal is input.
From high and low by comparing with the threshold voltage
Is output by a waveform shaping circuit, and the driving signal
Start point of voltage rise from potential b and waveform shaping circuit
Appears between the high and low signal inversion points of the output square wave
The phase difference, which is the difference between the two, is detected by the phase difference detecting means ,
Based on the output of the phase difference detection means ,
To control the frequency control means the frequency.

【0008】[0008]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1は、本発明の第1実施例を示す超音波
モータ駆動回路の電気回路図である。
FIG. 1 is an electric circuit diagram of an ultrasonic motor driving circuit showing a first embodiment of the present invention.

【0010】この第1実施例の超音波モータ駆動回路
は、2つの電極5A,5Bを有する公知の超音波モータ
5に所定の2相交流信号を印加し、さらに該交流信号を
モニタして該超音波モータ5の駆動制御を行うものであ
る。
The ultrasonic motor driving circuit according to the first embodiment applies a predetermined two-phase AC signal to a known ultrasonic motor 5 having two electrodes 5A and 5B, and monitors the AC signal to monitor the AC signal. The drive control of the ultrasonic motor 5 is performed.

【0011】すなわち、該駆動回路は、超音波モータ5
に印加する交流駆動信号の約4倍の周波数を有するパル
ス信号φORGを生成並びに出力する発振回路1と、該
発振回路1から出力された上記パルス信号φORGを4
相のパルス信号φ1〜φ4に分周して出力するパルス変
換回路2と、該パルス変換回路2から出力される上記パ
ルス信号φ1〜φ4にそれぞれ対応してスイッチング動
作を行うスイッチングトランジスタQ1〜Q4と、1次
側の中間タップにDC電源10のプラス電圧が供給さ
れ、上記スイッチングトランジスタQ1およびQ2のス
イッチング動作によって1次側がオンし、これに伴い2
次側にA相の交流信号VAを出力するトランスT1と、
同じく上記スイッチングトランジスタQ3およびQ4の
スイッチング動作によって1次側がオンし、2次側にB
相の交流信号VBを出力するトランスT2と、上記トラ
ンスT1出力の一端(A相側)に接続され、上記交流信
号VAを所定のディジタル信号に変換する波形整形回路
4と、該波形整形回路4のディジタル出力信号と上記交
流信号VAとを入力し、該2つの信号の位相を比較して
この結果、すなわち、該2つの信号の位相差を上記発振
回路1に送出する位相比較器3とで主要部が構成されて
いる。
That is, the driving circuit includes the ultrasonic motor 5
An oscillation circuit 1 for generating and outputting a pulse signal φORG having a frequency approximately four times that of an AC drive signal applied to the oscillating circuit 1;
A pulse conversion circuit 2 that divides and outputs the phase pulse signals φ1 to φ4, and switching transistors Q1 to Q4 that perform switching operations corresponding to the pulse signals φ1 to φ4 output from the pulse conversion circuit 2, respectively. The positive voltage of the DC power supply 10 is supplied to the intermediate tap on the primary side, and the primary side is turned on by the switching operation of the switching transistors Q1 and Q2.
A transformer T1 for outputting an A-phase AC signal VA to the next side;
Similarly, the primary side is turned on by the switching operation of the switching transistors Q3 and Q4, and B
A transformer T2 for outputting a phase AC signal VB, a waveform shaping circuit 4 connected to one end (A phase side) of the output of the transformer T1 and converting the AC signal VA into a predetermined digital signal; , And the AC signal VA, and compares the phases of the two signals with each other. The result of the comparison, that is, the phase difference between the two signals, and the phase comparator 3 that sends the phase difference to the oscillation circuit 1 are compared. The main part is configured.

【0012】上記超音波モータ5は、圧電素子を備えた
公知の進行波型超音波モータであり、上述したように2
つの電極5A,5Bを備えている。すなわち、該電極5
A,5Bには、互いに位相が約90°ずれた上記2相
(A相,B相)の交流信号VA,VBが印加されるよう
になっており、この2相の交流信号によって回転駆動が
なされるようになっている。
The ultrasonic motor 5 is a known traveling wave type ultrasonic motor having a piezoelectric element.
It has two electrodes 5A and 5B. That is, the electrode 5
The two-phase (A-phase and B-phase) AC signals VA and VB whose phases are shifted from each other by about 90 ° are applied to A and 5B, and the two-phase AC signals drive rotation. Is to be done.

【0013】上記発振回路1は、予め設定された最適周
波数と、上記位相比較器3からの出力、すなわち、波形
整形回路4のディジタル出力信号と上記交流信号VAと
の位相差とを比較して、この結果より出力する発振周波
数を制御するようになっている。
The oscillation circuit 1 compares a preset optimum frequency with an output from the phase comparator 3, that is, a phase difference between the digital output signal of the waveform shaping circuit 4 and the AC signal VA. The oscillation frequency to be output is controlled based on the result.

【0014】図2は、本第1実施例の超音波モータ駆動
回路における波形整形回路4を示した電気回路図であ
り、図3は、(a)波形整形回路4の入力信号である交
流信号VAの信号波形、(b)該波形整形回路4におけ
るコンパレータ6の反転側入力波形および非反転側入力
波形を示した信号波形、(c)該波形整形回路4の出力
信号である交流信号VAの信号整形波形をそれぞれ示し
た線図である。また、図3(a)(b)(c)中に示さ
れた実線波形、点線波形、一点鎖線波形は、それぞれが
お互いに対応している
FIG. 2 is an electric circuit diagram showing the waveform shaping circuit 4 in the ultrasonic motor driving circuit according to the first embodiment. FIG. 3A shows an AC signal which is an input signal of the waveform shaping circuit 4. VA signal waveform, (b) a signal waveform showing an inverted input waveform and a non-inverted input waveform of the comparator 6 in the waveform shaping circuit 4, and (c) an AC signal VA which is an output signal of the waveform shaping circuit 4. It is the diagram which each showed the signal shaping waveform. 3 (a), 3 (b) and 3 (c).
The solid, dotted, and dashed-dot waveforms
They correspond to each other .

【0015】上記波形整形回路4は、図2に示すよう
に、電圧低減用の抵抗R1,R2、クランプダイオード
D1,D2からなる第1の回路と、電圧低減用の抵抗R
3,R4、クランプダイオードD3,D4および抵抗R
5,コンデンサC1による積分回路からなる第2の回路
と、上記第1の回路の出力信号を非反転入力端子に、上
記第2の回路の出力信号を反転入力端子に入力するコン
パレータ6とで構成されている。
As shown in FIG. 2, the waveform shaping circuit 4 includes a first circuit including voltage reducing resistors R1 and R2 and clamp diodes D1 and D2, and a voltage reducing resistor R1.
3, R4, clamp diodes D3, D4 and resistor R
5, a second circuit comprising an integrating circuit formed by a capacitor C1, and a comparator 6 for inputting an output signal of the first circuit to a non-inverting input terminal and inputting an output signal of the second circuit to an inverting input terminal. Have been.

【0016】上記電圧低減用抵抗R1および抵抗R3の
入力端は上記トランスT1の出力端に接続しており、該
トランスT1から出力される交流信号VAは、上記第1
の回路と第2の回路とに入力されるようになっている。
The input terminals of the voltage reducing resistors R1 and R3 are connected to the output terminal of the transformer T1, and the AC signal VA output from the transformer T1 is connected to the first terminal.
And the second circuit.

【0017】この第2の回路に入力された交流信号VA
は(図3(a)参照)、抵抗R3,R4によって減衰、
クランプダイオードD3,D4によって整流され、抵抗
R5,コンデンサC1からなる積分回路で平滑化された
後、コンパレータ6の反転入力端子にスレッショルドレ
ベルとして入力される(図3(b)参照)。なお、上記
抵抗R3,R4の値は、上記クランプダイオードD3,
D4によって整流される電圧範囲内に上記交流信号VA
波形の頭部が含まれるように設定されている。
The AC signal VA input to the second circuit
(See FIG. 3 (a)) is attenuated by resistors R3 and R4.
After being rectified by the clamp diodes D3 and D4 and smoothed by an integrating circuit composed of the resistor R5 and the capacitor C1, it is input to the inverting input terminal of the comparator 6 as a threshold level (see FIG. 3B). The values of the resistors R3 and R4 are equal to the values of the clamp diodes D3 and R3.
The AC signal VA is within the voltage range rectified by D4.
It is set to include the head of the waveform.

【0018】一方、上記第1の回路に入力された交流信
号VAは、抵抗R1,R2によって減衰、クランプダイ
オードD1,D2によって整流された後、コンパレータ
6の非反転入力端子に入力される(図3(b)参照)。
なお、上記抵抗R1,R2の値は、交流信号VA波形の
最も波形変化の著しい位置が、クランプダイオードD
1,D2による電圧範囲内で上記スレッショルドレベル
位置にくるように設定されている。
On the other hand, the AC signal VA input to the first circuit is attenuated by the resistors R1 and R2, rectified by the clamp diodes D1 and D2, and then input to the non-inverting input terminal of the comparator 6 (FIG. 3 (b)).
Note that the values of the resistors R1 and R2 indicate that the position of the AC signal VA waveform where the waveform change is most remarkable is the clamp diode
The threshold level position is set within the voltage range defined by D1 and D2.

【0019】このような構成により、交流信号VA波形
がある一定の割合のスレッショルドレベルでディジタル
波形に波形整形され(図3(c)参照)、上記位相比較
器3に対して出力されるようになっている。
With such a configuration, the waveform of the AC signal VA is shaped into a digital waveform at a certain threshold level (see FIG. 3C), and is output to the phase comparator 3. Has become.

【0020】次に、本第1実施例の動作について説明す
る。
Next, the operation of the first embodiment will be described.

【0021】図4は、本第1実施例の超音波モータ駆動
回路における交流信号VAと該交流信号VAの整形波形
との位相差と、該交流信号VAの駆動周波数との関係を
示した線図である。
FIG. 4 is a line showing the relationship between the phase difference between the AC signal VA and the shaped waveform of the AC signal VA in the ultrasonic motor drive circuit of the first embodiment and the drive frequency of the AC signal VA. FIG.

【0022】この図4に示すように、A相の交流信号V
Aと該交流信号VAの整形波形との位相差をΔφとする
と、該位相差Δφを所定値に保つように駆動周波数を上
下させて調整すれば、最適駆動周波数の追尾が可能とな
る。なお、図中、位相差Δφは、整形波形−交流信号V
Aで示されている。
As shown in FIG. 4, the A-phase AC signal V
Assuming that the phase difference between A and the shaped waveform of the AC signal VA is Δφ, if the drive frequency is adjusted by raising or lowering the drive frequency so as to maintain the phase difference Δφ at a predetermined value, it is possible to track the optimum drive frequency. Note that in the figure, the phase difference Δφ is
Indicated by A.

【0023】具体的には、発振回路1において、予想さ
れる最適駆動周波数よりやや高めの44KHzより発振
を開始し、上記位相比較器3からの出力に基づいて上記
位相差Δφを監視しながら徐々に該駆動周波数を下げ
る。そして、該位相差Δφが予め設定された最適駆動周
波数に対応する位相差、たとえば、−35゜になるよう
に調整する。すなわち、該位相差Δφが−35°よりも
絶対値で大きくなれば駆動周波数を上げ、小さくなれば
同駆動周波数を下げるように発振周波数を変化させる。
More specifically, the oscillation circuit 1 starts oscillating at 44 KHz, which is slightly higher than the expected optimum driving frequency, and gradually monitors the phase difference Δφ based on the output from the phase comparator 3 while gradually monitoring the phase difference Δφ. Then, the driving frequency is lowered. Then, the phase difference Δφ is adjusted so as to be a phase difference corresponding to a preset optimal driving frequency, for example, −35 °. That is, if the phase difference Δφ becomes larger in absolute value than −35 °, the driving frequency is increased, and if the phase difference Δφ becomes smaller, the oscillation frequency is changed so as to decrease the driving frequency.

【0024】このような動作により、モニタ電極がない
超音波モータの最適駆動周波数の追尾が可能となる。ま
た、無負荷時および加負荷時において変化の少ない特性
部分を利用すれば負荷変化が大きい超音波モータにおい
ても最適駆動周波数の追尾を容易に行うことが可能とな
る。
With such an operation, it is possible to track the optimum driving frequency of the ultrasonic motor having no monitor electrode. In addition, if the characteristic portion having little change at the time of no load and at the time of load is used, it is possible to easily track the optimum driving frequency even in an ultrasonic motor having a large load change.

【0025】また、本第1実施例によれば上述した波形
整形回路を安価な部品で構成することができ、上記電圧
低減抵抗R1およびR3を大きくとればA相の交流信号
VAのパワーロスもほとんど発生しない。
Further, according to the first embodiment, the above-mentioned waveform shaping circuit can be constituted by inexpensive components, and if the voltage reducing resistors R1 and R3 are made large, the power loss of the A-phase AC signal VA is almost completely reduced. Does not occur.

【0026】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。
Next, a second embodiment of the present invention will be described.

【0027】図5は、上記第2実施例の超音波モータ駆
動回路を示した電気回路図である。
FIG. 5 is an electric circuit diagram showing an ultrasonic motor driving circuit according to the second embodiment.

【0028】この第2実施例の超音波モータ駆動回路
は、構成は上記第1実施例とほぼ同一であり、発振回路
1にメモリ7が付加されている点のみが異なっている。
The ultrasonic motor drive circuit of the second embodiment has substantially the same structure as that of the first embodiment, and differs only in that a memory 7 is added to the oscillation circuit 1.

【0029】ところで、一般に、超音波モータは製作上
の寸法等のばらつきにより特性が微妙に変化する。この
ため、各超音波モータには固有の最適な位相差、すなわ
ち、上述したようなA相の交流信号VAと該交流信号V
Aの整形波形との最適な位相差Δφを有することにな
る。本第2実施例では、この各超音波モータが固有の最
適位相差を有することに着目してなされたものであり、
該最適位相差Δφをメモリ7に記憶した上で、上記第1
実施例と同様の周波数制御を行うものである。
In general, the characteristics of an ultrasonic motor slightly change due to variations in dimensions and the like in manufacturing. Therefore, the optimum phase difference unique to each ultrasonic motor, that is, the A-phase AC signal VA and the AC signal V as described above.
A has an optimum phase difference Δφ with the shaped waveform of A. The second embodiment focuses on the fact that each ultrasonic motor has a unique optimum phase difference,
After storing the optimum phase difference Δφ in the memory 7, the first
The same frequency control as in the embodiment is performed.

【0030】本第2実施例によれば、各超音波モータの
製作上のばらつきを補正し、より正確に最適駆動周波数
の追尾が可能となる。
According to the second embodiment, it is possible to correct variations in the manufacturing of the ultrasonic motors and more accurately track the optimum driving frequency.

【0031】なお、本第2実施例において、メモリ7内
に複数の位相差Δφを記憶させておき、電源電圧等に基
づいて該複数の位相差Δφを選択して用いることも可能
である。
In the second embodiment, it is also possible to store a plurality of phase differences Δφ in the memory 7 and to select and use the plurality of phase differences Δφ based on a power supply voltage or the like.

【0032】また、上記第1および第2実施例において
は、A相の交流信号VAと該交流信号VAの整形波形と
の位相差に基づいて最適駆動周波数制御を行っている
が、B相の交流信号VBとその整形波形もしくは両方の
相の交流信号とその整形波形との位相差を用いてもよ
い。
In the first and second embodiments, the optimum drive frequency control is performed based on the phase difference between the A-phase AC signal VA and the shaped waveform of the AC signal VA. The phase difference between the AC signal VB and its shaped waveform or the AC signal of both phases and its shaped waveform may be used.

【0033】一方、発振回路1はVCOやディジタル分
周発振等の何れの発振手段を用いても構成でき、また、
4倍の周波数でなくとも位相ずらし回路等を用いれば上
述したパルス信号φ1〜φ4を生成することが可能であ
る。さらに、超音波モータ5は、進行波型以外でも周波
数等によってインピーダンスが変化するもので位相差Δ
φに変化を生じるものならば何れも利用することが可能
である。
On the other hand, the oscillating circuit 1 can be constituted by using any oscillating means such as a VCO and a digital frequency dividing oscillator.
Even if the frequency is not four times, if the phase shift circuit or the like is used, the above-described pulse signals φ1 to φ4 can be generated. Further, the ultrasonic motor 5 has a phase difference Δ
Any type that changes φ can be used.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、特
にモニタ電極を具備しない安価な超音波モータであって
も最適駆動周波数を追尾できる超音波モータ駆動回路を
提供できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ultrasonic motor driving circuit which can track the optimum driving frequency even with an inexpensive ultrasonic motor having no monitor electrode.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す超音波モータ駆動回
路の電気回路図である。
FIG. 1 is an electric circuit diagram of an ultrasonic motor drive circuit showing a first embodiment of the present invention.

【図2】上記第1実施例の超音波モータ駆動回路におけ
る波形整形回路の構成を示す電気回路図である。
FIG. 2 is an electric circuit diagram showing a configuration of a waveform shaping circuit in the ultrasonic motor drive circuit of the first embodiment.

【図3】上記第1実施例の超音波モータ駆動回路におい
て、(a)波形整形回路の入力信号である交流信号VA
の信号波形、(b)該波形整形回路におけるコンパレー
タの反転側入力波形および非反転側入力波形を示した信
号波形、(c)該波形整形回路の出力信号である交流信
号VAの信号整形波形をそれぞれ示した線図である。
FIG. 3 shows (a) an AC signal VA which is an input signal of a waveform shaping circuit in the ultrasonic motor driving circuit of the first embodiment.
(B) a signal waveform showing an inverted input waveform and a non-inverted input waveform of a comparator in the waveform shaping circuit, and (c) a signal shaping waveform of an AC signal VA which is an output signal of the waveform shaping circuit. It is the diagram respectively shown.

【図4】上記第1実施例の超音波モータ駆動回路におい
て、交流信号VAと該交流信号VAの整形波形との位相
差と、駆動周波数との関係を示した線図である。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a driving frequency and a phase difference between an AC signal VA and a shaped waveform of the AC signal VA in the ultrasonic motor driving circuit of the first embodiment.

【図5】本発明の第2実施例を示す超音波モータ駆動回
路の電気回路図である。
FIG. 5 is an electric circuit diagram of an ultrasonic motor drive circuit showing a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…発振回路 2…パルス変換回路 3…位相比較器 4…波形整形回路 5…超音波モータ 6…コンパレータ 10…DC電源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Oscillation circuit 2 ... Pulse conversion circuit 3 ... Phase comparator 4 ... Waveform shaping circuit 5 ... Ultrasonic motor 6 ... Comparator 10 ... DC power supply

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H02N 2/16

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 誘導性素子に流れる電流をスイッチング
する際に発生する誘導起電力に基づいて交流信号を発生
し、該交流信号を駆動信号として超音波モータの電気ー
機械エネルギー変換素子の電極に印加することにより、
超音波モータを駆動する超音波モータ駆動回路におい
て、上記駆動信号を入力としてスレッショルド電圧と比較す
ることでハイとローからなる矩形波を出力する波形整形
回路と上記駆動信号のゼロ電位からの電圧立ち上がり開始点と
上記波形整形回路の出力矩形波のハイ,ロー信号反転点
との間に表れる時間差であるところの 位相差を検出する
位相差検出手段と、 上記位相差検出手段の出力に基づいて上記駆動信号の周
波数を制御する周波数制御手段と、 を具備したことを特徴とする超音波モータ駆動回路。
An AC signal is generated based on an induced electromotive force generated when switching a current flowing through an inductive element , and the AC signal is used as a drive signal to be applied to an electrode of an electromechanical energy conversion element of an ultrasonic motor. By applying
In the ultrasonic motor drive circuit for driving the ultrasonic motor, the drive signal is input and compared with a threshold voltage.
Waveform that outputs a square wave consisting of high and low
Circuit, and a starting point of voltage rise from zero potential of the drive signal.
High and low signal inversion points of the square wave output from the waveform shaping circuit
A phase difference detecting means for detecting a phase difference that is a time difference appearing between: and a frequency controlling means for controlling a frequency of the drive signal based on an output of the phase difference detecting means. Ultrasonic motor drive circuit.
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