JP2878769B2 - 増分尺度に対して相対的に走査装置の基準点の位置を決定するための方法，および基準点形成器 - Google Patents
増分尺度に対して相対的に走査装置の基準点の位置を決定するための方法，および基準点形成器Info
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- JP2878769B2 JP2878769B2 JP2078593A JP7859390A JP2878769B2 JP 2878769 B2 JP2878769 B2 JP 2878769B2 JP 2078593 A JP2078593 A JP 2078593A JP 7859390 A JP7859390 A JP 7859390A JP 2878769 B2 JP2878769 B2 JP 2878769B2
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、増分尺度に対して相対的に走査装置の基準
点の位置を決定するための方法、および基準点形成器に
関する。
点の位置を決定するための方法、および基準点形成器に
関する。
（従来の技術および発明が解決しようとする課題） 増分尺度に対して相対的に走査装置の基準点の位置を
決定する方法は、たとえば、自動生産装置の制御におい
て、長さ方向に移動可能な物体の道程を把握するために
利用される。その場合、この道程に対して要求される精
度は、自動装置の生産精度に非常に重要である。
決定する方法は、たとえば、自動生産装置の制御におい
て、長さ方向に移動可能な物体の道程を把握するために
利用される。その場合、この道程に対して要求される精
度は、自動装置の生産精度に非常に重要である。
公知の方法は、およそ２μｍまでのマーク解析をする
増分尺度を使用する。このように、予め与えられている
解析を十分に利用するために、しかも、マーク間の補完
を行なえるようにするために、通常のマークを読み取る
走査装置は、非常に正確に案内されなければならない。
それ故、高い測定精度を得るために、この種の測定シス
テムを生産する際には、非常にわずかな生産上の許容誤
差を守られなければならず、このことが、相応にコスト
に響く。もう１つの欠点は、走査装置における案内装置
の摩耗が進むことにより、測定の不正確さが絶えず増加
する、ということである。
増分尺度を使用する。このように、予め与えられている
解析を十分に利用するために、しかも、マーク間の補完
を行なえるようにするために、通常のマークを読み取る
走査装置は、非常に正確に案内されなければならない。
それ故、高い測定精度を得るために、この種の測定シス
テムを生産する際には、非常にわずかな生産上の許容誤
差を守られなければならず、このことが、相応にコスト
に響く。もう１つの欠点は、走査装置における案内装置
の摩耗が進むことにより、測定の不正確さが絶えず増加
する、ということである。
本発明の基礎となる課題は、冒頭に挙げられた種類の
方法を、高い測定精度が、走査装置の案内の精度に左右
されずに得られるように改良することである。
方法を、高い測定精度が、走査装置の案内の精度に左右
されずに得られるように改良することである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、ほぼ一定の距離でマークが配置された増分
尺度に対して走査装置の基準点の位置を決定するための
方法であって、増分尺度に沿った位置の粗決定のため
に、まず走査装置によって、マークが、特に数えられ、
距離で乗じられることにより評価され、細部決定のため
に、基準点と尺度上に隣接して配置された少なくとも３
つの点との間に投影角が決定され、そして、基準点の座
標が、三角関数に従って計算されることにより、マーク
間の補完が行なわれることを特徴としている。
尺度に対して走査装置の基準点の位置を決定するための
方法であって、増分尺度に沿った位置の粗決定のため
に、まず走査装置によって、マークが、特に数えられ、
距離で乗じられることにより評価され、細部決定のため
に、基準点と尺度上に隣接して配置された少なくとも３
つの点との間に投影角が決定され、そして、基準点の座
標が、三角関数に従って計算されることにより、マーク
間の補完が行なわれることを特徴としている。
本発明の作用方法は、次の考察に基づいている。基準
点とこれらマークの間に形成される投影角は、基準点が
マークに関してどれだけの距離にあるかということ、お
よび基準点がどれだけ横にずれているかということにも
左右される。横のずれの寸法は、基準点の尺度からの間
隔が、予め与えられているか、わかっている場合に角度
で導き出される。
点とこれらマークの間に形成される投影角は、基準点が
マークに関してどれだけの距離にあるかということ、お
よび基準点がどれだけ横にずれているかということにも
左右される。横のずれの寸法は、基準点の尺度からの間
隔が、予め与えられているか、わかっている場合に角度
で導き出される。
さらにもう１つのマークが設けられて、基準点と、２
つのマークにおける１つとの間のもう１つの投影角が求
められる場合、２つの投影角の組み合せにより、基準点
があるたった１つの位置が存在する。そして、基準点の
位置は、三角関数で正確に求められる。この関係は、本
発明では十分利用され、それにより、増分尺度からの一
定の距離を守るために走査装置を正確に案内することは
要求されない。この方法は、座標として、尺度軸方向の
寸法も、走査装置の尺度からの間隔を示す寸法も提供す
る。
つのマークにおける１つとの間のもう１つの投影角が求
められる場合、２つの投影角の組み合せにより、基準点
があるたった１つの位置が存在する。そして、基準点の
位置は、三角関数で正確に求められる。この関係は、本
発明では十分利用され、それにより、増分尺度からの一
定の距離を守るために走査装置を正確に案内することは
要求されない。この方法は、座標として、尺度軸方向の
寸法も、走査装置の尺度からの間隔を示す寸法も提供す
る。
計算を実施するためには、次の計算手順が適してい
る。この手順は、次の式で示される。
る。この手順は、次の式で示される。
Z1とZ2の値は、尺度に対する円の中心点の距離を示す。
これらの円は、投影角αとβと一致する同じ円周角の位
置曲線を表わす。円の中心点は、尺度軸に関して、それ
ぞれ２つの隣接するマークの間にある。位置曲線の交点
は、基準点を形成する。特に投影角は、投影面上のマー
クの光学的な図を投影位置の距離測定によって得られ
る。
これらの円は、投影角αとβと一致する同じ円周角の位
置曲線を表わす。円の中心点は、尺度軸に関して、それ
ぞれ２つの隣接するマークの間にある。位置曲線の交点
は、基準点を形成する。特に投影角は、投影面上のマー
クの光学的な図を投影位置の距離測定によって得られ
る。
このようにして、必要な希望する角度の解析は、投影
面上の測定センサーの解折が予め与えられている場合、
投影光学の投影面の距離並びにその焦点距離の適切な選
択により、実現される。
面上の測定センサーの解折が予め与えられている場合、
投影光学の投影面の距離並びにその焦点距離の適切な選
択により、実現される。
本発明はさらに、ほぼ一定の距離でマークが配置され
ている増分尺度に対して走査装置の基準点の位置を決定
するための基準点形成器であり、角度測定装置を有する
走査装置と接続されている計数器および演算器を有して
おり、該計数器は、Ｘ方向の尺度に沿った位置の粗決定
のために、まず走査装置によって通過されるマークが、
特に数えられ、距離で乗じられることにより評価され、
細部決定のためにマーク間の補完を行なうべく、角度測
定装置により基準点と尺度上に隣接して配置されている
３つのマークとの間の角度が決定されるように制御され
ること、さらには、演算器は、基準点の座標（X0、Z0）
を三角関数に従って計算するよう制御されること、を特
徴としている。
ている増分尺度に対して走査装置の基準点の位置を決定
するための基準点形成器であり、角度測定装置を有する
走査装置と接続されている計数器および演算器を有して
おり、該計数器は、Ｘ方向の尺度に沿った位置の粗決定
のために、まず走査装置によって通過されるマークが、
特に数えられ、距離で乗じられることにより評価され、
細部決定のためにマーク間の補完を行なうべく、角度測
定装置により基準点と尺度上に隣接して配置されている
３つのマークとの間の角度が決定されるように制御され
ること、さらには、演算器は、基準点の座標（X0、Z0）
を三角関数に従って計算するよう制御されること、を特
徴としている。
これに関しては、基礎となる課題は、前述の種類の基
準点形成器を、高い測定精度が走査装置の案内の精度に
関わりなく得られるように改良することにある。
準点形成器を、高い測定精度が走査装置の案内の精度に
関わりなく得られるように改良することにある。
そのため本発明による基準点形成装置では、基準点と
尺度上の最低３つの隣接するマークとの間に生じる最低
２つの投影角が求められる。これら２つの投影角は、尺
度からの距離およびマークの尺度方向への横のずれに関
する基準点の位置を明確に定義する。
尺度上の最低３つの隣接するマークとの間に生じる最低
２つの投影角が求められる。これら２つの投影角は、尺
度からの距離およびマークの尺度方向への横のずれに関
する基準点の位置を明確に定義する。
三角関数を使って座標が得られるために、近似（値）
計算によることなく、座標が決定される。特に利点があ
るのは、これにより大きな値に対して正確な補完が可能
なことであり、この補完は、増分尺度上のマークの密度
を著しく低減させることができる。これにより、生産コ
ストも、公知のシステムと比較して低減することが可能
である。
計算によることなく、座標が決定される。特に利点があ
るのは、これにより大きな値に対して正確な補完が可能
なことであり、この補完は、増分尺度上のマークの密度
を著しく低減させることができる。これにより、生産コ
ストも、公知のシステムと比較して低減することが可能
である。
基準値の座標が求められる演算器は、適切に次のよう
に制御される。すなわち、実施される計算手順で、次の
式が利用されるように制御される。
に制御される。すなわち、実施される計算手順で、次の
式が利用されるように制御される。
Z1とZ2は、円の中心点と尺度の間の距離である。円
は、投影角αとβと一致する同じ円周角の位置曲線を表
わす。円の中心点は尺度軸に関して、それぞれ２つの隣
接するマークの間にある。位置曲線の交点は、基準点を
形成する。
は、投影角αとβと一致する同じ円周角の位置曲線を表
わす。円の中心点は尺度軸に関して、それぞれ２つの隣
接するマークの間にある。位置曲線の交点は、基準点を
形成する。
計算は、通常の演算器で早く正確に行なえるために、
走査装置が動作する場合も、実際には、測定の遅れなし
に現実の値が得られる。
走査装置が動作する場合も、実際には、測定の遅れなし
に現実の値が得られる。
実際の形式では、走査装置は、光学的な走査装置とし
て形成されており、該走査装置は、投影面と距離測定装
置を有する光学系を有する。この場合、基準点は、光学
系の投影中心部によって形成される。
て形成されており、該走査装置は、投影面と距離測定装
置を有する光学系を有する。この場合、基準点は、光学
系の投影中心部によって形成される。
この走査装置では、予め与えられている測定センサー
での投影面上の測定精度に必要な角度解析は、投影光学
の投影面の距離並びにその焦点距離を適切に選択するこ
とによって実現される。高い精度の光学的な走査装置の
構成上の大きさは、光学エレクトロニクスの現在の状態
では、非常にわずかな寸法にできるので、走査装置は、
実際上、自動生産装置の測定技術的に適切などのような
個所にも取り付け可能である。
での投影面上の測定精度に必要な角度解析は、投影光学
の投影面の距離並びにその焦点距離を適切に選択するこ
とによって実現される。高い精度の光学的な走査装置の
構成上の大きさは、光学エレクトロニクスの現在の状態
では、非常にわずかな寸法にできるので、走査装置は、
実際上、自動生産装置の測定技術的に適切などのような
個所にも取り付け可能である。
特に投影面と距離測定装置は、ダイオード配列、例え
ばCCD列によって形成されており、この配列は、計数器
と接続されている。
ばCCD列によって形成されており、この配列は、計数器
と接続されている。
この種の構成部材は、多くの技術分野で広く利用され
ることから、コスト的に有利に入手でき、これまでにほ
ぼ完成されていて、信頼できる。絶えず次々と開発され
るため、解析は本質的に改良され、そのため、例えば10
3の光の受容エレメント（画素）は、小さなミリメータ
ーの区間に収容可能である。
ることから、コスト的に有利に入手でき、これまでにほ
ぼ完成されていて、信頼できる。絶えず次々と開発され
るため、解析は本質的に改良され、そのため、例えば10
3の光の受容エレメント（画素）は、小さなミリメータ
ーの区間に収容可能である。
実際の形成では、増分尺度はマークが備えられてお
り、このマークは、約1mmの間隔を有している。
り、このマークは、約1mmの間隔を有している。
説明されている基準点の計算方法により、この間隔
は、道程解折を得るには十分である。本発明でなけれ
ば、マークの配置が本質的にさらに密なものでしかでき
ないであろう。このために尺度の生産は著しく簡単にさ
れた。
は、道程解折を得るには十分である。本発明でなけれ
ば、マークの配置が本質的にさらに密なものでしかでき
ないであろう。このために尺度の生産は著しく簡単にさ
れた。
増分尺度は、低い温度膨張計数の材料、特にアンバー
またはガラスセラミックスで製造されることが好まし
い。
またはガラスセラミックスで製造されることが好まし
い。
これにより、本発明による処置によって得られる高い
システム精度は、比較的広い温度範囲内で守られる。
システム精度は、比較的広い温度範囲内で守られる。
本発明による方法と基準点形成器の構成および有利な
実施は、特許請求範囲、次に続く説明、および図面から
明らかである。
実施は、特許請求範囲、次に続く説明、および図面から
明らかである。
（実施例） 第１図は、側面から見た略図の基準点形成器である。
この送信器は、マーク14を有する増分尺度12を有する
が、これらマークは、それぞれに、符号ａ、ｂ、ｃが付
けられている。尺度12の上側には、走査装置10があり、
該走査装置10は、一方ではマークがどのように通過する
かという事実を記録し、他方では角度測定装置20を有す
る。この角度測定装置20により、マーク14と走査装置10
の基準点の間における投影角が求められる。
この送信器は、マーク14を有する増分尺度12を有する
が、これらマークは、それぞれに、符号ａ、ｂ、ｃが付
けられている。尺度12の上側には、走査装置10があり、
該走査装置10は、一方ではマークがどのように通過する
かという事実を記録し、他方では角度測定装置20を有す
る。この角度測定装置20により、マーク14と走査装置10
の基準点の間における投影角が求められる。
走査装置10は、光学的なものであり、光学系22により
光学像が投影される投影面24および距離測定装置26を有
する。この走査装置では、基準点０は、尺度に向けられ
ている光学系22の投影中心部によって形成されている。
光学像が投影される投影面24および距離測定装置26を有
する。この走査装置では、基準点０は、尺度に向けられ
ている光学系22の投影中心部によって形成されている。
角度測定装置20の構成部材としてある、距離測定装置
26に接続された投影面24は、ダイオード配列、例えばCC
D列によって形成されている。該CCD列の画素の数は、２
つのマークの像の間に、十分多くの中間段階が把握可能
であるように設定される。
26に接続された投影面24は、ダイオード配列、例えばCC
D列によって形成されている。該CCD列の画素の数は、２
つのマークの像の間に、十分多くの中間段階が把握可能
であるように設定される。
走査装置10によって読み取られた値を評価するには、
まず、演算器18と接続されている計数器16、並びに、同
様に演算器18と接続されているもう１つの計数器28が利
用される。その場合、計数器16は、走査装置10が増分尺
度12上を長さ方向に移動するときに通過されるマークの
数を数えることに利用される。従って、この計数器16と
演算器18を用いて、走査装置10の移動距離を粗決定でき
る。この場合、増分尺度12上のマーク14の約1mmの間隔
Δでの配置では、同様にこの大きさ程度の解析されるだ
けである。
まず、演算器18と接続されている計数器16、並びに、同
様に演算器18と接続されているもう１つの計数器28が利
用される。その場合、計数器16は、走査装置10が増分尺
度12上を長さ方向に移動するときに通過されるマークの
数を数えることに利用される。従って、この計数器16と
演算器18を用いて、走査装置10の移動距離を粗決定でき
る。この場合、増分尺度12上のマーク14の約1mmの間隔
Δでの配置では、同様にこの大きさ程度の解析されるだ
けである。
マーク14間の補完は、角度測定装置20によって行なわ
れる。図面からわかるように、ここでは例として、基準
点０に対して角度αまたはβを有するマークａ、ｂ、ｃ
が、投影面24の点ａ′、ｂ′、Ｃ′にそれぞれ角度α′
とβ′で結像される。
れる。図面からわかるように、ここでは例として、基準
点０に対して角度αまたはβを有するマークａ、ｂ、ｃ
が、投影面24の点ａ′、ｂ′、Ｃ′にそれぞれ角度α′
とβ′で結像される。
このとき、距離測定装置26により、投影面24上の投影
点ａ′、ｂ′、Ｃ′の距離測定に関する投影角がそれぞ
れ求められる。距離測定装置26が、例えば、CCD列を有
する場合、マークがこの列の上に写される個所では、電
荷量の変動がひき起こされるが、この電荷量の変動は、
シリアルな読み出しよって計数器28にて記録され、計算
器18によって相応の角度値αとβに換算される。
点ａ′、ｂ′、Ｃ′の距離測定に関する投影角がそれぞ
れ求められる。距離測定装置26が、例えば、CCD列を有
する場合、マークがこの列の上に写される個所では、電
荷量の変動がひき起こされるが、この電荷量の変動は、
シリアルな読み出しよって計数器28にて記録され、計算
器18によって相応の角度値αとβに換算される。
投影角αとβからは、三角関数を利用して、光学系22
の投影中心部と一致する基準点０の座標が求められる。
演算手順を説明するため、第２図が参照されるが、この
図では、第１図から、マークａ、ｂ、ｃと基準点０だけ
が、取り出されている。
の投影中心部と一致する基準点０の座標が求められる。
演算手順を説明するため、第２図が参照されるが、この
図では、第１図から、マークａ、ｂ、ｃと基準点０だけ
が、取り出されている。
しかし、この場合、碁準点０は、マークｂの直接上に
はなく、ここでは、図面でも、基準点０をあらゆる任意
な位置に決定できることを説明している。
はなく、ここでは、図面でも、基準点０をあらゆる任意
な位置に決定できることを説明している。
基準点０とマークａとｂの間には投影角αが形成さ
れ、基準点０とマークｂとｃの間には投影角βが形成さ
れている。マークａ、ｂ、ｃの距離は、それぞれ△とな
る。
れ、基準点０とマークｂとｃの間には投影角βが形成さ
れている。マークａ、ｂ、ｃの距離は、それぞれ△とな
る。
まず、角度αとβだけを考えると、同じ投影角αとβ
を取る様々な点がある。これらの点は、角度αに対して
は円K1により、角度βに対しては円K2によりそれぞれ表
わされている１つの曲線上にある。２つの角度αとβを
組み合わせると、条件が満たされるたった１つの実際的
な点がある。この点は、２つの位置曲線、つまり円K1と
K2の交点によって与えられる。
を取る様々な点がある。これらの点は、角度αに対して
は円K1により、角度βに対しては円K2によりそれぞれ表
わされている１つの曲線上にある。２つの角度αとβを
組み合わせると、条件が満たされるたった１つの実際的
な点がある。この点は、２つの位置曲線、つまり円K1と
K2の交点によって与えられる。
円K1とK2の中心点M1とM2は、次のように決められる。
すなわち、一方ではマークａとｂを結ぶ線分の垂直二等
分線が決められ、さらに、該垂直二等分線とマークａお
よびｂとをそれぞれ投影角αと等しい角度で通り抜ける
直線との交点が求められる。他方では、マークｂとｃを
結ぶ線分の垂直二等分線が決められ、該垂直二等分線と
マークｂおよびｃをそれぞれ投影角βと等しい角度で通
り抜ける直線との交点が求められる。この交点が、中心
点M1およびM2である。
すなわち、一方ではマークａとｂを結ぶ線分の垂直二等
分線が決められ、さらに、該垂直二等分線とマークａお
よびｂとをそれぞれ投影角αと等しい角度で通り抜ける
直線との交点が求められる。他方では、マークｂとｃを
結ぶ線分の垂直二等分線が決められ、該垂直二等分線と
マークｂおよびｃをそれぞれ投影角βと等しい角度で通
り抜ける直線との交点が求められる。この交点が、中心
点M1およびM2である。
中心点M1とM2の尺度軸からの距離、つまり中心点M1と
M2のＺ座標については、 となる。数学的な導関数により となる。すなわち、この方程式は、はっきりとした解決
を導き、普通の演算器で、非常に短時間に演算される。
M2のＺ座標については、 となる。数学的な導関数により となる。すなわち、この方程式は、はっきりとした解決
を導き、普通の演算器で、非常に短時間に演算される。
その場合、Ｘ方向の座標もＺ方向の座標も得ることが
できるので、走査装置10の基準点０を決定する場合、尺
度12から一定の距離とする必要がない。走査装置10の方
向付けも、限界はない。すなわち、走査装置10は、尺度
12に対して斜めでもよい。
できるので、走査装置10の基準点０を決定する場合、尺
度12から一定の距離とする必要がない。走査装置10の方
向付けも、限界はない。すなわち、走査装置10は、尺度
12に対して斜めでもよい。
基準点形成器の特別な利点は、２つの座標が同時に把
握可能なことであり、この代わりに、従来技術では、今
まで２つの独立した道程記録装置が必要であった。
握可能なことであり、この代わりに、従来技術では、今
まで２つの独立した道程記録装置が必要であった。
（発明の効果） 本発明方法では、ほぼ一定の距離でマークが配置され
た増分尺度に対して走査装置の基準点の位置を、高精度
で正確に決定できる。また、本発明の基準点形成装置
は、走査装置の案内の精度に左右されずに高精度で基準
点を形成できる。
た増分尺度に対して走査装置の基準点の位置を、高精度
で正確に決定できる。また、本発明の基準点形成装置
は、走査装置の案内の精度に左右されずに高精度で基準
点を形成できる。
第１図は基準点形成器の概略図、第２図は計算方法を説
明するための投影角の幾何学的図である。 10……走査装置、12……増分尺度、14……マーク、16…
…計数器、18……演算器、20……角度測定装置、22……
光学系、24……投影面、26……距離測定装置、28……計
数器。
明するための投影角の幾何学的図である。 10……走査装置、12……増分尺度、14……マーク、16…
…計数器、18……演算器、20……角度測定装置、22……
光学系、24……投影面、26……距離測定装置、28……計
数器。
Claims (9)
- 【請求項１】ほぼ一定の距離でマークが配置された増分
尺度に対して走査装置の基準点の位置を決定するための
方法であって、 増分尺度に沿った位置の粗決定のために、まず走査装置
によって、マークが、特に数えられ、距離で乗じられる
ことにより評価され、細部決定のために、基準点と尺度
上に隣接して配置された少なくとも３つの点との間に投
影角が決定され、そして、基準点の座標が、三角関数に
従って計算されることにより、マーク間の補完が行なわ
れることを特徴とする方法。 - 【請求項２】計算が、次のような三角関数あるいは方程
式に従って計算さる請求項１に記載の方法。 αは基準点並びに第１と第２の隣接するマークの間の投
影角、βは基準点と第２並びに第３の隣接するマークの
間の投影角、Δは２つの隣接するマーク間の距離、X0お
よびZ0は、尺度方向および尺度方向に対して直角方向の
基準点の座標をそれぞれ表わしている。 - 【請求項３】投影角は、投影面上のマークの視覚的な図
を投影個所の距離測定によって得られ、基準点として光
学像の投影中心部が選択される請求項１または２に記載
の方法。 - 【請求項４】ほぼ一定の距離でマークが配置されている
増分尺度に対して走査装置の基準点の位置を決定するた
めの基準点形成器であり、角度測定装置を有する走査装
置と接続されている計数器および演算器を有しており、
該計数器は、Ｘ方向の尺度に沿った位置の粗決定のため
に、まず走査装置によって通過されるマークが、特に数
えられ、距離で乗じられることにより評価され、細部決
定のためにマーク間の補完を行なうべく、角度測定装置
により基準点と尺度上に隣接して配置されている３つの
マークとの間の角度が決定されるように制御されるこ
と、さらには、演算器は、基準点の座標（X0、Z0）を三
角関数に従って計算するよう制御されること、を特徴と
する基準点形成器。 - 【請求項５】演算器は、三角関数として、次の関数また
は方程式を処理する請求項４に記載の基準点形成器。 - 【請求項６】走査装置は、光学的な走査装置として形成
されており、該走査装置は、投影面と距離測定装置を有
する光学系を有しており、基準点は、増分尺度に向けら
れた光学系の投影中中心部によって形成されている請求
項４または５に記載の基準点形成器。 - 【請求項７】投影面と距離測定装置は、ダイオード配
列、特にCCD列によって形成されており、この配列は、
計数器と接続されている請求項６に記載の基準点形成
器。 - 【請求項８】増分尺度には、マークが備えられており、
該マークは、約1mmの間隔になっている請求項４〜７の
いずれかに記載の基準点形成器。 - 【請求項９】前記増分尺度は、低い温度膨張係数の材
料、溶くに、アンバ、またはガラスセラミックスで製造
されている請求項４〜８のいずれかに記載の基準点形成
器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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