JP2875025B2 - 改良されたαアルミナ砥粒 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、アルミナ質の砥粒、とりわけ改良された研
磨性能を有するゾルゲルアルミナ研磨材に関する。
磨性能を有するゾルゲルアルミナ研磨材に関する。
ゾルゲルアルミナ研磨材は、通常、αアルミナ前駆体
(常にではないが一般にベーマイト)のゾル又はゲルを
乾燥し、乾燥したゲルを加熱して所望サイズの粒子に
し、次いでその片をαアルミナの形態に転化するのに十
分高い温度で最終的に焼成することによって製造され
る。簡単なゾルゲルプロセスは、例えば米国特許第4,31
4,827号、同4,518,397号、同4,881,951号、イギリス特
許出願第2,099,012号に記載されている。
(常にではないが一般にベーマイト)のゾル又はゲルを
乾燥し、乾燥したゲルを加熱して所望サイズの粒子に
し、次いでその片をαアルミナの形態に転化するのに十
分高い温度で最終的に焼成することによって製造され
る。簡単なゾルゲルプロセスは、例えば米国特許第4,31
4,827号、同4,518,397号、同4,881,951号、イギリス特
許出願第2,099,012号に記載されている。
ゾルゲルプロセスの特に望ましい態様において、αア
ルミナ前駆体は、αアルミナそのものと同じ結晶構造、
及び出来るだけ近い格子定数を有する物質で「種添加」
される。「種添加」は、出来るだけ微細に分割された形
態で添加され、ゾル又はゲルの全体にわたって均一に分
散される。これは最初から添加することもでき、あるい
はその場で生成させることもできる。
ルミナ前駆体は、αアルミナそのものと同じ結晶構造、
及び出来るだけ近い格子定数を有する物質で「種添加」
される。「種添加」は、出来るだけ微細に分割された形
態で添加され、ゾル又はゲルの全体にわたって均一に分
散される。これは最初から添加することもでき、あるい
はその場で生成させることもできる。
種の役割は、種が存在しない場合に必要なよりもはる
かに低い温度で、前駆体の全体にわたって均一にα形態
への変態を生じさせることである。このプロセスは、α
アルミナの個々の結晶(即ち、高角度の粒界によって隣
接結晶から隔てられた実質的に同じ結晶配向の領域)の
サイズが非常に均一で、直径が実質的に全てサブミクロ
ンである結晶構造を生成する。適切な種には、αアルミ
ナそのものが挙げられるが、さらに、α酸化第二鉄、亜
酸化クロム、チタン酸ニッケル、及びこのような種が存
在しない場合に転化が通常に生じるよりも低い温度で前
駆体からαアルミナを発生させるのに有効な、αアルミ
ナに十分近い格子定数を有するその他の多数の物質が挙
げられる。このような種添加ゾルゲルプロセスの例は、
米国特許第4,623,364号、同4,744,802号、同4,954,462
号、同4,964,883号、同5,192,339号、同5,215,551号、
同5,219,806号、及びその他の多くに記載されている。
かに低い温度で、前駆体の全体にわたって均一にα形態
への変態を生じさせることである。このプロセスは、α
アルミナの個々の結晶(即ち、高角度の粒界によって隣
接結晶から隔てられた実質的に同じ結晶配向の領域)の
サイズが非常に均一で、直径が実質的に全てサブミクロ
ンである結晶構造を生成する。適切な種には、αアルミ
ナそのものが挙げられるが、さらに、α酸化第二鉄、亜
酸化クロム、チタン酸ニッケル、及びこのような種が存
在しない場合に転化が通常に生じるよりも低い温度で前
駆体からαアルミナを発生させるのに有効な、αアルミ
ナに十分近い格子定数を有するその他の多数の物質が挙
げられる。このような種添加ゾルゲルプロセスの例は、
米国特許第4,623,364号、同4,744,802号、同4,954,462
号、同4,964,883号、同5,192,339号、同5,215,551号、
同5,219,806号、及びその他の多くに記載されている。
この分野における特許の多くは、グレインの特性、特
には硬度を改良するため、添加剤(一般に耐熱性酸化
物)の使用に注力してきた。これらの多くは、アルミナ
と相互作用して、結晶成長改良剤、又はアルミナ結晶中
もしくは粒界でスピネルやマグネトプランバイトの発生
剤として作用するものと思われる。ここで、アルカリ金
属酸化物だけはこれら検討の酸化物から除外されてきた
が、これは、上記課題の早期の特許において、ゾルゲル
アルミナ研磨材の性能にとって有害であると判断された
ためである。これに関する1つの例外は、米国特許第5,
190,567号であり、この特許は、酸化リチウムが微細な
構造組織を生成する上で非常に有効なことを予想外に見
出したと教示している。
には硬度を改良するため、添加剤(一般に耐熱性酸化
物)の使用に注力してきた。これらの多くは、アルミナ
と相互作用して、結晶成長改良剤、又はアルミナ結晶中
もしくは粒界でスピネルやマグネトプランバイトの発生
剤として作用するものと思われる。ここで、アルカリ金
属酸化物だけはこれら検討の酸化物から除外されてきた
が、これは、上記課題の早期の特許において、ゾルゲル
アルミナ研磨材の性能にとって有害であると判断された
ためである。これに関する1つの例外は、米国特許第5,
190,567号であり、この特許は、酸化リチウムが微細な
構造組織を生成する上で非常に有効なことを予想外に見
出したと教示している。
本発明の概説 本発明の1つの局面は、酸化ルビジウム、酸化セシウ
ム、及びこれらの群より選択された酸化物を約0.01〜約
2重量%含むゾルゲルアルミナ砥粒を提供する。
ム、及びこれらの群より選択された酸化物を約0.01〜約
2重量%含むゾルゲルアルミナ砥粒を提供する。
本発明のもう1つの局面において、酸化マグネシウ
ム、ジルコニア、及びこれらの混合物からなる群より選
択された酸化物の約0.1〜約20%と、酸化ルビジウム、
酸化セシウム、及びこれらの群より選択された酸化物を
約0.01〜約2重量%含むゾルゲルアルミナが提供され
る。
ム、ジルコニア、及びこれらの混合物からなる群より選
択された酸化物の約0.1〜約20%と、酸化ルビジウム、
酸化セシウム、及びこれらの群より選択された酸化物を
約0.01〜約2重量%含むゾルゲルアルミナが提供され
る。
本発明のさらにもう1つの局面において、ゾルゲルア
ルミナは、種添加ゾルゲルアルミナであって、約2〜約
10%の酸化マグネシウムと、酸化ルビジウム、酸化セシ
ウム、及びこれらの群より選択された酸化物を約0.05〜
約1重量%含んでなる。
ルミナは、種添加ゾルゲルアルミナであって、約2〜約
10%の酸化マグネシウムと、酸化ルビジウム、酸化セシ
ウム、及びこれらの群より選択された酸化物を約0.05〜
約1重量%含んでなる。
ゾルゲルアルミナが種添加アルミナの場合、使用され
る種はαアルミナであることが好ましい。種は、所与の
重量の種について最大限の起こり得る核発生座の数を得
るため、出来るだけ微細に分割されるべきである。一般
に、約0.1μmを下回る種が、より好ましくは約0.05μ
mを下回るものが選択される。アルミナの不純物がそれ
程問題にならない場合、α酸化第二鉄又は加熱するとα
酸化第二鉄を生成する物質を使用することもでき、例え
ば、加熱すると極めて微細に分割された形態の種を容易
に発生される米国特許第4,954,462号に使用される「含
水鉄ポリマー」が挙げられる。
る種はαアルミナであることが好ましい。種は、所与の
重量の種について最大限の起こり得る核発生座の数を得
るため、出来るだけ微細に分割されるべきである。一般
に、約0.1μmを下回る種が、より好ましくは約0.05μ
mを下回るものが選択される。アルミナの不純物がそれ
程問題にならない場合、α酸化第二鉄又は加熱するとα
酸化第二鉄を生成する物質を使用することもでき、例え
ば、加熱すると極めて微細に分割された形態の種を容易
に発生される米国特許第4,954,462号に使用される「含
水鉄ポリマー」が挙げられる。
本発明のゾルゲルアルミナ研磨材中に存在する酸化ル
ビジウム、酸化セシウム、又はこれら酸化物の混合物の
量は、砥粒中のアルミナの全重量を基準に約0.01〜約2
%、好ましくは約0.03〜約1%、最も好ましくは約0.05
〜約0.5%でよい。
ビジウム、酸化セシウム、又はこれら酸化物の混合物の
量は、砥粒中のアルミナの全重量を基準に約0.01〜約2
%、好ましくは約0.03〜約1%、最も好ましくは約0.05
〜約0.5%でよい。
酸化ルビジウム又は酸化セシウムは、酸化マグネシウ
ムと共存すると、特に首尾よく機能することが見出され
ている。酸化マグネシウムは、スピネルの形態で存在す
ることが最も多く、その全量は、MgOとして計算して、
砥粒中のアルミナの全重量の約0.1〜約20%、好ましく
は約0.5〜約15%でよい。
ムと共存すると、特に首尾よく機能することが見出され
ている。酸化マグネシウムは、スピネルの形態で存在す
ることが最も多く、その全量は、MgOとして計算して、
砥粒中のアルミナの全重量の約0.1〜約20%、好ましく
は約0.5〜約15%でよい。
好ましい態様の説明 次に本発明を、本発明の範囲に含まれる特定の処方に
関して説明する。ここで、これらの例は本発明の本質的
な範囲に何らかの必要な制限を示すものと解釈すべきで
ない。
関して説明する。ここで、これらの例は本発明の本質的
な範囲に何らかの必要な制限を示すものと解釈すべきで
ない。
例1(比較例) 50,000グラムの脱イオン水と、約120m2/gの表面積を
有するαアルミナ粒子の固形分6%の水系スラリーの2,
333グラムに、7,000グラムのベーマイト(Condea GmbH
社より商標「Disperal」として入手可能)をRossミキサ
ー中で混合した。この分散系を減圧下で連続的に混合し
た。この撹拌後の分散系に、50,000グラムの脱イオン水
中の70%硝酸の400グラムの溶液を添加し、撹拌をさら
に10分間継続し、次いで10,000グラムの脱イオン水中の
1,781グラムの硝酸マグネシウム六水和物の溶液を添加
し、さらに15分間にわたって混合した。この終了時点
で、分散系はゲル状であった。
有するαアルミナ粒子の固形分6%の水系スラリーの2,
333グラムに、7,000グラムのベーマイト(Condea GmbH
社より商標「Disperal」として入手可能)をRossミキサ
ー中で混合した。この分散系を減圧下で連続的に混合し
た。この撹拌後の分散系に、50,000グラムの脱イオン水
中の70%硝酸の400グラムの溶液を添加し、撹拌をさら
に10分間継続し、次いで10,000グラムの脱イオン水中の
1,781グラムの硝酸マグネシウム六水和物の溶液を添加
し、さらに15分間にわたって混合した。この終了時点
で、分散系はゲル状であった。
このゲルの約17,275グラムを90℃で2〜3日間乾燥さ
せ、ゲルが乾いてかりかりになるまでさらに125℃で乾
燥させた。次いでこの乾燥したゲルを直径約0.6〜約1.2
mmの塊に破砕し、次いで直径約15cm×長さ約215cmで長
さ約63cmの高温ゾーンを有する炭化ケイ素チューブを備
えた既加熱ロータリー炉の中で直接加熱した。チューブ
は水平に対して6゜傾き、約12rpmで回転させた。グレ
インは爆発し、同時に炉の中で約3.87g/ccの密度まで緻
密化した。
せ、ゲルが乾いてかりかりになるまでさらに125℃で乾
燥させた。次いでこの乾燥したゲルを直径約0.6〜約1.2
mmの塊に破砕し、次いで直径約15cm×長さ約215cmで長
さ約63cmの高温ゾーンを有する炭化ケイ素チューブを備
えた既加熱ロータリー炉の中で直接加熱した。チューブ
は水平に対して6゜傾き、約12rpmで回転させた。グレ
インは爆発し、同時に炉の中で約3.87g/ccの密度まで緻
密化した。
例2 例1の処方を踏襲したが、但し、ゲルを乾燥させる前
に硝酸ルビジウムの5%溶液の25.2グラムを17,275グラ
ムのゲルに混ぜた。
に硝酸ルビジウムの5%溶液の25.2グラムを17,275グラ
ムのゲルに混ぜた。
例1と2で得られた砥粒を、研磨布紙構造におけるそ
れらの研磨特性についてテストしたが、ここで砥粒はフ
ェノール樹脂で支持した。2回行った実験の結果を下記
の表1に示す。
れらの研磨特性についてテストしたが、ここで砥粒はフ
ェノール樹脂で支持した。2回行った実験の結果を下記
の表1に示す。
例3(比較例) 900kgの水と、約120m2/gのBET表面積を有するαアル
ミナ種晶を4重量%含む水系スラリーの118kgを、567kg
のベーマイト(Condea GmbH社より商標「Disperal」と
して入手可能)と21%硝酸の40.5kgと一緒に混合タンク
に入れた。次いでこの混合物を高速撹拌翼を用いて混合
し、減圧して気泡を除去した。この混合物のpHは約4で
あった。
ミナ種晶を4重量%含む水系スラリーの118kgを、567kg
のベーマイト(Condea GmbH社より商標「Disperal」と
して入手可能)と21%硝酸の40.5kgと一緒に混合タンク
に入れた。次いでこの混合物を高速撹拌翼を用いて混合
し、減圧して気泡を除去した。この混合物のpHは約4で
あった。
次いでこの分散系を、0.6リットル/分の21%硝酸と
共に10.6リットル/分の速度でインラインホモジナイザ
ーの中を通過させることによって均一にした。得られた
ゲルを乾燥させ、ロール圧潰し、約1300℃の既加熱ロー
タリー炉の中で約10分間焼成した。この物質を篩にかけ
て50Tグリットにし、研磨布紙生産品のテストに供した
(下記の表2参照)。
共に10.6リットル/分の速度でインラインホモジナイザ
ーの中を通過させることによって均一にした。得られた
ゲルを乾燥させ、ロール圧潰し、約1300℃の既加熱ロー
タリー炉の中で約10分間焼成した。この物質を篩にかけ
て50Tグリットにし、研磨布紙生産品のテストに供した
(下記の表2参照)。
例4 Rossミキサーの中で、100,000グラムの脱イオン水中
のCondea「Disperal」の14,850グラムの分散系に、約12
0m2/gのBET表面積を有するαアルミナ種晶の固形分6%
の水系スラリーの4,950グラムを混ぜた。連続的に撹拌
しながら、この分散系を減圧下に置いた。10,000グラム
の脱イオン水中の70%硝酸の1060グラムの溶液を添加し
た。次いで30,000グラムの脱イオン水中の3,778グラム
の硝酸マグネシウム六水和物を添加し、次いで10,000グ
ラムの脱イオン水中の20.60グラムの硝酸ルビジウムと
さらに20,000グラムの脱イオン水を添加した。
のCondea「Disperal」の14,850グラムの分散系に、約12
0m2/gのBET表面積を有するαアルミナ種晶の固形分6%
の水系スラリーの4,950グラムを混ぜた。連続的に撹拌
しながら、この分散系を減圧下に置いた。10,000グラム
の脱イオン水中の70%硝酸の1060グラムの溶液を添加し
た。次いで30,000グラムの脱イオン水中の3,778グラム
の硝酸マグネシウム六水和物を添加し、次いで10,000グ
ラムの脱イオン水中の20.60グラムの硝酸ルビジウムと
さらに20,000グラムの脱イオン水を添加した。
この分散系はゾルゲル状であり、乾燥させる前にこれ
をさらに5分間混合した。この乾燥後のゲルを、次いで
0.5〜1cmを下回る片に破砕し、次いで直径約15cm×長さ
約215cmで長さ約61.6cmの高温ゾーンを有し、水平に対
して6゜傾き、約12rpmで回転する炭化ケイ素チューブ
を備えた既加熱ロータリー炉の中で約1,330℃で加熱し
た。加熱後のグレインは3.8グラム/ccを上回る密度を有
し、平均切断法で測定して直径0.2μmを下回る結晶か
ら構成されていた。このグリットを篩にかけて50Tのサ
イズにし、研磨布紙生産品を製造するために使用した。
をさらに5分間混合した。この乾燥後のゲルを、次いで
0.5〜1cmを下回る片に破砕し、次いで直径約15cm×長さ
約215cmで長さ約61.6cmの高温ゾーンを有し、水平に対
して6゜傾き、約12rpmで回転する炭化ケイ素チューブ
を備えた既加熱ロータリー炉の中で約1,330℃で加熱し
た。加熱後のグレインは3.8グラム/ccを上回る密度を有
し、平均切断法で測定して直径0.2μmを下回る結晶か
ら構成されていた。このグリットを篩にかけて50Tのサ
イズにし、研磨布紙生産品を製造するために使用した。
例3と4の生産品の研磨性能を、グリットをフェノー
ル樹脂のメーカーコートとサイズコートで支持して1平
方メートルあたり590グラムのグリット含む長さ150cm×
6.25cmの研磨ベルトの形態で評価した。
ル樹脂のメーカーコートとサイズコートで支持して1平
方メートルあたり590グラムのグリット含む長さ150cm×
6.25cmの研磨ベルトの形態で評価した。
このベルトは、水冷却剤を使用し、900表面メートル
/分の線速度で走行する固定力モードでテストした。切
削時間は4分間であり、切削した材料は6.75kgの力でベ
ルトに押しつけたステンレス鋼の棒であった。テスト中
に切削したステンレス鋼の全重量を測定した。
/分の線速度で走行する固定力モードでテストした。切
削時間は4分間であり、切削した材料は6.75kgの力でベ
ルトに押しつけたステンレス鋼の棒であった。テスト中
に切削したステンレス鋼の全重量を測定した。
例5 例1(比較例)で調製したと同様なグレインを調製し
たが、相違として、ゲルを乾燥・加熱して研磨材グリッ
トにする前に、硝酸ルビジウムの5%溶液の25.5グラム
を17,275グラムのゲルに混合した。その他の全ての方法
は同一にした。
たが、相違として、ゲルを乾燥・加熱して研磨材グリッ
トにする前に、硝酸ルビジウムの5%溶液の25.5グラム
を17,275グラムのゲルに混合した。その他の全ての方法
は同一にした。
例1、3、及び5の方法で製造したグレインを研磨布
紙試験リグにおける研削性能について比較し、ここで、
グリット(−45+50メッシュ)はフェノール樹脂のメー
カーコートとサイズコートで支持した。それぞれにKBF4
を含むスーパーサイズコードを添加した。各場合におい
て、同じ量のグリット、メーカーコート、サイズコー
ト、スーパーサイズコートを使用した。試験リグを使用
し、水基剤の冷却剤を用いて、SUS304ステンレス鋼を切
削し、切削がそれ以上検出されなくなるまで研磨を継続
した。各場合において、切削した鋼の全量を測定した。
その結果を下記の表3に示す。
紙試験リグにおける研削性能について比較し、ここで、
グリット(−45+50メッシュ)はフェノール樹脂のメー
カーコートとサイズコートで支持した。それぞれにKBF4
を含むスーパーサイズコードを添加した。各場合におい
て、同じ量のグリット、メーカーコート、サイズコー
ト、スーパーサイズコートを使用した。試験リグを使用
し、水基剤の冷却剤を用いて、SUS304ステンレス鋼を切
削し、切削がそれ以上検出されなくなるまで研磨を継続
した。各場合において、切削した鋼の全量を測定した。
その結果を下記の表3に示す。
上記のデータより、酸化ルビジウムの添加の結果とし
て得られた改良は極めて顕著であり、従来の公知技術に
基づいて予想できるものではないことが非常に明白であ
る。
て得られた改良は極めて顕著であり、従来の公知技術に
基づいて予想できるものではないことが非常に明白であ
る。
例6 Rossミキサーの中で、Condeaの「Disperal」ベーマイ
トの14,850グラムに100,000グラムの脱イオン水を混ぜ
る方法によって、本発明によるもう1つの生産品を調製
した。この混合物に約120m2/gの表面積を有するαアル
ミナ種晶の固形分6%の水系スラリーの4,959グラムを
添加した。混合物を減圧下で連続的に撹拌しなながら、
10,000グラムの脱イオン水中の70%硝酸溶液の1,060グ
ラムの溶液を添加し、さらに10分間混合した。次いで3
0,000グラムの脱イオン水中の3,778グラムの硝酸マグネ
シウム六水和物の溶液を添加し、さらに15分間にわたっ
て混合を続けた。次いで10,000グラムの脱イオン水中の
20.60グラムの硝酸ルビジウムを添加し、さらに20,000
グラムの脱イオン水を添加し、さらに10分間撹拌した。
この混合物を乾燥させ、その乾燥後のゲルを直径0.5〜
1.0cmの粒子に破砕し、次いで例4で記載した型式のロ
ータリー炉中で加熱した。得られた加熱後のグリットは
3.80グラム/ccを上回る密度を有し、平均切断法で測定
して直径約0.2μmを下回るαアルミナ結晶子から構成
されていた。このグリットを篩にかけて50Tのサイズに
し、これを用いて通常の研磨布紙ベルトを製造し、これ
を使用して固定力モードテストにおいてSUS304ステンレ
ス鋼を研磨した。そのベルトを使用しながら水系の冷却
剤を使用し、6.75kgの一定の力の下で20分間にわたって
ステンレス鋼を切削した。この終了時点で、切削した全
ての鋼を測定した。
トの14,850グラムに100,000グラムの脱イオン水を混ぜ
る方法によって、本発明によるもう1つの生産品を調製
した。この混合物に約120m2/gの表面積を有するαアル
ミナ種晶の固形分6%の水系スラリーの4,959グラムを
添加した。混合物を減圧下で連続的に撹拌しなながら、
10,000グラムの脱イオン水中の70%硝酸溶液の1,060グ
ラムの溶液を添加し、さらに10分間混合した。次いで3
0,000グラムの脱イオン水中の3,778グラムの硝酸マグネ
シウム六水和物の溶液を添加し、さらに15分間にわたっ
て混合を続けた。次いで10,000グラムの脱イオン水中の
20.60グラムの硝酸ルビジウムを添加し、さらに20,000
グラムの脱イオン水を添加し、さらに10分間撹拌した。
この混合物を乾燥させ、その乾燥後のゲルを直径0.5〜
1.0cmの粒子に破砕し、次いで例4で記載した型式のロ
ータリー炉中で加熱した。得られた加熱後のグリットは
3.80グラム/ccを上回る密度を有し、平均切断法で測定
して直径約0.2μmを下回るαアルミナ結晶子から構成
されていた。このグリットを篩にかけて50Tのサイズに
し、これを用いて通常の研磨布紙ベルトを製造し、これ
を使用して固定力モードテストにおいてSUS304ステンレ
ス鋼を研磨した。そのベルトを使用しながら水系の冷却
剤を使用し、6.75kgの一定の力の下で20分間にわたって
ステンレス鋼を切削した。この終了時点で、切削した全
ての鋼を測定した。
同じ評価法を同じ研磨ベルトを製造するために用いた
が、但し、例3に記載した方法によって製造したグレイ
ンを使用した。その結果を下記の表4に示す。
が、但し、例3に記載した方法によって製造したグレイ
ンを使用した。その結果を下記の表4に示す。
例7 110,000グラムの脱イオン水をRossミキサーに入れ、
次いで約120m2/gの表面積を有するαアルミナ種晶の固
形分6%のスラリーを3,960グラム添加した。この混合
物を混合しながら、Condea GmbHから入手した「Dispera
l」の14,850グラムを添加した。減圧下で混合を5分間
継続した。次いで10,000グラムの脱イオン水中の70%硝
酸の1,060グラムの溶液を添加し、減圧下の撹拌をさら
に10分間続けた。次いで10,000グラムの脱イオン水中の
3,778グラムの硝酸マグネシウム六水和物の溶液を添加
し、さらに15分間にわたって減圧下で混合を続けた。最
後に、5,000グラムの脱イオン水中の20.49グラムの硝酸
セシウムの溶液を添加し、さらに5分間にわたって減圧
下で撹拌した。次いで得られたゲルを乾燥させ、0.5〜1
cmの片に破砕し、高温ゾーンを1383℃に維持した既加熱
のロータリー炉の中に直接供給した。この炉は、直接約
15cm×長さ約215cmで約60cmの高温ゾーンを有する炭化
ケイ素チューブを備えた。このチューブは約12rpmで回
転し、水平に対して6゜傾斜した。
次いで約120m2/gの表面積を有するαアルミナ種晶の固
形分6%のスラリーを3,960グラム添加した。この混合
物を混合しながら、Condea GmbHから入手した「Dispera
l」の14,850グラムを添加した。減圧下で混合を5分間
継続した。次いで10,000グラムの脱イオン水中の70%硝
酸の1,060グラムの溶液を添加し、減圧下の撹拌をさら
に10分間続けた。次いで10,000グラムの脱イオン水中の
3,778グラムの硝酸マグネシウム六水和物の溶液を添加
し、さらに15分間にわたって減圧下で混合を続けた。最
後に、5,000グラムの脱イオン水中の20.49グラムの硝酸
セシウムの溶液を添加し、さらに5分間にわたって減圧
下で撹拌した。次いで得られたゲルを乾燥させ、0.5〜1
cmの片に破砕し、高温ゾーンを1383℃に維持した既加熱
のロータリー炉の中に直接供給した。この炉は、直接約
15cm×長さ約215cmで約60cmの高温ゾーンを有する炭化
ケイ素チューブを備えた。このチューブは約12rpmで回
転し、水平に対して6゜傾斜した。
このようにして得られたグレイン(−45+50メッシ
ュ)を、例1と3(双方とも比較例)で製造したグレイ
ンと、研磨布紙技術によって評価した。その結果を下記
の表5に示す。
ュ)を、例1と3(双方とも比較例)で製造したグレイ
ンと、研磨布紙技術によって評価した。その結果を下記
の表5に示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C09K 3/14 C04B 35/10 WPI/L(QUESTEL) EPAT(QUESTEL)
Claims (6)
- 【請求項1】酸化ルビジウム、酸化セシウム、及びそれ
らの混合物からなる群より選択されたアルカリ金属酸化
物を0.01〜2重量%含んでなるゾルゲルアルミナ砥粒。 - 【請求項2】酸化マグネシウムとジルコニアからなる群
より選択された酸化物を0.1〜20重量%さらに含んでな
る請求項1に記載のゾルゲルアルミナ砥粒。 - 【請求項3】アルミナが種添加ゾルゲルアルミナである
請求項1に記載のゾルゲルアルミナ砥粒。 - 【請求項4】アルカリ金属酸化物が酸化ルビジウムであ
る請求項1に記載のゾルゲルアルミナ砥粒。 - 【請求項5】0.03〜1重量%の酸化ルビジウムと0.5〜1
5重量%の酸化マグネシウムを含んでなる種添加ゾルゲ
ルアルミナ砥粒。 - 【請求項6】0.05〜0.5重量%の酸化ルビジウムと0.5〜
15重量%の酸化マグネシウムを含んでなる種添加ゾルゲ
ルアルミナ砥粒。
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