JP2865711B2 - 座標測定装置における被測定体の温度の検出法及び座標測定装置 - Google Patents

座標測定装置における被測定体の温度の検出法及び座標測定装置

Info

Publication number
JP2865711B2
JP2865711B2 JP1175770A JP17577089A JP2865711B2 JP 2865711 B2 JP2865711 B2 JP 2865711B2 JP 1175770 A JP1175770 A JP 1175770A JP 17577089 A JP17577089 A JP 17577089A JP 2865711 B2 JP2865711 B2 JP 2865711B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coordinate measuring
temperature
measuring device
temperature sensor
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1175770A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH02134512A (ja
Inventor
ヤーコプ・テイツトル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KAARU TSUAISU SUCHIFUTSUNGU
Original Assignee
KAARU TSUAISU SUCHIFUTSUNGU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KAARU TSUAISU SUCHIFUTSUNGU filed Critical KAARU TSUAISU SUCHIFUTSUNGU
Publication of JPH02134512A publication Critical patent/JPH02134512A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2865711B2 publication Critical patent/JP2865711B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K1/00Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
    • G01K1/14Supports; Fastening devices; Arrangements for mounting thermometers in particular locations
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S33/00Geometrical instruments
    • Y10S33/19Thermal expansive

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 従来技術 座標測定技術において正確な長さ測定のために、座標
測定装置により測定されるべき工作物ないし被測定体の
温度を例えば約0.1Kの大きさまで知ることが必要とされ
る。公知の非接触式に動作する温度センサは従来は、温
度をこの精度で検出することはできない。そのため温度
検出のために従来は、座標測定装置の操作者により接触
温度計が被測定体へ当接される。この場合、座標測定装
置の評価回路に接続されている精密抵抗が問題となる。
その測定値は、座標測定装置の基準スケールに固定的に
設けられている別の接触式温度計の測定値と共に、例え
ばドイツ連邦共和国特許第A1−3620118号に示されてい
る方法を実施するために用いられる、即ち工作物の長さ
測定値を基準温度20℃における寸法へ補正する方法を実
施するために用いられる。
このようにこの公知の温度検出法は、接触式温度計を
工作物へないし被測定体へ調整(セツテイング)当接さ
せる操作者を必要とする。座標測定装置は大量測定作業
において次第に多く使用されるようになり、その目的は
例えば人のいない夜間作業時間に操作者による管理なし
にCNC制御されて測定テーブル上にクランプされるまた
は連続的に加工処理装置へ案内される著しく多くの工作
物を測定することである。この場合、座標測定値の温度
補償は夜間作業時間中に連続的には行なうことができな
い、何故ならば温度は夜間作業時間の前に1回しか測定
されないからである。測定されるべき工作物の温度が夜
間勤務時間中に変化すると、誤測定を生ぜさせることが
回避できない。
前述の刊行物にさらに、融通性のある製造装置内で測
定される工作物の場合は温度検出を、工作物パレツト上
に基準物体(端度器)を取り付けることにより自動化す
る構成が示されている。この端度器は製造工程を工作物
と共に走行し、さらにこの場合に同じ温度を有するよう
にされる。この場合この座標測定装置は測定されるべき
工作物の温度を、この基準物体における長さ測定を介し
て求める。
この温度検出法は製造領域における工作物に対しては
適してはいるが、しかし大量測定作業においては欠点を
有する。何故ならば工作物そのものにおける温度が直接
測定されるのではないため、座標測定装置の測定室の中
におけるないし工作物の内部における温度勾配にもとづ
く誤差の影響を検出できないからである。
さらにドイツ連邦共和国特許第C2−3013378号に示さ
れている方法においては、工作物が温度検出器を有する
測定装置へ自動的に導びかれてその立体的寸法およびそ
の温度に関して測定される。しかしこの公知の方法は、
異なる幾何学的寸法を有する工作物を自動的に測定すべ
き時は適していない。何故ならばこの場合は温度センサ
を工作物と当接させるために高価な手動操作装置を必要
とするからである。
発明の解決すべき問題点 本発明の課題は、操作者を必要とせずに自動的に作動
する、できるだけわずかな費用で測定値の確実な正確な
かつ検出を可能にする、座標測定装置における被測定体
の温度を検出する方法および温度センサを提供すること
である。
問題点を解決するための手段 この課題は請求項1の特徴部分に記載された構成によ
り解決されている。
本発明によれば、工作物の温度を検出するためのセン
サは操作者にもよらずまた高価な付加的な手動操作装置
にもよらずに、座標測定装置そのものの測定アームによ
り工作物と接触される。このことは、座標測定のために
通常のように用いられる走査ピンをまたは走査ヘツド全
体を温度センサと交換して装着することにより、行なわ
れる。そのためこの方法は、一方では検出器自動交換装
置を有する座標測定装置の使用を前提とし、他方では走
査器に代えて待機される温度センサに、交換される座標
測定走査器の有する支持体と形状に相応する支持体を設
けることを必要とする。
走査器自動変換装置を有する座標測定装置はそれ自体
は公知であり、例えば本出願人による製品情報60−20−
027−d “Tasterwechseleinrichtungen"、 Druckvermerk ZS X/84、ヨーロツパ特許第A10128464号
ならびに同内容の米国特許第4637119号に示されてい
る。この種の交換装置は座標測定装置の測定室中にマガ
ジンを有し、このマガジンの中に種々の交換可能な走査
エレメントが待機されている。この種の装置による自動
温度測定のために必要とされる付加費用は次のものだけ
である、即ち温度センサを相応の収容体と共にこのマガ
ジンの中に懸架すること、相応の交換過程および温度セ
ンサによる接触走査過程を座標測定装置に対する制御プ
ログラムの中へまとめることだけである。
温度センサと機械軸に対しても傾斜された工作物面と
を確実に接触できるようにするために好適に、センサは
その接触面が、センサを座標測定装置と結合する支持体
に弾性的に取り付けられている。
さらにセンサが有利に回転−ないし旋回可能に支持体
に取り付けられている。そのためセンサは工作物の接触
されるべき側面に関連づけて前もつて方向調整される。
実施例の説明 次に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第1図に示されているマガジンはその構成が、米国特
許第4637119号公報に示されている走査器交換装置に相
応する。このマガジンはこの公報にその詳細が示されて
いる。この記載にもとづいて説明する。
ここに示されている2つのマガジン座の1つに即ちマ
ガジン座47に、交換可能な走査ピン組み合わせ体21が懸
架されている。この走査ピン組み合わせ体21は回転部16
の形式の支持体16を有する。この回転部の中へ3つのボ
ール対15aにより構成される3点軸受けがはめこまれて
いる。これらのボールにより走査ピン組み合わせ体21
は、座標測定装置の走査ヘツドにおける相応の対応軸受
に調整当接される。回転部16の中へはめこまれたスチー
ルプレート18が、走査ヘツドの中に設けられる電磁クラ
ンプ装置のための接極子として用いられる。
第2の、37で示されているマガジン座の中に温度セン
サ1が懸架されている。この温度センサ1は走査ピン組
み合わせ体21と同様の支持体6を有する。この場合は軸
受けボールは5aでおよびスチールブレートは8で示され
ている。
第2図の側面図に示されているように、温度センサの
本来の測定エレメント10が接触プレート15の中へ埋め込
まれている。
この接触プレートが、工作物からセンサそのものへの
熱伝導を保証する、そのため良好な熱伝導性とわずかな
熱容量とを有する。この目的のため例えば薄い銅デイス
クが用いられる。この銅デイスクは、周囲からの温度放
射を測定エレメントから遠ざけるために、外面が銀張り
されている。銅デイスクはさらに絶縁中間層を介して第
1支持プレート4に取付けられている。本来の測定エレ
メント10そのものは例えば、Fa Degussa,フランクフル
ト、からGR2102の記号で市販されている。温度検出器PT
100(プラチナ抵抗)とすることができる。
第1の支持プレート4は4つのばね9a,9bを用いて第
2の支持プレート3に結合されている。この弾性結合が
接触プレート15を、測定されるべき工作物の必ずしも正
確には軸平行でない面に調整当接できることを、保証す
る。
第2の支持プレート3は、ヒンジ2を介して軸14を中
心に回転可能にかつ軸13を中心に旋回可能に、支持体6
に取り付けられている。そのため接触プレート15は、測
定されるべき工作物の幾何学的形状に関連づけて粗に前
もつて方向調整することができる。
測定エレメント10の接続ケーブル12は、引つ張り力を
軽減するために、支持体6に取り付けられた線11のまわ
りに複数回巻き付けられており、さらにここに図示され
ていない座標測定装置における温度測定用の相応の電子
装置に接続されている。
しかし測定エレメント10の信号の転送のために、第3a
/3b図に示された解決手段を用いることもできる: ここに示された実施例において、支持体106の交換面
側に複数個の接触ピンが取り付けられている。測定エレ
メント110の接続ケーブル112は例えば接触ピン114と接
続されている。接触ピンは測定信号を、座標測定装置の
測定アームにおける収容体の相応の対向接触部へ転送す
る。ここに示された解決手段は例えば、座標測定装置が
走査ピン用の交換装置を備えているのではなく、給電電
圧,走査信号転送等のための端子を必要とする一体的な
走査ヘツト用の交換装置を備えている場合に適する。
ここに示された、ケーブルを介しての温度センサの測
定信号の直接転送の構成のほかにさらに、測定エレメン
トの信号を無線で座標測定装置へ転送することもでき
る。この場合は温度センサは、固有の電圧供給源(バツ
テリ)ならびに測定値伝送に適した伝送器を含む。
この種の温度センサにより次に温度検出の過程を第4
図を用いて説明する: 第4図に示されている座標測定装置200はその測定室
の内部にマガジン208を有する。このマガジンの中に複
数個の交換可能な走査ピンならびに温度センサ201が準
備されている。温度測定を、テーブル上にクランプされ
た4つの工作物204,205,206または207の1つに対して実
施すべき時に、測定アーム209がマガジン208へ走行し
て、ここで先行の座標測定プログラムに必要とされた走
査ピンを、開かれているマガジン座の中に保管する。続
いて温度センサ201が自動変換過程の経過においてマガ
ジンから取り出されて、保管された走査ピンに代えて、
測定アーム209の下端に取り付けられた走査ペツド211の
中に装着される。
次に測定アームは、プログラミングされた測定シーケ
ンスに応じて温度センサ201と共に、その温度の測定さ
れるべき工作物の方へ走行して、センサ201の下側に設
けられた、温度測定エレメントを有する平らな接触プレ
ートを、工作物の平らな面の1つへ調整当接させる。こ
のことは第4図に示されている。
測定エレメントが工作物の温度を受け入れることがで
きるように、測定エレメントと加工物との間の接触を長
い時間にわたり保つ必要がある。その持続時間は測定エ
レメントの応動速度に即ちセンサの下側における接触プ
レートの熱容量に依存し、試行により前もつて定めるこ
とができる。第2図に示されたセンサの構造により、接
触時間は6秒より小さくかつ測定精度は5/100℃の温度
に対して得られる。
次に温度測定値は温度センサ201における詳細に図示
されていない装置から無線で、座標測定装置の制御装置
と接続されている相応の受信装置へ伝送される。これに
関連して付言すべきことは、温度測定値は接触過程全体
の間中に検出されて記憶されることである。次に種々異
なる測定値がリーズナブルチエツクされ、このチエツク
はセンサが実際に工作物と接触しているか否かを示す。
このことは公知のように例えば次のように検出される、
即ち温度が、空気温度に相応するそれまでの一定値か
ら、接触中に工作物の別の温度値の方向へ変化したこと
により、検出される。
温度検出が終了すると測定アーム209が再びマガジン2
08へ走行して、ここで温度センサ201を取り外して、次
に本来の座標測定プログラムに必要とされる使用中の走
査ピンを装着する。
以後に走査ピンを用いて実施される、工作物204にお
ける全部の座標測定は、次に相応のコンピユータプログ
ラムにより、基準温度20℃における工作物の寸法に相応
するように、補正される。
前述のように本発明によれば、温度測定値を、座標測
定走査器により求められた、被測定体の長さ測定値の自
動補正のために用いるようにしたのである。
さらにセンサの温度測定値を被測定体との接触接続の
前におよび接触接続中に検出するようにし、さらに長さ
測定値の補正の前に温度測定値をリーズナブルチエツク
する。
さらに温度センサを1つまたは複数個の交換可能な座
標測定走査器と共に、座標測定装置の測定領域の周縁に
構成したマガジンの中に保管するようにしたものであ
る。
さらにセンサを回転−ないし旋回可能に支持体に取り
付けたものである。
さらにセンサの接続ケーブルを支持体における接続体
と接続したのである。
さらにセンサをフレキシブルなケーブルを介して直接
に、座標測定装置の評価電子装置と接続したのである。
さらにセンサの温度測定値を無線で座標測定装置へ伝
送する装置を設けたのである。
発明の効果 本発明により、操作者による手動での調整当接操作の
必要とされない、測定値の確実かつ正確な検出を可能と
する、座標測定装置における被測定体の温度を検出する
構成が、わずかなコストで提供される。
【図面の簡単な説明】
第1図はその中に座標測定走査器と温度センサの待機さ
れているマガジンの一部の斜視図、第2図は第1図の温
度センサの側面図、第3a図は第2図の温度センサの修正
された実施例の側面図、第3b図は第3a図の温度センサの
支持体の平面図、第4図は第3の実施例において温度セ
ンサの装着された座標測定装置全体の斜視図を示す。 1……温度センサ、3,4……支持プレート、5a……軸受
けボール、6……支持体、10……測定エレメント、11…
…線、12……接続ケーブル、13……軸、14……軸、15…
…接触プレート、15a……ボール対、18……スチールプ
レート、21……走査ピン組み合わせ体、106……支持
体、110……測定エレメント、112……接続ケーブル、11
4……接触ピン、200……座標測定装置、201……温度セ
ンサ、203……受信装置、204〜207……工作物、208……
マガジン、209……測定アーム、211……走査ヘツド
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 21/20 G01K 7/16 G01K 73/00

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】座標測定装置における被測定体の温度の検
    出法において、 −座標測定走査器(走査ピン21)の取り付けられた、座
    標測定装置(200)の測定アーム(209)を測定領域の周
    縁に配設されたマガジン(208)へ走行させて、 座標測定走査器(21)をマガジン(208)の中に取り外
    し保管してから温度センサ(1;201)と交換するように
    し、 −座標測定走査器(21)に代えて前記測定アーム(20
    9)に取り付けた前記温度センサ(1;201)を被測定体
    (204−207)と接触接続させるようにし、かつこの接触
    接続を所定の時間間隔中は維持するようにし、 −前記温度センサ(1;201)により検出された温度測定
    値を座標測定装置のコンピュータへ伝送するようにし、 −温度測定値を、前記座標測定走査器(21)を用いて検
    出された、被測定体(204−207)の長さ測定値を自動的
    に補正するために使用し、 −前記温度センサ(1;201)の温度測定値を、前記被測
    定体(204−207)との接触の前又は接触中検出し、前記
    長さ測定値の補正の前に、前記温度測定値をリーズナブ
    ルチェックし、 −続いて前記測定アーム(209)の前記温度センサ(1;2
    01)を再び前記マガジン(208)へ走行させて、ここで
    前記座標測定走査器(21)と交換するようにした ことを特徴とする座標測定装置における被測定体の温度
    の検出法。
  2. 【請求項2】座標測定装置において、 −座標測定走査器(21)と、温度センサ(1;201)と、
    走行可能な測定アーム(209)と、該測定アーム(209)
    の走行手段と、マガジン(208)と、チェック手段とを
    有しており、 −前記座標測定走査器(21)により、前記被測定体の寸
    法を測定し、前記座標測定走査器(21)は一方の支持体
    (16)を有しており、 −前記温度センサ(1;201)により、前記被測定体の温
    度を測定し、前記温度センサ(1;201)も、前記座標測
    定走査器(21)の支持体(16)の形状に相応する形状の
    他方の支持体(6)を有しており、 −前記測定アーム(209)には、その時々の前記一方の
    支持体(6)又は前記他方の支持体(16)を介して前記
    座標測定走査器(21)又は前記温度センサ(1;201)を
    取り付けることができ、 −前記マガジン(208)は、座標測定装置(200)の測定
    領域の周縁に配設されており、前記測定アーム(209)
    によって、前記座標測定走査器(21)を前記他方の保持
    部(16)と一緒に取り外し保管して前記マガジン(20
    8)に収容して、測定位置に走行し、又は、反対に、前
    記温度センサ(1;201)を前記一方の支持体(6)と一
    緒に取り外し保管して前記座標測定走査器(21)を前記
    他方の支持体(16)と一緒に測定のために収容して、前
    記測定位置に走行し、 前記チェック手段には、長さ測定値の補正の前の前記温
    度測定値を、リーズナブルチェックするために、材料と
    接触する前及び接触の間供給する ことを特徴とする座標測定装置。
  3. 【請求項3】温度センサ(1;201;101)を支持体(6;10
    6)に回動乃至旋回可能に取り付けた請求項2記載の座
    標測定装置。
  4. 【請求項4】温度センサ(1;201;101)の測定エレメン
    ト(10;110)を弾性的に前記支持体(6;106)に取り付
    けた請求項2記載の座標測定装置。
  5. 【請求項5】温度センサ(101)の接続ケーブル(112)
    を接触接続部(114)で支持体(106)に接続する請求項
    2記載の座標測定装置。
  6. 【請求項6】温度センサ(1;201)をフレキシブルケー
    ブル(12)を介して直接座標測定装置の評価電子回路装
    置に接続した請求項2記載の座標測定装置。
  7. 【請求項7】温度センサ(1;201)の温度測定値のワイ
    ヤレス(無線)伝送用の装置(203)を前記座標測定装
    置に設けた請求項2記載の座標測定装置。
JP1175770A 1988-07-09 1989-07-10 座標測定装置における被測定体の温度の検出法及び座標測定装置 Expired - Lifetime JP2865711B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3823373.8 1988-07-09
DE3823373A DE3823373A1 (de) 1988-07-09 1988-07-09 Verfahren zur erfassung der temperatur von messobjekten auf koordinatenmessgeraeten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02134512A JPH02134512A (ja) 1990-05-23
JP2865711B2 true JP2865711B2 (ja) 1999-03-08

Family

ID=6358374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1175770A Expired - Lifetime JP2865711B2 (ja) 1988-07-09 1989-07-10 座標測定装置における被測定体の温度の検出法及び座標測定装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US4997287A (ja)
EP (1) EP0364669B1 (ja)
JP (1) JP2865711B2 (ja)
DE (2) DE3823373A1 (ja)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4039339C2 (de) * 1990-12-10 1999-12-09 Zeiss Carl Fa Temperatursensor für Meßobjekte
DE4039336C5 (de) * 1990-12-10 2004-07-01 Carl Zeiss Verfahren zur schnellen Werkstück-Temperaturmessung auf Koordinatenmeßgeräten
US5259119A (en) * 1991-09-17 1993-11-09 Mitutoyo Corporation Automatic inner diameter measuring apparatus and zero adjustment thereof
GB9121406D0 (en) * 1991-10-09 1991-11-20 Vernon Gauging Limited Temperature sensing device
US5219226A (en) * 1991-10-25 1993-06-15 Quadtek, Inc. Imaging and temperature monitoring system
GB9126269D0 (en) * 1991-12-11 1992-02-12 Renishaw Metrology Ltd Temperature sensor for coordinate positioning apparatus
US5394757A (en) * 1992-06-25 1995-03-07 Thiokol Corporation Multiple stylus probe attachment and methods
US5446971A (en) * 1993-01-14 1995-09-05 Leitz Messtechnik Gmbh Method for the dimensional measurement of workpieces
FR2728682B1 (fr) * 1994-12-26 1997-01-31 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'essai d'un element d'optique soumis a un rayonnement
DE19639780A1 (de) * 1996-09-27 1998-04-02 Leitz Brown & Sharpe Mestechni Verfahren zur Durchführung von optischen und mechanischen Messungen in der Koordinatenmeßtechnik
US6430828B1 (en) * 1998-04-17 2002-08-13 Electronic Measuring Devices, Inc. Coordinate positioning apparatus with indexable stylus, components thereof, and method of using it
DE19821274A1 (de) * 1998-05-13 1999-11-18 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät in Brückenbauweise
EP1407219B1 (de) * 2001-07-16 2006-05-31 Werth Messtechnik GmbH Koordinatenmessgerät mit zusatzwärmequelle
GB0207298D0 (en) 2002-03-28 2002-05-08 Renishaw Plc Apparatus for changing operating modules on a coordinate positioning machine
US6772527B1 (en) * 2003-04-09 2004-08-10 Renishaw Plc Modular measurement device
DE102006013073B4 (de) * 2006-03-22 2008-08-28 Hexagon Metrology Gmbh Tasterwechseleinrichtung
WO2008027588A2 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Faro Technologies, Inc. Smart probe
GB201113715D0 (en) 2011-08-09 2011-09-21 Renishaw Plc Method and apparatus for inspecting workpieces
US9415459B2 (en) * 2012-04-06 2016-08-16 Illinois Tool Works Inc. Welding systems having non-contact temperature measurement systems
US9266182B2 (en) 2012-04-06 2016-02-23 Illinois Tools Works Inc. Welding torch with a temperature measurement device
AU2013204818B2 (en) * 2013-04-12 2015-02-19 Metso Metals Oy Molten bath temperature measurement for a top submerged lance injection installation
GB201308467D0 (en) 2013-05-10 2013-06-19 Renishaw Plc Method and Apparatus for Inspecting Workpieces
DE102013105753B3 (de) 2013-06-04 2014-10-02 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum automatischen Aufnehmen eines Sensorkopfs und Koordinatenmessgerät
CN109238470A (zh) * 2018-10-30 2019-01-18 合肥京东方视讯科技有限公司 温度测试装置、温度测试系统及温度测试方法
CN110307814B (zh) * 2019-07-17 2020-08-25 上海交通大学 一种全自动接触式测量装置与方法
CN110426140A (zh) * 2019-08-30 2019-11-08 江苏金恒信息科技股份有限公司 一种自动更换检测器的装置及钢包检测系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1015614B (de) * 1956-05-24 1957-09-12 Johannes Perthen Dr Ing Elektrische Laengenmesseinrichtung
USB295344I5 (ja) * 1958-02-03
CH382451A (fr) * 1961-09-30 1964-09-30 Genevoise Instr Physique Machine à mesurer ou machine-outil de précision
US3332153A (en) * 1964-08-31 1967-07-25 Bausch & Lomb Temperature compensating system
JPS54103367A (en) * 1978-02-01 1979-08-14 Olympus Optical Co Ltd Thermal expansion correcting method of probe
DE3013378C2 (de) * 1980-04-05 1984-12-20 FAG Kugelfischer Georg Schäfer KGaA, 8720 Schweinfurt Einrichtung zur adaptiven Regelung von Bearbeitungsprozessen an Schleifmaschinen, insbesondere an Rundschleifmaschinen
DE3348472C2 (de) * 1983-06-03 1994-09-29 Zeiss Carl Fa Taststiftwechselhalter
GB8522984D0 (en) * 1985-09-17 1985-10-23 Renishaw Plc Tool change apparatus
DE3620118C2 (de) * 1986-06-14 1998-11-05 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Bestimmung bzw. Korrektur des Temperaturfehlers bei Längenmessungen
DE3729644C2 (de) * 1987-09-04 1997-09-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Bestimmung der Temperatur von Werkstücken in flexiblen Fertigungssystemen

Also Published As

Publication number Publication date
EP0364669B1 (de) 1992-09-23
US4997287A (en) 1991-03-05
DE58902333D1 (de) 1992-10-29
JPH02134512A (ja) 1990-05-23
DE3823373A1 (de) 1990-01-11
US5011297A (en) 1991-04-30
EP0364669A1 (de) 1990-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2865711B2 (ja) 座標測定装置における被測定体の温度の検出法及び座標測定装置
JP2710634B2 (ja) フレキシブル加工系内の工作物の温度測定方法
JP3112109B2 (ja) 座標測定装置でワーク温度を迅速に測定する方法
JP3204762B2 (ja) 座標位置決め装置
US5822877A (en) Multi-probe system for dimensional metrology
US8122610B2 (en) Systems and methods for improved coordination acquisition member comprising calibration information
JP2988588B2 (ja) 位置測定装置
US7665223B2 (en) Measuring device with extensible cord and method
JPH01127238A (ja) 可動部材用の限定的再位置決め区域における位置フイードバック向上
JPS6161744A (ja) 工作物を計測する方法と装置
US5014444A (en) Probing device for a coordinate measuring apparatus
US5551906A (en) Caliper assembly for grinder
AU750673B2 (en) Disk brake testing device and system employing the same
US4701704A (en) Non-directional touch signal probe
US4336496A (en) Electrical contact test apparatus to test contact resistance of a sample terminal
US5959211A (en) Method and apparatus for positioning sensors against a non-planar surface
CN214157285U (zh) 一种皮肤湿度检测仪
WO2002090928A2 (en) Apparatus for automatically measuring the resistivity of semiconductor boules using the method of four probes
WO1989011631A1 (en) Test bar for position determination apparatus
US4924715A (en) Contact sensing system
GB2260819A (en) Gauge for checking dimensions of springs
CN214585136U (zh) 用于车轮探伤设备进行自动标定校验的装置
JPH05228799A (ja) タッチセンサツール
CN212963231U (zh) 胎纹深度检测装置
JP3369990B2 (ja) ロボットのキャリブレーション方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071218

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081218

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218

Year of fee payment: 11