JP2851078B2 - 半導体集積回路の製造方法 - Google Patents
半導体集積回路の製造方法Info
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- JP2851078B2 JP2851078B2 JP27760989A JP27760989A JP2851078B2 JP 2851078 B2 JP2851078 B2 JP 2851078B2 JP 27760989 A JP27760989 A JP 27760989A JP 27760989 A JP27760989 A JP 27760989A JP 2851078 B2 JP2851078 B2 JP 2851078B2
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- wiring
- net
- nets
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- integrated circuit
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［概要］ 半導体集積回路の製造方法に関し、 隣接した他ネットの配線によるノイズ低減を行ない、
論理振幅の安定化による性能向上と、それを行う際の作
業工数の削減による短納期化を図ることができる半導体
集積回路の製造方法を提供することを目的とし、 基板上の複数のセルで構成される各ネットの配線を、
基準方向及びその基準方向に対して向きの異なる方向の
成分に分類し、前記各方向毎にその分類された異なるネ
ットの配線成分同士で各ネットに対する他ネットの隣接
配線長を求めるようにした。
論理振幅の安定化による性能向上と、それを行う際の作
業工数の削減による短納期化を図ることができる半導体
集積回路の製造方法を提供することを目的とし、 基板上の複数のセルで構成される各ネットの配線を、
基準方向及びその基準方向に対して向きの異なる方向の
成分に分類し、前記各方向毎にその分類された異なるネ
ットの配線成分同士で各ネットに対する他ネットの隣接
配線長を求めるようにした。
［産業上の利用分野］ 本発明は半導体集積回路の製造方法に関するものであ
る。
る。
今日、半導体製造技術の高密度化に伴い、配線も微細
化されて近接しているため、集積回路を正常に動作させ
るためには特に他ネットの配線によるノイズの影響を少
なくすることが必要である。
化されて近接しているため、集積回路を正常に動作させ
るためには特に他ネットの配線によるノイズの影響を少
なくすることが必要である。
［従来の技術］ 一般的に半導体集積回路において任意のネットに対す
る他ネットからのノイズは、当該ネットの配線に隣接す
る他ネットの配線の隣接長が長いほど乗り易く、特に論
理振幅の大きいネットの配線に隣接する論理振幅の小さ
いネットの配線はこの影響を受ける。即ち、第２図に示
すようにセル1,2の端子1a,2aを接続した論理振幅が大き
いネットn1と、セル3,4の端子3a,4aを接続した論理振幅
が小さいネットn2とにおいて、隣接する配線長がＬとす
ると、ネットn1は論理振幅が大きいため、第３図（ａ）
に示すようにノイズが乗っても基準電圧Vr未満となり誤
判断することはない。ところが、ネットn2は論理振幅が
小さいため、第３図（ｂ）に示すようにノイズが乗ると
基準電圧Vr以上となって誤判断してしまう。
る他ネットからのノイズは、当該ネットの配線に隣接す
る他ネットの配線の隣接長が長いほど乗り易く、特に論
理振幅の大きいネットの配線に隣接する論理振幅の小さ
いネットの配線はこの影響を受ける。即ち、第２図に示
すようにセル1,2の端子1a,2aを接続した論理振幅が大き
いネットn1と、セル3,4の端子3a,4aを接続した論理振幅
が小さいネットn2とにおいて、隣接する配線長がＬとす
ると、ネットn1は論理振幅が大きいため、第３図（ａ）
に示すようにノイズが乗っても基準電圧Vr未満となり誤
判断することはない。ところが、ネットn2は論理振幅が
小さいため、第３図（ｂ）に示すようにノイズが乗ると
基準電圧Vr以上となって誤判断してしまう。
このようなことから、従来、半導体集積回路の製造す
る際には、隣接する他ネットの配線によるノイズの影響
をなくするために、該当する配線要素を見つけ出す作業
は各ネットを認識しながら設計者が手作業でその配線要
素の両側に隣接する他ネットの配線要素を調べていた。
る際には、隣接する他ネットの配線によるノイズの影響
をなくするために、該当する配線要素を見つけ出す作業
は各ネットを認識しながら設計者が手作業でその配線要
素の両側に隣接する他ネットの配線要素を調べていた。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の方法では大規模な集積回路で動
作異常が発生した場合、その作業工数が膨大となり、正
常な動作を得られるように修正するには長時間を要する
という問題点があった。
作異常が発生した場合、その作業工数が膨大となり、正
常な動作を得られるように修正するには長時間を要する
という問題点があった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので
あって、その目的は隣接した他ネットの配線によるノイ
ズ低減を行ない、論理振幅の安定化による性能向上と、
それを行なう際の作業工数の削減による短納期化を図る
ことができる半導体集積回路の製造方法を提供すること
にある。
あって、その目的は隣接した他ネットの配線によるノイ
ズ低減を行ない、論理振幅の安定化による性能向上と、
それを行なう際の作業工数の削減による短納期化を図る
ことができる半導体集積回路の製造方法を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］ 基板上の複数のセルで構成される各ネットの配線を、
基準方向及びその基準方向に対して向きの異なる方向の
成分に分類する。そして、各方向毎にその分類された異
なるネットの配線成分同士で各ネットに対する他ネット
の隣接配線長を求める。
基準方向及びその基準方向に対して向きの異なる方向の
成分に分類する。そして、各方向毎にその分類された異
なるネットの配線成分同士で各ネットに対する他ネット
の隣接配線長を求める。
［作用］ 各方向毎にその分類された異なるネットの配線成分同
士で各ネットに対する他ネットの隣接配線長を求めるた
め、各方向における検索方向がそれぞれ一方向となる。
このため、半導体集積回路の設計段階において他ネット
の配線によるノイズの影響を受けるおそれのあるネット
を見つけ出す作業を短時間で行なうことができる。
士で各ネットに対する他ネットの隣接配線長を求めるた
め、各方向における検索方向がそれぞれ一方向となる。
このため、半導体集積回路の設計段階において他ネット
の配線によるノイズの影響を受けるおそれのあるネット
を見つけ出す作業を短時間で行なうことができる。
［実施例］ 以下、本発明を具体化した一実施例を第１図に基づい
て説明する。
て説明する。
本実施例では説明の便宜上、４つのネットＡ〜Ｄにつ
いて説明する。
いて説明する。
まず、同図（ａ）に示すように、自動配線処理装置に
て各ネットＡ〜Ｄの配線を求め、各ネットＡ〜Ｄの配線
データにネット識別子を付与する。次に、各ネットＡ〜
Ｄの配線を、水平配線成分Ay1,By1,By2,Cy1,Dy1と、直
線配線成分Ax1,Bx1,Bx2,Cx1,Dx1とに分類する。
て各ネットＡ〜Ｄの配線を求め、各ネットＡ〜Ｄの配線
データにネット識別子を付与する。次に、各ネットＡ〜
Ｄの配線を、水平配線成分Ay1,By1,By2,Cy1,Dy1と、直
線配線成分Ax1,Bx1,Bx2,Cx1,Dx1とに分類する。
次に、同図（ｂ）に示すように水平配線成分Ay1,By1,
By2,Cy1,Dy1を配線領域上で定義されるグリッドのＹ座
標について区分して水平ラインテーブルを生成するとと
もに、同図（ｃ）に示すように直線配線成分Ax1,Bx1,Bx
2,Cx1,Dx1も配線領域上で定義されるグリッドのΧ座標
について区分して垂直ラインテーブルを生成する。
By2,Cy1,Dy1を配線領域上で定義されるグリッドのＹ座
標について区分して水平ラインテーブルを生成するとと
もに、同図（ｃ）に示すように直線配線成分Ax1,Bx1,Bx
2,Cx1,Dx1も配線領域上で定義されるグリッドのΧ座標
について区分して垂直ラインテーブルを生成する。
この後、水平ラインテーブル及び垂直ラインテーブル
毎に異なるネットの配線成分同士で各ネットに対する他
ネットの隣接配線長を求める。本実施例において、同図
（ｂ）に示す水平ラインテーブルでは、Y3座標上の水平
配線成分Dy1に対するY4座標上の異なるネットの配線成
分、Y4座標上の水平配線成分By2に対するY5座標上の異
なるネットの配線成分、及びY5座標上の水平配線成分Cy
1に対するY6座標上の異なるネットの配線成分はなく零
となる。
毎に異なるネットの配線成分同士で各ネットに対する他
ネットの隣接配線長を求める。本実施例において、同図
（ｂ）に示す水平ラインテーブルでは、Y3座標上の水平
配線成分Dy1に対するY4座標上の異なるネットの配線成
分、Y4座標上の水平配線成分By2に対するY5座標上の異
なるネットの配線成分、及びY5座標上の水平配線成分Cy
1に対するY6座標上の異なるネットの配線成分はなく零
となる。
そして、Y7座標上の水平配線成分By1に対してY8座標
上の水平配線成分Ay1の４グリッド分が隣接線長として
求められる。
上の水平配線成分Ay1の４グリッド分が隣接線長として
求められる。
又、本実施例において、同図（ｃ）に示す垂直ライン
テーブルでは、Χ２座標上の垂直配線成分Dx1に対する
Χ３座標上の異なるネットの配線成分はなく零となる。
そして、Χ４座標上の垂直配線成分Cx1に対してΧ５座
標上の垂直配線成分Bx1の１グリッド分、及びΧ７座標
上の垂直配線成分Bx2に対してΧ８座標上の垂直配線成
分Ax1の３グリッド分が隣接配線長として求められる。
テーブルでは、Χ２座標上の垂直配線成分Dx1に対する
Χ３座標上の異なるネットの配線成分はなく零となる。
そして、Χ４座標上の垂直配線成分Cx1に対してΧ５座
標上の垂直配線成分Bx1の１グリッド分、及びΧ７座標
上の垂直配線成分Bx2に対してΧ８座標上の垂直配線成
分Ax1の３グリッド分が隣接配線長として求められる。
この結果、ネットＡとネットＢとの隣接配線長は７
（＝４＋３）グリッド、ネットＢとネットＣとの隣接配
線長は１グリッドとなり、ネットＤでは零となる。
（＝４＋３）グリッド、ネットＢとネットＣとの隣接配
線長は１グリッドとなり、ネットＤでは零となる。
次に、ネットＡに対する他ネット全体の隣接配線長は
７グリッド、ネットＢに対する他ネット絶対の隣接配線
長は８（＝７＋１）グリッド、ネットＣに対する他ネッ
ト全体の隣接配線長は１グリッド、ネットＤに対する他
ネット全体の隣接配線長は零となる。
７グリッド、ネットＢに対する他ネット絶対の隣接配線
長は８（＝７＋１）グリッド、ネットＣに対する他ネッ
ト全体の隣接配線長は１グリッド、ネットＤに対する他
ネット全体の隣接配線長は零となる。
そして、上記のようにして算出した各ネットＡ〜Ｄに
対する他ネット毎の隣接配線長の合計及び各ネットＡ〜
Ｄに対する他ネット全体の隣接配線長の合計がそれぞれ
予め設定された所定値以上の場合に、そのネットが他ネ
ットの配線によるノイズの影響を受けるおそれのあるネ
ットとしてリストアップされる。例えば、隣接配線長の
所定値が６グリッドである場合には、ネットＡとネット
Ｂとがリストアップされることとなる。
対する他ネット毎の隣接配線長の合計及び各ネットＡ〜
Ｄに対する他ネット全体の隣接配線長の合計がそれぞれ
予め設定された所定値以上の場合に、そのネットが他ネ
ットの配線によるノイズの影響を受けるおそれのあるネ
ットとしてリストアップされる。例えば、隣接配線長の
所定値が６グリッドである場合には、ネットＡとネット
Ｂとがリストアップされることとなる。
このように、本実施例では各ネットＡ〜Ｄの配線を、
水平配線成分と、垂直配線成分とに分類し、水平配線成
分をグリッドのＹ座標について区分して水平ラインテー
ブルを生成するとともに、垂直配線成分をグリッドのΧ
座標について区分して垂直ラインテーブルを生成した。
そして、水平ラインテーブル及び垂直ラインテーブルに
おいてそれぞれ検出座標を小さい座標から大きい座標へ
順次変化させるとともに、被検出座標をその検出座標に
「１」に加えた座標、即ち、検索方向をそれぞれ一方向
として、各検出座標毎にその座標上の配線のネット識別
子と異なる被検出座標上のネット識別子が異なる隣接し
た配線を検索するようにしたので、半導体集積回路の設
計段階において他ネットの配線によるノイズの影響を受
けるおそれがあるネットを見つけ出す作業を短時間で行
なうことができる。
水平配線成分と、垂直配線成分とに分類し、水平配線成
分をグリッドのＹ座標について区分して水平ラインテー
ブルを生成するとともに、垂直配線成分をグリッドのΧ
座標について区分して垂直ラインテーブルを生成した。
そして、水平ラインテーブル及び垂直ラインテーブルに
おいてそれぞれ検出座標を小さい座標から大きい座標へ
順次変化させるとともに、被検出座標をその検出座標に
「１」に加えた座標、即ち、検索方向をそれぞれ一方向
として、各検出座標毎にその座標上の配線のネット識別
子と異なる被検出座標上のネット識別子が異なる隣接し
た配線を検索するようにしたので、半導体集積回路の設
計段階において他ネットの配線によるノイズの影響を受
けるおそれがあるネットを見つけ出す作業を短時間で行
なうことができる。
［発明の効果］ 以上詳述したように、本発明によれば隣接した他ネッ
トの配線によるノイズ低減を行ない、論理振幅の安定化
による性能向上と、それを行なう際の作業工数の削減に
よる短納期化を図ることができる優れた効果がある。
トの配線によるノイズ低減を行ない、論理振幅の安定化
による性能向上と、それを行なう際の作業工数の削減に
よる短納期化を図ることができる優れた効果がある。
第１図（ａ）は自動配線処理装置にて作成された各ネッ
トの配線を示す図、 第１図（ｂ）は第１図（ａ）の配線から生成した水平ラ
インテーブルを示す図、 第１図（ｃ）は第１図（ａ）の配線から生成した垂直ラ
インテーブルを示す図、 第２図はネットを説明するための概略構成図、 第３図（ａ），（ｂ）はそれぞれ論理振幅が大きい集積
回路及び論理振幅が小さい集積回路にノイズが乗った場
合における作用説明図である。 図において、 Ａ〜Ｄはネット、 Ax,Bx,Cx,Dxは垂直配線成分、 Ay,By,Cy,Dyは水平配線成分である。
トの配線を示す図、 第１図（ｂ）は第１図（ａ）の配線から生成した水平ラ
インテーブルを示す図、 第１図（ｃ）は第１図（ａ）の配線から生成した垂直ラ
インテーブルを示す図、 第２図はネットを説明するための概略構成図、 第３図（ａ），（ｂ）はそれぞれ論理振幅が大きい集積
回路及び論理振幅が小さい集積回路にノイズが乗った場
合における作用説明図である。 図において、 Ａ〜Ｄはネット、 Ax,Bx,Cx,Dxは垂直配線成分、 Ay,By,Cy,Dyは水平配線成分である。
Claims (1)
- 【請求項１】基板上の複数のセルで構成される各ネット
の配線を、基準方向及びその基準方向に対して向きの異
なる方向の成分に分類し、 前記各方向毎にその分類された異なるネットの配線成分
同士で各ネットに対する他ネットの隣接配線長を求める
ようにしたことを特徴とする半導体集積回路の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27760989A JP2851078B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 半導体集積回路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27760989A JP2851078B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 半導体集積回路の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03139864A JPH03139864A (ja) | 1991-06-14 |
| JP2851078B2 true JP2851078B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=17585809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27760989A Expired - Fee Related JP2851078B2 (ja) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 半導体集積回路の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2851078B2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-25 JP JP27760989A patent/JP2851078B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03139864A (ja) | 1991-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |