JP2845675B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
カーボンナノチューブの製造方法Info
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- JP2845675B2 JP2845675B2 JP4172242A JP17224292A JP2845675B2 JP 2845675 B2 JP2845675 B2 JP 2845675B2 JP 4172242 A JP4172242 A JP 4172242A JP 17224292 A JP17224292 A JP 17224292A JP 2845675 B2 JP2845675 B2 JP 2845675B2
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- carbon nanotube
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、最近発見されたカーボ
ンナノチューブの高収率な製造方法に関するもので、カ
ーボンナノチューブという新素材を産業、とりわけエレ
クトロニクス産業のために大量に生産することに関す
る。
ンナノチューブの高収率な製造方法に関するもので、カ
ーボンナノチューブという新素材を産業、とりわけエレ
クトロニクス産業のために大量に生産することに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】カーボンナノチューブは厚さ数原子層の
グラファイト状炭素原子面を丸めた円筒が、複数個入れ
子になったものであり、ｎｍオーダーの外径のきわめて
微小な物質である。チューブは１９９１年に発見され
［ネイチャー（Ｎａｔｕｒｅ）１９９１年、３５４巻。
ｐｐ．５６−５８］、世界中から１次元ワイヤや触媒な
ど多様な応用の可能性を秘めた材料として注目を浴びて
きている。この材料に関しては、現在カーボン棒をアー
ク放電法により蒸発させて、カーボンロッドに再び凝縮
して成長させる方法を用いている。実際には、最初に報
告された上記原論文では、直流カーボンアーク放電を１
００Ｔｏｒｒアルゴン雰囲気でおこなわせてカーボンナ
ノチューブを作成している。
グラファイト状炭素原子面を丸めた円筒が、複数個入れ
子になったものであり、ｎｍオーダーの外径のきわめて
微小な物質である。チューブは１９９１年に発見され
［ネイチャー（Ｎａｔｕｒｅ）１９９１年、３５４巻。
ｐｐ．５６−５８］、世界中から１次元ワイヤや触媒な
ど多様な応用の可能性を秘めた材料として注目を浴びて
きている。この材料に関しては、現在カーボン棒をアー
ク放電法により蒸発させて、カーボンロッドに再び凝縮
して成長させる方法を用いている。実際には、最初に報
告された上記原論文では、直流カーボンアーク放電を１
００Ｔｏｒｒアルゴン雰囲気でおこなわせてカーボンナ
ノチューブを作成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これまで報告
されている製造方法（１００Ｔｏｒｒアルゴン、直流カ
ーボンアーク放電）では回収された物質はほとんどがア
モルファスカーボンでそのなかにわずかにカーボンナノ
チューブが混じっているに過ぎず、新素材として広範囲
に活用するためにはこの材料の高収率な製造方法が必要
であった。
されている製造方法（１００Ｔｏｒｒアルゴン、直流カ
ーボンアーク放電）では回収された物質はほとんどがア
モルファスカーボンでそのなかにわずかにカーボンナノ
チューブが混じっているに過ぎず、新素材として広範囲
に活用するためにはこの材料の高収率な製造方法が必要
であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、このようにカ
ーボンナノチューブの収率が少ないという状況を解決す
るためになされたものであり、本発明者は収率を向上さ
せるために鋭意研究を進めた結果、アーク放電の不活性
ガス雰囲気の圧力が非常に重要であり、作製時の雰囲気
ガスの圧力を適性な範囲に調節する事で収率が最適化さ
れカーボンナノチューブが高収率で作製可能であること
を見いだし本発明に至った。
ーボンナノチューブの収率が少ないという状況を解決す
るためになされたものであり、本発明者は収率を向上さ
せるために鋭意研究を進めた結果、アーク放電の不活性
ガス雰囲気の圧力が非常に重要であり、作製時の雰囲気
ガスの圧力を適性な範囲に調節する事で収率が最適化さ
れカーボンナノチューブが高収率で作製可能であること
を見いだし本発明に至った。
【０００５】また、圧力を制御した状態で、消費電極よ
りも太い径の対電極を用いると非常に効果が良いことを
見いだした。
りも太い径の対電極を用いると非常に効果が良いことを
見いだした。
【０００６】
【作用】一般にカーボンナノチューブを製造するために
用いるカーボンのアーク放電では、不活性ガスで満たさ
れた作製容器の中でＣやＣ２やＣ３などのカーボン種を
含むプラズマを発生させる。この様な状況下で発生した
これらの小さなカーボン種は次の段階でより大きな構造
体、例えばすすやフラーレンや高密度の固体へと凝縮す
る。この様な条件下で気相中でＣ６０等のフラーレンが
製造され、またカーボン棒の電極表面からカーボンナノ
チューブが成長することがわかっている。我々は、カー
ボンナノチューブの収率を多くするために鋭意検討を重
ねた結果、カーボンナノチューブの収率が作製時のガス
圧に強く依存している事を見いだした。
用いるカーボンのアーク放電では、不活性ガスで満たさ
れた作製容器の中でＣやＣ２やＣ３などのカーボン種を
含むプラズマを発生させる。この様な状況下で発生した
これらの小さなカーボン種は次の段階でより大きな構造
体、例えばすすやフラーレンや高密度の固体へと凝縮す
る。この様な条件下で気相中でＣ６０等のフラーレンが
製造され、またカーボン棒の電極表面からカーボンナノ
チューブが成長することがわかっている。我々は、カー
ボンナノチューブの収率を多くするために鋭意検討を重
ねた結果、カーボンナノチューブの収率が作製時のガス
圧に強く依存している事を見いだした。
【０００７】例えば、従来のように１００Ｔｏｒｒのア
ルゴン雰囲気下でおこなった実験では、電極表面に積層
してくるカーボンナノチューブはわずかであった。しか
し、本発明に示すように不活性ガスの圧力を高くしてい
くことにより、カーボン電極表面に得られるカーボンナ
ノチューブの収率はいちじるしく向上することがわかっ
た。１００Ｔｏｒｒの場合収率は数％であったが２００
Ｔｏｒｒにすると２５％程度、５００Ｔｏｒｒ以上だと
６０％に向上する。この事実は、カーボン種の凝縮反応
の化学反応速度やいまだ明らかにされていないナノチュ
ーブの生成機構そのものに関与するものと考えられる。
また、従来の報告ではアルゴンが用いられているが、本
発明者は不活性ガスの圧力が非常に重要であり、ヘリウ
ムがアルゴンと同様の働きをする事を見いだした。さら
にまた驚くべき事に直流・交流どちらの放電でも回収し
た固体物質中でのチューブの存在比率はほぼ同じであっ
た。直流を使用する事の利点は、回収可能な固体物質の
量が増えている事である。作製時の電圧・電流の値もそ
れらが作製容器中でプラズマが立つに充分な値である限
り厳密である必要はない。
ルゴン雰囲気下でおこなった実験では、電極表面に積層
してくるカーボンナノチューブはわずかであった。しか
し、本発明に示すように不活性ガスの圧力を高くしてい
くことにより、カーボン電極表面に得られるカーボンナ
ノチューブの収率はいちじるしく向上することがわかっ
た。１００Ｔｏｒｒの場合収率は数％であったが２００
Ｔｏｒｒにすると２５％程度、５００Ｔｏｒｒ以上だと
６０％に向上する。この事実は、カーボン種の凝縮反応
の化学反応速度やいまだ明らかにされていないナノチュ
ーブの生成機構そのものに関与するものと考えられる。
また、従来の報告ではアルゴンが用いられているが、本
発明者は不活性ガスの圧力が非常に重要であり、ヘリウ
ムがアルゴンと同様の働きをする事を見いだした。さら
にまた驚くべき事に直流・交流どちらの放電でも回収し
た固体物質中でのチューブの存在比率はほぼ同じであっ
た。直流を使用する事の利点は、回収可能な固体物質の
量が増えている事である。作製時の電圧・電流の値もそ
れらが作製容器中でプラズマが立つに充分な値である限
り厳密である必要はない。
【０００８】本発明に用いることのできる製造装置にお
いて、使用するカーボン棒の直径は通常５ｍｍ〜５０ｍ
ｍのものが用いられるが、装置の大きさにより任意に選
んで差し支えない。また片方のカーボン電極にカーボン
ナノチューブを有効に成長させるために、消費されるカ
ーボン棒の径はカーボンナノチューブを成長させる対電
極の大きさより小さくしておくことが望ましい。なぜな
らば、両方のカーボン棒の径が同じならば、成長が両方
の電極で生じる確率が高くなり、均一な反応条件が得ら
れないからである。さらには、ＤＣモードで放電させ消
費されるカーボン電極を陽極にし、カーボンナノチュー
ブを成長させるカーボン電極をこの陽極より太い陰極に
すると非常に安定したカーボンナノチューブ製造条件が
得られることがわかった。これは、カーボンナノチュー
ブの成長に陽イオンのカーボン種が大きく寄与している
ためと考えられる。
いて、使用するカーボン棒の直径は通常５ｍｍ〜５０ｍ
ｍのものが用いられるが、装置の大きさにより任意に選
んで差し支えない。また片方のカーボン電極にカーボン
ナノチューブを有効に成長させるために、消費されるカ
ーボン棒の径はカーボンナノチューブを成長させる対電
極の大きさより小さくしておくことが望ましい。なぜな
らば、両方のカーボン棒の径が同じならば、成長が両方
の電極で生じる確率が高くなり、均一な反応条件が得ら
れないからである。さらには、ＤＣモードで放電させ消
費されるカーボン電極を陽極にし、カーボンナノチュー
ブを成長させるカーボン電極をこの陽極より太い陰極に
すると非常に安定したカーボンナノチューブ製造条件が
得られることがわかった。これは、カーボンナノチュー
ブの成長に陽イオンのカーボン種が大きく寄与している
ためと考えられる。
【０００９】不活性がスとしては、ヘリウムあるいはア
ルゴンを用いると効果的であるが、これらのガス以外に
もネオン、キセノン、クリプトン、ラドンなどのガスを
用いることもできる。
ルゴンを用いると効果的であるが、これらのガス以外に
もネオン、キセノン、クリプトン、ラドンなどのガスを
用いることもできる。
【００１０】
【実施例１】カーボンナノチューブを合成するためにヘ
リウムとアルゴンの圧力を、２０Ｔｏｒｒから２５００
Ｔｏｒｒの範囲で変えて実験した。実験後、炭素棒に堆
積した炭素クラスターを回収し粉砕して透過電子顕微鏡
（ＴＥＭ）で形状を観測してカーボンナノチューブの生
成量を調べた。２０Ｔｏｒｒではナノチューブは形成さ
れなかった。また、１００Ｔｏｒｒの圧力の時、ナノチ
ューブは回収物中に検出されたが収率は低かった。図１
に示すように５００Ｔｏｒｒから２５００Ｔｏｒｒの間
で６０％ていどの平坦な収率領域を形成しそこでは回収
物はほとんどがチューブで、他のグラファイト関連物質
の量はごくわずかだった。得られたサンプルの質および
量は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で調べた。収率の定義
は、カーボンロッドに堆積したカーボンをＴＥＭで観測
した場合に得られる像より、カーボンナノチューブとア
モルファスあるいはグラファイト状のカーボン微粒子と
を区別して体積比として算出したものである。以下に詳
細に条件を変化させた実験の場合に得られる結果を実施
例として示す。
リウムとアルゴンの圧力を、２０Ｔｏｒｒから２５００
Ｔｏｒｒの範囲で変えて実験した。実験後、炭素棒に堆
積した炭素クラスターを回収し粉砕して透過電子顕微鏡
（ＴＥＭ）で形状を観測してカーボンナノチューブの生
成量を調べた。２０Ｔｏｒｒではナノチューブは形成さ
れなかった。また、１００Ｔｏｒｒの圧力の時、ナノチ
ューブは回収物中に検出されたが収率は低かった。図１
に示すように５００Ｔｏｒｒから２５００Ｔｏｒｒの間
で６０％ていどの平坦な収率領域を形成しそこでは回収
物はほとんどがチューブで、他のグラファイト関連物質
の量はごくわずかだった。得られたサンプルの質および
量は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で調べた。収率の定義
は、カーボンロッドに堆積したカーボンをＴＥＭで観測
した場合に得られる像より、カーボンナノチューブとア
モルファスあるいはグラファイト状のカーボン微粒子と
を区別して体積比として算出したものである。以下に詳
細に条件を変化させた実験の場合に得られる結果を実施
例として示す。
【００１１】
【実施例２】アルゴン雰囲気を用いてガス圧を変えて実
験した。図２は（ａ）１００Ｔｏｒｒおよび（ｂ）５０
０Ｔｏｒｒの場合に得られる物質のＴＥＭ写真である。
写真中針状のものがナノチューブで、それ以外のものは
アモルファスあるいはグラファイト状のカーボン微粒子
である。針状の部分の電子線回折像をみると、前述の文
献（ネイチャー）に示したナノチューブ特有のパターン
が表われ、針状の部分がナノチューブであることを確認
した。以下の実施例でも針状の部分がナノチューブであ
ることを確認している。本実施例２では電流は交流（Ａ
Ｃ）でアーク電圧は１８Ｖであった。チューブの量がア
ルゴンの圧力の増加と共に目立って増加している事が明
かである。
験した。図２は（ａ）１００Ｔｏｒｒおよび（ｂ）５０
０Ｔｏｒｒの場合に得られる物質のＴＥＭ写真である。
写真中針状のものがナノチューブで、それ以外のものは
アモルファスあるいはグラファイト状のカーボン微粒子
である。針状の部分の電子線回折像をみると、前述の文
献（ネイチャー）に示したナノチューブ特有のパターン
が表われ、針状の部分がナノチューブであることを確認
した。以下の実施例でも針状の部分がナノチューブであ
ることを確認している。本実施例２では電流は交流（Ａ
Ｃ）でアーク電圧は１８Ｖであった。チューブの量がア
ルゴンの圧力の増加と共に目立って増加している事が明
かである。
【００１２】
【実施例３】実施例２と同様に圧力の影響をヘリウム雰
囲気を使用して実験した。図３はそれぞれ（ａ）２０Ｔ
ｏｒｒ、（ｂ）１００Ｔｏｒｒ、図４はそれぞれ（ａ）
５００Ｔｏｒｒ、（ｂ）２５００Ｔｏｒｒである。放電
条件はＡＣモードでおこなった。圧力が５００Ｔｏｒｒ
と２５００Ｔｏｒｒでカーボンナノチューブの量が著し
く増えていくことがわかる。
囲気を使用して実験した。図３はそれぞれ（ａ）２０Ｔ
ｏｒｒ、（ｂ）１００Ｔｏｒｒ、図４はそれぞれ（ａ）
５００Ｔｏｒｒ、（ｂ）２５００Ｔｏｒｒである。放電
条件はＡＣモードでおこなった。圧力が５００Ｔｏｒｒ
と２５００Ｔｏｒｒでカーボンナノチューブの量が著し
く増えていくことがわかる。
【００１３】
【実施例４】ＡＣとＤＣとの違いを５００Ｔｏｒｒの圧
力で比較した。図５は、５００Ｔｏｒｒの圧力のもとで
のアルゴン雰囲気およびヘリウム雰囲気でおこなったＤ
Ｃモードの実験の結果である。炭素電極上に堆積生成す
るカーボン微粒子中のナノチューブの収率はＡＣとＤＣ
で同じであるが、堆積量がＤＣモードだと著しく多く、
結果として収量が増加する。またＤＣモードの方が放電
条件が安定するため均一なナノチューブが得やすい。
力で比較した。図５は、５００Ｔｏｒｒの圧力のもとで
のアルゴン雰囲気およびヘリウム雰囲気でおこなったＤ
Ｃモードの実験の結果である。炭素電極上に堆積生成す
るカーボン微粒子中のナノチューブの収率はＡＣとＤＣ
で同じであるが、堆積量がＤＣモードだと著しく多く、
結果として収量が増加する。またＤＣモードの方が放電
条件が安定するため均一なナノチューブが得やすい。
【００１４】
【実施例５】電極のカーボンの太さを変化させて実験を
した。実験は１０ｍｍの電極カーボンに対して対電極カ
ーボンを（ａ）６ｍｍおよび（ｂ）３ｍｍにした。片方
の電極が対電極に比較して小さい場合に、両方の電極が
同じ場合に比較して、回収した単位重量あたりの収率は
変わらなかったが、実施例４で述べたと同じようにカー
ボンロッド（この場合は、より太い１０ｍｍロッド）に
堆積生成して回収される実効的なカーボンナノチューブ
の量が（ａ）の場合に３０％、（ｂ）の場合に５０％増
え、収量が増えることがわかる。
した。実験は１０ｍｍの電極カーボンに対して対電極カ
ーボンを（ａ）６ｍｍおよび（ｂ）３ｍｍにした。片方
の電極が対電極に比較して小さい場合に、両方の電極が
同じ場合に比較して、回収した単位重量あたりの収率は
変わらなかったが、実施例４で述べたと同じようにカー
ボンロッド（この場合は、より太い１０ｍｍロッド）に
堆積生成して回収される実効的なカーボンナノチューブ
の量が（ａ）の場合に３０％、（ｂ）の場合に５０％増
え、収量が増えることがわかる。
【００１５】
【実施例６】両端の電極のカーボンロッドの太さを１０
ｍｍと３ｍｍに設定し、さらに５００Ｔｏｒｒのヘリウ
ム雰囲気でＤＣモードで実験した。１０ｍｍの方を陰
極、３ｍｍの方を陽極とした。その結果、収率はほぼ６
０％であったが、消費したカーボン量に対する、電極上
に堆積し回収されるカーボンナノチューブを大量に含む
カーボン微粒子回収量が向上した。つまり電極の太さが
等しいＤＣモードの実験あるいは電極の太さに差異のあ
るＡＣモードの同様な実験に比べ、回収量は５０％向上
した。
ｍｍと３ｍｍに設定し、さらに５００Ｔｏｒｒのヘリウ
ム雰囲気でＤＣモードで実験した。１０ｍｍの方を陰
極、３ｍｍの方を陽極とした。その結果、収率はほぼ６
０％であったが、消費したカーボン量に対する、電極上
に堆積し回収されるカーボンナノチューブを大量に含む
カーボン微粒子回収量が向上した。つまり電極の太さが
等しいＤＣモードの実験あるいは電極の太さに差異のあ
るＡＣモードの同様な実験に比べ、回収量は５０％向上
した。
【００１６】
【発明の効果】本発明の作製方法によるとナノチューブ
を高収率で作製することができ、ナノチューブを用いた
新素材作製という点で工業的有用性は極めて高い。
を高収率で作製することができ、ナノチューブを用いた
新素材作製という点で工業的有用性は極めて高い。
【図１】本発明の製造方法によるカーボンナノチューブ
の収率の圧力による変化を示す図である。
の収率の圧力による変化を示す図である。
【図２】本発明の方法で製造したカーボンの結晶構造を
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件はＡＣモード、ア
ルゴン雰囲気で、圧力は（ａ）が１００Ｔｏｒｒ、
（ｂ）が５００Ｔｏｒｒである。
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件はＡＣモード、ア
ルゴン雰囲気で、圧力は（ａ）が１００Ｔｏｒｒ、
（ｂ）が５００Ｔｏｒｒである。
【図３】本発明の方法で製造したカーボンの結晶構造を
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件はＡＣモード、ヘ
リウム雰囲気で、圧力は（ａ）、（ｂ）でそれぞれ２
０、１００Ｔｏｒｒである。
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件はＡＣモード、ヘ
リウム雰囲気で、圧力は（ａ）、（ｂ）でそれぞれ２
０、１００Ｔｏｒｒである。
【図４】本発明の方法で製造したカーボンの結晶構造を
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件はＡＣモード、ヘ
リウム雰囲気で、圧力は（ａ）、（ｂ）でそれぞれ５０
０、２５００Ｔｏｒｒである。
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件はＡＣモード、ヘ
リウム雰囲気で、圧力は（ａ）、（ｂ）でそれぞれ５０
０、２５００Ｔｏｒｒである。
【図５】本発明の方法で製造したカーボンの結晶構造を
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件は、ＤＣモード、
圧力５００Ｔｏｒｒで、雰囲気は（ａ）がヘリウム、
（ｂ）がアルゴンである。
示す透過電子顕微鏡写真で、製造条件は、ＤＣモード、
圧力５００Ｔｏｒｒで、雰囲気は（ａ）がヘリウム、
（ｂ）がアルゴンである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−61373（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−133119（ＪＰ，Ａ) ＮＡＴＵＲＥ，Ｖｏｌ．354，ＮＯＶ ＥＭＢＥＲ（1991）ｐ．56−58
Claims (5)
- 【請求項１】 アーク放電によりカーボンを蒸発させた
後凝縮させてカーボンナノチューブを炭素電極上に形成
させるに際し、アーク放電を２００〜２５００Ｔｏｒｒ
の圧力範囲の不活性ガス雰囲気で行うことを特徴とする
カーボンナノチューブの製造方法。 - 【請求項２】 不活性ガスとしてヘリウムガスまたはア
ルゴンガスを用いることを特徴とする請求項１記載のカ
ーボンナノチューブの製造方法。 - 【請求項３】 アーク放電をＤＣモードで行うことを特
徴とする請求項１または請求項２記載のカーボンナノチ
ューブの製造方法。 - 【請求項４】 アーク放電を大きさの異なる２つの電極
を用いて行うことを特徴とする請求項１または請求項２
または請求項３記載のカーボンナノチューブの製造方
法。 - 【請求項５】 アーク放電の陰電極に用いるカーボンの
径を陽電極に用いる電極の径より大きくすることを特徴
とする請求項３または請求項４記載のカーボンナノチュ
ーブの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4172242A JP2845675B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | カーボンナノチューブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4172242A JP2845675B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | カーボンナノチューブの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06280116A JPH06280116A (ja) | 1994-10-04 |
| JP2845675B2 true JP2845675B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=15938256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4172242A Expired - Lifetime JP2845675B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | カーボンナノチューブの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2845675B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6641792B2 (en) | 2001-08-03 | 2003-11-04 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Hollow carbon fiber and production method |
| US8449858B2 (en) | 2009-06-10 | 2013-05-28 | Carbon Solutions, Inc. | Continuous extraction technique for the purification of carbon nanomaterials |
| US8454923B2 (en) | 2009-06-10 | 2013-06-04 | Carbon Solutions, Inc. | Continuous extraction technique for the purification of carbon nanomaterials |
Families Citing this family (12)
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|---|---|---|---|---|
| JP2526408B2 (ja) * | 1994-01-28 | 1996-08-21 | 工業技術院長 | カ―ボンナノチュ―ブの連続製造方法及び装置 |
| JP3183845B2 (ja) | 1997-03-21 | 2001-07-09 | 財団法人ファインセラミックスセンター | カーボンナノチューブ及びカーボンナノチューブ膜の製造方法 |
| KR20000066907A (ko) * | 1999-04-21 | 2000-11-15 | 장진 | 탄소 나노튜브의 제조방법 |
| EP1209714A3 (en) * | 2000-11-21 | 2005-09-28 | Futaba Corporation | Method for manufacturing nano-tube, nano-tube manufactured thereby, apparatus for manufacturing nano-tube, method for patterning nano-tube, nano-tube material patterned thereby, and electron emission source |
| JP4724930B2 (ja) | 2001-03-01 | 2011-07-13 | ソニー株式会社 | 炭素質材料の製造方法及び製造装置 |
| JP3998241B2 (ja) | 2002-10-18 | 2007-10-24 | キヤノン株式会社 | カーボンファイバーが固定された基体の製造方法 |
| JP3913181B2 (ja) | 2003-02-06 | 2007-05-09 | 三菱重工業株式会社 | カーボンナノファイバの製造方法及び製造装置 |
| JP3925459B2 (ja) * | 2003-05-07 | 2007-06-06 | 日立化成工業株式会社 | カーボンナノファイバ及びその製造方法 |
| KR100784993B1 (ko) | 2006-02-14 | 2007-12-11 | 주식회사 엘지화학 | 강직한 랜덤 코일 및 이를 포함하는 조성물 |
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1992
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