JP2825783B2 - プラズマにより強化された化学蒸気浸透による多孔質材料の高密度化方法 - Google Patents

プラズマにより強化された化学蒸気浸透による多孔質材料の高密度化方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多孔質材料を迅速
に高密度化する方法に関し、特にカーボン- カーボン複
合材料の密度を増加する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】幾つかの形式の材料は、最初に多孔質の
状態において製造され、その後完全なまたはほぼ完全な
密度の最終状態まで密度を増加される。そのような材料
の例は、航空機および宇宙船の構造、ブレーキ、および
熱制御装置において使用されるカーボン- カーボン複合
材料である。そのような材料の一つは、プレフォームと
呼ばれる三次元アレイにおいて互いに積層される多次元
アレイまたは平面マットに結合されたカーボンファイバ
で構成される。ファイバのみを含むこのプレフォームは
高度に多孔質であり、約１．１乃至１．２グラム／ｃｍ
3 の低密度である。プレフォームは、強さに欠け、余り
に強い圧力が加えらると破砕されるために、構造物とし
てそれ自体を使用することはできない。
【０００３】多くの上昇された温度における用途で使用
するための非常に好ましい特性を有する複合材料は、高
密度化処理によってこのプレフォームから形成される。
高密度化は、ファイバ間の孔を満たすように、プレフォ
ーム内にマトリックス材料を導入することによって達成
される。
【０００４】現在の処理技術においてカーボンは、カー
ボンファイバ- カーボン複合マトリックスを形成するた
めに、外部の液体または気体源からプレフォーム内に導
入される。カーボンの液体または気体源は、適当な温度
および圧力でプレフォームの表面と接触される。カーボ
ン前駆材料は、液体源から孔内に含浸されまたは気体源
から孔内に浸透され、または２つの技術の組合わせが使
用される。加熱後、ファイバ間に堆積されたカーボン
は、カーボンファイバを互いに結合するカーボンマトリ
ックスとなる。カーボンの導入は、種々の構造用に適当
である１．８乃至２．２グラム／ｃｍ3 の範囲まで材料
の密度を徐々に増加する。カーボンが孔内に堆積された
後、カーボン- カーボン複合物は、マトリックスのカー
ボンをグラファイト質にするためにその後長時間加熱さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】既存の含浸および浸透
技術は、カーボン源から堆積されるカーボンが表面の孔
を封鎖するために処理速度が遅い欠点がある。カーボン
の一部分は、プレフォームの表面近くの孔内に優先的に
堆積する傾向があり、プレフォームの内部へのカーボン
の流入を減少させる。高密度化は最初に表面に生じる傾
向があり、それによって表面の孔を徐々に閉ざし、内部
へのカーボン流入を遅くし、その結果複合材料の内部に
は孔が残される。したがって、これらの方法による高密
度化においては通常、含浸または浸透手段を中断して、
密度を増加された表面領域を機械加工で除去し、その後
処理を再開することを周期的に行っている。カーボンの
堆積と表面機械加工段階の繰り返しによって究極的に高
密度のカーボン- カーボン複合材料が得られる。必要と
される時間および努力の１例として、この多重サイクル
の堆積および表面機械加工技術による１／２インチの厚
さのカーボン- カーボン複合材料の生成は、４乃至５回
の表面機械加工動作によって中断され、浸透のために４
００乃至６００時間を通常必要とする。
【０００６】初めは多孔質であるが廉価な方法を使用し
て密度を増加されることができるカーボン- カーボン複
合物、およびその他の材料は、多くの適用に対する多大
な潜在的な可能性を提供する。しかしながらこの可能性
は、多重のカーボン堆積と表面機械加工サイクルを必要
とする時間のかかる、高価な高密度化処理のために現在
容易に実現されることができない。現在の方法と比べて
より少ない時間で廉価に必要とされる高密度化を達成す
ることができる改良された方法が必要とされている。本
発明はこの必要性を実現し、さらに関連した利点を提供
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、開いたまたは
閉ざされた孔を有する多孔質材料の制御された高密度化
処理の方法を提供する。この方法において、高密度化
は、通常の技術と比べて極めて速く、カーボン堆積と表
面機械加工の多重のサイクルの代わりに唯一の処理サイ
クルのみを必要とする。高密度化処理の時間は、通常の
処理方法において必要とされる時間の数パーセントまで
減少されることができる。高密度化は、材料内の選択可
能な深さに行われることが可能であり、制御可能な方法
において異なる充填物質によって行われることができ
る。
【０００８】本発明によれば、多孔質材料の密度を増加
する方法は、材料の表面の下の第１の深さに多孔質部分
を有する多孔質材料を準備し、材料の表面に隣接したプ
ラズマを生成し、プラズマ内に密度を増加させる物質の
ソースを導入し、材料を電気的にバイアスする段階を含
む。材料は、密度を増加させる物質のイオン化状態の符
号と反対の極性で、材料の表面の下の第１の深さに密度
を増加させる物質を堆積するのに十分な第１の電圧に、
プラズマに関して電気的にバイアスされる。
【０００９】本発明を実行するための１つの好ましい方
法において、プラズマは、高周波誘導によって反応装置
内で形成される。平行な電極、直流アーク、および任意
のその他のプラズマを形成するための使用可能な技術が
代わりに使用されることができる。密度を増加されるべ
き材料はプラズマ内に浸され、その結果プラズマは材料
を完全に取り囲む。密度を増加する物質のソースはプラ
ズマ内に導入される。材料の密度を増加するのに使用さ
れる物質がカーボンの場合において、メタンのようなプ
ラズマに解離するカーボンソースはプラズマ内に導入さ
れる。ガスソースは解離し、解離されたカーボンはその
後イオン化し、または付勢される。プラズマ内に浸され
たとき材料は、すぐにプラズマに関して小さな負電位を
得る。負電位は、さらに負バイアスを材料に外部から供
給することによって増加される。増加された負バイアス
は、イオンが材料に向かって加速されてその孔内に堆積
されるための、付勢またはイオン化された密度を増加す
る物質を生じる。全負バイアスの大きさは、カーボンが
材料の表面の下に浸透される深さを決定する。
【００１０】金属、モノリシックセラミック、セラミッ
クマトリックス複合体、および重合材料のような、種々
の多孔質材料は、本発明にしたがって処理されることが
できる。現在好まれている材料は、カーボン−ファイバ
プレフォームが本発明のプラズマにより強化された化学
蒸気浸透による多孔質材料の高密度化方法を使用して前
駆材料から付勢されたカーボン原子またはカーボンイオ
ンを導入することによって密度を増加されているカーボ
ン- カーボン複合材料である。
【００１１】本発明の方法は、電気的バイアスとして供
給される電圧を変化することによって、表面の下の１以
上の異なる厚さで材料の密度を増加するために使用され
ることができる。その厚さ全体にわたって多孔質の材料
の密度を増加するために、電圧は、必要とされる与えら
れた負バイアス電圧によって材料の中央まで密度を増加
する物質を最初に移動するように選択される。中央が単
位体積あたり必要とされる数の原子の導入によって密度
を増加された後、負バイアス電圧はより浅い深さで密度
を増加するようにわずかに減少されることができる。こ
の原理を拡張すると、与えられるバイアス電圧は、材料
の外面に向かって徐々に密度を増加する範囲を動かすた
めに、徐々に減少されることができる。好ましい実施例
においては密度を増加されるべき材料はプラズマ内に浸
され、その結果、高密度化は材料の全側面から同時に達
成されることができる。別の場合ではプラズマは、異な
る領域における異なる密度、変化する密度、またはその
他の最終製品における制御された密度の特性を生成する
ために、材料の一方の面のみで行われることができる。
【００１２】通常の浸透方法による高密度化において存
在する問題は、中央で高密度化を始め外に向かって処理
することによって回避される。（通常はアルゴンであ
る）プラズマの担体ガスによる材料の外面で同時に生じ
るスパッタリングによる衝撃はまた、材料の中央部分の
高密度化が行われる前に、密度を増加する物質が表面の
孔が閉ざすのを阻止する助けをする。しかしながら、最
初の表面の孔は幾つかは閉鎖されるであろう。しかしな
がら、この閉鎖された孔は、密度を増加されるマトリッ
クス領域内に表面熱クラックを形成するために、材料を
プラズマ内で急速に加熱および冷却することによって、
開放されることができる。強化されたプラズマ処理は、
表面クラックを通って行われる堆積によって、その後再
び続けられることができる。
【００１３】本発明の方法は、制御された深さの密度を
増加する物質の堆積に基いているので、選択可能な方法
において種々の深さで高密度化を行うために使用される
ことができる。例えば、種々の型式の層は制御された深
さに堆積されることが可能であった。したがって、密度
を増加するマトリックス材料の大部分は、別の材料の導
電層が選択された深さに堆積されることができたことを
除いては、導電性を全くまたはほとんど有しない材料で
あってもよい。したがって、正確な性質および多孔質材
料の高密度化の構造の選択において、非常に多くの適応
性がある。
【００１４】したがって本発明は、高度に制御される方
法において多孔質構造の密度を増加するための速い方法
を提供する。本発明のその他の特徴および利点は、好ま
しい実施例の以下の詳細な説明から、例として本発明の
原理を示す添付図面を参照し、明らかにされるであろ
う。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は、多孔質材料20を示す。こ
の多孔質材料20は多くの手段で形成されることが可能で
あるが、材料20はカーボンファイバ22の織られた積層体
または圧縮されたマットとして形成されることが好まし
い。積層体は、部分的な高密度化が得られるまで圧縮さ
れることができるが、その形成中の状態においてそのよ
うな材料内のカーボンファイバ間に可成の密度の細孔24
が残されている。図２は、カーボンファイバ22と細孔24
の細部を省略した材料20の概略図である。この描写は、
高密度化の結果得られた構造における修正を示すための
基礎として役立つ。
【００１６】図３は、通常の含浸または浸透加工による
高密度化処理を受けているそのような材料20を示す。こ
の方法において、矢印26で概略的に示される堆積された
物質を生成するために分解する液体または気体は材料20
の表面28に接触され、通常浸透および分解を可能にする
ために炉内で加熱される。分解可能な気体または液体
は、その表面28から材料20内に拡散する。細孔を形成す
るためのファイバとの接触において、気体または液体は
堆積物質を生成するために分解する。好ましい場合にお
いて、この物質26は例えば堆積されるカーボンを生成す
るためにカーボンファイバとの接触において分解するメ
タンガスである。この処理の目的は、堆積されたカーボ
ンによって細孔を満たし、それによって材料は高密度化
するすことである。
【００１７】まず初めに、物質26の材料20内への流入速
度は比較的速い。しかし物質26の一部は、表面28に最初
に入るとき分解する。堆積したカーボンの表面層30は、
表面28に隣接して次第に成長する。しかしながら物質26
の次第に減少する流れは、表面層30を通過し内部32に達
し続け、分解して細孔内の堆積したカーボンを生成す
る。これらの高密度の表面層30は、内部32内への物質26
のさらなる拡散を阻止して許容できない低い値まで内部
の高密度化を遅らせる。ある程度の時間後に浸透処理を
中断し、細孔が閉ざされていない新しい表面を露出させ
るように表面層30を機械加工によって除去し、それから
含浸または浸透処理を再開することが行われている。表
面層30を除去することによって、物質26の流入速度を一
時的に増加させることができるが、ある程度の時間後に
同じような表面層30が再び発生し、表面層30の機械加工
による除去を繰り返さなければならない。そのような通
常の多重サイクル処理において、４乃至６回の表面層30
の機械加工による除去を行って約１．１乃至１．２グラ
ム／ｃｍ3 の初期密度から約１．８乃至１．９グラム／
ｃｍ3 の最終の密度まで、１／２インチの厚さの細孔カ
ーボンファイバ材料20の密度を高密度化するためには約
４００乃至６００時間の浸透処理をすることが必要であ
る。
【００１８】図４乃至図６は、本発明にしたがった材料
20の細孔内への物質40の堆積処理の工程を示す。図４に
示されるように物質40は、材料20内へ表面28の下の第１
の深さ42に初めに導入され、表面28に隣接する領域内へ
堆積する物質40はほとんど、或いは全くない。図５にお
いて、第１の深さ42で堆積および密度が所望する程度に
達したとき、堆積のパラメータは物質40を第２の深さす
なわちより少ない深さ44で堆積するように調節される。
図６において調節は、材料の全厚さを通して高密度化が
完成するように、表面層46内に物質40を堆積するまで続
けられる。図３を参照して上述された通常の浸透加工に
おける固有の流入妨害は、最初に最も深いところに物質
が堆積しその後高密度化を完成するまでずっと堆積する
深さを減少することによって、回避される。
【００１９】図９は多孔質材料を高密度化する方法を示
し、図１０はこの目的のために使用されることが可能な
装置を示す。装置88は図９の符号70で示されるように準
備される。好ましい方法において、装置88の反応室90
は、内部のガスの外部からの誘導加熱を可能にするため
に、セラミックまたはガラスのような電気的絶縁材料で
形成されている。真空ポンプ92は反応室90を排気し、圧
力／真空計器94は反応室90内の圧力を測定する。反応室
90は、冷却水源96から被覆冷却筒98を介して放水路100
まで流れる水によって外部から冷却されることができ
る。ガス源102 から反応室90を通して廃棄ガス処理装置
104 へガスを流すことによって、制御されるガス環境が
反応室90内に生じる。
【００２０】反応室90内で、高密度にされるべき材料20
は試料保持器106 上に支持され、それはまた電源の第１
の端子108 に電気接続される。試料保持器106 およびそ
れに支持された材料20は、回転されると同時に材料20が
所望されるようにプラズマ領域内に導入され、またプラ
ズマ領域から取出されることができるように、反応室90
の長さに沿って軸の方向に動かされることができる。対
向する電極110 は材料20に隣接して配置され、電気回路
を完成するために電源の第２の端子112 に接続される。
誘導コイル113 は反応室90内にガスにプラズマを発生す
るために、冷却筒98の回りに巻き付けられている。
【００２１】動作において、反応室90は排気され、その
後アルゴンのような不活性ガスによって再び満たされ
る。誘導コイル113 は、約５メガヘルツが最も好ましい
が約１乃至約１３．６メガヘルツの周波数で付勢され、
図９の符号72で示されるように反応室90内のアルゴンガ
ス中でプラズマを発生させる。プラズマ内で分解する高
密度化のための前駆物質ガスは、ガス源102 から導入さ
れる（図９の符号74）。ガス源は、密度を増加させる物
質を生成するために分解する任意の反応材料でよい。好
ましい方法においては約０．１乃至１００トルの分圧の
メタン（ＣＨ4 ）が反応室90を通って流される。メタン
は、プラズマ内で分解し、活性されたカーボン原子およ
び正電荷のカーボンイオン（Ｃ+ ）を生成し、それらの
両方は材料20内に浸透される。
【００２２】材料20は、試料保持器106 を適当な位置ま
で移動することによってプラズマ内に導入される（図９
の符号76）。この装置において材料20は、プラズマが材
料の全側面を取り囲むように、プラズマ内に十分に浸さ
れる。プラズマに入ると同時に材料20には負の電圧を与
えられるが、この与えられた電圧は小さいので材料20内
へのカーボンイオンおよび／または活性された原子の浸
透を行わせる効果はない。さらに負のバイアスが第１の
電源108 から材料20に加えられる（図９の符号78）。材
料20の全ての負のバイアスは、約１００乃至約３０００
ボルト程度である。（その他の物質の浸透が行われると
きは、バイアス電圧はプラズマ内のイオンの物質のそれ
と逆であるように変更されることができる。） 負のバイアス電圧は、カーボンイオンおよび活性化され
たカーボンを材料中に加速する。カーボンは、バイアス
電圧の大きさによって正確に制御可能な透入の深さの範
囲まで材料内へ透入される。イオンおよび活性化された
カーボン物質がそれらの最大の透入の深さに達したと
き、それらは最も近い有効な表面上に堆積する（透入お
よび堆積は、構造および電荷における変化のために単一
の深さの値ではなく、むしろ小さい範囲で生じる）。イ
オンが堆積するにつれて、それらは孔を減少し、材料の
局部的密度を増加する。例えばカーボンイオンは、カー
ボンファイバ前駆材料の１／２インチの厚さの中央部分
まで、約１００乃至３０００ボルトの負電圧によって加
速される。
【００２３】第１の電圧でのイオンの堆積は、与えられ
る電圧に対応する透入の深さの範囲で、多孔質材料を所
望される程度まで密度を増加するのに十分な時間の間、
続けられる。第１の電源108 のバイアス電圧（の絶対
値）は、その後少しずつ徐々に減少され、イオンの透入
の深さの範囲を徐々に減少させる（図９の符号80）。こ
の第２の深さの範囲で高密度化は、局部的密度の要求さ
れる程度が達成されるまで続けられる。バイアス電圧の
減少は徐々に続けられ、高密度化されるべき最も深い深
さから最も浅い深さまで高密度化の電流領域を動かす。
【００２４】段階78および80の間中、図７において示さ
れるように、表面領域に近いところにおいていくらかの
活性されたイオンの堆積が小程度であるが生成される。
これらの堆積されたイオンは、最も深い深さで高密度化
の速度を遅くする可能性がある。上述の中央から表面へ
向かっての高密度化処理方法においては、密度を増加す
る物質の表面近くへの堆積は、通常はアルゴンであるプ
ラズマを維持するガスによる材料の表面で同時に発生す
るスパッタによるイオン衝撃のために、最少量となる傾
向がある。プラズマを維持するガスによって、密度を増
加する物質の堆積と共にスパッタリングイオン衝撃が同
時に生じる。
【００２５】密度を増加する物質のいくらかの表面近く
の堆積が生じる結果において、表面近くの細孔構造は、
誘導コイル113 またはその他の加熱源によって材料の表
面を強く加熱し、その後急速に材料を冷却することによ
って、開口されることが可能である（図９の符号82）。
したがって材料20は、約８５０℃の堆積温度から約３０
００℃まで１乃至２秒間加熱され、その温度から急速に
冷却されることができる。急速な加熱と冷却は、材料20
に熱的応力を与え、選択された深さの範囲で堆積が続け
られることを可能にするように堆積された材料を通して
熱的な表面のクラックを生じる。この場合材料はこの加
熱の間中反応室から取出される必要はなく、分離した機
械加工動作は必要とされない。
【００２６】浸透されたカーボンはアモルファス状カー
ボンとして堆積され、カーボンをグラファイト質の形状
に変化することがしばしば望ましい。堆積されたカーボ
ンのグラファイト化を行うために、材料は約２２００℃
以上の好ましくは３０００℃の温度まで反応室90内で加
熱される（図９の符号84）。加熱は、材料の周囲に熱プ
ラズマを形成するために、反応室の圧力を１気圧近くま
で増加し、実質的に電力レベルを増加することによって
達成される。この場合において、電子およびイオン温度
はほぼ同じであり、熱力学的に平衡状態にある。グラフ
ァイト化温度までの加熱は約１２時間で達成され、材料
は少なくとも約１時間の周期の間中グラファイト化温度
で保たれる。（別の場合において材料は、別の装置に移
動され、抵抗加熱または誘導加熱のいずれかを使用する
ことによって上昇された温度まで加熱されることができ
る。） このグラファイト化への好ましい方法は、通常の方法と
比べられる。通常の方法において、浸透および機械加工
の４乃至６サイクルの後、材料は炉内に配置され、約１
週間にわたってグラファイト化温度に加熱される。緩や
かな加熱は、多孔質構造内にカーボンと共に堆積される
揮発性の物質が構造の外にゆっくりと放散するのを可能
にするため必要とされる。あまりに速い加熱は、泡の形
成および材料のブリスタまたはクラックを引き起こすで
あろう。その後材料は、少なくとも１時間グラファイト
化温度に保たれる。カーボンのプレフォームを高密度化
しグラファイト化する全段階は、従来の方法によって完
成されるまで通常約６か月を必要とするが、それに比べ
本発明の方法は約３乃至４日を必要とするに過ぎない。
【００２７】本発明の方法は、制御された深さに密度を
増加する物質を正確に堆積することに基いている。この
特徴はさらに、その他の構造を生成するのに同様に利用
されることが可能である。例えば図８に示されるよう
に、中央層118 は密度を増加する物質を使用して上述の
ように形成されることができる。その後第２の密度を増
加する物質が、より小さい深さで異なる組成および密度
の第２の層120 を生成するために使用されることができ
る。層120 は、プラズマを変化させることによって、ま
たは対向する側面をマスキングすることによって、中央
層118 の両側または中央層の一方の側面のみに、形成さ
れることができた。これらの原理は、制御可能な深さに
おける制御可能な組成および密度を有する幅広い種々の
層を堆積するのに使用されることができる。
【００２８】本発明の上述された方法および装置を使用
した実施例について説明する。側面が15.24cm (6イン
チ) の1.27cm(1/2インチ) の厚さのカーボンファイバプ
レフォームの方形部材の密度が増加された。ガス流は、
アルゴンの場合１００乃至１０００ｃｍ3 ／分であり、
水素の場合５０乃至５００ｃｍ3 ／分であり、メタンの
場合２０乃至２００ｃｍ3 ／分である。与えられるバイ
アス電圧は中央部分の高密度化のために約−１００乃至
−３０００ボルトであり、バイアス電圧は最後の表面の
高密度化のために−１０乃至−２００ボルトまで徐々に
減少される。材料の密度は、約４時間で約１．１２から
約１．８グラム／ｃｍ3 まで増加される。ただ１回の浸
透処理が必要とされるだけである。材料は、機械加工そ
の他の処理を行うために処理の途中で装置88から取出さ
れるこちはない。
【００２９】同じ材料の匹敵する高密度化処理と比較す
ると、通常のガス浸透および４乃至６回の機械加工を含
む処理サイクルによる場合には約５００乃至６００時間
を必要とした。
【００３０】本発明の特定の実施例が、説明の目的でに
詳しく開示されているが、種々の変更および変形が本発
明の技術的範囲から逸脱することなく可能である。した
がって、本発明は特許請求の範囲の記載によってのみ限
定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】多孔質材料の概略断面図。
【図２】図１の材料の概略図。
【図３】通常の浸透高密度化処理中の図２の材料の概略
断面図。
【図４】本発明にしたがった高密度化処理の最初の段階
における図２の材料の概略断面図。
【図５】高密度化処理の後の段階における図４の材料の
概略断面図。
【図６】高密度化処理の完成した図５の材料の概略断面
図。
【図７】表面の孔封鎖部の除去中の図５の材料の概略断
面図。
【図８】層にされた高密度構造が形成されている本発明
にしたがった高密度化中の図２の材料の概略断面図。
【図９】本発明の処理のフロー図。
【図１０】本発明の方法を実行するための装置の概略
図。
【符号の説明】
50…放射素子、55…導電体水平面領域、58…誘電体基
板、60，62…表面、64，66…導電パターン、70，74…マ
イクロストリップライン導電体、78…一斉に結合された
ストリップ、80…循環器、80a ，80b ，80c …ポート、
84，86…導電性領域。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウェスリー・ピー・ホフマン アメリカ合衆国、カリフォルニア州 93551、パームデール、ダブリュ・アベ ニュー ０ − ８ 2256 (56)参考文献 特開 平３−223165（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−39782（ＪＰ，Ａ) 米国特許5348774（ＵＳ，Ａ) 欧州特許出願公開276041（ＥＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C04B 41/85 C04B 35/83 C23C 16/50 ＥＰＡＴ（ＱＵＥＳＴＥＬ) ＰＣＩ（ＤＩＡＬＯＧ) ＷＰＩ／Ｌ（ＱＵＥＳＴＥＬ)

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 材料の表面の下の第１の深さに多孔質部
    分を有する多孔質材料を準備し、 材料の表面に隣接したプラズマを生成し、 プラズマ内に密度を増加させる物質のソースを導入し、 密度を増加させる物質のイオン化状態の符号と反対の極
    性で、材料の表面の下の第１の深さに密度を増加させる
    物質を堆積するのに十分な第１の電圧に、プラズマに関
    して材料を電気的にバイアスすることを特徴とする多孔
    質材料の高密度化方法。
  2. 【請求項２】 前記多孔質材料は、カーボンファイバの
    アレイである請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記多孔質材料は、金属、モノリシック
    セラミック、セラミックマトリックス複合体、および重
    合材料からなる群から選択された材料である請求項１記
    載の方法。
  4. 【請求項４】 前記プラズマの生成において、材料の表
    面に隣接するガス状の物質を供給し、 材料の表面に隣接する電界を与える請求項１記載の方
    法。
  5. 【請求項５】 前記密度を増加させる物質のソースのプ
    ラズマ内への導入において、プラズマ内に密度を増加す
    る物質の分解可能な前駆化合物源を導入する請求項１記
    載の方法。
  6. 【請求項６】 前記密度を増加させる物質のソースのプ
    ラズマ内への導入において、プラズマ内にカーボンのソ
    ースを導入する請求項１記載の方法。
  7. 【請求項７】 前記密度を増加させる物質のソースのプ
    ラズマ内への導入において、プラズマ内にカーボン化合
    物を導入する請求項１記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記電気的にバイアスするために材料に
    負の電圧を与える請求項１記載の方法。
  9. 【請求項９】 前記多孔質材料は、材料の表面の下の第
    ２の深さに多孔質部分を有する多孔質材料であり、 さらに密度を増加する物質のイオン化状態の符号と反対
    の極性で第１の電圧にプラズマに関して材料を電気的に
    バイアスした後に、 密度を増加する物質のイオン化状態の符号と反対の極性
    で材料の表面の下の第２の深さまで密度を増加する物質
    を堆積するのに十分な第２の電圧にプラズマに関して材
    料を電気的にバイアスし、前記第２の電圧は第１の電圧
    より小さい請求項１記載の方法。
  10. 【請求項１０】 前記電気的にバイアスするときに、材
    料に表面クラックを生成するために材料の表面を急速に
    加熱しその後冷却するステップを断続して行う請求項１
    記載の方法。
  11. 【請求項１１】 電気的にバイアスした処理の後に、材
    料をグラファイト化温度に加熱する請求項１記載の方
    法。
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