JP2813123B2 - 光線の配列を結合する方法と装置 - Google Patents
光線の配列を結合する方法と装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光線の配列（光線列）
を結合する方法および装置に関し、特に、一表面に複数
の光線列を方向付ける方法および装置に関する。
を結合する方法および装置に関し、特に、一表面に複数
の光線列を方向付ける方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光線列および光学的入出力を有する装置
の配列を用いる光学的スイッチングおよびプロセシング
システムにおいて、装置の同一表面上に数個の光線列を
方向付することがしばしば必要になる。このシステムに
生じる主要な問題は、光学的出力の多大な損失および収
差の発生なしにこの要望を満たすことが出来ない点であ
る。
の配列を用いる光学的スイッチングおよびプロセシング
システムにおいて、装置の同一表面上に数個の光線列を
方向付することがしばしば必要になる。このシステムに
生じる主要な問題は、光学的出力の多大な損失および収
差の発生なしにこの要望を満たすことが出来ない点であ
る。
【０００３】目的表面に複数光線列を方向付ける１つの
技術は、空間で鏡の反射率を変えるパターン化されてい
る空間偏向鏡を用いることである。光線の１つの配列
は、光線が高透過率である鏡の一部に当たるように配置
されている。光線の第１の配列（第１光線列）は、目標
表面に当たるように鏡を通過する。光線の他の配列は鏡
から目標の表面に反射するように配置されている。映像
レンズは表面上の鏡面に像を結ぶようになっている。
技術は、空間で鏡の反射率を変えるパターン化されてい
る空間偏向鏡を用いることである。光線の１つの配列
は、光線が高透過率である鏡の一部に当たるように配置
されている。光線の第１の配列（第１光線列）は、目標
表面に当たるように鏡を通過する。光線の他の配列は鏡
から目標の表面に反射するように配置されている。映像
レンズは表面上の鏡面に像を結ぶようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、映像面を通過
する透過光は、光線列の大きさを制限するという好まし
くない光の収差をもたらす。さらに、映像レンズの使用
は空間偏向鏡と目標表面間に必要とされる距離を増大さ
せ、またシステム全体の寸法も増大させる。光線列を結
合する他の技術は瞳面結合である。本技術において、第
１光線列はレンズの瞳面の半分を通って透過され、第２
光線列はレンズの瞳面の他の半分を通って透過される。
しかし、この技術はレンズの不完全さにより光の収差を
増大させ易い。このようなことから、光の収差に対する
感受性を最小にし、小さなシステムをもたらし、光の出
力損失を最小にする光線列を結合する方法および装置が
要望されている。
する透過光は、光線列の大きさを制限するという好まし
くない光の収差をもたらす。さらに、映像レンズの使用
は空間偏向鏡と目標表面間に必要とされる距離を増大さ
せ、またシステム全体の寸法も増大させる。光線列を結
合する他の技術は瞳面結合である。本技術において、第
１光線列はレンズの瞳面の半分を通って透過され、第２
光線列はレンズの瞳面の他の半分を通って透過される。
しかし、この技術はレンズの不完全さにより光の収差を
増大させ易い。このようなことから、光の収差に対する
感受性を最小にし、小さなシステムをもたらし、光の出
力損失を最小にする光線列を結合する方法および装置が
要望されている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第２光線列を角度偏向装
置から目的表面に反射させているとき、第１光線列を角
度偏向装置から目的表面に透過させることにより、光の
パワー損失を最小にするような方法で光線列が結合され
る。第１光線列の光線は、角度偏向装置が高透過率であ
るような第１組の角度で、角度偏向装置に当たるように
配置されている。第２光線列の光線は、角度偏向装置が
高反射率であるような第２組の角度で、角度偏向装置に
当たるように配置されている。
置から目的表面に反射させているとき、第１光線列を角
度偏向装置から目的表面に透過させることにより、光の
パワー損失を最小にするような方法で光線列が結合され
る。第１光線列の光線は、角度偏向装置が高透過率であ
るような第１組の角度で、角度偏向装置に当たるように
配置されている。第２光線列の光線は、角度偏向装置が
高反射率であるような第２組の角度で、角度偏向装置に
当たるように配置されている。
【０００６】
【実施例】本発明の最良の実施例では、角度偏向装置は
目標表面に対しほぼ４５度の角度で配置されたファブリ
ペロー共振器である。一個は目標の表面に対し直角であ
り、他の一個は目標の表面に対しほぼ平行である光源の
二個の光線列はファブリペロー共振器で方向付けられ
る。照準レンズは反射なしに光線が共振器を通過させる
設定角度でファブリペロー共振器に当たるように、光線
を目標の表面に対し直角にする。第２の照準レンズは光
線が共振器から目標の表面に反射させる設定角度でファ
ブリペロー共振器に当たるように、光線を目標の表面に
平行に位置するようにする。
目標表面に対しほぼ４５度の角度で配置されたファブリ
ペロー共振器である。一個は目標の表面に対し直角であ
り、他の一個は目標の表面に対しほぼ平行である光源の
二個の光線列はファブリペロー共振器で方向付けられ
る。照準レンズは反射なしに光線が共振器を通過させる
設定角度でファブリペロー共振器に当たるように、光線
を目標の表面に対し直角にする。第２の照準レンズは光
線が共振器から目標の表面に反射させる設定角度でファ
ブリペロー共振器に当たるように、光線を目標の表面に
平行に位置するようにする。
【０００７】焦点レンズは光線列から目標の表面上の特
定の点に光線を集中させる。光線が角度偏向装置に当た
る入射角度θは光線が装置で反射するか透過するかを決
定する。角度偏向装置は第１設定角度で装置に入射する
光を透過し、第２設定角度で装置に入射する光を反射す
る。第１光線列が角度偏向装置を透過するように、第１
設定角度で第１光線列が角度偏向装置に当たるように
し、一方第２光線列が角度偏向装置で反射するように、
第２設定角度で第２光線列が角度偏向装置に当たるよう
にすることで光線列を結合させることを実現した。光線
の結合された光線列はほぼ同じ方向に進行し、交互に配
列することが可能である。
定の点に光線を集中させる。光線が角度偏向装置に当た
る入射角度θは光線が装置で反射するか透過するかを決
定する。角度偏向装置は第１設定角度で装置に入射する
光を透過し、第２設定角度で装置に入射する光を反射す
る。第１光線列が角度偏向装置を透過するように、第１
設定角度で第１光線列が角度偏向装置に当たるように
し、一方第２光線列が角度偏向装置で反射するように、
第２設定角度で第２光線列が角度偏向装置に当たるよう
にすることで光線列を結合させることを実現した。光線
の結合された光線列はほぼ同じ方向に進行し、交互に配
列することが可能である。
【０００８】図１は本発明の原理を説明するものであ
る。特に、図１は、角度偏向装置１０の各々反対側に入
射され、一般にそれぞれα光線およびβ光線で表示され
る光線の２個の照準された光線列を示している。本発明
の実施例では、角度偏向装置１０は、ファブリペロー共
振器（以下ファブリペロー共振器１０とする）である。
α1、α2、α3を含む光線列αは、例えば光検出器の目
標の表面１２上へファブリペロー共振器１０から反射さ
れる。光線β1、β2、β3を含む光線列βは反射せずほ
ぼ全部が目標の表面１２上へ透過する。光線列αの光線
は、共振器１０が高反射になる角度でファブリペロー共
振器１０に当たり、光線列βの光線は共振器が高透過に
なる角度でファブリペロー共振器１０に当たる。光線列
α、βは、光線列の透過および光線列の反射で、両光線
列が目標の表面１２に入射するように互いにおよびファ
ブリペロー共振器１０に関して方向付けられる。ファブ
リペロー共振器１０の表面への垂線に関して測定される
入射角はファブリペロー共振器１０が直角に反射するよ
うな４５度近傍に選択される。勿論、入射角度の幾多の
選択結合と共振器の方向付けで光線列を結合することが
できる。
る。特に、図１は、角度偏向装置１０の各々反対側に入
射され、一般にそれぞれα光線およびβ光線で表示され
る光線の２個の照準された光線列を示している。本発明
の実施例では、角度偏向装置１０は、ファブリペロー共
振器（以下ファブリペロー共振器１０とする）である。
α1、α2、α3を含む光線列αは、例えば光検出器の目
標の表面１２上へファブリペロー共振器１０から反射さ
れる。光線β1、β2、β3を含む光線列βは反射せずほ
ぼ全部が目標の表面１２上へ透過する。光線列αの光線
は、共振器１０が高反射になる角度でファブリペロー共
振器１０に当たり、光線列βの光線は共振器が高透過に
なる角度でファブリペロー共振器１０に当たる。光線列
α、βは、光線列の透過および光線列の反射で、両光線
列が目標の表面１２に入射するように互いにおよびファ
ブリペロー共振器１０に関して方向付けられる。ファブ
リペロー共振器１０の表面への垂線に関して測定される
入射角はファブリペロー共振器１０が直角に反射するよ
うな４５度近傍に選択される。勿論、入射角度の幾多の
選択結合と共振器の方向付けで光線列を結合することが
できる。
【０００９】図２は本発明の原理に基づき、ほぼ平行な
光線の２個の光線列を結合する装置の模範的実施例を示
す。本装置はファブリペロー共振器１０、照準レンズ１
４、１６、焦点レンズ１８を有する。光源ａ1、ａ2、ａ
3から発光された光線は照準レンズ１４により照準され
る。照準された光線はファブリペロー共振器１０の第１
鏡表面２０に方向付けられ、高反射率になるような一組
の角度で表面２０に当たる。同様に、光源ｂ1、ｂ2、ｂ
3から発光された光線は照準レンズ１６により照準さ
れ、ファブリペロー共振器１０の第２鏡表面２２に方向
付けされる。光源ｂ1、ｂ2、ｂ3から発光された光線は
高透過率になるような一組の角度で表面２２に当たる。
光線列α、βとっての模範的な角度は下記に記述し、図
６に示す。照準レンズ１４、１６の位置は光線の各々の
光線列にとって望ましい角度になるように選択される。
レンズ１８は異なる角度で光線列αの光線を反射させ、
光線列βの光線を透過させる。レンズ１８は目標の表面
１２上の点ａ1'、ｂ1'、ａ2'、ｂ2'、ａ3'、ｂ3'の挟み
込まれた光線列を形成するように光線を集束する。照準
レンズ１４、１６の位置は、図２に示すように点が挟み
込まれるように調整可能になっている。
光線の２個の光線列を結合する装置の模範的実施例を示
す。本装置はファブリペロー共振器１０、照準レンズ１
４、１６、焦点レンズ１８を有する。光源ａ1、ａ2、ａ
3から発光された光線は照準レンズ１４により照準され
る。照準された光線はファブリペロー共振器１０の第１
鏡表面２０に方向付けられ、高反射率になるような一組
の角度で表面２０に当たる。同様に、光源ｂ1、ｂ2、ｂ
3から発光された光線は照準レンズ１６により照準さ
れ、ファブリペロー共振器１０の第２鏡表面２２に方向
付けされる。光源ｂ1、ｂ2、ｂ3から発光された光線は
高透過率になるような一組の角度で表面２２に当たる。
光線列α、βとっての模範的な角度は下記に記述し、図
６に示す。照準レンズ１４、１６の位置は光線の各々の
光線列にとって望ましい角度になるように選択される。
レンズ１８は異なる角度で光線列αの光線を反射させ、
光線列βの光線を透過させる。レンズ１８は目標の表面
１２上の点ａ1'、ｂ1'、ａ2'、ｂ2'、ａ3'、ｂ3'の挟み
込まれた光線列を形成するように光線を集束する。照準
レンズ１４、１６の位置は、図２に示すように点が挟み
込まれるように調整可能になっている。
【００１０】図３、４はファブリペロー共振器１０をよ
り詳細に示し、かつ共振器内の光線の角度を図解して示
すものである。各図において、光線はファブリペロー共
振器１０の表面の法線に対する角度θで入射する。図３
は表面２０で入射する光線α1を示し、図４は表面２２
で入射するβ1を示す。表面２０を通って透過される光
線α1の一部は表面２０の法線に対して角度θ'で伝幡す
る。同様に、表面２２を通って透過される光線β1の一
部は表面２２の法線に対して角度θ'で伝幡する。
り詳細に示し、かつ共振器内の光線の角度を図解して示
すものである。各図において、光線はファブリペロー共
振器１０の表面の法線に対する角度θで入射する。図３
は表面２０で入射する光線α1を示し、図４は表面２２
で入射するβ1を示す。表面２０を通って透過される光
線α1の一部は表面２０の法線に対して角度θ'で伝幡す
る。同様に、表面２２を通って透過される光線β1の一
部は表面２２の法線に対して角度θ'で伝幡する。
【００１１】ファブリペロー共振器１０の角度偏向特性
を記述する科学的原理と、最適のシステムとファブリペ
ロー共振器の設計について、以下に説明する。ファブリ
ペロー共振器の特性は、M. Born and E. Wolf, "Princi
ples of Optics", Sixth Ed., Pergamon Press, New Yo
rk, 1980, pp.323-341、に記述されている。本発明の実
施例では、ファブリペロー共振器１０の鏡の前平面２０
と鏡の裏平面２２の反射率は等しい。この場合、ファブ
リペロー共振器の透過率Ｔは式（１）で表され、共振器
の反射率は式（２）で表され、Ｆは式（３）で、δは式
（４）で表される。
を記述する科学的原理と、最適のシステムとファブリペ
ロー共振器の設計について、以下に説明する。ファブリ
ペロー共振器の特性は、M. Born and E. Wolf, "Princi
ples of Optics", Sixth Ed., Pergamon Press, New Yo
rk, 1980, pp.323-341、に記述されている。本発明の実
施例では、ファブリペロー共振器１０の鏡の前平面２０
と鏡の裏平面２２の反射率は等しい。この場合、ファブ
リペロー共振器の透過率Ｔは式（１）で表され、共振器
の反射率は式（２）で表され、Ｆは式（３）で、δは式
（４）で表される。
【数１】 上記の各式において、Ｒはファブリペロー鏡表面２０お
よび２２の反射率であり、λ0は光の自由空間波長であ
り、ｎ'は鏡表面２０と２２を分離する媒質の反射率で
あり、ｈは鏡表面間の距離であり、θ'は媒質の内側で
測られる光線（α1またはβ1）と鏡表面に対する法線の
間の角度である。装置の動作原理に影響を与えないの
で、鏡表面２０と２２で反射する光線の位相変化は無視
する。ファブリペロー共振器１０はδ＝２πｍのとき完
全に透明になる。ここで、ｍは整数であり、鏡表面２０
と２２の反射率は等しくなっている。ファブリペロー共
振器１０は式（５）のような角度θ'で高透過率にな
る。ここで、ｍはファブリペロー共振器１０の共振数で
ある。
よび２２の反射率であり、λ0は光の自由空間波長であ
り、ｎ'は鏡表面２０と２２を分離する媒質の反射率で
あり、ｈは鏡表面間の距離であり、θ'は媒質の内側で
測られる光線（α1またはβ1）と鏡表面に対する法線の
間の角度である。装置の動作原理に影響を与えないの
で、鏡表面２０と２２で反射する光線の位相変化は無視
する。ファブリペロー共振器１０はδ＝２πｍのとき完
全に透明になる。ここで、ｍは整数であり、鏡表面２０
と２２の反射率は等しくなっている。ファブリペロー共
振器１０は式（５）のような角度θ'で高透過率にな
る。ここで、ｍはファブリペロー共振器１０の共振数で
ある。
【数２】
【００１２】スネルの法則によれば、式（６）のよう
に、ｍ番目のファブリペロー透過共振の入射角度を推定
できる。
に、ｍ番目のファブリペロー透過共振の入射角度を推定
できる。
【数３】 光線列βの光線がファブリペロー共振器１０（図１参
照）に入射する角度は高透過率の角度の中から選択され
る。隣り合う高透過率角度間の角分離δθ（ラジアン）
は、共振のうちの１つのｍが１に比べて非常に大きいと
すれば、式（７）で与えられる。δθの大きさにのみ関
心があるので、式（７）のマイナス記号は無視できる。
照）に入射する角度は高透過率の角度の中から選択され
る。隣り合う高透過率角度間の角分離δθ（ラジアン）
は、共振のうちの１つのｍが１に比べて非常に大きいと
すれば、式（７）で与えられる。δθの大きさにのみ関
心があるので、式（７）のマイナス記号は無視できる。
【数４】 ファブリペロー共振器１０は高透過率の角度間の角度で
高反射率になる。光線列αの光線の入射角度（図１参
照）の選定は高反射率のこの組の角度からである。
高反射率になる。光線列αの光線の入射角度（図１参
照）の選定は高反射率のこの組の角度からである。
【００１３】例えば、高透過率の角度間の中程の角度で
起きるδ＝（２ｍ＋１）πのとき、ファブリペロー共振
器１０の反射率Ｒmaxは式（８）によって与えられる。
起きるδ＝（２ｍ＋１）πのとき、ファブリペロー共振
器１０の反射率Ｒmaxは式（８）によって与えられる。
【数５】 反射率は非常に大きくなる。例えば、５０％の鏡の反射
率でＲmaxはほぼ８９％になる。最良のシステムすなわ
ちファブリペロー共振器設計について図２を参照して説
明する。直線光線列の光源ａ、ｂはｄ＝５００μｍの距
離だけ離れている。レンズ１４、１６、１８のそれぞれ
の焦点距離ｆ14、ｆ16、ｆ18は１ｃｍである。光線列か
らの光線は関連するレンズにより照準されると、光線列
内で隣接する光線間の角分離は、ほぼδθ＝ｔａｎ
-1（５００μｍ／１ｃｍ）＝２．８６度になる。この共
振器の設計では、波長λ0＝０．８５μｍ、屈折率ｎ＝
１、ｎ'＝１．５にする。
率でＲmaxはほぼ８９％になる。最良のシステムすなわ
ちファブリペロー共振器設計について図２を参照して説
明する。直線光線列の光源ａ、ｂはｄ＝５００μｍの距
離だけ離れている。レンズ１４、１６、１８のそれぞれ
の焦点距離ｆ14、ｆ16、ｆ18は１ｃｍである。光線列か
らの光線は関連するレンズにより照準されると、光線列
内で隣接する光線間の角分離は、ほぼδθ＝ｔａｎ
-1（５００μｍ／１ｃｍ）＝２．８６度になる。この共
振器の設計では、波長λ0＝０．８５μｍ、屈折率ｎ＝
１、ｎ'＝１．５にする。
【００１４】光の出力としてレーザーダイオードを用い
る光学システムでは一般的にこの波長が用いられる。屈
折率は空気中または真空中でのガラスファブリペロー共
振器１０に対応する。ガラスファブリペロー共振器１０
が直角に反射するようθ＝４５度近傍で操作する。スネ
ルの法則により、共振器内角度はθ'＝２８．１３度に
なる。式（７）によりファブリペロー共振器１０の厚さ
ｈがほぼ２２．５μｍになることが推定できる。所望の
厚さと表面反射率を有するファブリペロー共振器を制作
する方法は当該技術分野では良く知られている。式
（４）から表面入射角度θを用いて式（９）が得られ
る。この式（９）と式（１）、（２）を用いると、ファ
ブリペロー共振器１０の透過率Ｔと反射率Ｓは入射角度
θの関数として計算できる。
る光学システムでは一般的にこの波長が用いられる。屈
折率は空気中または真空中でのガラスファブリペロー共
振器１０に対応する。ガラスファブリペロー共振器１０
が直角に反射するようθ＝４５度近傍で操作する。スネ
ルの法則により、共振器内角度はθ'＝２８．１３度に
なる。式（７）によりファブリペロー共振器１０の厚さ
ｈがほぼ２２．５μｍになることが推定できる。所望の
厚さと表面反射率を有するファブリペロー共振器を制作
する方法は当該技術分野では良く知られている。式
（４）から表面入射角度θを用いて式（９）が得られ
る。この式（９）と式（１）、（２）を用いると、ファ
ブリペロー共振器１０の透過率Ｔと反射率Ｓは入射角度
θの関数として計算できる。
【数６】
【００１５】図５は上述した設計基準を用いたファブリ
ペロー共振器１０の透過率と反射率のグラフである。線
２４、２６はθ＝４５度近傍の範囲での入射角度に対す
る透過率および反射率を表す。グラフはファブリペロー
共振器１０の角度偏向特性を明白に説明するものであ
り、一群の入射角度の１つの角度での透過率の最高点
と、一群の入射角度の第２の角度での反射率の最高点
（透過率の最高点間に存在する）を示している。
ペロー共振器１０の透過率と反射率のグラフである。線
２４、２６はθ＝４５度近傍の範囲での入射角度に対す
る透過率および反射率を表す。グラフはファブリペロー
共振器１０の角度偏向特性を明白に説明するものであ
り、一群の入射角度の１つの角度での透過率の最高点
と、一群の入射角度の第２の角度での反射率の最高点
（透過率の最高点間に存在する）を示している。
【００１６】図６の表は、上述した実例のシステムすな
わちファブリペロー共振器の設計基準を用いた図１に示
す光線α1、α2、α3、β1、β2、β3の入射角度で生じ
る透過率および反射率を示している。図６からわかるよ
うに、等間隔で配置された二組の光源において、一方の
光源のセット（すなわち、図２の光源ａ1、ａ2、ａ3）
からの光線は、８８％より大きい反射率でファブリペロ
ー共振器１０から反射され、他方の光源のセット（例え
ば、図２の光源ｂ1、ｂ2、ｂ3）からの光線は透過率９
８％以上で透過することにより、交互に配置された像を
作ることができることを示している。
わちファブリペロー共振器の設計基準を用いた図１に示
す光線α1、α2、α3、β1、β2、β3の入射角度で生じ
る透過率および反射率を示している。図６からわかるよ
うに、等間隔で配置された二組の光源において、一方の
光源のセット（すなわち、図２の光源ａ1、ａ2、ａ3）
からの光線は、８８％より大きい反射率でファブリペロ
ー共振器１０から反射され、他方の光源のセット（例え
ば、図２の光源ｂ1、ｂ2、ｂ3）からの光線は透過率９
８％以上で透過することにより、交互に配置された像を
作ることができることを示している。
【発明の効果】このように、光の出力損失が極めて少な
い状態で複数の線の光線列を結合しうる角度偏向装置を
設計することができる。本発明を角度偏向装置にファブ
リペロー共振器を引用して説明したが、本発明の原理は
装置の基準面に対する第１組の角度でほとんど反射する
ことなしに光を透過し、かつ装置の基準面に対する第２
組の角度でほとんど角度を反射する如何なる装置にも等
しく適用できる。角度偏向装置は、例えば、屈折光学装
置であっても良く、また如何なる設計、構造であっても
良い。
い状態で複数の線の光線列を結合しうる角度偏向装置を
設計することができる。本発明を角度偏向装置にファブ
リペロー共振器を引用して説明したが、本発明の原理は
装置の基準面に対する第１組の角度でほとんど反射する
ことなしに光を透過し、かつ装置の基準面に対する第２
組の角度でほとんど角度を反射する如何なる装置にも等
しく適用できる。角度偏向装置は、例えば、屈折光学装
置であっても良く、また如何なる設計、構造であっても
良い。
【図１】本発明の原理に基づき、照準された光線の２個
の光線列を結合する角度偏向装置を示す簡単な概略図で
ある。
の光線列を結合する角度偏向装置を示す簡単な概略図で
ある。
【図２】図１の光線列を結合する方法および装置の本発
明の実施例を示す概略図である。
明の実施例を示す概略図である。
【図３】図１の各々選択された反射および透過を示すフ
ァブリペロー共振器を示す概略図である。
ァブリペロー共振器を示す概略図である。
【図４】図１の各々選択された反射および透過を示すフ
ァブリペロー共振器を示す概略図である。
ァブリペロー共振器を示す概略図である。
【図５】入射角の選択された範囲での図３、４のファブ
リペロー共振器における光の入射角に対する透過と反射
のデータを示す説明用のグラフである。
リペロー共振器における光の入射角に対する透過と反射
のデータを示す説明用のグラフである。
【図６】選択された入射角での図１の光線の透過と反射
値を示す表である。
値を示す表である。
１０ 角度偏向装置 １２ 目標の表面 １４ 照準レンズ １６ 照準レンズ １８ 焦点レンズ ２０ ファブリペロー鏡表面 ２２ ファブリペロー鏡表面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 27/10 ＷＰＩ／Ｌ
Claims (12)
- 【請求項１】 第１表面（２２）と第２表面（２０）と
を有し、第１組の角度で入射する光線（β）を透過し、
第２組の角度で入射する光線（α）を反射する角度偏向
装置（１０）と、 第１光線列（β）が、角度偏向装置を通って、目標表面
（１２）に透過されるように、第１組の入射角度で、第
１光線列を角度偏向装置の第１表面に方向付ける手段
（１６）と、 第２光線列（α）が、角度偏向装置から、目標表面に反
射するように、第２組の入射角度で、第２光線列を角度
偏向装置の第２表面に方向付ける手段（１４）とを有す
ることを特徴とする、光線の配列を結合する装置。 - 【請求項２】 第３光線列が、角度偏向装置（１０）を
通って目標表面（１２）に透過されるように、第１組の
入射角度の中から選ばれた所定の角度で、第３光線列を
角度偏向装置の第１表面（２２）に方向付ける手段をさ
らに有することを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 第３光線列が、角度偏向装置（１０）か
ら目標表面（１２）に反射されるように、第２組の入射
角度の中から選ばれた所定の角度で、第３光線列を角度
偏向装置の第２表面（２０）に方向付ける手段をさらに
有することを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項４】 角度偏向装置は、ファブリペロー共振器
であることを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項５】 第１、第２光線列の少なくとも一方が、
複数の次元の配列であることを特徴とする請求項１に記
載の装置。 - 【請求項６】 光線を角度偏向装置（１０）から目標表
面（１２）上に集束するために、角度偏向装置と目標表
面の間に配置された焦点手段（１８）をさらに有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の装置。 - 【請求項７】 第１光線列が角度偏向装置（１０）を透
過して目標表面（１２）に当たるように、第１光線列の
各光線を、角度偏向装置が高透過率になる第１組の入射
角度で角度偏向装置に当てるステップと、 第２光線列が角度偏向装置で反射して目標表面に当たる
ように、第２光線列の各光線を、角度偏向装置が高反射
率になる第２組の入射角度で角度偏向装置に当てるステ
ップとからなることを特徴とする、光線の配列を結合す
る方法。 - 【請求項８】 第３光線列が、角度偏向装置を透過して
目標表面に当たるように、第１組の入射角度の中から選
ばれた所定の角度で角度偏向装置に第３光線列を方向付
けるステップをさらに有することを特徴とする請求項７
に記載の方法。 - 【請求項９】 第３光線列が、角度偏向装置から目標表
面に反射されるように、第２組の入射角度の中から選ば
れた所定の角度で角度偏向装置に第３光線列を方向付け
るステップを有することを特徴とする請求項７に記載の
方法。 - 【請求項１０】 角度偏向装置が、ファブリペロー共振
器であることを特徴とする請求項７に記載の方法。 - 【請求項１１】 第１、第２光線列の少なくとも一方
が、複数の次元の配列であることを特徴とする請求項７
に記載の方法。 - 【請求項１２】 角度偏向装置で透過あるいは反射され
る光線を目標表面上に集束するステップをさらに有する
ことを特徴とする請求項７に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US991635 | 1992-12-16 | ||
| US07/991,635 US5353155A (en) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | Methods and apparatus for combining arrays of light beams |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222401A JPH06222401A (ja) | 1994-08-12 |
| JP2813123B2 true JP2813123B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=25537413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5342291A Expired - Fee Related JP2813123B2 (ja) | 1992-12-16 | 1993-12-15 | 光線の配列を結合する方法と装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5353155A (ja) |
| EP (1) | EP0602832B1 (ja) |
| JP (1) | JP2813123B2 (ja) |
| DE (1) | DE69323603T2 (ja) |
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| US10766242B2 (en) * | 2017-08-24 | 2020-09-08 | General Electric Company | System and methods for fabricating a component using a consolidating device |
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-
1992
- 1992-12-16 US US07/991,635 patent/US5353155A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-12-02 EP EP93309627A patent/EP0602832B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-02 DE DE69323603T patent/DE69323603T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-12-15 JP JP5342291A patent/JP2813123B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06222401A (ja) | 1994-08-12 |
| DE69323603T2 (de) | 1999-10-14 |
| US5353155A (en) | 1994-10-04 |
| DE69323603D1 (de) | 1999-04-01 |
| EP0602832A3 (en) | 1995-07-12 |
| EP0602832B1 (en) | 1999-02-24 |
| EP0602832A2 (en) | 1994-06-22 |
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