JP2804531B2 - マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 - Google Patents
マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明はマイクロ波領域で共振器材料等に使用される
誘電体磁器組成物の製造方法に関する。
誘電体磁器組成物の製造方法に関する。
（ロ）従来の技術 近年、マイクロ波領域において誘電体磁器が共振機や
MIC（マイクロ波集積回路）基板等の材料として広く使
用されている。
MIC（マイクロ波集積回路）基板等の材料として広く使
用されている。
この種の誘電体磁器とし、出願人は特願平１−99552
号において、TiO2−ZrO2−SnO2を主成分とし、これに添
加物としてαCoO＋βCo3O4とNb2O5またはTa2O5とを含有
させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物を提案した。
号において、TiO2−ZrO2−SnO2を主成分とし、これに添
加物としてαCoO＋βCo3O4とNb2O5またはTa2O5とを含有
させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物を提案した。
この誘電体磁器の製造方法の一例を以下説明する。Ti
O2，ZrO2，SnO2，αCoO＋βCo3O4及びNb2O5（またはTa2
O5）をそれぞれ所定量秤量し、５〜10時間湿式混合す
る。次にこれを脱水、乾燥し、得られた粉末を1000〜12
00℃で１〜２時間予備焼結を行なう。そして、この予備
焼結物に対して20〜60時間湿式粉砕を行なう。次にそれ
を脱水し、乾燥し、得られた粉末を2000〜3000kg/cm2の
圧力をかけて直径10mm、厚み6mmの円板に成型する。そ
の後、この成型物の本焼結を空気中で先の予備焼結時よ
りも高い温度で数時間行なう。そして、最後にこの本焼
結によって得る焼結物の厚みが径の1/2になるように両
面研磨を行ない誘電体磁器を得る。
O2，ZrO2，SnO2，αCoO＋βCo3O4及びNb2O5（またはTa2
O5）をそれぞれ所定量秤量し、５〜10時間湿式混合す
る。次にこれを脱水、乾燥し、得られた粉末を1000〜12
00℃で１〜２時間予備焼結を行なう。そして、この予備
焼結物に対して20〜60時間湿式粉砕を行なう。次にそれ
を脱水し、乾燥し、得られた粉末を2000〜3000kg/cm2の
圧力をかけて直径10mm、厚み6mmの円板に成型する。そ
の後、この成型物の本焼結を空気中で先の予備焼結時よ
りも高い温度で数時間行なう。そして、最後にこの本焼
結によって得る焼結物の厚みが径の1/2になるように両
面研磨を行ない誘電体磁器を得る。
以上のようにして得られる誘電体磁器は特性的には良
好なものとなる。
好なものとなる。
しかしながら、予備焼結時及び本焼結時に焼結性及び
特性向上に寄与するコバルトが蒸発してしまい特性がバ
ラつくという問題があった。
特性向上に寄与するコバルトが蒸発してしまい特性がバ
ラつくという問題があった。
このことは焼結後、焼結ボート内部にコバルトの蒸発
した跡が見られることにより確認される。
した跡が見られることにより確認される。
（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上述の問題に鑑み焼結時にコバルトが蒸発す
るのをできるだけ抑え得るマイクロ波用誘電体磁器組成
物の製造方法を提供することを目的とする。
るのをできるだけ抑え得るマイクロ波用誘電体磁器組成
物の製造方法を提供することを目的とする。
（ニ）課題を解決するための手段 本発明はモル分率をｘ、ｙ、ｚ（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）と
した時組成式がｘ・TiO2−ｙ・ZrO2−ｚ・SnO2（但し、
0.30≦ｘ≦0.60、0.25≦ｙ≦0.60、0.025≦ｚ≦0.20）
で表わされる物質を主成分とし、これに添加物としてα
CoO＋βCo3O4（但し、０≦α≦１、０≦β≦１、α＋β
＝１）を５重量％以下でNb2O5またはTa2O5を10重量％以
下含有させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物の製造
方法であって、前記主成分となるTiO2とZrO2とSnO2とを
混合して予備焼結し、前記添加物となるαCoO＋βCo3O4
とNb2O5またはTa2O5とを混合して予備焼結し、前記主成
分の予備焼結物と前記添加物の予備焼結物とを混合して
本焼結することを特徴とするものである。
した時組成式がｘ・TiO2−ｙ・ZrO2−ｚ・SnO2（但し、
0.30≦ｘ≦0.60、0.25≦ｙ≦0.60、0.025≦ｚ≦0.20）
で表わされる物質を主成分とし、これに添加物としてα
CoO＋βCo3O4（但し、０≦α≦１、０≦β≦１、α＋β
＝１）を５重量％以下でNb2O5またはTa2O5を10重量％以
下含有させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物の製造
方法であって、前記主成分となるTiO2とZrO2とSnO2とを
混合して予備焼結し、前記添加物となるαCoO＋βCo3O4
とNb2O5またはTa2O5とを混合して予備焼結し、前記主成
分の予備焼結物と前記添加物の予備焼結物とを混合して
本焼結することを特徴とするものである。
（ホ）作用 上述のように、主成分の材料と添加物の材料とを別々
に混合して予備焼結した後、主成分の予備焼結物と前記
添加物の予備焼結物とを混合して本焼結することによ
り、予備焼結時及び本焼結時におけるコバルトの蒸発が
抑えられる。
に混合して予備焼結した後、主成分の予備焼結物と前記
添加物の予備焼結物とを混合して本焼結することによ
り、予備焼結時及び本焼結時におけるコバルトの蒸発が
抑えられる。
（ヘ）実施例 本発明による誘電体磁器の製造方法の一実施例を以下
説明する。
説明する。
マイクロ波用誘電体磁器材料として高純度のTiO2、Zr
O2、SnO2、Nb2O5、Ta2O5及びαCoO＋βCo3O4を使用す
る。まず、主成分のTiO2、ZrO2及びSnO2と、添加物αCo
O＋βCo3O4、Nb2O5またはTa2O5をそれぞれ別々に秤量
し、ボールミル等で５〜10時間湿式混合する。次にこれ
らを脱水、乾燥し、得られたそれぞれの粉末を、主成分
は1000〜1200℃で１〜２時間予備焼結を行ない、添加物
は800〜1000℃で１〜２時間予備焼結により合成する。
そして、主成分に対し所定の割合で添加物を合成したも
のを加え、20〜60時間湿式粉砕を行なう。次にそれを脱
水、乾燥し、得られた粉末を2000〜3000kg/cm2の圧力を
かけて直径10mm、厚み6mmの円板に成型する。その後、
この成型物の本焼結を空間中で1350〜1500℃で数時間行
なう。そして、最後にこの本焼結によって得る焼結物の
厚みが径の1/2になるように両面研磨を行い誘電体磁器
を得る。次に、上述の如き、本発明の製造方法による磁
器試料の20℃、７〜8.5GHzにおける誘電率（ε）及びＱ
をハッキコールマン法により測定した結果を前述の従来
の製造方法によるものと比較して説明する。
O2、SnO2、Nb2O5、Ta2O5及びαCoO＋βCo3O4を使用す
る。まず、主成分のTiO2、ZrO2及びSnO2と、添加物αCo
O＋βCo3O4、Nb2O5またはTa2O5をそれぞれ別々に秤量
し、ボールミル等で５〜10時間湿式混合する。次にこれ
らを脱水、乾燥し、得られたそれぞれの粉末を、主成分
は1000〜1200℃で１〜２時間予備焼結を行ない、添加物
は800〜1000℃で１〜２時間予備焼結により合成する。
そして、主成分に対し所定の割合で添加物を合成したも
のを加え、20〜60時間湿式粉砕を行なう。次にそれを脱
水、乾燥し、得られた粉末を2000〜3000kg/cm2の圧力を
かけて直径10mm、厚み6mmの円板に成型する。その後、
この成型物の本焼結を空間中で1350〜1500℃で数時間行
なう。そして、最後にこの本焼結によって得る焼結物の
厚みが径の1/2になるように両面研磨を行い誘電体磁器
を得る。次に、上述の如き、本発明の製造方法による磁
器試料の20℃、７〜8.5GHzにおける誘電率（ε）及びＱ
をハッキコールマン法により測定した結果を前述の従来
の製造方法によるものと比較して説明する。
尚、作成した磁器試料の主成分TiO2、ZrO2及びSnO2は
モル分率でこの順に0.52:0.42:0.06になるよう秤量し、
1150℃×２時間で予備焼結を行った。また、添加物は90
0℃×２時間で予備焼結により合成した。
モル分率でこの順に0.52:0.42:0.06になるよう秤量し、
1150℃×２時間で予備焼結を行った。また、添加物は90
0℃×２時間で予備焼結により合成した。
（１）第１表は添加物としてαCoO＋βCo3O4（ただし、
α＝0.85、β＝0.15とし、以下CoxOxと略記する）とNb2
O5をモル分率で1:1の割合にしたときの測定結果であ
る。
α＝0.85、β＝0.15とし、以下CoxOxと略記する）とNb2
O5をモル分率で1:1の割合にしたときの測定結果であ
る。
（２）第２表は添加物として、CoxOxとNb2O5をモル分率
で2:1の割合にしたときの測定結果である。
で2:1の割合にしたときの測定結果である。
（３）第３表は添加物として、CoxOxとTa2O5をモル分率
で2:1の割合にしたときの測定結果である。
で2:1の割合にしたときの測定結果である。
（４）第４表は添加物として、CoxOxとNb2O5を2:1のモ
ル分率で3.5重量％としたときの複数個の磁器試料の測
定結果である。
ル分率で3.5重量％としたときの複数個の磁器試料の測
定結果である。
第１〜３表からわかるように本発明の製造方法による
磁器試料と従来例によるものの測定結果とを比較する
と、特性的には略同等かそれ以上の値となっている。
磁器試料と従来例によるものの測定結果とを比較する
と、特性的には略同等かそれ以上の値となっている。
また、添加物のCoxOx、Nb2O5及びTa2O5は量的なバラ
ンスが重要であり、添加量が一定量以上になると特性が
悪くなるが、本発明によると悪くなる程度は小さい。
ンスが重要であり、添加量が一定量以上になると特性が
悪くなるが、本発明によると悪くなる程度は小さい。
さらに、第４表からわかるように本発明によると同一
条件で作成した試料において、従来方法に比べて特性の
ばらつきが小さくなっている。
条件で作成した試料において、従来方法に比べて特性の
ばらつきが小さくなっている。
（ト）発明の効果 以上説明したように本発明によれば、Coの蒸発が少な
くなり、特性のばらつきを減少させることができ、また
従来方法に比べて略同等かそれ以上の特性を有するマイ
クロ波用誘電体磁器組成物が得られる。
くなり、特性のばらつきを減少させることができ、また
従来方法に比べて略同等かそれ以上の特性を有するマイ
クロ波用誘電体磁器組成物が得られる。
Claims (1)
- 【請求項１】モル分率をｘ、ｙ、ｚ（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）
とした時組成式がｘ・TiO2−ｙ・ZrO2−ｚ・SnO2（但
し、0.30≦ｘ≦0.60、0.25≦ｙ≦0.60、0.025≦ｚ≦0.2
0）で表わされる物質を主成分とし、 これに添加物としてαCoO＋βCo3O4（但し、０≦α≦
１、０≦β≦１、α＋β＝１）を５重量％以下でNb2O5
またはTa2O5を10重量％以下含有させてなるマイクロ波
用誘電体磁器組成物の製造方法であって、 前記主成分となるTiO2とZrO2とSnO2とを混合して予備焼
結し、 前記添加物となるαCoO＋βCo3O4とNb2O5またはTa2O5と
を混合して予備焼結し、 前記主成分の予備焼結物と前記添加物の予備焼結物とを
混合して本焼結することを特徴とするマイクロ波用誘電
体磁器組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208100A JP2804531B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208100A JP2804531B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375268A JPH0375268A (ja) | 1991-03-29 |
| JP2804531B2 true JP2804531B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=16550636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1208100A Expired - Fee Related JP2804531B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804531B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008013168A1 (fr) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Support d'enregistrement d'informations optiques, dispositif de reproduction pour support d'enregistrement d'informations optiques, et procédé de reproduction pour support d'enregistrement d'informations optiques |
| CN108137413B (zh) | 2015-09-28 | 2021-10-15 | 康宁股份有限公司 | 钛酸锆锡组合物、包含其的陶瓷体、及其制造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217697A (en) * | 1975-07-31 | 1977-02-09 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectic porcelain composite to the high frequency purpose |
| JPS58217465A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-17 | 株式会社村田製作所 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP1208100A patent/JP2804531B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0375268A (ja) | 1991-03-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |