JP2786907B2

JP2786907B2 - 砥石位置測定装置

Info

Publication number: JP2786907B2
Application number: JP28249489A
Authority: JP
Inventors: 孝夫米田; 博中野; 規男太田; 久中村
Original assignee: Toyoda Koki KK
Current assignee: Toyoda Koki KK
Priority date: 1989-10-30
Filing date: 1989-10-30
Publication date: 1998-08-13
Anticipated expiration: 2013-08-13
Also published as: JPH03142306A

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、砥石位置測定装置に関するものである。

「従来の技術」例えば、ベーンポンプのロータ等のように、外周に複
数の溝を形成したワークの各溝に対して、仕上研削等の
精密加工を行う場合、各溝の位置を正確に割り出すこと
は勿論のこと、砥石の位置を正確に検出することが極め
て重要である。これは、砥石軸自体が研削熱等の影響に
より熱膨張して、砥石位置が変化するためである。この
ため、非接触式変位センサを用いて、砥石軸の変位を測
定し、砥石位置データを補正している。

「発明が解決しようとする課題」しかしながら、非接触式変位センサの周囲温度が変化
すると、その影響で該センサによる砥石軸の変位の測定
値が変化するいわゆる温度ドリフトが生じる。温度の変
化が大きくなると、温度ドリフトも大きくなり正確な変
位の測定が不可能となり、温度ドリフトの影響を除去し
なければならないという問題点がある。

また、非接触式変位センサの感度等の特性も経年変化
して、これらを考慮しなければ正確な変位の測定が不可
能となる等の問題点がある。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、２個の非接触式変位センサを用い、その非接触式変
位センサの特性を測定毎に求めることにより、正確な砥
石位置を測定できる砥石位置測定装置を提供することを
目的とするものである。

「課題を解決するための手段」上記目的を達成するための具体的手段として、設定さ
れた初期位置から砥石の軸方向の変位を測定するため、
該砥石を軸方向から挟んで配置された２個の非接触式変
位センサと、２個の非接触式変位センサの検出信号を入
力して両センサからの砥石位置を測定する位置測定手段
と、砥石軸の軸方向の所定間隔毎に順次砥石を移動し
て、前記２個の非接触式変位センサの中央位置を含む少
なくとも３個所の砥石位置の測定値を前記位置測定手段
により求め、その各測定値から各非接触式変位センサの
特性式を求めて記憶する特性式作成手段と、作成された
特性式により前記中央位置の測定値を補正する測定値補
正手段と、補正された測定値を砥石の初期位置として設
定する初期位置設定手段と、砥石位置の測定毎に前記特
性式作成手段により測定時の非接触式変位センサの特性
式を求めるとともに、前記測定値補正手段により補正し
た測定値と前記初期位置とから砥石位置変化量を２個の
非接触式変位センサ毎に算出するとともに、該各砥石位
置変化量から各センサの温度ドリフトに基づく誤差を求
め、その誤差を特性式のゲインの逆比で分配して砥石位
置を演算する砥石位置演算手段とから構成したことを特
徴とする砥石位置測定装置が提供される。

「作用」上記砥石位置測定装置の作用は以下の通りである。

２個の非接触式変位センサを用いて、該非接触式変位
センサの中間位置を含む少なくとも３個所の砥石位置の
測定値を測定手段により求める。特性式作成手段は、各
測定値により２個の非接触式変位センサの特性式を求
め、その各特性式により前記測定値のうちの中間位置の
測定値を測定値補正手段により補正するとともに、初期
位置設定手段により砥石位置の初期位置として設定す
る。そして砥石位置の測定毎に、前記特性式作成手段に
より測定時の非接触式変位センサの特性式を求めて、前
記測定値補正手段により測定値を補正する。補正した測
定値と前記初期位置とから、砥石位置演算手段は砥石位
置変化量を２個の非接触式変位センサ毎に算出し、この
各砥石位置変化量から各センサの温度ドリフトに基づく
誤差を求め、その誤差を特性式のゲインの逆比で分配し
て、砥石位置を演算する。

「実施例」（第１実施例）本発明の第１実施例を添付図面第１〜第６図を参照し
て説明する。

第１図は、本実施例装置の概略のブロック図である。

図中１は研削盤の砥石軸であり、この砥石軸１は図略
のサーボモータによってＺ軸方向及びＺ軸と直交する方
向に移動される。

砥石軸１の先端には、砥石２が装着されている。２個
の非接触式変位センサ4,4′は、砥石２のＺ軸方向両側
に配置され砥石２の端面に対して、互いに対向して配置
されている。この非接触式変位センサ4,4′は、距離に
比例した電圧を発生することにより砥石２のＺ軸方向の
変位を検出するものである。その各検出信号は、それぞ
れ増幅器5,5′に入力されて増幅された後、演算処理装
置６へ入力する。演算処理装置６には、パーソナルコン
ピュータ（以下パソコンという）７が接続され、そのキ
ーボード８により各種の作動指令信号、砥石幅、センサ
4,4′間の距離及び砥石位置の初期位置等を入力する。
演算処理装置６はCPU,各種入出力インターフェイス，メ
モリ（いずれも図示しない），位置測定手段10,特性式
作成手段11,測定値補正手段12,初期位置設定手段13及び
砥石位置演算手段14等により構成され、演算処理プログ
ラムに従って演算処理を行う。そして、その処理結果等
をパソコン７のCRT画面９上に表示する。

第２図は、演算処理装置６の測定処理プロセスを行う
場合のメインルーチンを示したフローチャートである。

処理がスタートすると、ステップ100で砥石初期位置
測定ルーチンが実行される。続いてステップ102で、測
定開始が判断されると、ステップ104へ進み、砥石位置
測定ルーチンが実行される。ステップ106では、前記砥
石位置測定ルーチンによる測定結果を、パソコン７のCR
T画面９上で表示し、続くステップ108でその測定結果を
出力する。ステップ109で工作物の変更が判断される
と、前記ステップ100へ戻り新たな測定処理プロセスを
行う。工作物が変更がなされない場合は、ステップ102
へ戻り、次の測定開始を待つ。

第３図は、砥石初期位置測定ルーチンを示すフローチ
ャートである。

ステップ200で、非接触式変位センサ（以下単にセン
サという）4,4′間の中央位置を手動で位置決めする。
その手順は、第４図（ａ）に示されるように砥石２の左
側端面をセンサ４に当接して、Ｚ軸座標値Z_Aを求め、続
いてセンサ４′に砥石２の右側端面を当接してＺ軸座標
値Z_Bを求め、Z₀＝（Z_A＋Z_B）/2によりＺ軸座標値Z₀を算
出しセンサ4,4′間の中央位置が位置決めされる。続い
てステップ202では、砥石軸１のＺ軸方向のバックラッ
シュを除去するとともに、前記センサ中央位置Z₀とZ₀±
ｔ（ｔは予めパソコン７のメモリに設定された固定値で
ある）の３点で砥石位置を測定し、センサ4,4′による
測定血を求める。バックラッシュ除去は、第４図（ｂ）
に示されるように、砥石２をＹ軸方向に移動し、センサ
4,4′間から抜くとともに、一点破線で示す中央位置よ
りＺ軸方向へ移動し、再びＺ軸方向移動して、Z₀＋
ｔの位置へ戻すことにより行う。第４図（ｃ）は、Ｚ軸
座標値Z₀＋ｔの位置,Z₀の位置,Z₀−ｔの位置の３点で各
センサ4,4′により砥石位置を測定する順序を示したも
のである。

続くステップ204では、前記ステップ202で求めた砥石
位置の３個の測定値から、各センサ4,4′の特性式を、
最小２乗法により求める。第４図（ｄ）は、その特性式
をグラフ化したものである。そしてセンサ４の特性式と
して、ｕ＝p₀Z＋q₀ …（１）センサ４′の特性式として、ｖ＝r₀Z＋s₀ …（２）が求められる。

ここで、p₀,r₀は第４図（ｄ）のグラフの直線から求
められる傾き、q₀,s₀は切片を示す係数である。

そして、ステップ206で前記中央位置Z₀を、特性式
（１）と（２）へそれぞれ代入して、測定値のゲインを
次のように補正する。

a₀₂′＝p₀Z₀＋q₀ …（３） b₀₂′＝r₀Z₀＋s₀ …（４）上式（３），（４）により砥石２が中央位置Z₀にある
ときのセンサ4,4′の測定値を補正して初期位置を計算
する。

ステップ208では、前記（３），（４）式のa₀₂′,p₀,
q₀およびb₀₂′,r₀,s₀を記憶して、砥石の初期位置を設
定する。

第５図は、砥石位置測定ルーチンを示すフローチャー
トである。

砥石位置測定ルーチンは、研削サイクルを所定回繰り
返した後砥石位置を測定するもので、砥石位置を測定す
る位置は毎回Ｚ軸座標値Z₀として同じである。前記フロ
ーチャートをｉ回目（ｉ＝1,2,3…）の測定の場合につ
いて説明する。

ステップ300とステップ302及びステップ304では、前
記第３図のステップ202とステップ204及びステップ206
で示したと同様の処理を行うので説明を省略する。そし
て、その結果として、センサ４により測定値a_i1,a_i2,a
_i3が求められ、特性式として、ｕ＝p_iZ＋q_i …（５）が得られ、補正値として a_i2′＝p_iZ₀＋q_i が得られる。

また、同様にしてセンサ４′により測定値b_i1,b_i2,b
_i3が求められ、特性式として、ｖ＝r_iZ＋s_i …（６）が得られ、補正値として、 b_i2′＝r_iZ₀＋s_i …（７）が得られる。

そして、ステップ306では、砥石位置の変化量が求め
られる。

砥石位置の変化量は、第６図に示す特性図よりセンサ
４側では、該変化量をe_iaとすれば、 e_ia＝（a_i2′−a₀₂′）/p_i となり、同様にしてセンサ４′側では変化量e_ibとすれ
ば、 e_ib＝（b_i2′−b₀₂′）/r_i となる。

従って、センサ４で測定した砥石の現在位置Z_aiは、 Z_ai＝（a₀₂′−q₀）/p₀＋e_ia …（８）となり、センサ４′で測定した砥石の現在位置Z_biは、 Z_bi＝（b₀₂′−s₀）/r₀＋e_ib …（９）となる。

前記、砥石位置変化量e_ia及びe_ibは、センサ4,4′の
温度ドリフトの影響によるものと考えられる。従って温
度ドリフト量d_iは、 d_i＝e_ia＋e_ib により求められる。

そして、ドリフト量を以下の様に、前記特性式
（５），（６）のゲインp_i及びr_iの逆比により分配して
補正する。

補正後の砥石の現在位置を、それぞれZ_ai′とZ_bi′と
すれば、 Z_ai′＝（a₀₂′−q₀）/p₀＋e_ia−d_i×r_i/（p_i＋r_i） …（10） Z_bi′＝（b₀₂′−s₀）/r₀＋e_ib−d_i×p_i/（p_i＋r_i） …（11）となる。

ここで、（a₀₂′−q₀）/p₀＝Z₀（初期位置）（b₀₂′−s₀）/r₀＝Z₀（初期位置）である。

上記（10），（11）により、 e_i＝e_ia−（e_ia＋e_ib）×r_i/（p_i＋r_i）＝−｛e_ib−（e_ia＋e_ib）×p_i/（p_i＋r_i）｝を求める。

ここで、p_i,r_iはセンサ4,4′のｉ回目の測定時で作成
された特性式のゲインであって、p_i≒r_iと考えることが
できる。

e_ia＝Δ₁,e_ib＝Δ_２とすると、 e_i≒Δ_１−（Δ_１＋Δ_２）/2 ＝−｛Δ_１−（Δ_１＋Δ_２）/2｝となり、前記式（８）と式（10）を比較した場合、式（８）は、 Z_ai＝（a₀₂′−q₀）/p₀＋e_ia＝（a₀₂′−q₀）/p＋Δ
_１式（10）は、 Z_ai′＝（a₀₂′−q₀）/p₀＋e_ia−（e_ia＋e_ib）×r_i/（p_i＋r_i） ≒（a₀₂′−q₀）/p₀＋（Δ_１−Δ_２）/2 となり、また、同様に、式（９）は、 Z_bi＝（b₀₂′−s₀）/r₀＋e_ib＝（b₀₂′−s₀）/r₀＋Δ
_２式（11）は、 Z_bi′≒（b₀₂′−s₀）/r₀＋（Δ_２−Δ_１）/2 となる。

ここで、 X_a＝｜Δ₁|−｜Δ_１−Δ₂|/2＞０ X_b＝｜Δ₂|−｜Δ_２−Δ₁|/2＞０であれば、温度ドリフトの影響による測定値の誤差を小
さくすることができる。

（１）Δ_１＋Δ_２＞０のとき、（1a） Δ_１≧0,Δ_１−Δ_２≧０のときは、 X_a＝Δ_１−（Δ_１−Δ_２）/2＝（Δ_１＋Δ_２）/2＞０（1b） Δ_２≧0,Δ_２−Δ_１≧０のときは、 X_b＝Δ_２−（Δ_２−Δ_１）/2＝（Δ_２＋Δ_１）/2＞０（2a） Δ_１＜0,Δ_１−Δ_２≧０のときは、条件式Δ_１＋Δ_２
＞０を満足しない。

同様に（2b） Δ_２＜0,Δ_２−Δ_１≧０のときも、条件式Δ_１＋Δ_２
＞０を満足しない。

（3a） Δ_１≧0,Δ_１−Δ_２＜0,即ち０≦Δ_２のときは、 X_a＝（３Δ_１−Δ_２）/2となり不定。

（3b） Δ_２≧0,Δ_２−Δ_１＜０のとき即ち０≦Δ_２＜Δ_１の
ときは、 X_b＝（３Δ_２−Δ_１）/2となり不定。

（4a） Δ_１＜0,Δ_１−Δ_２＜０のときは、 X_a＝−（Δ_１＋Δ_２）/2＜０（∵条件式Δ_１＋Δ_２）
＞０この場合Δ_１とΔ_２は異符号となる。

（4b） Δ_２＜0,Δ_２−Δ_１＜０のときは、 X_b＝−（Δ_１＋Δ_２）/2＜０（∵条件式Δ_１＋Δ_２）
＞０この場合Δ_１とΔ_２は異符号となる。

ところで、実際には上記誤差Δ₁,Δ_２は、センサ4,
4′の温度ドリフトの影響によるものと考えられるの
で、Δ₁,Δ_２は同符号でかつΔ_１≒Δ_２と考えてよい。
従って、上記（3a），（3b）の場合及び（4a），（4b）
の場合は考慮する必要はない。

次に、（２）Δ_１＋Δ_２＜０のとき即ちＡ−ｌ＝Δ_１＋Δ_２＜
０のとき、（1a′） Δ_１≧0,Δ_１−Δ_２≧０のときは、 X_a＝（Δ_１＋Δ_２）/2＜０（∵条件式Δ_１＋Δ_２）＞
０この場合Δ_１とΔ_２は異符号となる。

（1b′） Δ_２≧0,Δ_２−Δ_１≧０のときは、 X_b＝（Δ_１＋Δ_２）/2＜０（∵条件式Δ_１＋Δ_２）＞
０この場合Δ_１とΔ_２は異符号となる。

（2a′） Δ_１＜0,Δ_１−Δ_２≧０のときは、 X_a＝（３Δ_１−Δ_２）/2となり不定。

（2b′） Δ_２≧0,Δ_２−Δ_１≧０のときは、 X_b＝（−３Δ_２＋Δ_１）/2となり不定。

（3a′） Δ_１≧0,Δ_１−Δ_２＜０のときは、条件式Δ_２＋Δ_１
＜０を満足しない。

（3b′） Δ_２≧0,Δ_２−Δ_１≧０のときは、同様に条件式Δ_１
＋Δ_２＜０を満足しない。

（4a′） Δ_１＜0,Δ_１−Δ_２＜０のときは、 X_a＝−（Δ_１＋Δ_２）/2＞０（4b′） Δ_２＜0,Δ_２−Δ_１＜０のときは、 X_b＝−（Δ_１＋Δ_２）/2＞０となり、前記（１）の場合と同様の理由により、Δ₁,Δ
_２は同符号でかつΔ_１≒Δ_２と考えることができ、上記
（1a′），（1b′）及び（2a′），（2b′）の場合は考
慮する必要がない。

また、Δ_１＋Δ_２＝０のときは、誤差の影響を小さく
することはできないが、大きくすることもないのでさし
つかえない。

上記により、本実施例装置による砥石位置測定プロセ
スは、X_a＞0,X_b＞０となるので、温度ドリフトの影響と
考えられる誤差を小さくができ、るとともに、砥石位置
の測定毎に前記した砥石位置測定プロセスを行うから、
センサ4,4′の感度などの特性の変化の影響による誤差
をも小さくすることができる。

（第２実施例）第２実施例は、前記第１実施例の砥石測定プロセスと
殆ど同じプロセスにより測定を行うものである。異なる
点は、予めセンサ4,4′間の距離ｌと、砥石幅ｗを測定
する点である。そして距離ｌ及び砥石幅ｗは、データと
して入力して記憶する。

前記第３図の砥石初期位置測定ルーチンのステップ20
0〜206で説明したと同様の処理がなされる。従って、特
性式に基づいて測定値のゲインが次の様に補正される。

a₀₂′＝p₀Z₀＋q₀ b₀₂′＝r₀Z₀＋s₀ この二式に基づいて、砥石初期値測定時におけるセン
サ4,4′の温度ドリフト量d₀を求めると、 d₀＝｛（a₀₂′−q₀）/p₀＋（b₀₂′−s₀）/r₀｝−（ｌ−ｗ）そして、ドリフト量d₀を特性式のゲインの逆比により
分配して、初期位置を補正すると、（a₀₂″−q₀）/p₀＝（a₀₂′−q₀）/p₀−d₀×r₀/（p₀＋r₀）（b₀₂″−s₀）/r₀＝（b₀₂′−s₀）/r₀−d₀×p₀/（p₀＋r₀）となり、これを初期位置として記憶する。

そして、前記第５図に示す砥石位置測定ルーチンのス
テップ300〜306の処理が行われる。この処理の説明は、
第１実施例の場合と同様であるので省略する。

砥石位置変化量は、センサ４側では変化量をe_iaとす
れば、 e_ia＝（a_i2′−a₀₂′）/p_i となり、センサ４′側では変化量e_ibとすれば、 e_ib＝（b_i2′−b₀₂′）/r_i となる。

また、ドリフト量d_iは、 d_i＝｛（a₀₂″−q₀）/p₀＋e_ia｝＋｛（b₀₂″−s₀）／（r₀＋e_ib｝−（ｌ−
ｗ）であり、これを特性値のゲインp_i及びr_iの逆比により分
配して補正する。補正後の現在位置を、それぞれ第１実
施例と同様にZ_ai′とZ_bi′とすれば、 Z_ai′＝（a₀₂″−q₀）/p₀＋e_ia−d_i×r_i/（p_i＋r_i） Z_bi′＝（b₀₂″−s₀）/r₀＋e_ib−d_i×p_i/（p_i＋r_i）となる。

上記二式は、第１実施例の場合の式（10），（11）と
同一となるので、第１実施例で説明したと同様の理由に
より温度ドリフトの影響と考えられる誤差を小さくする
ことができる。

（第３実施例）第３実施例の場合も、前記第１実施例及び第２実施例
の場合とセンサ4,4′の特性式を求めるまでは同様であ
るので説明を省略する。

第３実施例の場合は、砥石２とセンサ４及び４′の距
離を測定毎に毎回同じになるように、測定位置を補正す
る点で相違する。

特性式が、第1,第２実施例の場合と同様に、 a₀₂′＝p₀Z₀＋q₀ b₀₂′＝r₀Z₀＋s₀ と求められる。

初期値としては、 a₀₂″/p₀＝（a₀₂′/p₀＋b₀₂′/r₀）/2 b₀₂″/r₀＝（a₀₂′/p₀＋b₀₂′/r₀）/2 が設定されて記憶される。

以下、研削サイクルを繰り返した後、砥石位置を測定
し砥石変化量を求めて、砥石位置を補正する。

測定プロセスについては、前記第１実施例で説明した
通りである。

第１回目の測定では、センサ４により測定値a₁₁,a₁₂,
a₁₃が求められ、特性式ｕ＝p₁Z＋q_i,補正値a₁₂′＝p₁Z₁
＋q₁が得られる。

同様に、センサ４′により測定値b₁₁,b₁₂,b₁₃が求め
られ、特性式ｖ＝r₁Z＋s₁,補正値b₁₂′＝r₁Z₁＋s₁が得
られる。センサ4,4′の温度ドリフト量d₁は、 d₁＝（a₁₂′/p₁＋b₁₂′/r₁）−（a₀₂′/p₀＋b₀₂′/
r₀）により求められる。

そして補正値a₁₂′及びb₁₂′のドリフト量を補正する
と、 a₁₂″/p₁＝a₁₂′/p₁−d₁×r₁/（p₁＋r₁） b₁₂″/r₁＝b₁₂′/r₁−d₁×p₁/（p₁＋r₁）となる。

砥石位置変化量をe₁とすると、 e₁＝e_1a（センサ４）＝−e_1b（センサ４′）であり、即ち、（a₁₂″/p₁−a₀₂″/p₀）＝−（b₁₂″/r₁−b₀₂″/r₀）となる。

そして、第２回目の砥石測定位置Ｚは、砥石変化量e₁
を補正した位置で行う。即ち、（Z₁−e₁）＋t,（Z₁−e₁），（Z₁−e₁）−ｔで測定を行う。

第ｉ回目の測定では、砥石測定位置Ｚは砥石変化量
（e_i-1）により補正した位置で行う。即ち、（Z_i-1−e_i-1）＋t,（Z_i-1−e_i-1），（Z_i-1−e_i-1）
−ｔで測定を行う。

そして、センサ４側では測定値としてa_i1,a_i2,a_i3,特
性式ｕ＝p_iZ＋q_iが求まり、補正値としてa_i2′＝p_iZ_i＋
q_iが求まる。

また、センサ４′側では測定値としてb_i1,b_i2,b_i3、
特性式としてｖ＝r_iZ＋s_iが求まり、補正値としてb_i2′
＝r_iZ_i＋s_iが求まる。

ドリフト量d_iは、 d_i＝（a_i2′/p_i＋b_i2′/r_i）−（a_i-1′/p_i-1＋b_i-1′/r_i-1）となり、これを特性式のゲインp_i,r_iの逆比に分配して
補正すれば補正後の現在位置a_i2″/p_i及びb_i2″/r_iは、
それぞれ、 a_i2″/p_i＝a_i2′/p_i−d_i×r_i/（p_i＋r_i） b_i2″/r_i＝b_i2′/r_i−d_i×p_i/（p_i＋r_i）であり、砥石位置変化量e_iは、 e_i＝e_ia＝−e_ib ＝（a_i2″/p_i−a_i-1,₂″/p_i-1）＝−（b_i2″/r_i−b_i-1,₂″/r_i-1）となる。

また、第ｉ＋１回目の砥石測定位置Ｚは、前記と同様
に Z_i+1＋ｔ＝（Z_i−e_i）＋t,Z−e_i,（Z_i−e_i）−ｔで行う。この時現在までの砥石位置変化量の総和を計算し設定値以上になったら、砥石位置変化量が大き
すぎるので、エラーとする。

以上のように、第３実施例では砥石位置変化量により
測定位置を補正して、砥石位置とセンサ4,4′の距離が
測定毎に毎回同じにする。

尚、前記各実施例において、算出される各値が例えば
p_i,r_i等が、予め設定した値よりも大きくなる場合は、
エラー処理を行うようにする。

「発明の効果」本発明は前記した構成を有し、２個の非接触式変位セ
ンサを用い、測定時の各センサの特性式を求めて、測定
値を補正するとともに、予め設定した砥石位置初期値と
に基づいて砥石位置変化量を２個の非接触式変位センサ
毎に算出し、この各砥石位置変化量から各センサの温度
ドリフトに基づく誤差を求め、その誤差を特性式のゲイ
ンの逆比で分配して、砥石位置を演算するものであるか
ら、非接触式変位センサの温度ドリフトの影響による測
定誤差を小さくすることができるとともに、センサのゲ
イン等の特性の経年変化の影響をも小さくすることがで
きる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

添付図面第１図は本実施例装置の概略のブロック図、第
２図は演算処理装置の測定処理プロセスを行う場合のメ
インルーチンを示すフローチャート、第３図は砥石初期
位置測定ルーチンを示すフローチャート、第４図は第３
図フローチャートの処理を説明した説明図、第５図は砥
石位置測定ルーチンを示すフローチャート、第６図は砥
石位置の変化量を求めるための説明図である。１……砥石軸、２……砥石、4,4′……非接触式変位セ
ンサ、６……演算処理装置、10……位置測定手段、11…
…特性式作成手段、12……測定値補正手段、13……初期
位置設定手段、14……砥石位置演算手段。

フロントページの続き (56)参考文献特開昭62−157773（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01B 21/00 G01B 7/00 G01B 11/00 B23Q 17/22 B24B 49/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】設定された初期位置から砥石の軸方向の変
位を測定するため、該砥石を軸方向から挟んで配置され
た２個の非接触式変位センサと、２個の非接触式変位セ
ンサの検出信号を入力して両センサからの砥石位置を測
定する位置測定手段と、砥石軸の軸方向の所定間隔毎に
順次砥石を移動して、前記２個の非接触式変位センサの
中央位置を含む少なくとも３個所の砥石位置の測定値を
前記位置測定手段により求め、その各測定値から各非接
触式変位センサの特性式を求めて記憶する特性式作成手
段と、作成された特性式により前記中央位置の測定値を
補正する測定値補正手段と、補正された測定値を砥石の
初期位置として設定する初期位置設定手段と、砥石位置
の測定毎に前記特性式作成手段により測定時の非接触式
変位センサの特性式を求めるとともに、前記測定値補正
手段により補正した測定値と前記初期位置とから砥石位
置変化量を２個の非接触式変位センサ毎に算出するとと
もに、該各砥石位置変化量から各センサの温度ドリフト
に基づく誤差を求め、その誤差を特性式のゲインの逆比
で分配して砥石位置を演算する砥石位置演算手段とから
構成したことを特徴とする砥石位置測定装置。