JPH03142306A - 砥石位置測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｒ産業上の利用分野」 本発明は、砥石位置測定装置に関するものである。

「従来の技術」 例えば、ベーンポンプのロータ等のように、外周に複数
の清を形成したワークの多溝に対して、仕上研削等の精
密加工を行う場合、多溝の位置を正確に割り出すことは
勿論のこと、砥石の位置を正確に検出することが極めて
重要である。これは、砥石軸自体が研削熱等の影響によ
り熱膨張して、を用いて、砥石軸の変位を測定し、砥石
位置データを補正している。

化すると、その影響で該センサによる砥石軸の交付の測
定値が変化するいわゆる温度ドリフトが生じる。温度の
変化が大きくなると、温度ドリフトも大きくなり正確な
変位の測定が不可能となり、温度ドリフトの影響を除去
しなければならないという問題点がある。

また、非接触式変位センサの感度等の特性も軒年変化し
て、これらを考慮しなければ正確な変位の測定が不可能
となる等の問題点がある。

本発明は、Ｊ−記問題点を解決するためになされたもの
で、２個の非接触式変信センサを用い、その非接触式変
位センサの特性を測定毎に求めることにより、正確な砥
イｊ（立置を測定できる（ａ（石付貢測定装置を提供す
ることを目的とするものである。

「課題を解決するための手段Ｊ 上記目的を遠戚するための具体的手段として、設定され
た初期位置から砥石の軸方向の変位を測定するため、該
砥石を軸方向から挟んで配置された２個の非接触式変位
センサと、２個の非接触式変位センサの検出信号を入力
して両センサがらの砥石位置を測定する位置測定手段と
、砥石軸の軸方向の所定間隔毎に順次砥石を移動して、
前記２個の非接触式変位センサの中央位置を含む少なく
とも３個所の砥石位置の測定値を前記位置測定手段によ
り求め、その各測定値から各非接触式変位センサの特性
式を求めて記憶する特性式作成手段と、作成された特性
式により前記中央位置の測定値を補正する測定値補正手
段と、補正された測定値を砥石の初期位置として設定す
る初期位置設定手段と、砥石位置の測定毎に前記特性式
作成手段により測定時の非接触式変位センサの特性式を
求めるとともに、前記測定値補正手段により補正した測
定値と前記初期（ｉ７．　Ｈとがら砥石ｍＷ変化量を２
個のＪト接触式変位センサ毎に算出するとともに、該各
７ｊｔ石位置変化量から各センサの温度ドリフトに基づ
く誤差を求め、その誤差を特性式のゲインの逆比で分配
して砥石位置を演算する砥石位買演箕「段とから構成し
たことを特徴とする砥石位置測定Ａ置が提供される。

「作用ｊ に記砥石位置測定装置の作用は以下の通りである。

２個σ）非接触式変位センサを用いて、該非接触式変位
センサの中間位□を含む少なくとも３個所ｃ勺峨石（ｉ
？　７１の測定価を測定手段により求める。特性式作成
゛卜段は、各測定価により２個の非接触式２　（１’Ｌ
センサの特性式を求め、その各特性式によりｌｎ記測定
値のうちの中間位ｎのｆｌｌｌｌ定値を測５”ｄ　４α
補止手段により補正するとともに、初期位置設定手段に
より（Ｊ（右位置の初期位置として設定する。そして砥
石泣言の１ｌｌｌｌ定Ｉｆに、前記特性式作成手段によ
り測定時のＪＰ接触式変位センサの特性式を求めて、１
１ｆＩ記測定値補正手段により測定値を補正する。

？ＩＩ＋　ｔｉｔ　Ｌ、　ｆｓ　ａ８Ｉ定値と前記初期
ｆ１１　Ｗとから、砥石位置演′ｎｒ段は砥石付方変化
量を２個の非接触式変位センサ毎に算出し、この各砥石
位置変化量から各センサの温度ドリフトに基づく誤差を
求め、その誤差を特性式のゲインの逆比で分配して、砥
石泣言を演算する。

「実施例」 （第１実施例〉 本発明の第１実施例を添付図面第１〜第６図を参照して
説明する。

第１図は、本実施例装置の概略のブロック図である。

図中１は研削盤の砥石軸であり、この砥石軸１は図略の
サーボモータによってＺ軸方向及びｚ軸と直交する方向
に移動される。

砥石軸１の先端には、砥石２が装着されている。

２１１１の非接触式変位センサ４．４′は、砥石２のＺ
軸方向両側に配置され砥石２の端面に対して、互いに対
向して配置されている。この非接触式変位センサ４．４
゛は、距離に比例した電汗を発生することにより砥石２
のＺ軸方向の変位を検出するものである。その各検出信
号は、それぞれ増幅器５．５″に入力されて増幅された
後、演算処理装置６へ入力する。演算処理装置６には、
パーソナルコンピュータ（以下パソコンという）７が接
続され、そのキーボード８により各種の作動指令信号、
砥イｊ幅、センサ４．４°間の距離及び砥石位置の初期
位置等を入力する。演算処理装置６はＣＰＵ、各種入出
力インターフェイス、メモリくいずれも図示しない）１
位置測定手段１０．持性式作成ｆ・段】１．測定値補正
手段１２．初期位置設定手段１３及び砥石位置演見手段
１４′Ｊ−により精成され、演算処理プログラムに従っ
て演算処理を行う、そして、その処世結果等をパソコン
７のＣＲ′ｒ画面９上に表示する。

第２図は、演算処理装置６の測定処理プロセスを行う場
合のメインルーチンを示したフロ−チャートである。

処理がスタートすると、ステップ１００で砥石初期位置
測定ルーチンが実行される。続いてステップ１０２で、
測定開始が判断されると、ステップ１０４へ進み、砥石
位置測定ルーチンが実行される。ステップ１０６では、
前記砥石位置測定ルーチンによる測定結果を、パソコン
７のＣＲＴ画而９上で表示し、続くステップ１０８でそ
の測定結果を出力する。ステップ１０９で工作物の変更
が判断されると、前記ステップ１００へ戻り新たな測定
処理プロセスを行う、工作物が変更がなされない場合は
、ステップ１０２へ戻り、次の測定開始を待つ。

第３図は、砥石初期位置測定ルーチンを示すフローチャ
ートである。

ステップ２００で、非接触式変位センサ（以Ｆ単にセン
サという）４．４’間の中央位置を手動で位置決めする
。その￥順は、第４図（ａ）に示されるように砥石２の
左側端面をセンサ４に当接して、Ｚ軸座標値２Ａを求め
、続いてセンサ４′に砥石２の右側端面を当接してＺ軸
座ｍｒｚ、を求め、Ｚ０＝（ＺＡ＋Ｚ、）／２によりＺ
軸座標値Ｚ０を算出しセンサ４，４°間の中央位置が位
置決めされる。続いてステップ２０２では、（ｉｔ石軸
ｌのＺ軸方向のバックラッシュを陥入するとともに、前
記センサ中央値Ｗ　Ｚ　０と２０±１（１，は予めパソ
コン７のメモリに設定された固定値である）の３点で砥
石位置を測定し、センサ４．４°による測定値を求める
。バックラッシュ除去は、第４図（ｂ）に示されるよう
に、砥石２をＹ軸方向に移動し、センサ４゜４°間から
抜くとともに、−点破線で示す中央位置より２軸の方向
へ移動し、再びＺ１１１ｅ方向移動して、２．０　＋　
１．の位置へ戻すことにより行う、第４図（ｃ）は、ｚ
Ｉ！１１座標値２．＋１の位置、ｚ、の位置、Ｚｌ−ｔ
の（ｆｆｆｆの３点で各センサ４．４°により砥石位置
を測定する順序を示したものである。

続くステップ２０４では、前記ステップ２０２で求めた
砥石位置の３個の測定値から、各センサ４．４′の特性
式を、最小２乗法により求める。

第４図（ｄ）は、その特性式をグラフ化したものである
。そしてセンサ４の特性式として、Ｌｌ　−ｐ　０２　
＋　ｑ　ｏ　　　　　　　　　　　　■１Ｎ　）センサ
４　の特性式として、 ■″ｒａＺｒａＺトｓ　　　　　　　　　・・・（２）
が求められる。

ここで、Ｐ　ｏ　＋　ｒ　ｏは第４図（ｄ）のグラフの
直線から求められる傾き、ｑｏ＋　Ｓｏは切片を示す係
数である。

そして、ステップ２０６で前記中央値Ｗ、　Ｚ　ｏを、
特性式（１）と（２）へそれぞれ代入して、測定値のゲ
インを次のように補正する。

ａｌ１２°Ｐ　ｏＺ　ｏ＋　ｑ　ｏ　　　　　　　　　
・◆（３）ｂ　ｏｔ　”　ｒ　ｏＺ　ｏ＋　ｆ３　ｏ　
　　　　　　　　”・（４）上式（３）、（４）により
砥石２が中央位置Ｚ　ｏにあるときのセンサ４．４′の
測定値を補正して初期位置を計算する。

ステップ２０８では、前記（３）、（４）式のａｏｔ’
。

１’ｏ＋ｑｏおよびＪ２’、ｒｅ、８６を記憶して、砥
石の初期位置を設定する。

第５図は、砥石位置測定ルーチンを示すフローチャート
である。

砥石位置測定ルーチンは、研削サイクルを所定回繰り返
した後砥石（ＩＺ置を測定するもので、砥石位置を測定
する位置は毎回Ｚ軸座標値Ｚ０として同じである。前記
フローチャートをｉ回目（ｉ＝＝１．２．３・・・）の
測定の場合について説明する。

ステップ３００とステップ３０２及びステップ３０４で
は、前記第３図のステップ２０２とステップ２０４及び
ステップ２０６で示したと同様の処理を行うので説明を
省略する。そして、その結果として、センサ４により測
定＆ｒａ　１ｌｌａ　１２１ａ　１３が求められ、特性
式として、 ｕ−ｐ　ＩＺ　−１−ｑ　Ｉ　　　　　　　　　　　・
・・（５）が得られ、補正値として ａ　Ｉｔ　　−Ｐ　ＩＺｏ十Ｑ　Ｉ が得られる。

また、同様にしてセンサ４′により測定値す、。

ｂ＋２．ｂ＋ｉが求められ、特性式として、ｖ−ｒＩＺ
＋ＳＩ　　　　　　　　　　・・・（６）が得られ、補
正値として、 ｂ　１２　＝ｒ　ｌＺ　ｏ＋　Ｓ　Ｉ”’（７）が得ら
れる。

そして、ステップ３０６では、砥石位置の変化量が求め
られる。

砥石位置の変化量は、第６図に示す特性図よりセンサ４
側では、該変化量をｅ、とすれば、ｅ　＋ａ−−（ａ　
ｌｘ’　　ａ　１１２’　）／　Ｐ　ｌとなり、同様に
してセンサ４゛側では変化量ｅｌｂとすれば、 ｅ　＋ｂ−−（ｂ　１２’　　ｂ　０２’　）／　ｒ　
＋となる。

従って、センサ４で測定した砥石の現在位置Ｚ、は、 Ｚａ＋＝（ａｏ２’　　ｑｏ）／ｐｏ＋ｅ＋ａ　　　　
・−・（ｓ）となり、センサ４′で測定した砥石の現在
６７、　Ｗ２、は、 Ｚｂ＋＝（ｂｏ、’　　Ｓｏ）／ｒ　Ｏ＋　ｅＩｂ　　
　　・・・（９）となる。

前記、砥石位置変化量ｅ、及びｅ、。は、センサ４．４
°の温度ドリフトの影響によるものと省えられる。従っ
て温度ドリフト量ｄ、は、ｄ　１＝　ｅ　ｌａ　＋　ｅ
　Ｉｂ により求められる。

そして、ドリフト量を以下の様に、前記特性式（５）、
（６）のゲインｐ　、及びｒ、の逆比により分配して補
正する。

補正後の砥石の現在位置を、それぞれｚｏｏとＺ、′と
すれば、 Ｚ＠　１　””　（ａ　Ｏ２°　ＱＯ）／ＰＧ　＋ｔ、
＋ａ　　ｄ＋Ｘｒ＋／（Ｐ＋　＋ｒ＋）　・”（１０）
Ｚｂ＋　＝（ｂｏｗ’−８ｏ）／ｒｏ＋ｅ＋ｂ−ｄｔｘ
ｐ＋／（ｐｔ＋ｒ＋）　−・・＜１１）となる。

ここで、（ａ　＋１２’　　Ｃ４０＞／Ｐ　ｏ−Ｚ　ｏ
（初期位置）（ｂ　ａｔ’　　ｓ　ｏ）／　ｒ　ｏ＝　
Ｚ　ｏ（初期位置）である。

上記（１０）、　（１１）により、 ｅ＋＝ｅ＋　　　（ｅｔａ＋ｅ、）Ｘｒ　＋／（Ｐｔ＋
　ｒ　＋＞＝　　（ｅＩｂ−（ｅ＋ａ＋ｅ＋ＪＸＰ＋／
（Ｐ＋＋ｒ＋）１を求める。

ここで、ｐ　＋　＋　ｒ　ｒはセンサ４．４′のｉ四日
の測定時で作成された特性式のゲインであって、ｐ。

ξｒ、と４えることができる。

ｅ＋、’−”Δ＋、ｅｌｂ−Δ２とすると、（！ＩξΔ
、−（Δ１＋Δ２）／２ −一（Δ１−〈Δ１＋Δ２）／２＋ となり、前記式（８）と式（１０〉を比較した場合、式
（８）は、 Ｚａ＋＝（ａｏｚ’　　Ｑｏ＞／Ｐｏ＋ｅ＋ａ＝（ａｏ
ｚ’　　ｑｏ）／ｐ＋Δ式（１０）は、 Ｚａ＋’　＝（ａｏｚ’　　　ｑｏ）／ｐｏ＋ｅ＋ａ　
　　（ｅＩｂ−トｅ＋ｂ〉Ｘｒ＋／（Ｐ＋＋ｒ＋）ζ（
ａｏｘ’　　ｑｏ＞／ｐｏ＋（Δ１−Δ２）／２となり
、また、同様に、 式（９）は、 Ｚｂ＋＝（ｂｏ２’　　Ｓｏ）／ｒｏ＋ｅ＋ｂ＝（ｂｏ
２°　ｓｏ）／ｒｅ＋Δ２式（１１）は、 Ｚｏ”’；（ｂｏｗｏ　ｓｏ）／ｒｏ＋ｃΔ２−Δ１）
／２となる。

ここで、 Ｘ、＝１Δ、１−１Δ１−Δ２１／２　＞　０Ｘｂ−Δ
２１−　Δ２−Δ、１／２＞０であれば、温度ドリフト
の影響による測定値の誤差を小さくすることができる。

（１〉Δ１＋Δ２〉０のとき、 （１ａ） Δ１≧０．Δ１−Δ２≧Ｏのときは、 Ｘ、−Δ１−（Δ１−Δ２）／２＝（Δ、＋Δ２）／２
　＞　０（１ｂ） Δ２≧０．Δ２−Δ１≧０のときは、 Ｘ、＝Δ、−（Δ２−Δ、）／２＝（Δ２＋Δ、）／２
＞０（２ａ） Δ、く０．Δ１−Δ２≧０のとき６よ、条件式Δ１十Δ
、〉０を満足しない。

同様に（２ｂ） Δ２く０．Δ２−Δ１≧０のときも、条件式Δ、＋Δ２
〉０を満足しない。

（３ａ〉 Δ１≧０．Δ、−Δ、〈０．即ちＯ≦Δ、のときは、Ｘ
、＝（３Δ１−Δ、）／２　となり不定。

（３ｈ） Δ、≧０．Δ、−Δ１〈０のとき即ち０≦Δ、くΔのと
きは、 Ｘ　、＝　（３Δ！−Δ１）／２　　となり不定。

（４ａ〉 Δ、くＯ１Δ１−Δ、く０のときは、 Ｘ、＝−（Δ、＋Δ２）／２　＜　０　（’、’条件式
Δ、＋Δ２）〉０この場合Δ、とΔ２は異符号となる。

（４ｂ） Δ２く０．Δ２−Δ、＜０のときは、 Ｘ、＝−（Δ１＋Δｇ）／　２　＜　Ｏ（’、’条件式
Δ１＋Δ２〉〉０この場合Δ、とΔ２は異符号となる。

ところで、実際には上記誤差Δ−１Δ２は、センサ４．
４°の温度ドリフトの影響によるものと考えられるので
、Δ、Δ２は同符号でかつΔ−Δ２と考えてよい、従っ
て、上記（３ａ）、（３ｂ）の場合及び（４ａ）、（４
ｂ）の場合は考慮する必要はない。

次に、 （２）Δ１＋Δ１＜０のとき即ちＡ−１−Δ、十Δ２く
０のとき、 （１ａ’） Δ、≧０．Δ１−Δ、≧Ｏのときは、 Ｘ−＝（Ａ　＋　＋　Ａ　２）／　２　＜　０　（”条
件式Ａ　＋　＋　Ａ　２）＞　０この場合Δ１とΔ、は
異符号となる。

（ｌｂ″） Δ２≧０．Δ２−Δ１≧０のときは、 Ｘ、−（Δ１＋Δ２）／２　＜　Ｏ（’、’条件式Δ、
＋Δ２）〉０この場合Δ１とΔ２は異符号となる。

（２ａ’） Δ、く０．Δ１−Δ、≧０のときは、 Ｘ、＝（３Δ１−Δ２）／２　　となり不定。

（２ｂ’） Δ、≧０．Δ、−Δ、≧０のときは、 Ｘ、＝（−３Δ２＋Δ１）／２　　となり不定。

（３ａ’） Δ１≧０．Δ１−Δ２〈Ｏのときは、条件式Δ２十Δ１
く０を満足しない。

（３ｂ’） Δ、≧Ｏ１Δ、−Δ１≧０のときは、同様に条件式Δ、
＋Δ、〈（）を満足しない。

（４ａ’） Δ１〈０．Δ１−Δ２〈０のときは、 Ｘ、＝−（Δ１＋Δ２）／２　＞　０ （４ｂ’） Δｔ　＜　０　、Δ２−Δ、＜０のときは、Ｘゎ−−（
Δ１トΔ２）／２＞０ となり、前記（１〉の場合と同様の理由により、Δｌ。

Δ２は同符号でがっΔ、ξΔ、と考えることができ、上
記（Ｌ　ａ’）、（ｌ　ｂ’）及び（２ａ’）、（２ｂ
’）の場合は考慮する必要がない。

また、Δ、＋Δ、＝０のときは、誤差の影響を小さくす
ることはできないが、大きくすることもないのでさしつ
かえない。

上記により、本実施例装置による砥石位置測定プロセス
は、ｘ、＞ｏ、ｘ、＞ｏとなるので、温度ドリフトの影
響と考えられる誤差を小さくができ、るとともに、砥石
位置の測定毎に前記した砥石位置測定プロセスを行うか
ら、センサ４，４′の感度などの特性の変化の影響によ
る誤差をも小さくすることができる。

（第２実施例） 第２実施例は、前記第１実施例の砥石測定プロセスと殆
ど同じプロセスにより測定を行うものである。異なる点
は、予めセンサ４，４°間の距・ｌ１ｌＩｔｌと、砥石
幅Ｗを測定する点である。そして鉗Ｉｌｌ　ｆ及び砥石
幅Ｗは、データとして人力して記憶する。

前記第３図の砥石初期位ｆｆ測定ルーチンのステップ２
００〜２０６で説明したと同様の処理がなされる、従っ
て、特性式に基づいて測定値のゲインが次の様に補正さ
れる。

ａ　０２−−　ｐｏＺｏ＋　Ｑ　ａ ｂ　０２　＝　ｒ　６Ｚ　６　＋　ｓ　にの二式に基づ
いて、砥石初期値測定時におけるセンサ４，４゛の温度
ドリフトＪｉｄｏを求めると、ｄｏ＝（（ａａｚ’　　
Ｑｏ＞／Ｐｏ＋（ｂｏ２’−５ｏ）／ｒｏ）　　Ｃ１ｗ
）そして、ドリフトＪｉｄ、を特性式のゲインの逆比に
より分配して、初期位置を補正すると、（ｉｉｏｔ−−
Ｑｏ）／Ｐａ−−（ａｏｚ’　　ｑｏ）／ｐｏ　　ｄｏ
Ｘｒｏ／（Ｐｏ＋ｒｏ）（ｂａ２”　　ｓｏ）／ｒｏ＝
（ｂ＋＋ｔ’　　ｓｏ）／ｒｏ　＋１ｏＸＰｏ／（ｐｏ
＋ｒｏ）となり、これを初期（ｆｉ、　Ｈとして記憶す
る。

そして、前記第５図に示す砥石位置測定ルーチンのステ
ップ３００〜３０６の処理が行われる。

この処理の説明は、第１実施例の場合と同様であるので
省略する。

砥石位置変化量は、センサ４側では変化量をｅｌｍとす
れば、 ｅｌｍ＝（ａ＋ｚ’　　ａｏｚ’）／Ｐ　Ｌとなり、セ
ンサ４゛側では変化１ｋ　ｅ　ｌｂとすれば、ｅ　＋ｂ
−（ｂ　１２　　　ｂｏｚ’）／ｌ−ｔとなる。

また、ドリフト量ｄ、は、 ｄｌ＝＋（ｓｏ２　　ｑＯ）／ＰＤ＋ｅｌｊ＋（（ｂ０
２”　　８６）／ｒｏ＋ｅｌＪ　　ＣＩ　　Ｗ）であり
、これを特性値のゲインｐ、及びｒ、の逆比により分配
して補正する。補正後の現在位置を、それぞれ第１実施
例と同様にＺ　Ｍｌ’とＺ　、’とすれば、 Ｚａ＋’　＝（ｓｏ２−ｑｏ＞／ｐｏ＋ｅ＋ａ　　ｃｆ
＋Ｘｒｔ／（Ｐ＋＋ｒ＋）Ｚｂ＋’＝（ｂｏｘ”　８ｏ
）／ｒｏ＋ｅ＋ｍ　ｄｔＸｐ＋／（Ｐ＋＋ｒ＋）となる
。

上記二式は、第１実施例の場合の式（１０）、（１１）
と同一となるので、第１実施例で説明したと同様の理由
により温度ドリフトの影響と考えられる誤乙を小さくす
ることができる。

（第３尖り恒例〉 第３実施例の場合も、前記第１実施例及び第２実施例の
場合とセンサ４，４°の特性式を求めるまでは同様であ
るので説明を省略する。

第３実施例の場合は、砥石２とセンサ４及び４°の距離
を測定毎に毎回同じになるように、測定位置を補正する
点で相違する。

特性式が、第１．第２実施例の場合と同様に、ａ　０２
　“ｐ　ｏＺ　６　＋　ｑ　。

ｂｏ２＝ｒｏＺｅ＋ｓ。

と求められる。

初期値としては、 ａｏｚ”／Ｐｏ−（ａｏｚ’／Ｐｏ＋ｂｏｘ’／ｒ　ｏ
）／２ｂｏ２”／ｒ　ｏ＝（ａｏｔ’／Ｐ０＋ｂｏｚ’
／ｒ　ｏ）／２が設定されて記憶される。

以下、研削サイクルを繰り返した後、砥石位置を測定し
砥石変化量を求めて、砥石位置を補正する。

測定プロセスについては、前記第１実施例で説明した通
りである。

第１回目の測定では、センサ４により測定値ａ　、、　
ａ　１２　、　ａ　１３が求められ、特性式ｕ＝ｐ、Ｚ
＋９１．補正値ａ＋ｚ’＝Ｐ＋Ｚ＋＋Ｑ＋が得られる。

同様に、センナ４′により測定値ｂ　ｌｌ＋　ｂ　１２
＋ｔ＋Ｂが求められ、特性式ｖ　−ｒ　＋　ｌ　＋　ｓ
　＋　＋補正値ｂ　　ｚ’＝ｒ、Ｚ、Ｉｓ、が得られる
。センサ４，４′の温度ドリフト量ｄ、は、 ｄ＋−（ａ＋ｚ’／Ｐ＋＋ｂ＋＊’／ｒ＋）　（ａｏ＊
’／Ｐｏ＋ｂｏ２’／ｒｏ）により求められる。

そして補正値ａ１２′及びす、２′のドリフト量を補正
すると、 ａ１２″／Ｐ＋＝ａ＋ｚ’／Ｐ＋　　ｄ＋Ｘｒ＋／（Ｐ
＋＋ｒ＋）ｂＩｔ”／ｒ＋”ｂ＋２’／ｒ＋　　ｄ＋Ｘ
Ｐ＋／（Ｐ＋＋　ｒ＋）となる。

砥石位置変化量をｅ、とすると、 ｅ　ｌ＝ｅ　Ｉｓ（センサ４）＝　　ｅ＋ｂｃセンサ４
′）であり、即ち、 （ａ＋ｚ”／Ｐ＋　　ａｏｚ”＃）ｏ）−（ｂＩｔ”／
ｒ　ｌ　　ｂｏｗ”／ｒｏ）となる。

そして、第２回目の砥石測定位置Ｚは、砥石変化Ｎｅｔ
を補正した位置で行う、即ち、（Ｚｌ−ｅｌ）＋ｔ、（
Ｚｌ−ｅｌ）、（Ｚｌ−ｅｌ）−ｔ。

で測定を行う。

第１回目の測定では、砥石測定位置Ｚは砥石変化量（ｅ
ｌ−１）により補正した位置で行う、即ち、＜Ｚｌ−＋
　　ｅｔ−＋）＋　ｔ、（Ｚｌ−＋　　ｅｌ−３）＋　
　（Ｚｔ−＋ｅ　＋−１）−七 で測定を行う。

そして、センサ４側では測定値としてａ＋＋、ｆｉ（２
ｒ　ａ　、＋特性式ｔＪ　＝　ｐ　＋　Ｚ　＋　ｑ　＋
が求まり、補正値としてＥＬ１２°・ｐｔＺ＋＋ｑｌが
求まる。

また、センサ４°側では測定値としてｂ　＋＋＋ｂ　１
２゜ｂｏ、特性式としてｖ　＝　ｒ　ＩＺ　＋　ｓ　ｔ
が求まり、補正値としてｂ１２°＝ｒ　ｔ　Ｚ　ｔ　＋
　８　＋が求まる。

ドリフトｌｄ、は、 ｄｔ＝（ａ＋ｚ’／Ｐ＋　＋ｂ＋２’／ｒ　＋）　　（
ａｔ−＋°／Ｉ）、＋ｂｔ−＋°／ｒ、−，）となり、
これを特性式のゲインｐ　＋　＋　ｒ　ｔの逆比に分配
して補正すれば補正後の現在位置ａ　Ｉ　２”／ｐ＋及
びｂ１２°’／ｒ＋は、それぞれ、 ａＩ２″／Ｐ＋−ａｔｔ’／ｐ＋　　ｄ＋ｘｒ＋／（ｐ
＋＋　ｒｔ）ｂｔｚ”／ｒ　ｔ＝ｂｔｚ’／ｒ　ｔ　　
ｅｌ＋Ｘｒ’＋／（ｐ＋＋ｒ＋）であり、砥石位置変化
ｉｔ　ｅ　＋は、ｅ　　Ｉ＝　　ｅ　　ｔａ＝　　　　
ｅ　　ｔｂ＝（ａ　＋２”／Ｐ　ｌ　　ａ　Ｉ−ｌ＋　
２”／Ｐ　１−１）”　　（ｂ　１２”／　ｒ　＋　　
ｂ　ｒ−＋　、　２”／　ｒ　＋−＋）となる。

また、第ｉ＋１回目の砥石測定位置Ｚは、前記と同様に Ｚｌ＋ｌ＋ｔ＝”（Ｚｌ　　ｅｌ）＋ｔ、　Ｚ　　ｅ５
　（Ｚｌ　　ｅｌ）　　ｔで行う、この時現在までの砥
石位置変化量の総和Σｅ１を計算し設定値以上になった
ら、砥石位置変化量が大きすぎるので、エラーとする。

以上のように、第３実施例では砥石位置変化量により測
定位置を補正して、砥石位置とセンサ４゜４°の距離が
測定毎に毎回同じにする。

尚、前記各実施例において、算出される各位が例えばｐ
ｔ、ｒｔ等が、予め設定した値よりも大きくなる場合は
、エラー処理を行うようにする。

「発明の効果」 本発明は前記した構成を有し、２個の非接触式センサを
用い、測定時の各センサの特性式を求めて、測定値を補
正するとともに、予め設定した砥石位置初期値とに基づ
いて砥石位置変化量を２個の非接触式変位センサ毎に算
出し、この各砥石位置変化量から各センサの温度ドリフ
トに基づく誤差を求め、その誤差を特性式のゲインの逆
比で分配して、砥石位置を演算するものであるから、非
接触式変位センサの温度ドリフトの影響による測定誤差
を小さくすることができるとともに、センサのゲイン等
の特性の経年変化の影響をも小さくすることができる等
の効果がある。

【図面の簡単な説明】

添付図面第１図は本実施例装置の概略のブロック図、第
２図は演算処理装置の測定処理プロセスを打う場合のメ
インルーチンを示すフローチャー１−　、第３図は砥石
初期位置測定ルーチンを示すフローチャート、第４図は
第３図フローチャートの処理を説明した説明図、第５図
は砥石位置測定ルーチンを示すフローチャート、第６図
は砥石位置の変化量を求めるための説明図である。 １９．砥石軸、　２０１．砥石、　４．４’、、、非接
触式変位センサ、　６１８．演算処理装置、　　１０．
。 位置測定手段、　１１　、、、特性式作成手段、１２、
、、測定値補正手段、　１３　、、、初期位置設定手段
、 １４　、、、砥石位置演算手段。 ２ 第 図 第 図 第 図 第 図 第 ５ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 設定された初期位置から砥石の軸方向の変位を測定する
   ため、該砥石を軸方向から挟んで配置された２個の非接
   触式変位センサと、２個の非接触式変位センサの検出信
   号を入力して両センサからの砥石位置を測定する位置測
   定手段と、砥石軸の軸方向の所定間隔毎に順次砥石を移
   動して、前記２個の非接触式変位センサの中央位置を含
   む少なくとも３個所の砥石位置の測定値を前記位置測定
   手段により求め、その各測定値から各非接触式変位セン
   サの特性式を求めて記憶する特性式作成手段と、作成さ
   れた特性式により前記中央位置の測定値を補正する測定
   値補正手段と、補正された測定値を砥石の初期位置とし
   て設定する初期位置設定手段と、砥石位置の測定毎に前
   記特性式作成手段により測定時の非接触式変位センサの
   特性式を求めるとともに、前記測定値補正手段により補
   正した測定値と前記初期位置とから砥石位置変化量を２
   個の非接触式変位センサ毎に算出するとともに、該各砥
   石位置変化量から各センサの温度ドリフトに基づく誤差
   を求め、その誤差を特性式のゲインの逆比で分配して砥
   石位置を演算する砥石位置演算手段とから構成したこと
   を特徴とする砥石位置測定装置。