JP2777113B2 - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JP2777113B2 JP2777113B2 JP8213762A JP21376296A JP2777113B2 JP 2777113 B2 JP2777113 B2 JP 2777113B2 JP 8213762 A JP8213762 A JP 8213762A JP 21376296 A JP21376296 A JP 21376296A JP 2777113 B2 JP2777113 B2 JP 2777113B2
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- sensor
- pressure
- pressure sensor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサに関す
る。圧力センサは様々な工業分野において使用される。
使用に応じて圧力センサは、様々な要求を満たさねばな
らない。一般に、高い測定精度を有していて機械的に丈
夫な圧力センサが、有利である。
る。圧力センサは様々な工業分野において使用される。
使用に応じて圧力センサは、様々な要求を満たさねばな
らない。一般に、高い測定精度を有していて機械的に丈
夫な圧力センサが、有利である。
【０００２】
【従来の技術】米国特許出願公開第５２１２９８９号明
細書に開示された圧力センサは、センサエレメントと、
該センサエレメントを受容するための、中央における連
続した軸方向孔を有するケーシングと、軸方向孔の第１
の端部をひいてはケーシングを外方に向かって閉鎖する
波形のダイヤフラムと、ケーシングの内部に配置されて
いて軸方向孔の第２の端部を閉鎖する保持プレートと、
該保持プレートとケーシングとダイヤフラムとによって
取り囲まれた内室とを有しており、この場合センサエレ
メントは内室において保持プレートに配置されており、
さらに、閉鎖された内室を完全に満たす液体が設けられ
ている。
細書に開示された圧力センサは、センサエレメントと、
該センサエレメントを受容するための、中央における連
続した軸方向孔を有するケーシングと、軸方向孔の第１
の端部をひいてはケーシングを外方に向かって閉鎖する
波形のダイヤフラムと、ケーシングの内部に配置されて
いて軸方向孔の第２の端部を閉鎖する保持プレートと、
該保持プレートとケーシングとダイヤフラムとによって
取り囲まれた内室とを有しており、この場合センサエレ
メントは内室において保持プレートに配置されており、
さらに、閉鎖された内室を完全に満たす液体が設けられ
ている。
【０００３】つまりこの公知の構成では、液体を満たさ
れた圧力伝達体が設けられており、この圧力伝達体にお
いて、ダイヤフラムに作用する圧力が、液体によって、
ダイヤフラムから離れて配置されたセンサエレメントに
伝達されるようになっている。このような圧力センサの
欠点は、温度によって条件付けられた液体の容積変化に
より、測定誤差が生じることである。この測定誤差は特
に、測定すべき圧力が例えば０Ｐａ〜５０ｋＰａのよう
に小さい場合に、著しく、したがってこのような場合に
は、十分な測定精度、例えば測定範囲の１パーセントよ
りも小さな誤差は、まったく保証され得ないか、又は極
めて面倒な誤差修正によってしか保証され得ない。
れた圧力伝達体が設けられており、この圧力伝達体にお
いて、ダイヤフラムに作用する圧力が、液体によって、
ダイヤフラムから離れて配置されたセンサエレメントに
伝達されるようになっている。このような圧力センサの
欠点は、温度によって条件付けられた液体の容積変化に
より、測定誤差が生じることである。この測定誤差は特
に、測定すべき圧力が例えば０Ｐａ〜５０ｋＰａのよう
に小さい場合に、著しく、したがってこのような場合に
は、十分な測定精度、例えば測定範囲の１パーセントよ
りも小さな誤差は、まったく保証され得ないか、又は極
めて面倒な誤差修正によってしか保証され得ない。
【０００４】さらにダイヤフラムは通常極めて薄く、ゆ
えに敏感である。ダイヤフラムの片側が、圧力を測定さ
れる媒体つまりいわゆる測定媒体によって、負荷される
ので、かつまた測定媒体はしばしば摩耗を生ぜしめるの
で、ダイヤフラムの容易に可塑的な変形が発生したり、
ひいては測定誤差が発生したりすることがある。ダイヤ
フラムが破壊すると、液体は流出する。より丈夫なダイ
ヤフラムを使用することは、通常不可能である。それと
いうのは、これにより圧力センサの測定範囲が制限され
てしまうからである。
えに敏感である。ダイヤフラムの片側が、圧力を測定さ
れる媒体つまりいわゆる測定媒体によって、負荷される
ので、かつまた測定媒体はしばしば摩耗を生ぜしめるの
で、ダイヤフラムの容易に可塑的な変形が発生したり、
ひいては測定誤差が発生したりすることがある。ダイヤ
フラムが破壊すると、液体は流出する。より丈夫なダイ
ヤフラムを使用することは、通常不可能である。それと
いうのは、これにより圧力センサの測定範囲が制限され
てしまうからである。
【０００５】ダイヤフラムが敏感であることに基づい
て、このような圧力センサにおいてはまた多くの場合、
ダイヤフラムを大きな屈曲もしくは撓みに対して保護す
ること、過負荷防止装置を設けること、例えばダイヤフ
ラムの撓みを制限するための、ダイヤフラム形状に相応
して構成されたダイヤフラムベットを設けることが、必
要である。
て、このような圧力センサにおいてはまた多くの場合、
ダイヤフラムを大きな屈曲もしくは撓みに対して保護す
ること、過負荷防止装置を設けること、例えばダイヤフ
ラムの撓みを制限するための、ダイヤフラム形状に相応
して構成されたダイヤフラムベットを設けることが、必
要である。
【０００６】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４２３４
２９０号明細書に記載された圧力センサでは、セラミッ
ク製のセンサエレメントと、軸方向孔を有する回転対称
的なケーシングとが設けられており、軸方向孔の直径
が、測定媒体に向けられた前面に向かって減じされてお
り、さらに、圧力センサの周面とケーシングとの間にお
いて前面が同一平面に位置するように挿入されたただ１
つのシール部材が、設けられており、このシール部材に
よってセンサエレメントが、前面が同一平面に位置する
ようにケーシング内に保持されている。
２９０号明細書に記載された圧力センサでは、セラミッ
ク製のセンサエレメントと、軸方向孔を有する回転対称
的なケーシングとが設けられており、軸方向孔の直径
が、測定媒体に向けられた前面に向かって減じされてお
り、さらに、圧力センサの周面とケーシングとの間にお
いて前面が同一平面に位置するように挿入されたただ１
つのシール部材が、設けられており、このシール部材に
よってセンサエレメントが、前面が同一平面に位置する
ようにケーシング内に保持されている。
【０００７】英国特許出願公開第２０１２０５２号明細
書には、特に図５に、測定媒体の圧力を測定するための
同様に構成されたトランスデューサが開示されており、
このトランスデューサでは、トルマリン結晶から成る圧
電式のセンサエレメントと、該センサエレメントを受容
するための、中央における連続した軸方向孔を有する回
転対称的なケーシングと、軸方向孔の第１の端部をひい
てはケーシングを外方に向かって閉鎖する、ダイヤフラ
ムとして働く薄い金属シートとが設けられており、該金
属シートの内側にセンサエレメントが、ケーシングに対
して側方にリング状の間隔を維持しながら固定されてお
り、さらに、ケーシング内部に配置されていて軸方向孔
を閉鎖するプレートと、該プレートとケーシングとダイ
ヤフラムとによって取り囲まれた内室と、該内室を完全
に満たす液体とが設けられている。
書には、特に図５に、測定媒体の圧力を測定するための
同様に構成されたトランスデューサが開示されており、
このトランスデューサでは、トルマリン結晶から成る圧
電式のセンサエレメントと、該センサエレメントを受容
するための、中央における連続した軸方向孔を有する回
転対称的なケーシングと、軸方向孔の第１の端部をひい
てはケーシングを外方に向かって閉鎖する、ダイヤフラ
ムとして働く薄い金属シートとが設けられており、該金
属シートの内側にセンサエレメントが、ケーシングに対
して側方にリング状の間隔を維持しながら固定されてお
り、さらに、ケーシング内部に配置されていて軸方向孔
を閉鎖するプレートと、該プレートとケーシングとダイ
ヤフラムとによって取り囲まれた内室と、該内室を完全
に満たす液体とが設けられている。
【０００８】上に挙げた２つの刊行物に開示された圧力
センサのそれぞれの欠点は、センサエレメントがケーシ
ングに堅く緊定されていることにある。つまりこの場合
緊定箇所においては、センサエレメントもしくはダイヤ
フラムに作用する圧力によって、高い力が発生し、この
力によって、センサエレメントとケーシングとの間にお
ける緊張や、センサエレメントの大きな屈曲及び／又は
撓みの発生することがある。そしてこれによって系全体
の測定値の温度特性及びヒステリシスが劣化してしま
う。
センサのそれぞれの欠点は、センサエレメントがケーシ
ングに堅く緊定されていることにある。つまりこの場合
緊定箇所においては、センサエレメントもしくはダイヤ
フラムに作用する圧力によって、高い力が発生し、この
力によって、センサエレメントとケーシングとの間にお
ける緊張や、センサエレメントの大きな屈曲及び／又は
撓みの発生することがある。そしてこれによって系全体
の測定値の温度特性及びヒステリシスが劣化してしま
う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ゆえに本発明の課題
は、前面が同一平面に位置している耐腐食性の圧力セン
サであって、一方では機械的に極めて丈夫であり、かつ
他方ではケーシングがセンサエレメントから機械的に可
能な限り大きく離されており、しかも測定値が小さな温
度関連性と小さなヒステリシスしか有していない圧力セ
ンサを提供することである。
は、前面が同一平面に位置している耐腐食性の圧力セン
サであって、一方では機械的に極めて丈夫であり、かつ
他方ではケーシングがセンサエレメントから機械的に可
能な限り大きく離されており、しかも測定値が小さな温
度関連性と小さなヒステリシスしか有していない圧力セ
ンサを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明による、圧力媒体の圧力を測定する圧力センサ
では、センサエレメントと、該センサエレメントを受容
するための、内室を有している、特にポット状のケーシ
ングと、該ケーシングとセンサエレメントとの間に配置
されているリング状の、特にリング円板状の、弾性的な
結合エレメントとが設けられており、該結合エレメント
とセンサエレメントとが内室を測定媒体に対して閉鎖し
ており、さらに、閉鎖された内室を完全に満たす液体が
設けられている。
に本発明による、圧力媒体の圧力を測定する圧力センサ
では、センサエレメントと、該センサエレメントを受容
するための、内室を有している、特にポット状のケーシ
ングと、該ケーシングとセンサエレメントとの間に配置
されているリング状の、特にリング円板状の、弾性的な
結合エレメントとが設けられており、該結合エレメント
とセンサエレメントとが内室を測定媒体に対して閉鎖し
ており、さらに、閉鎖された内室を完全に満たす液体が
設けられている。
【００１１】
【発明の効果】本発明の構成によれば、弾性的な結合エ
レメントが金属から成っている。本発明の別の構成によ
れば、この弾性的な結合エレメントは、特に拡散溶接又
はアクティブ・硬ろう接によってセンサエレメントと気
密に結合され、かつ特に溶接によってケーシングと気密
に結合されている。本発明のこの両方の構成では、結合
エレメントが波形ダイヤフラムであると、有利である。
レメントが金属から成っている。本発明の別の構成によ
れば、この弾性的な結合エレメントは、特に拡散溶接又
はアクティブ・硬ろう接によってセンサエレメントと気
密に結合され、かつ特に溶接によってケーシングと気密
に結合されている。本発明のこの両方の構成では、結合
エレメントが波形ダイヤフラムであると、有利である。
【００１２】本発明の別の構成では、センサエレメント
がケーシング内において結合エレメントに加えてさら
に、ケーシングに対する傾倒を防止すべく固定されてい
る。
がケーシング内において結合エレメントに加えてさら
に、ケーシングに対する傾倒を防止すべく固定されてい
る。
【００１３】本発明の別の構成では、結合エレメントが
シール部材、特にＯリングである。
シール部材、特にＯリングである。
【００１４】本発明の別の構成では、弾性的な結合エレ
メントとセンサエレメントとが、ケーシングを前面が同
一平面に位置するように閉鎖している。
メントとセンサエレメントとが、ケーシングを前面が同
一平面に位置するように閉鎖している。
【００１５】本発明の別の構成では、非可縮性であり、
かつ剪断力を有していない液体、又はオイル、特にシリ
コーンオイル、又はゲル、特にシリコーンゲルが使用さ
れる。
かつ剪断力を有していない液体、又はオイル、特にシリ
コーンオイル、又はゲル、特にシリコーンゲルが使用さ
れる。
【００１６】本発明の特に有利な構成では、センサエレ
メントとして、セラミック、特に酸化アルミニウム・セ
ラミック製の圧力測定セルが使用される。この場合有利
には、圧力測定セルがセンサダイヤフラムとベース体と
を有しており、該センサダイヤフラムとベース体とが比
較可能な機械的な特性、特に比較可能な剛性及び／又は
比較可能な厚さを有している。
メントとして、セラミック、特に酸化アルミニウム・セ
ラミック製の圧力測定セルが使用される。この場合有利
には、圧力測定セルがセンサダイヤフラムとベース体と
を有しており、該センサダイヤフラムとベース体とが比
較可能な機械的な特性、特に比較可能な剛性及び／又は
比較可能な厚さを有している。
【００１７】本発明の利点としては、センサエレメント
が、測定媒体にさらされる面に至るまで液体によって取
り囲まれている、ということが挙げられる。この液体に
おいては、圧力センサに作用する圧力に相当する静水圧
である対向圧が生じ、この対向圧によってセンサエレメ
ントはその状態位置を保たれる。圧力センサはこれによ
って極めて丈夫であり、かつ例えば１０８Ｐａ（＝１０
００バール）の極端な圧力負荷時においても、過負荷防
止装置が不要である。
が、測定媒体にさらされる面に至るまで液体によって取
り囲まれている、ということが挙げられる。この液体に
おいては、圧力センサに作用する圧力に相当する静水圧
である対向圧が生じ、この対向圧によってセンサエレメ
ントはその状態位置を保たれる。圧力センサはこれによ
って極めて丈夫であり、かつ例えば１０８Ｐａ（＝１０
００バール）の極端な圧力負荷時においても、過負荷防
止装置が不要である。
【００１８】本発明による圧力センサの測定値は、小さ
なヒステリシスしか有していない。それというのは、結
合エレメントとセンサエレメントとの間及び結合エレメ
ントとケーシングとの間に存在する機械的な結合部は、
圧力センサに対して作用する圧力によって負荷されない
からである。
なヒステリシスしか有していない。それというのは、結
合エレメントとセンサエレメントとの間及び結合エレメ
ントとケーシングとの間に存在する機械的な結合部は、
圧力センサに対して作用する圧力によって負荷されない
からである。
【００１９】さらに本発明による圧力センサの測定値
は、小さな温度関連性しか有していない。それというの
は、温度によって生ぜしめられる、液体における負荷変
化は、センサエレメントに対して作用を及ぼさず、かつ
温度によって生ぜしめられる、結合エレメントにおける
負荷変化は、結合エレメントによって吸収されるからで
ある。
は、小さな温度関連性しか有していない。それというの
は、温度によって生ぜしめられる、液体における負荷変
化は、センサエレメントに対して作用を及ぼさず、かつ
温度によって生ぜしめられる、結合エレメントにおける
負荷変化は、結合エレメントによって吸収されるからで
ある。
【００２０】さらに、センサエレメントの不均一な負荷
も生じない。それというのは、センサエレメントにはす
べての側から等しい圧力が作用するからである。本発明
による圧力センサの別の利点としては、圧力センサの構
造が単純であり、かつ構成部材の数が少ない、というこ
とが挙げられる。
も生じない。それというのは、センサエレメントにはす
べての側から等しい圧力が作用するからである。本発明
による圧力センサの別の利点としては、圧力センサの構
造が単純であり、かつ構成部材の数が少ない、というこ
とが挙げられる。
【００２１】
【発明の実施の形態】次に図面につき本発明の実施の形
態を説明する。
態を説明する。
【００２２】図１〜図３には、それぞれ概略的に示され
た圧力センサのコア部材として、センサエレメント１が
示されている。このセンサエレメント１は、例えばセラ
ミックから成る円筒形の容量性の圧力測定セルであり、
この圧力測定セルはセンサダイヤフラム１１とベース体
１２とを有している。この両方の部材は、例えばアクテ
ィブ・硬ろうのような結合材料を用いて、互いに規定さ
れた間隔をおいて、内室を形成しながら保持され、かつ
同時に互いに気密に結合されている。
た圧力センサのコア部材として、センサエレメント１が
示されている。このセンサエレメント１は、例えばセラ
ミックから成る円筒形の容量性の圧力測定セルであり、
この圧力測定セルはセンサダイヤフラム１１とベース体
１２とを有している。この両方の部材は、例えばアクテ
ィブ・硬ろうのような結合材料を用いて、互いに規定さ
れた間隔をおいて、内室を形成しながら保持され、かつ
同時に互いに気密に結合されている。
【００２３】センサダイヤフラム１１及びベース体１２
の各内面は電極材料によって被覆されているので、セン
サダイヤフラム１１及びベース体１２の内面は少なくと
も１つの測定コンデンサを形成し、この測定コンデンサ
の容量は、センサダイヤフラム１１の屈曲によって左右
され、ひいては該センサダイヤフラム１１に作用する圧
力のための値である。
の各内面は電極材料によって被覆されているので、セン
サダイヤフラム１１及びベース体１２の内面は少なくと
も１つの測定コンデンサを形成し、この測定コンデンサ
の容量は、センサダイヤフラム１１の屈曲によって左右
され、ひいては該センサダイヤフラム１１に作用する圧
力のための値である。
【００２４】センサダイヤフラム１１は、セラミック、
酸化セラミック、特に酸化アルミニウム、水晶、サファ
イア又は結晶材料から成ることができる。ベース体１２
は有利には、センサダイヤフラム１１の材料と極めて似
た材料から、又は少なくともセンサダイヤフラム１１と
比較可能な熱膨張係数を有する材料から成っている。
酸化セラミック、特に酸化アルミニウム、水晶、サファ
イア又は結晶材料から成ることができる。ベース体１２
は有利には、センサダイヤフラム１１の材料と極めて似
た材料から、又は少なくともセンサダイヤフラム１１と
比較可能な熱膨張係数を有する材料から成っている。
【００２５】ベース体１２の、室とは反対側の外側面
に、センサエレメント１は電気的な回路１３を有してお
り、この回路１３は、上に述べた少なくとも１つの測定
コンデンサの容量変化を、圧力に関連した電圧及び／又
は圧力に関連した電流に変換し、かつこの電圧もしくは
電流を、電気的な接続導体１４を介して別の処理装置及
び／又は表示装置に接近させる。回路１３はケーシング
２の外側に配置されていてもよく、かつ接続導体を介し
てセンサエレメント１と接続されていてもよい。
に、センサエレメント１は電気的な回路１３を有してお
り、この回路１３は、上に述べた少なくとも１つの測定
コンデンサの容量変化を、圧力に関連した電圧及び／又
は圧力に関連した電流に変換し、かつこの電圧もしくは
電流を、電気的な接続導体１４を介して別の処理装置及
び／又は表示装置に接近させる。回路１３はケーシング
２の外側に配置されていてもよく、かつ接続導体を介し
てセンサエレメント１と接続されていてもよい。
【００２６】センサエレメント１は、図１の実施例にお
いて回転対称的であるポット状のケーシング２の内室２
１の中に配置されている。このケーシング２は、例えば
高級鋼から成っており、かつその開放端部に半径方向外
側に向かって延びる肩部を有していて、この肩部はフラ
ンジ２２を形成している。
いて回転対称的であるポット状のケーシング２の内室２
１の中に配置されている。このケーシング２は、例えば
高級鋼から成っており、かつその開放端部に半径方向外
側に向かって延びる肩部を有していて、この肩部はフラ
ンジ２２を形成している。
【００２７】弾性的な結合エレメント３は、フランジ２
２の円形リング状の外側面２３と堅く結合されている。
弾性的な結合エレメント３は図１の実施例では、円形リ
ング円板の形をした波形ダイヤフラム３１である。この
波形ダイヤフラム３１は、測定媒体に対して耐性をもつ
金属から成っており、この金属は、センサエレメント１
の材料の温度係数と比較可能な温度係数を有している。
測定媒体に応じて、結合エレメント３の材料は、高級鋼
又はその他の品質的に高い値の金属、例えばニッケル、
ニッケル合金、ニオブ又はタンタルである。
２の円形リング状の外側面２３と堅く結合されている。
弾性的な結合エレメント３は図１の実施例では、円形リ
ング円板の形をした波形ダイヤフラム３１である。この
波形ダイヤフラム３１は、測定媒体に対して耐性をもつ
金属から成っており、この金属は、センサエレメント１
の材料の温度係数と比較可能な温度係数を有している。
測定媒体に応じて、結合エレメント３の材料は、高級鋼
又はその他の品質的に高い値の金属、例えばニッケル、
ニッケル合金、ニオブ又はタンタルである。
【００２８】有利には肉厚のひいては極めて丈夫な波形
ダイヤフラムが使用される。このことによって測定精度
が損なわれることはない。それというのは、薄い金属シ
ートを介して行われる上に述べた圧力伝達形式（英国特
許出願公開第２０１２０５２号明細書参照）とは異な
り、測定すべき圧力は、波形ダイヤフラム３１を介して
センサエレメント１に伝達されるのではないからであ
る。
ダイヤフラムが使用される。このことによって測定精度
が損なわれることはない。それというのは、薄い金属シ
ートを介して行われる上に述べた圧力伝達形式（英国特
許出願公開第２０１２０５２号明細書参照）とは異な
り、測定すべき圧力は、波形ダイヤフラム３１を介して
センサエレメント１に伝達されるのではないからであ
る。
【００２９】結合エレメント３を成す波形ダイヤフラム
３１は、例えば溶接によってケーシング２のフランジ２
２と気密に結合されている。このような結合部２４は図
１において単に略示されている。
３１は、例えば溶接によってケーシング２のフランジ２
２と気密に結合されている。このような結合部２４は図
１において単に略示されている。
【００３０】センサエレメント１はケーシング２内に次
のように、すなわちセンサダイヤフラム１１の外側面と
フランジ２２の円形リング状の外側面２３とが一平面に
位置するように、配置されている。ケーシング２及びセ
ンサエレメント１の対称軸線は同一であり、したがって
センサエレメント１はケーシング２内においてセンタリ
ングされている。
のように、すなわちセンサダイヤフラム１１の外側面と
フランジ２２の円形リング状の外側面２３とが一平面に
位置するように、配置されている。ケーシング２及びセ
ンサエレメント１の対称軸線は同一であり、したがって
センサエレメント１はケーシング２内においてセンタリ
ングされている。
【００３１】結合エレメント３の内側の円形リング面
は、センサダイヤフラム１１の外側の円形リング状の外
側縁部面と、例えば気密な接合部、つまりガス密でかつ
拡散密な接合部によって結合されている。特にセラミッ
ク製のセンサダイヤフラムと特に金属製の結合エレメン
ト３との間におけるこのような気密な接合部の例として
は、拡散溶接やアクティブ・硬ろう接が挙げられる。
は、センサダイヤフラム１１の外側の円形リング状の外
側縁部面と、例えば気密な接合部、つまりガス密でかつ
拡散密な接合部によって結合されている。特にセラミッ
ク製のセンサダイヤフラムと特に金属製の結合エレメン
ト３との間におけるこのような気密な接合部の例として
は、拡散溶接やアクティブ・硬ろう接が挙げられる。
【００３２】アクティブ・硬ろうは、例えばチタン又は
ジルコニウムのような少なくとも１つの反応エレメント
を有する合金から成っている。反応エレメントは還元し
て、ゆえに硬ろう接中にろう接すべき部分の表面を架橋
する。酸化セラミックでは、酸素に対する反応エレメン
トの高い親和性によって、セラミックとの反応が生ぜし
められ、これによって混合酸化物と自由な化学的な原子
価とが形成される。酸化アルミニウム・セラミックにお
いて有利なジルコニウム／ニッケル／チタン・硬ろう
は、米国特許出願公開第５３３４３４４号明細書に記載
されている。
ジルコニウムのような少なくとも１つの反応エレメント
を有する合金から成っている。反応エレメントは還元し
て、ゆえに硬ろう接中にろう接すべき部分の表面を架橋
する。酸化セラミックでは、酸素に対する反応エレメン
トの高い親和性によって、セラミックとの反応が生ぜし
められ、これによって混合酸化物と自由な化学的な原子
価とが形成される。酸化アルミニウム・セラミックにお
いて有利なジルコニウム／ニッケル／チタン・硬ろう
は、米国特許出願公開第５３３４３４４号明細書に記載
されている。
【００３３】センサエレメント１と結合エレメント３と
はケーシング２を、前面が同一平面に位置するように
（frontbuendig）閉鎖している。このことは特に食料品
工業において特に望まれている。それというのは、前面
が同一平面にある圧力センサは極めて良好に洗浄するこ
とができるからである。結合エレメント３の具体的な構
成は、結合エレメント３の膨張がケーシング２及びセン
サエレメント１の対称軸線に対して平行な方向及び垂直
な方向において可能であるということが保証されていれ
ば、それ自体任意である。
はケーシング２を、前面が同一平面に位置するように
（frontbuendig）閉鎖している。このことは特に食料品
工業において特に望まれている。それというのは、前面
が同一平面にある圧力センサは極めて良好に洗浄するこ
とができるからである。結合エレメント３の具体的な構
成は、結合エレメント３の膨張がケーシング２及びセン
サエレメント１の対称軸線に対して平行な方向及び垂直
な方向において可能であるということが保証されていれ
ば、それ自体任意である。
【００３４】センサダイヤフラム１１の耐腐食性もしく
は防食性は、結合エレメント３とセンサダイヤフラム１
１との間における結合が同様に防食性に構成されている
限りは、完全に利用されることができる。同様なこと
は、結合エレメント３とケーシング３のフランジ２２と
の間における結合部２４が測定媒体にさらされる場合に
は、この結合部２４に対しても言える。結合部２４が例
えば容器における圧力センサの固定によって、測定媒体
に対して覆われている場合には、結合部２４が防食性で
ある必要はない。
は防食性は、結合エレメント３とセンサダイヤフラム１
１との間における結合が同様に防食性に構成されている
限りは、完全に利用されることができる。同様なこと
は、結合エレメント３とケーシング３のフランジ２２と
の間における結合部２４が測定媒体にさらされる場合に
は、この結合部２４に対しても言える。結合部２４が例
えば容器における圧力センサの固定によって、測定媒体
に対して覆われている場合には、結合部２４が防食性で
ある必要はない。
【００３５】ケーシング２の閉鎖された内室２１の、セ
ンサエレメント１によって占められない部分は、液体４
によって満たされている。有利には、特に非可縮性でか
つ特に剪断力のない液体４を使用することができ、つま
りこの液体４においては剪断力は発生しない。このよう
になっていると、液体４においては、圧力センサに対し
て作用する圧力の迅速な変化の発生時にも、常に等方性
の圧力分布が存在し、この結果、方向に関連した力がセ
ンサエレメント１に対して作用することはない。接続導
体１４は内室を貫いて延びているので、非導電性の液体
４を使用する必要がある。
ンサエレメント１によって占められない部分は、液体４
によって満たされている。有利には、特に非可縮性でか
つ特に剪断力のない液体４を使用することができ、つま
りこの液体４においては剪断力は発生しない。このよう
になっていると、液体４においては、圧力センサに対し
て作用する圧力の迅速な変化の発生時にも、常に等方性
の圧力分布が存在し、この結果、方向に関連した力がセ
ンサエレメント１に対して作用することはない。接続導
体１４は内室を貫いて延びているので、非導電性の液体
４を使用する必要がある。
【００３６】液体４に対する上に述べたような要求は、
例えばオイル、特にシリコーンオイルによって、又はゲ
ル、特にシリコーンゲルによって満たされる。圧力セン
サの損傷時に液体が流出することを確実に阻止すること
が望まれているような使用例のためには、有利にはゲル
が使用される。その他の場合には有利にはオイルを使用
することができる。
例えばオイル、特にシリコーンオイルによって、又はゲ
ル、特にシリコーンゲルによって満たされる。圧力セン
サの損傷時に液体が流出することを確実に阻止すること
が望まれているような使用例のためには、有利にはゲル
が使用される。その他の場合には有利にはオイルを使用
することができる。
【００３７】オイルを使用する場合には、圧力センサの
損傷時に液体４が流出し、測定媒体は圧力センサ内に進
入する。これによって生ぜしめられる導電性の変化は、
例えばアラームをトリガするために利用することができ
る。
損傷時に液体４が流出し、測定媒体は圧力センサ内に進
入する。これによって生ぜしめられる導電性の変化は、
例えばアラームをトリガするために利用することができ
る。
【００３８】ベース体１２及びセンサエレメント１の円
筒形の周面は、液体４によって取り囲まれている。セン
サダイヤフラム１１及び結合エレメント３に作用する圧
力は、この作用圧に抗して作用する静水圧を液体４にお
いて生ぜしめる。これによってセンサエレメント１は、
次のような状態、すなわち結合エレメント３とケーシン
グ２のフランジ２２との間における機械的な結合部及び
結合エレメント３とセンサダイヤフラム１１との間にお
ける機械的な結合部が、圧力負荷にさらされることのな
い状態において、固定される。
筒形の周面は、液体４によって取り囲まれている。セン
サダイヤフラム１１及び結合エレメント３に作用する圧
力は、この作用圧に抗して作用する静水圧を液体４にお
いて生ぜしめる。これによってセンサエレメント１は、
次のような状態、すなわち結合エレメント３とケーシン
グ２のフランジ２２との間における機械的な結合部及び
結合エレメント３とセンサダイヤフラム１１との間にお
ける機械的な結合部が、圧力負荷にさらされることのな
い状態において、固定される。
【００３９】同時に液体４は過負荷防止の課題をも満た
す。圧力センサに対して作用する圧力は、液体４によっ
てケーシング２に伝達される。これに対してセンサエレ
メント１には、その全面において圧力が作用する。した
がって、センサエレメント１の損傷を惹起するような、
センサエレメント１の例えば点状の又は線状の負荷は、
まったく発生しない。
す。圧力センサに対して作用する圧力は、液体４によっ
てケーシング２に伝達される。これに対してセンサエレ
メント１には、その全面において圧力が作用する。した
がって、センサエレメント１の損傷を惹起するような、
センサエレメント１の例えば点状の又は線状の負荷は、
まったく発生しない。
【００４０】このようにして高い破裂防止策が得られ
る。それといいうのは、ケーシング２が極めて安定的で
あり、測定媒体が、センサエレメント１又は結合エレメ
ント３の損傷時にケーシング２を貫いて、測定媒体から
見て圧力センサの後ろに位置する室に進入することはな
いからである。圧力センサの後ろに位置しているこのよ
うな室は、例えば、圧力センサが取り付けられている電
気機器ケーシングの内室である。したがって圧力センサ
は、例えば１０8 Ｐａ（＝１０００バール）までの極め
て高い圧力を測定するために使用されることができる。
る。それといいうのは、ケーシング２が極めて安定的で
あり、測定媒体が、センサエレメント１又は結合エレメ
ント３の損傷時にケーシング２を貫いて、測定媒体から
見て圧力センサの後ろに位置する室に進入することはな
いからである。圧力センサの後ろに位置しているこのよ
うな室は、例えば、圧力センサが取り付けられている電
気機器ケーシングの内室である。したがって圧力センサ
は、例えば１０8 Ｐａ（＝１０００バール）までの極め
て高い圧力を測定するために使用されることができる。
【００４１】センサダイヤフラム１１との比較において
極めて丈夫でかつ剛性のベース体１２を備えたセンサエ
レメント１の代わりに、センサダイヤフラム１１と比較
可能な機械的な特性、特に等しい厚さ又は等しい強度を
有するベース体１２を備えたセンサエレメント１を使用
することも可能である。センサダイヤフラム１１とベー
ス体１２とはこの場合、圧力センサに対して作用する圧
力によって、等しく撓む。このような圧力センサの感度
は、丈夫でかつ剛性のベース体１２を備えた圧力センサ
における感度の２倍であり、しかもこの場合圧力センサ
の機械的な安定性が損なわれることはない。センサエレ
メントが機械的に緊定されている場合には、このことは
不可能である。それというのは、緊定部ひいてはベース
体が全作用圧にさらされるからである。
極めて丈夫でかつ剛性のベース体１２を備えたセンサエ
レメント１の代わりに、センサダイヤフラム１１と比較
可能な機械的な特性、特に等しい厚さ又は等しい強度を
有するベース体１２を備えたセンサエレメント１を使用
することも可能である。センサダイヤフラム１１とベー
ス体１２とはこの場合、圧力センサに対して作用する圧
力によって、等しく撓む。このような圧力センサの感度
は、丈夫でかつ剛性のベース体１２を備えた圧力センサ
における感度の２倍であり、しかもこの場合圧力センサ
の機械的な安定性が損なわれることはない。センサエレ
メントが機械的に緊定されている場合には、このことは
不可能である。それというのは、緊定部ひいてはベース
体が全作用圧にさらされるからである。
【００４２】液体４の熱膨張は、圧力センサの測定精度
に対して影響を及ぼさない。液体は有利には等方性であ
り、かつ液体において剪断力が発生しないので、熱膨張
は単にセンサエレメント１のシフトと弾性的な結合エレ
メント３のシフト及び／又は変形しか生ぜしめない。し
たがってまた圧力測定値は小さな温度関連性しか有して
いない。それというのは、結合エレメントとセンサエレ
メントとの間及び結合エレメントとケーシングとの間に
存在する結合部は、圧力センサに対して作用する温度に
よっては負荷されないからである。
に対して影響を及ぼさない。液体は有利には等方性であ
り、かつ液体において剪断力が発生しないので、熱膨張
は単にセンサエレメント１のシフトと弾性的な結合エレ
メント３のシフト及び／又は変形しか生ぜしめない。し
たがってまた圧力測定値は小さな温度関連性しか有して
いない。それというのは、結合エレメントとセンサエレ
メントとの間及び結合エレメントとケーシングとの間に
存在する結合部は、圧力センサに対して作用する温度に
よっては負荷されないからである。
【００４３】さらに圧力センサの測定値は、センサエレ
メント１の固定によってケーシング２において生ぜしめ
られる、圧力に関連したヒステリシスを有していない。
液体４は有利には非可縮性でかつ剪断力を有していない
ので、規定された圧力値においては常に同じ等方性の圧
力が、つまりその前に存在していた圧力値とは無関係
に、液体において発生する。
メント１の固定によってケーシング２において生ぜしめ
られる、圧力に関連したヒステリシスを有していない。
液体４は有利には非可縮性でかつ剪断力を有していない
ので、規定された圧力値においては常に同じ等方性の圧
力が、つまりその前に存在していた圧力値とは無関係
に、液体において発生する。
【００４４】ケーシング２は底壁２５を有しており、こ
の底壁２５には例えばガラス貫通部のような導体貫通部
５が配置されており、この導体貫通部５を通してセンサ
エレメント１の接続導体１４がケーシングから外に案内
されている。
の底壁２５には例えばガラス貫通部のような導体貫通部
５が配置されており、この導体貫通部５を通してセンサ
エレメント１の接続導体１４がケーシングから外に案内
されている。
【００４５】底壁２５にはまた、既に上において簡単に
述べたように、別の電気的な回路、評価ユニット及び／
又はディスプレイを収容するための電気機器ケーシング
（図示せず）が配置されていてもよい。
述べたように、別の電気的な回路、評価ユニット及び／
又はディスプレイを収容するための電気機器ケーシング
（図示せず）が配置されていてもよい。
【００４６】測定箇所におけるケーシング２の固定の様
子は図示されていない。固定は次のように行われる。す
なわちこの場合、図示のようにケーシング２にフランジ
２２が設けられていて、このフランジ２２が測定個所に
おいて対応フランジとねじ結合されているか、又は例え
ばケーシング２がねじ山を有していて、このねじ山が対
応する雌ねじ山にねじ込まれるか、又は例えばケーシン
グ２が、測定個所において例えば容器開口の中に溶接固
定され得るように構成されている。また、当業者にとっ
て公知の解離可能な又は解離不能なその他のケーシング
固定形式もまた可能である。
子は図示されていない。固定は次のように行われる。す
なわちこの場合、図示のようにケーシング２にフランジ
２２が設けられていて、このフランジ２２が測定個所に
おいて対応フランジとねじ結合されているか、又は例え
ばケーシング２がねじ山を有していて、このねじ山が対
応する雌ねじ山にねじ込まれるか、又は例えばケーシン
グ２が、測定個所において例えば容器開口の中に溶接固
定され得るように構成されている。また、当業者にとっ
て公知の解離可能な又は解離不能なその他のケーシング
固定形式もまた可能である。
【００４７】図２には圧力センサの別の構成が縦断面図
で示されている。図２に示された圧力センサは、図１に
示された圧力センサとは異なり、センサエレメント１の
固定のために付加的なエレメント６を有している。この
付加的なエレメント６は円板６１から成っており、この
円板６１は、図１に示されたケーシング２の底壁２５の
代わりに働き、ケーシング２と例えば螺合又は溶接され
ている。
で示されている。図２に示された圧力センサは、図１に
示された圧力センサとは異なり、センサエレメント１の
固定のために付加的なエレメント６を有している。この
付加的なエレメント６は円板６１から成っており、この
円板６１は、図１に示されたケーシング２の底壁２５の
代わりに働き、ケーシング２と例えば螺合又は溶接され
ている。
【００４８】円板６１の、内室に向けられた側には、中
空シリンダ６２が一体成形されている。センサエレメン
ト１はベース体１２の、センサダイヤフラムとは反対側
の円形面の外縁部で、中空シリンダ６２の、円板とは反
対側の円形リング面に載設もしくは接触している。エレ
メント６は、結合エレメント３によって生ぜしめられる
固定に加えて、センサエレメント１がケーシング２に対
して傾倒することを防止している。
空シリンダ６２が一体成形されている。センサエレメン
ト１はベース体１２の、センサダイヤフラムとは反対側
の円形面の外縁部で、中空シリンダ６２の、円板とは反
対側の円形リング面に載設もしくは接触している。エレ
メント６は、結合エレメント３によって生ぜしめられる
固定に加えて、センサエレメント１がケーシング２に対
して傾倒することを防止している。
【００４９】中空シリンダ６２は複数の孔６２１を有し
ており、これらの孔６２１を通して、内室２１の、エレ
メント６によって互いに隔てられた２つの部分室は、互
いに接続されており、この結果液体４はこれらの部分室
内に達することができる。
ており、これらの孔６２１を通して、内室２１の、エレ
メント６によって互いに隔てられた２つの部分室は、互
いに接続されており、この結果液体４はこれらの部分室
内に達することができる。
【００５０】図３に同じく縦断面図で示された圧力セン
サの別の実施例では、弾性的な結合エレメント３がシー
ル部材、有利にはエラストマ製の成形パッキン又はＯリ
ングである。ケーシング２は、端部側に一体成形されて
いて半径方向でケーシング２の内部に延びている肩部２
２′を有している。この肩部２２′の、内室に向けられ
た側には、弾性的な結合エレメント３を受容するための
溝２６が設けられている。
サの別の実施例では、弾性的な結合エレメント３がシー
ル部材、有利にはエラストマ製の成形パッキン又はＯリ
ングである。ケーシング２は、端部側に一体成形されて
いて半径方向でケーシング２の内部に延びている肩部２
２′を有している。この肩部２２′の、内室に向けられ
た側には、弾性的な結合エレメント３を受容するための
溝２６が設けられている。
【００５１】センサエレメント１はセンサ支持７によっ
てケーシング２に保持されていて、センサエレメント１
がセンサダイヤフラム１１の外側のリング面で結合エレ
メント３に密に接触するようになっている。センサ支持
７は図３の実施例ではねじ山付リング７１であり、この
ねじ山付リング７１には、ケーシング２に対して同軸的
に延びる中空シリンダ７２が一体成形されている。
てケーシング２に保持されていて、センサエレメント１
がセンサダイヤフラム１１の外側のリング面で結合エレ
メント３に密に接触するようになっている。センサ支持
７は図３の実施例ではねじ山付リング７１であり、この
ねじ山付リング７１には、ケーシング２に対して同軸的
に延びる中空シリンダ７２が一体成形されている。
【００５２】ねじ山付リング７１は、ケーシング２に設
けられた雌ねじ山２７にねじ込まれている。センサエレ
メント１は、ベース体１２の、センサダイヤフラムとは
反対側の円形面の外縁部で、中空シリンダ７２の、ねじ
山付リングとは反対側の円形リング面に載設もしくは接
触している。センサ支持７によって、センサエレメント
１は弾性的なエレメント３と中空シリンダ７２との間に
おいて固定されている。
けられた雌ねじ山２７にねじ込まれている。センサエレ
メント１は、ベース体１２の、センサダイヤフラムとは
反対側の円形面の外縁部で、中空シリンダ７２の、ねじ
山付リングとは反対側の円形リング面に載設もしくは接
触している。センサ支持７によって、センサエレメント
１は弾性的なエレメント３と中空シリンダ７２との間に
おいて固定されている。
【００５３】中空シリンダ７２は複数の孔７２１を有し
ており、これらの孔７２１を通して、ケーシング２の内
室２１の、センサ支持７によって互いに隔てられた両方
の部分室は互いに接続されており、この結果この実施例
においても液体はこれらの部分室内に達することができ
る。
ており、これらの孔７２１を通して、ケーシング２の内
室２１の、センサ支持７によって互いに隔てられた両方
の部分室は互いに接続されており、この結果この実施例
においても液体はこれらの部分室内に達することができ
る。
【００５４】内室２１は、肩部２２′と弾性的な結合エ
レメント３とセンサエレメント１とによって閉鎖されて
いる。圧力センサに作用する圧力は、液体４において静
水圧を生ぜしめる。したがってセンサエレメント１に対
してもセンサ支持７に対しても、全面的に等しい圧力が
作用する。この結果、圧力センサに対して作用する圧力
によって、センサ支持７が負荷されることはない。
レメント３とセンサエレメント１とによって閉鎖されて
いる。圧力センサに作用する圧力は、液体４において静
水圧を生ぜしめる。したがってセンサエレメント１に対
してもセンサ支持７に対しても、全面的に等しい圧力が
作用する。この結果、圧力センサに対して作用する圧力
によって、センサ支持７が負荷されることはない。
【００５５】図１及び図２に示された圧力センサ同様、
図３に示された圧力センサもまた極めて丈夫であり、そ
の測定値は、小さなヒステリシスしか有しておらず、ま
た温度によってもわずかな影響しか受けない。
図３に示された圧力センサもまた極めて丈夫であり、そ
の測定値は、小さなヒステリシスしか有しておらず、ま
た温度によってもわずかな影響しか受けない。
【００５６】もちろん、圧力測定セルの代わりに圧力差
・測定セルを使用することも可能である。このような圧
力差・測定セルは例えば、ダイヤフラムが測定媒体によ
って負荷されている他に、さらに圧力導管を備えてい
て、この圧力導管がその一方の端部に供給される別の圧
力を、ベース体を通して測定セルの室内に導くようにな
っている、上に述べた形式の圧力測定セルである。
・測定セルを使用することも可能である。このような圧
力差・測定セルは例えば、ダイヤフラムが測定媒体によ
って負荷されている他に、さらに圧力導管を備えてい
て、この圧力導管がその一方の端部に供給される別の圧
力を、ベース体を通して測定セルの室内に導くようにな
っている、上に述べた形式の圧力測定セルである。
【図１】圧力センサの第１実施例を示す縦断面図であ
る。
る。
【図２】図１に示された圧力センサの変化実施例を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図３】圧力センサの第２実施例を示す縦断面図であ
る。
る。
１ センサエレメント、 ２ ケーシング、 ３ 結合
エレメント、 ４ 液体、 ５ 導体貫通部、 ６ エ
レメント、 ７ センサ支持、 １１ センサダイヤフ
ラム、 １２ ベース体、 １３ 回路、 １４ 接続
導体、 ２１内室、 ２２ フランジ、 ２２′ 肩
部、 ２３ 外側面、 ２４ 結合部、２５ 底壁、
２６ 溝、 ３１ 波形ダイヤフラム、 ６１ 円板、
６２中空シリンダ、 ７１ ねじ山付リング、 ７２
中空シリンダ、 ６２１，７２１ 孔
エレメント、 ４ 液体、 ５ 導体貫通部、 ６ エ
レメント、 ７ センサ支持、 １１ センサダイヤフ
ラム、 １２ ベース体、 １３ 回路、 １４ 接続
導体、 ２１内室、 ２２ フランジ、 ２２′ 肩
部、 ２３ 外側面、 ２４ 結合部、２５ 底壁、
２６ 溝、 ３１ 波形ダイヤフラム、 ６１ 円板、
６２中空シリンダ、 ７１ ねじ山付リング、 ７２
中空シリンダ、 ６２１，７２１ 孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウルフェルト ドレーヴェス ドイツ連邦共和国 ハイタースハイム モーツァルトシュトラーセ 10 (72)発明者 ライナー マルティン ドイツ連邦共和国 エフリンゲン−キル ヒェン ブルグンダーシュトラーセ 13 (56)参考文献 特開 昭62−194431（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−104029（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−264830（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−89339（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−82535（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01L 9/12 G01L 19/04 G01L 19/06 G01L 19/14
Claims (10)
- 【請求項１】 圧力媒体の圧力を測定する圧力センサで
あって、センサエレメント（１）と、該センサエレメン
ト（１）を受容するための、内室（２１）を有してい
る、特にポット状のケーシング（２）と、該ケーシング
（２）をセンサエレメント（１）の縁部と結合するリン
グ状の、特にリング円板状の、弾性的な結合エレメント
（３）とが設けられており、該結合エレメント（３）と
センサエレメント（１）とが内室（２１）を測定媒体に
対して閉鎖しており、さらに、閉鎖された内室（２１）
を完全に満たす液体（４）が設けられていることを特徴
とする圧力センサ。 - 【請求項２】 弾性的な結合エレメント（３）が金属か
ら成っていて、特に拡散溶接又はアクティブ・硬ろう接
によってセンサエレメント（１）と気密に結合され、か
つ特に溶接によってケーシング（２）と気密に結合され
ている、請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項３】 結合エレメント（３）が波形ダイヤフラ
ムである、請求項１又は２記載の圧力センサ。 - 【請求項４】 結合エレメント（３）が、シール部材、
特にＯリングである、請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項５】 センサエレメント（１）がケーシング
（２）内において結合エレメント（３）に加えてさら
に、ケーシングに対する傾倒を防止すべく固定されてい
る、請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項６】 弾性的な結合エレメント（３）とセンサ
エレメント（１）とが、ケーシング（２）を前面が同一
平面に位置するように閉鎖している、請求項１記載の圧
力センサ。 - 【請求項７】 液体（４）が非可縮性であり、かつ剪断
力を有していない、請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項８】 液体がオイル、特にシリコーンオイル、
又はゲル、特にシリコーンゲルである、請求項１記載の
圧力センサ。 - 【請求項９】 センサエレメント（１）がセラミック、
特に酸化アルミニウム・セラミック製の圧力測定セルで
ある、請求項１記載の圧力センサ。 - 【請求項１０】 圧力測定セルがセンサダイヤフラム
（１１）とベース体（１２）とを有しており、該センサ
ダイヤフラム（１１）とベース体（１２）とが比較可能
な機械的な特性、特に比較可能な剛性及び／又は比較可
能な厚さを有している、請求項９記載の圧力センサ。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE95113064.0 | 1995-08-19 | ||
| EP95113064 | 1995-08-19 | ||
| EP96810394A EP0759547B1 (de) | 1995-08-19 | 1996-06-14 | Drucksensor |
| DE96810394.5 | 1996-06-14 |
Publications (2)
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|---|---|
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| EP (1) | EP0759547B1 (ja) |
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| US7152478B2 (en) * | 2000-07-20 | 2006-12-26 | Entegris, Inc. | Sensor usable in ultra pure and highly corrosive environments |
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| US7866964B2 (en) * | 2005-05-20 | 2011-01-11 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Sensor for hermetic machine |
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