JP2776578B2 - 閉止機能付き流量調整弁 - Google Patents
閉止機能付き流量調整弁Info
- Publication number
- JP2776578B2 JP2776578B2 JP21754189A JP21754189A JP2776578B2 JP 2776578 B2 JP2776578 B2 JP 2776578B2 JP 21754189 A JP21754189 A JP 21754189A JP 21754189 A JP21754189 A JP 21754189A JP 2776578 B2 JP2776578 B2 JP 2776578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- plunger
- sleeve
- proportional
- proportional valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Feeding And Controlling Fuel (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、給湯器，風呂等の瞬間湯沸器、ガスファン
ヒーター等のガス器具に使用される閉止機能付き量調整
弁に関する。
ヒーター等のガス器具に使用される閉止機能付き量調整
弁に関する。
〔従来の技術〕 従来の流量調整弁は流体圧調整機能を有する比例弁と
閉止機能を有する独立した２個電磁弁を直列に設けるの
が通例である。ここに言う比例弁とは流量調整弁の出口
における流体圧を制御するものである。
閉止機能を有する独立した２個電磁弁を直列に設けるの
が通例である。ここに言う比例弁とは流量調整弁の出口
における流体圧を制御するものである。
比例弁にあっては弁と弁座とが剛体で作られているた
め閉止時の気密性が不充分で充分な閉止機能は得られな
い。従って従来の流量調整弁では巳むを得ず上記の比例
弁の他に閉止用として弁部に弾性部材（弁）と剛性部材
（弁座）を組合せた電磁弁を使用する。しかし電磁弁は
プランジャとスリーブ間の摺動部に異物が混入すると弁
の閉止機能が低下する。閉止機能の低下を防止するため
には電磁弁を２個配設して、いずれか一方が機能低下し
ても他方で補うようにすることが必要である。
め閉止時の気密性が不充分で充分な閉止機能は得られな
い。従って従来の流量調整弁では巳むを得ず上記の比例
弁の他に閉止用として弁部に弾性部材（弁）と剛性部材
（弁座）を組合せた電磁弁を使用する。しかし電磁弁は
プランジャとスリーブ間の摺動部に異物が混入すると弁
の閉止機能が低下する。閉止機能の低下を防止するため
には電磁弁を２個配設して、いずれか一方が機能低下し
ても他方で補うようにすることが必要である。
第３図は従来例を示す。第３図において、流体入口31
と流体出口32との間に流体流路を形成し、この流体流路
に第３図では比例弁Ａとその上流側に２個の電磁弁B1と
電磁弁B2を設ける。両電磁弁B1,B2は通常同一のものを
使用する。
と流体出口32との間に流体流路を形成し、この流体流路
に第３図では比例弁Ａとその上流側に２個の電磁弁B1と
電磁弁B2を設ける。両電磁弁B1,B2は通常同一のものを
使用する。
比例弁Ａにおいて、プレート33の開口にスリーブ34が
内嵌された調整ガイド35を取付け、スリーブ34内を摺動
可能なプランジャ36を閉止位置に向けて付勢する調整ス
プリング37は調整ガイド35に螺入した調整ねび38を介し
てスプリングガイド39に当接している。プランジャ36と
共軸状に設けられかつプランジャ36の底部に当接するプ
ッシュガイド40にはパン41が当接され、該パン41はダイ
ヤフラム42を介して流量調整弁の本体43の流路内に担持
されている。又流量調整弁本体43を蔽ったケース44には
ダイヤフラム42の背部即ち上部の空間を外気に連通する
ポート45が設けられている。
内嵌された調整ガイド35を取付け、スリーブ34内を摺動
可能なプランジャ36を閉止位置に向けて付勢する調整ス
プリング37は調整ガイド35に螺入した調整ねび38を介し
てスプリングガイド39に当接している。プランジャ36と
共軸状に設けられかつプランジャ36の底部に当接するプ
ッシュガイド40にはパン41が当接され、該パン41はダイ
ヤフラム42を介して流量調整弁の本体43の流路内に担持
されている。又流量調整弁本体43を蔽ったケース44には
ダイヤフラム42の背部即ち上部の空間を外気に連通する
ポート45が設けられている。
パン41の下方には弁軸46を有する剛性材料からなる比
例弁47がパン41に対して共軸状に配設され、該比例弁47
の有効面積は上記のダイヤフラム42の有効面積に略等し
く形成されている。比例弁スプリング48によって下方よ
り比例弁47を剛性材料からなる比例弁座49に押圧する50
は電磁コイル等からなる比例弁駆動部である。
例弁47がパン41に対して共軸状に配設され、該比例弁47
の有効面積は上記のダイヤフラム42の有効面積に略等し
く形成されている。比例弁スプリング48によって下方よ
り比例弁47を剛性材料からなる比例弁座49に押圧する50
は電磁コイル等からなる比例弁駆動部である。
電磁弁B1,B2において、51はプレート、52はインナー
ヨーク、53はクッション、54はスリーブ、55は該スリー
ブ内を摺動可能なプランジャ、56は弾性材料からなる
弁、57は弁座、58は弁座に向けて付勢する弁スプリン
グ、59はカバープレート、60は電磁弁駆動部を夫々示
す。またP1,P2は流量調整弁本体43内の流体の夫々１次
圧及び２次圧力を示す。
ヨーク、53はクッション、54はスリーブ、55は該スリー
ブ内を摺動可能なプランジャ、56は弾性材料からなる
弁、57は弁座、58は弁座に向けて付勢する弁スプリン
グ、59はカバープレート、60は電磁弁駆動部を夫々示
す。またP1,P2は流量調整弁本体43内の流体の夫々１次
圧及び２次圧力を示す。
流体が都市ガスである場合ガスの１次圧P1は例えば一
日中の時間帯によって変化し従って２次圧P2が変化する
がガスの２次圧P2は使用するガス器具等を考慮して略一
定圧でなければならない。即ち比例弁の目的は１次圧の
変化に拘らず２次圧を常に一定に保つことである。
日中の時間帯によって変化し従って２次圧P2が変化する
がガスの２次圧P2は使用するガス器具等を考慮して略一
定圧でなければならない。即ち比例弁の目的は１次圧の
変化に拘らず２次圧を常に一定に保つことである。
第３図に示すように流体供給源からの流体圧（１次
圧）P1がかかると、ダイヤフラム42と比例弁47の有効面
積が同一に形成されているので比例弁47にかかる上向き
の力と下向きの力が相殺される。従って比例弁47を操作
して（押下げて）比例弁部を通って出口32に向う出口の
流体圧が絞られて２次圧P2になり、上記の有効面積をＡ
とすると該比例弁47には（P2×Ａ＋比例スプリング48の
押圧力）が比例弁47に対して上向きに作用する。比例弁
駆動部即ち電磁コイル50に通電してプランジャ36を引下
げこれによって比例弁47を押下げて１次圧P1をリークさ
せ、前記バランスの関係からP2圧力は電磁コイル50に供
給される電流値に比例したプランジャ36の引下げ力と比
例した設定値に一定に保たれるのである。
圧）P1がかかると、ダイヤフラム42と比例弁47の有効面
積が同一に形成されているので比例弁47にかかる上向き
の力と下向きの力が相殺される。従って比例弁47を操作
して（押下げて）比例弁部を通って出口32に向う出口の
流体圧が絞られて２次圧P2になり、上記の有効面積をＡ
とすると該比例弁47には（P2×Ａ＋比例スプリング48の
押圧力）が比例弁47に対して上向きに作用する。比例弁
駆動部即ち電磁コイル50に通電してプランジャ36を引下
げこれによって比例弁47を押下げて１次圧P1をリークさ
せ、前記バランスの関係からP2圧力は電磁コイル50に供
給される電流値に比例したプランジャ36の引下げ力と比
例した設定値に一定に保たれるのである。
上述したように従来の流量調整弁は流体洩れを考慮し
て比例弁の他に２個の電磁弁を直列状に配設し、比例弁
の荷重調整を、プランジャ式、ムービングコイル式、永
久磁石と電磁石の反発等の駆動方式で行い、駆動電流値
により２次圧力P2を制御していたため下記の欠点があっ
た。
て比例弁の他に２個の電磁弁を直列状に配設し、比例弁
の荷重調整を、プランジャ式、ムービングコイル式、永
久磁石と電磁石の反発等の駆動方式で行い、駆動電流値
により２次圧力P2を制御していたため下記の欠点があっ
た。
イ．駆動部に供給する電流値によって２次圧力を制御す
るため、駆動部のコイル発熱等に起因して電流値が変化
することがある。
るため、駆動部のコイル発熱等に起因して電流値が変化
することがある。
このため２次圧力の制御精度がよくない。
ロ．駆動部の摺動部分の接触抵抗等によるヒステリシス
によって、制御する２次圧力の精度がよくない。
によって、制御する２次圧力の精度がよくない。
ハ．電磁弁部の弁部洩れ及び比例弁部の故障等の異常を
検出するために特別に異常検出器を設ける必要がある。
検出するために特別に異常検出器を設ける必要がある。
ニ．複数の電磁弁と１個の比例弁で構成されているので
流体流路が複雑であり、従って通過抵抗が大となる。ま
た部分点数が多いのでコスト高となると共に大きなスペ
ースを必要とする。
流体流路が複雑であり、従って通過抵抗が大となる。ま
た部分点数が多いのでコスト高となると共に大きなスペ
ースを必要とする。
上記の課題は、弁駆動部内に固着された第１のスリー
ブ内に摺動可能に設けられた第１のプランジャと、 該第１のプランジャを第１の弁スプリングを介して調
節可能に押下げる調整ばねと、該第１のプランジャの下
部に固着した第２のスリーブとを備え、 該第２のスリーブの下部には、流量調整弁の入口側流
路に固着したバランスダイヤフラムと、弁ガイドを介し
て固着した弾性材料からなる輪状の比例弁とが設けら
れ、かつ該バランスダイヤフラムと該比例弁との夫々の
有効面積は略等しく形成され、 また輪状の比例弁には内側には可撓部を介して弾性材
料からなる円板状の弁が配設され、該円板状の弁は上記
第２のスリーブ内に摺動可能に設けた第２のプランジャ
の下部に設けられ、 流量調整弁の出口側流路には、上記輪状の比例弁及び
円板状の弁に対応する比例弁座及び弁座と、制御回路を
介して上記弁駆動部と接続する圧力センサが設けられ、 上記輪状の比例弁と円板状の弁間の空間には上記バラ
ンスダイヤフラムの背部空間と連通路を介して連通され
てなる閉止機能付き流量調整弁、によって解決される。
ブ内に摺動可能に設けられた第１のプランジャと、 該第１のプランジャを第１の弁スプリングを介して調
節可能に押下げる調整ばねと、該第１のプランジャの下
部に固着した第２のスリーブとを備え、 該第２のスリーブの下部には、流量調整弁の入口側流
路に固着したバランスダイヤフラムと、弁ガイドを介し
て固着した弾性材料からなる輪状の比例弁とが設けら
れ、かつ該バランスダイヤフラムと該比例弁との夫々の
有効面積は略等しく形成され、 また輪状の比例弁には内側には可撓部を介して弾性材
料からなる円板状の弁が配設され、該円板状の弁は上記
第２のスリーブ内に摺動可能に設けた第２のプランジャ
の下部に設けられ、 流量調整弁の出口側流路には、上記輪状の比例弁及び
円板状の弁に対応する比例弁座及び弁座と、制御回路を
介して上記弁駆動部と接続する圧力センサが設けられ、 上記輪状の比例弁と円板状の弁間の空間には上記バラ
ンスダイヤフラムの背部空間と連通路を介して連通され
てなる閉止機能付き流量調整弁、によって解決される。
以下、添付図面について本発明の実施例を詳細に説明
する。尚、第３図と共通の作用をする部品は同一の符号
を付けて示した。
する。尚、第３図と共通の作用をする部品は同一の符号
を付けて示した。
第１図において、弁駆動部即ち電磁コイル50の内部の
上部には上下に調整可能のスプリングガイド39と円柱状
の第１のプランジャ２とを有する第１のスリーブ１が固
着されている。第１のスリーブの上部はプレート33に取
付けた調整ガイド35で蔽われ、この調整ガイド35に設け
たねじ孔にはスプリングガイド39の上部の調整ねじ38が
螺入されている。第１のスリーブ１内のスプリングガイ
ド39と第１のプランジャ２間に第１の弁スプリング３を
設ける。第１のプランジャ２の下部に第１のスリーブ１
内を摺動可能な第２のスリーブ４が固着され、この第２
のスリーブ４内には上部にゴム等の弾性体からなる非磁
性体のクッション５を有する円柱状の第２のプランジャ
６が摺動可能に配設されている。
上部には上下に調整可能のスプリングガイド39と円柱状
の第１のプランジャ２とを有する第１のスリーブ１が固
着されている。第１のスリーブの上部はプレート33に取
付けた調整ガイド35で蔽われ、この調整ガイド35に設け
たねじ孔にはスプリングガイド39の上部の調整ねじ38が
螺入されている。第１のスリーブ１内のスプリングガイ
ド39と第１のプランジャ２間に第１の弁スプリング３を
設ける。第１のプランジャ２の下部に第１のスリーブ１
内を摺動可能な第２のスリーブ４が固着され、この第２
のスリーブ４内には上部にゴム等の弾性体からなる非磁
性体のクッション５を有する円柱状の第２のプランジャ
６が摺動可能に配設されている。
第２のプランジャ６の下部には弾性材料からなる輪状
の比例弁７が比例弁座８に対向するように形成され、又
該比例弁７の内側には該比例弁７と同心状に一体形成さ
れた円板状の弾性材料からなる閉止用の弁９が出口32に
連通した弁座10に対向するように形成されている。より
詳細に説明すると、第２のスリーブ４の下部には夫々該
第２のスリーブ４に外嵌したストッパー11、流量弁本体
43に固着したバランスダイヤフラム12及び比例弁７に固
着した弁ガイド13が夫々の上下に重ね合わされると共に
第２のスリーブ４にばね嵌めしたプッシュナット14によ
って11,12,13の部材が一体化されている。又上述の弁９
は可撓部15と共に比例弁７と一体形成され、弁ガイド13
と弁９との間には該弁９を弁座10に向けて下方に押下げ
る第２の弁スプリング16が設けられる。上記のバランス
ダイヤフラム12の有効面積は比例弁座８の有効面積に等
しく形成されている。又バランスダイヤフラムの背部空
間17は流量制御弁本体43に設けた連通路18を介して比例
弁７と弁９との間の空間に連通している。出口32の適宜
位置には圧力センサ19が設けられ、制御回路20を介して
弁駆動部50に接続している。
の比例弁７が比例弁座８に対向するように形成され、又
該比例弁７の内側には該比例弁７と同心状に一体形成さ
れた円板状の弾性材料からなる閉止用の弁９が出口32に
連通した弁座10に対向するように形成されている。より
詳細に説明すると、第２のスリーブ４の下部には夫々該
第２のスリーブ４に外嵌したストッパー11、流量弁本体
43に固着したバランスダイヤフラム12及び比例弁７に固
着した弁ガイド13が夫々の上下に重ね合わされると共に
第２のスリーブ４にばね嵌めしたプッシュナット14によ
って11,12,13の部材が一体化されている。又上述の弁９
は可撓部15と共に比例弁７と一体形成され、弁ガイド13
と弁９との間には該弁９を弁座10に向けて下方に押下げ
る第２の弁スプリング16が設けられる。上記のバランス
ダイヤフラム12の有効面積は比例弁座８の有効面積に等
しく形成されている。又バランスダイヤフラムの背部空
間17は流量制御弁本体43に設けた連通路18を介して比例
弁７と弁９との間の空間に連通している。出口32の適宜
位置には圧力センサ19が設けられ、制御回路20を介して
弁駆動部50に接続している。
初期状態では調整された第１の弁スプリング３及び第
２の弁スプリング16によって比例弁７及び弁９は夫々の
弁座８及び10に気密状に押圧されている。
２の弁スプリング16によって比例弁７及び弁９は夫々の
弁座８及び10に気密状に押圧されている。
流体の１次圧P1は比例弁７を閉じる方向に作用するが
バランスダイヤフラム12及び比例弁７の夫々の有効面積
が夫々同一に設定されているので比例弁７に作用する上
向きの力は下向きの力と釣合う。第２図に示す特性図の
ように弁駆動部50に電流を流すと、第１のプランジャ２
が磁化されて引上げられ、また弁駆動部の磁力の作用で
第２のプランジャ６が第１のプランジャ２に吸着される
ので比例弁７と弁９は開かれ、圧力センサ19で検知した
２次圧P2を目標とする２次圧に等しくするように弁駆動
部50を制御する。又、供給電流を止めると第１のプラン
ジャ２及び第２のプランジャ６は夫々のスリーブ１及び
４内を摺動状に下降して夫々のプランジャ2,6に固着し
た弁７及び９を夫々の弁座８及び10に着座させて流路を
遮断する。第２のプランジャ６の上部にゴム等の非磁性
体のクッション５を設けたので第１のプランジャ２が異
物の介在又は電磁コイル50の残留磁気によって第１のス
リーブ１の固着しても第２のプランジャ６従って弁９は
それらに影響されずに作動して流体の漏洩を防止する。
バランスダイヤフラム12及び比例弁７の夫々の有効面積
が夫々同一に設定されているので比例弁７に作用する上
向きの力は下向きの力と釣合う。第２図に示す特性図の
ように弁駆動部50に電流を流すと、第１のプランジャ２
が磁化されて引上げられ、また弁駆動部の磁力の作用で
第２のプランジャ６が第１のプランジャ２に吸着される
ので比例弁７と弁９は開かれ、圧力センサ19で検知した
２次圧P2を目標とする２次圧に等しくするように弁駆動
部50を制御する。又、供給電流を止めると第１のプラン
ジャ２及び第２のプランジャ６は夫々のスリーブ１及び
４内を摺動状に下降して夫々のプランジャ2,6に固着し
た弁７及び９を夫々の弁座８及び10に着座させて流路を
遮断する。第２のプランジャ６の上部にゴム等の非磁性
体のクッション５を設けたので第１のプランジャ２が異
物の介在又は電磁コイル50の残留磁気によって第１のス
リーブ１の固着しても第２のプランジャ６従って弁９は
それらに影響されずに作動して流体の漏洩を防止する。
流体圧を検知する圧力センサを２次圧側に設け、目標
圧力値となるように弁開度従って２次圧を弁駆動部によ
って高精度で制御するので、弁駆動部のコイル発熱によ
る電流値変化やヒステリシス等を影響を受けず、また圧
力センサにより弁部漏洩等の異常状態を検知することが
でき、また１個の弁駆動部によって二つの弁の開閉及び
比例弁の流量調整を行う構造なので部品点数が少なく従
って製造コストが低下するのみならず流路が単純化され
かつ小型になる等の多くの利点を有する。
圧力値となるように弁開度従って２次圧を弁駆動部によ
って高精度で制御するので、弁駆動部のコイル発熱によ
る電流値変化やヒステリシス等を影響を受けず、また圧
力センサにより弁部漏洩等の異常状態を検知することが
でき、また１個の弁駆動部によって二つの弁の開閉及び
比例弁の流量調整を行う構造なので部品点数が少なく従
って製造コストが低下するのみならず流路が単純化され
かつ小型になる等の多くの利点を有する。
第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は本発明
の弁駆動部の特性図、第３図は従来技術を示す断面図で
ある。 １……第１のスリーブ、２……第１のプランジャ、 ３……第１の弁スプリング、 ４……第２のスリーブ、６……第２のプランジャ、 ７……比例弁、８……比例弁座、 ９……弁、10……弁座、 12……バランスダイヤフラム、 13……弁ガイド、 15……可撓部、 16……第２の弁スプリング、17……背部空間、 18……連通路、19……圧力センサ、 20……制御回路、38……調整ねじ、 50……弁駆動部。
の弁駆動部の特性図、第３図は従来技術を示す断面図で
ある。 １……第１のスリーブ、２……第１のプランジャ、 ３……第１の弁スプリング、 ４……第２のスリーブ、６……第２のプランジャ、 ７……比例弁、８……比例弁座、 ９……弁、10……弁座、 12……バランスダイヤフラム、 13……弁ガイド、 15……可撓部、 16……第２の弁スプリング、17……背部空間、 18……連通路、19……圧力センサ、 20……制御回路、38……調整ねじ、 50……弁駆動部。
Claims (1)
- 【請求項１】弁駆動部（50）内に固着された第１のスリ
ーブ（１）内に摺動可能に設けられた第１のプランジャ
（２）と、 該第１のプランジャを第１の弁スプリング（３）を介し
て調節可能に押下げる調整ばね（38）と、該第１のプラ
ンジャの下部に固着した第２のスリーブ（４）とを備
え、 該第２のスリーブの下部には、流量調整弁の入口側流路
に固着したバランスダイヤフラム（12）と、弁ガイド
（13）を介して固着した弾性材料からなる輪状の比例弁
（７）とが設けられ、かつ該バランスダイヤフラムと該
比例弁との夫々の有効面積は略等しく形成され、 また輪状の比例弁には内側に一体的に形成される可撓部
（15）及び円板状の弁（９）が配設され、該円板状の弁
は上記第２のスリーブ内に摺動可能に設けた第２のプラ
ンジャ（６）の下部に設けられ、 流量調整弁の出口側流路には、上記輪状の比例弁及び円
板状の弁に対応する比例弁座（８）及び弁座（10）と、
制御回路（20）を介して上記弁駆動部と接続する圧力セ
ンサ（19）が設けられ、 上記輪状の比例弁と円板状の弁間の空間には上記バラン
スダイヤフラムの背部空間（17）と連通路（18）を介し
て連通されてなる閉止機能付き流量調整弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21754189A JP2776578B2 (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 閉止機能付き流量調整弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21754189A JP2776578B2 (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 閉止機能付き流量調整弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0384283A JPH0384283A (ja) | 1991-04-09 |
| JP2776578B2 true JP2776578B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=16705872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21754189A Expired - Fee Related JP2776578B2 (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | 閉止機能付き流量調整弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2776578B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017026012A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | サントリーホールディングス株式会社 | 電磁弁 |
-
1989
- 1989-08-25 JP JP21754189A patent/JP2776578B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017026012A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | サントリーホールディングス株式会社 | 電磁弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0384283A (ja) | 1991-04-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3276936B2 (ja) | 流量コントロールバルブ | |
| US5687759A (en) | Low operating power, fast-response servovalve | |
| JP3952321B2 (ja) | サックバックバルブ | |
| US4921208A (en) | Proportional flow valve | |
| US6832625B2 (en) | Electrically operable valve assembly having an integral pressure regulator | |
| US4664136A (en) | Pressure regulating transducer | |
| JP2004293695A (ja) | 流量制御弁 | |
| KR20090013239A (ko) | 유체 압력 조절기 | |
| US6792799B2 (en) | Positive flow meter | |
| US3181559A (en) | Electromagnetic and fluid pressure operated valve and anti-hysteresis control circuit therefor | |
| US4771808A (en) | Apparatus for controlling the flow of gas | |
| US10197166B2 (en) | Vacuum gate valve | |
| JPH05172268A (ja) | ガス流量制御装置用バルブ | |
| JP2776578B2 (ja) | 閉止機能付き流量調整弁 | |
| US7011110B1 (en) | High capacity co-axial gas valve | |
| JP4000491B2 (ja) | サックバックバルブ | |
| JP2776579B2 (ja) | 閉止機能付き流量調整弁 | |
| GB2189010A (en) | Apparatus for controlling the flow of gas | |
| JP2674732B2 (ja) | ガス用の流量制御装置 | |
| JP2002106745A (ja) | 流量調整弁 | |
| GB2256698A (en) | Flow control valve | |
| US4850384A (en) | Electric vacuum regulator | |
| JPH0313463B2 (ja) | ||
| JP2776539B2 (ja) | 流体制御装置 | |
| JP2023043260A (ja) | 比例弁 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |